CS249938B1 - Method of high-purity argon production and device for its realization - Google Patents

Method of high-purity argon production and device for its realization Download PDF

Info

Publication number
CS249938B1
CS249938B1 CS844608A CS460884A CS249938B1 CS 249938 B1 CS249938 B1 CS 249938B1 CS 844608 A CS844608 A CS 844608A CS 460884 A CS460884 A CS 460884A CS 249938 B1 CS249938 B1 CS 249938B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
argon
liquid
nitrogen
oxygen
valve
Prior art date
Application number
CS844608A
Other languages
Czech (cs)
Slovak (sk)
Inventor
Ivan Gajdos
Original Assignee
Ivan Gajdos
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ivan Gajdos filed Critical Ivan Gajdos
Priority to CS844608A priority Critical patent/CS249938B1/en
Publication of CS249938B1 publication Critical patent/CS249938B1/en

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J3/00Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
    • F25J3/08Separating gaseous impurities from gases or gaseous mixtures or from liquefied gases or liquefied gaseous mixtures
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2205/00Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
    • F25J2205/20Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using solidification of components
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2210/00Processes characterised by the type or other details of the feed stream
    • F25J2210/42Nitrogen
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2215/00Processes characterised by the type or other details of the product stream
    • F25J2215/58Argon
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2270/00Refrigeration techniques used
    • F25J2270/90External refrigeration, e.g. conventional closed-loop mechanical refrigeration unit using Freon or NH3, unspecified external refrigeration
    • F25J2270/904External refrigeration, e.g. conventional closed-loop mechanical refrigeration unit using Freon or NH3, unspecified external refrigeration by liquid or gaseous cryogen in an open loop
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25JLIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
    • F25J2290/00Other details not covered by groups F25J2200/00 - F25J2280/00
    • F25J2290/62Details of storing a fluid in a tank

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)

Abstract

Riešenie sa týká technického problému výroby velmi čistého argonu. Podstata vynálezu spočívá v tom, že kvapalný argon sa ochladením premení na tuhý argon, kvapalný kyslík a dusík sa od tuhého argonu oddelia, ohrevom sa odstránia a tuhý argon sa ohrevom premení na kvapalný argon, ktorý sa odvedie do spotřeby. Povodný obsah kyslíka a dusíka je možné podstatné znížiť. Vynález by mohol byt využitý vo vý- robniach surového kvapalného argonu, kyslíka a dusíka, najmá v hutníckom a chemickom priemysle.The solution concerns a technical problem production of very pure argon. SUMMARY OF THE INVENTION lies in the fact that liquid argon by cooling it to solid argon, liquid oxygen and nitrogen from solid argon separated, the argon was removed and the solid was removed by heating is converted to liquid argon by heating, consumption. Flood Content oxygen and nitrogen is essential reduced. The invention could be used in of crude liquid argon, oxygen and nitrogen, especially in metallurgical and chemical industry.

Description

Vynález sa týká sposobu výroby velmi čistého argonu a zariadenia k jeho uskutočneniu.The invention relates to a process for the production of very pure argon and to a device for carrying it out.

Výroba argonu v zariadeniach na delenie vzduchu je charakteristická přísnými požiadavkami na obsah kyslíka vo· vyrobenom argone. Zvýšený obsah kyslíka v argone zapříčiňuje nadměrný výskyt kyslíkových vmestkov v špeciálnych oceliach, upravovaných argónom, čo má nepriaznivý vplyv na kvalitu ocele. Zvarovacie přístroje s ochrannou atmosférou potrebujú argon s vyššou čistotou. Čistý argon nadobúda stále vačšieho významu v metalurgických pochodech ako inertná atmosféra k zvyšovaniu kvality a čistoty výrobkou. Argon ako ochranný plyn sa taktiež používá pri analytických a chemickopreparatívnych prácach.The production of argon in air separation plants is characterized by stringent oxygen requirements in the argon produced. The increased oxygen content of argon causes an excessive occurrence of oxygen inclusions in special steels treated with argon, which adversely affects the quality of the steel. Protective atmosphere welding machines need argon of higher purity. Pure argon is becoming increasingly important in metallurgical processes as an inert atmosphere to increase product quality and purity. Argon as a shielding gas is also used in analytical and chemical-preparatory work.

Na dodatečné čistenie argonu od kyslíka sa doteraz používá čistiaca stanica, v ktorej sa kyslík z argonu spaluje na katalyzátore v přítomnosti čistého vodíka zo vzniku vody, ktorá sa odstraní v odlučovači a v sušiacom zariadení. Na odstráňovanie kyslíka sa tiež používajú zeolitové adsorbéry.For the subsequent purification of argon from oxygen, a purification station is used in which oxygen from argon is burned on the catalyst in the presence of pure hydrogen to form water, which is removed in a separator and in a drying apparatus. Zeolite adsorbers are also used to remove oxygen.

Nevýhodou čistenia argonu vodíkom na katalyzátore je investičná, energetická a materiálová náročnost, nutnost výroby čistého vodíka, nutnost kompresie argonu a vodíka, potřeba vzácných kovov na výrobu katalyzátora, kvalitná meracia, regulačná a zabezpečovacia technika a potřeba vysušovadla z dovozu. Velkou nevýhodou je nebezpečenstvo pri výrobě, kompresii a rnanipulácii s hořlavým i výbušným vodíkom v priestoroch výrobní kyslíka.The disadvantages of purifying argon with hydrogen on the catalyst are the investment, energy and material demands, the need for pure hydrogen production, the need for argon and hydrogen compression, the need for precious metals for catalyst production, high-quality measurement, control and security technology and the need for desiccant. A major disadvantage is the danger of production, compression and handling of flammable and explosive hydrogen in the production oxygen area.

Nevýhodou odstráňovania kyslíka z argonu v zeolitových adsorbéroch je energetická náročnost tohoto sposobu čistenia a nutnost obstarania špeciálnych druhov zeolitov do adsorbérov z dovozu. Adsorbéry musia byť vyhotovené zo špeciálnych materiálov, nakolko pracujú pri extrémně nízkých a vysokých teplotách.The disadvantage of removing oxygen from argon in the zeolite adsorber is the energy consumption of this method of purification and the necessity of procuring special types of zeolites for imported adsorber. Adsorbers must be made of special materials, as they work at extremely low and high temperatures.

Uvedené nevýhody odstraňuje a problém rieši sposob výroby velmi čistého argonu podlá vynálezu, ktorého podstata spočívá v tom, že kvapalný argon sa ochladením premení na tuhý argon, kvapalný kyslík a dusík sa od tuhého argónu oddelia, ohrevom odparia a odstránia a tuhý argon sa ohrevom chladiaceho kúpela premení na kvapalný alebo plynný velmi čistý argon, ktorý sa odvedie do spotřeby.The problem is solved and the problem is solved by the process of producing very pure argon according to the invention, which consists in that liquid argon is cooled to solid argon, liquid oxygen and nitrogen are separated from solid argon, evaporated and removed and solid argon is heated by cooling. the bath turns into liquid or gaseous very pure argon, which is taken into consumption.

Predmetom vynálezu je taktiež zariadenie k prevádzaniu uvedeného spósobu, ktorého podstata spočívá v tom, že pozostáva zo zásobníma kvapalného surového argónu s vedením kvapalného surového argónu zaústěným cez ventil do zásobníka kvapalného argónu, ktorý je vložený do zásobníka kvapalného dusíka, ktorý je vložený do izolačného krytu, pričom zásobník kvapalného dusíka je vybavený ventilom přívodu kvapalného dusíka, ventilom přívodu kvapalného kyslíka, ventilom přívodu kvapalného argónu, vedením vypúšťania kvapalného dusíka, vedením kontroly naplnenia zásobníka kvapalného dusíka, poistným ventilom, teploměrem chladiaceho kúpela a zásobník kvapalného argónu je tiež vybavený vedením kontroly naplnenia zásobníka, sušičom, vedením přívodu suchého argónu, poistným ventilom, ohrievačom kvapalného kyslíka a dusíka, regulátorem ohřevu teplomerom kontroly ohřevu, vedením výstupu odpařeného kyslíka a dusíka, ventilom vypúšťanie velmi čistého kvapalného argónu do zásobníka velmi čistého kvapalného argónu, pričom zásobník kvapalného argónu je tiež vybavený ventilom regulácie tlaku v zásobníku kvapalného argónu, tlakoměrem, odparovačom kvapalného argónu, stavoznakom a stavoznakom kvapalného argónu.The present invention also relates to an apparatus for carrying out the above process, which consists of a liquid crude argon supply with a liquid raw argon conduit leading through a valve to a liquid argon storage tank which is inserted into a liquid nitrogen storage tank which is inserted into an insulating housing. wherein the liquid nitrogen container is equipped with a liquid nitrogen supply valve, a liquid oxygen supply valve, a liquid argon supply valve, a liquid nitrogen discharge line, a liquid nitrogen storage tank fill control line, a safety valve, a cooling bath thermometer and a liquid argon storage line tank, dryer, dry argon feed line, safety valve, liquid oxygen and nitrogen heater, heating controller thermometer, heating control, vaporized oxygen outlet control and nitrogen, a valve for discharging very pure liquid argon into the ultra pure liquid argon reservoir, wherein the liquid argon reservoir is also equipped with a pressure regulator valve in the liquid argon reservoir, a pressure gauge, a liquid argon vaporizer, a level gauge and a liquid argon level gauge.

Výhody vynálezu oproti jestvujúcemu stavu techniky, oproti používaným spósobom dodatočného čistenia surového argónu spočívajú v tom, že je možné podstatné znížiť póvodný obsah kyslíka v argone, čo má nepriaznivý vplyv na kvalitu vyrábaných, argónom upravovaných špeciálnych ocelí.The advantages of the invention over the prior art, compared to the methods used for post-purification of crude argon, are that it is possible to substantially reduce the original oxygen content of argon, which adversely affects the quality of the argon-treated special steels produced.

Velkou výhodou je nízká investičná a energetická náročnost. Medzi výhody patří jednoduchost manipulácií, ktoré možu prebiehať kontinuálně s ručným alebo automatickým ovládáním jednotlivých armatúr s regulováním kvality vyrábaného čistého argónu. Výhodou je aj to, že celý cyklus dočis'ovanía je možné podlá požadovanej konečnej čistoty vyrobeného argónu opakovat.The big advantage is low investment and energy demands. The advantages include ease of handling, which can be carried out continuously with manual or automatic control of individual valves with quality control of the pure argon produced. It is also advantageous that the entire purification cycle can be repeated according to the desired final purity of the argon produced.

Příklad zariadenia podlá vynálezu je znázorněný na priloženom výkrese. Zariadenie pozostáva zo zásobníka 1 kvapalného surového argónu s vedením 2 kvapalného surového argónu zaústěným cez ventil 3 do zásobníka 4 kvapalného argónu, ktorý je. vložený do zásobníka 5 kvapalného dusíka, ktorý je vložený do ízolačného krytu 6, pričom zásobník 5 kvapalného dusíka je vybavený ventilom 7 přívodu kvapalného dusíka, ventilom 8 přívodu kvapalného kyslíka, ventilom 9 přívodu kvapalného· argónu, vedením 10 vypúšťania kvapalného dusíka, vedením 11 kontroly naplnenia zásobníka kvapalného dusíka, poistným ventilom 12, teplomerom 13 chladiaceho kúpela a zásobník 4 kvapalného argónu je tiež vybavený ventilom 14 kontroly naplnenia zásobníka, sušičom 15, vedením 18 přívodu suchého plynného argónu, poistným ventilom 17, ohrievaoom 18 kvapalného kyslíka, regulátorom 19 ohřevu, teplomerom 20 kontroly ohrevu, vedením 21 výstupu odpařeného kyslíka a dusíka, vedením 22 vypúšťania velmi čistého kvapalného argónu do zásobníka 23 velmi čistého kvapalného argonu, pričom zásobník 4 kvapalného argónu je tiež vybavený ventilom 24 regulácie přetlaku v zásobníku kvapalného argónu, tlakomerom 25, odparovačom 26 kvapalného argónu, stavoznakom 27 kvapalného argónu. Tuhý argón 28 sa ohrevom chladiaceho kúpela, napr. prídavkom kvapalného kyslíka ventilom 8 alebo prídavkom kvapalného argonu ventilom 9 premení sa kvapalný argon, ktorý sa ventilom 22 odvedle do zásobníka 23 velmi čistého kvapalného argonu, pričom plynný argon sa vypúšta vedením 31 do atmosféry alebo po natlakovaní zásobníka 23 odparovačom 30 kvapalného argonu do spotřeby. Plynný velmi čistý argon je možné po odpaření kyslíka, dusíka a po natlakovaní zásobníka 4 cez odparovač 26 dodávat priamo do spotřeby aj vedením 21.An example of a device according to the invention is shown in the attached drawing. The device consists of a liquid argon liquid reservoir 1 with a liquid argon liquid line 2 leading through a valve 3 to a liquid argon reservoir 4 which is. inserted into the liquid nitrogen reservoir 5, which is inserted into the insulating cover 6, wherein the liquid nitrogen reservoir 5 is provided with a liquid nitrogen supply valve 7, a liquid oxygen supply valve 8, a liquid argon supply valve 9, a liquid nitrogen discharge line 10, a liquid control line 11 the liquid nitrogen reservoir filling, the safety valve 12, the cooling bath thermometer 13 and the liquid argon reservoir 4 are also equipped with the reservoir filling check valve 14, a dryer 15, a dry argon gas line 18, a safety valve 17, a liquid oxygen heater 18, a heating controller 19, a heating control thermometer 20, a vaporized oxygen and nitrogen outlet line 21, a line 22 for discharging very pure liquid argon into the ultra pure liquid argon reservoir 23, wherein the liquid argon reservoir 4 is also provided with an overpressure control valve 24 in the reservoir k argon, pressure gauge 25, liquid argon vaporizer 26, liquid argon level gauge 27. Solid argon 28 is heated by cooling bath, e.g. by adding liquid oxygen through valve 8 or by adding liquid argon through valve 9, liquid argon is converted into valve 23 into a very pure liquid argon reservoir 23, the argon gas being discharged via line 31 to the atmosphere or after pressurizing the reservoir 23 with liquid argon vaporizer. The very pure argon gas can be fed directly to consumption, via line 21, after evaporation of oxygen, nitrogen and after pressurizing the container 4 through the evaporator 26.

Pri skúškach jednotlivých operách v zjednodušených laboratórnych podmienkach sa povodná koncentrácia kyslíka 0,5 % v surovom kvapalnom argone znížila na hodnotu nižšiu ako 0,1 °/o.In single operation tests under simplified laboratory conditions, the flood oxygen concentration of 0.5% in crude argon liquid was reduced to less than 0.1 ° / o.

Vynález by mohol byť využitý vo výrobniach surového kvapalného argonu, kyslíka a dusíka, najma v hutníckom a chemickom priemysle.The invention could be used in crude liquid argon, oxygen and nitrogen plants, especially in the metallurgical and chemical industries.

Claims (2)

1. Sposob výroby velmi čistého argonu vyznačený tým, že kvapalný argon sa ochladením premení na tuhý argon, kvapalný kyslík a dusík sa od tuhého argonu oddelia, ohrevom odparia a odstránia a tuhý argon sa ohrevom chladiaceho kúpela premení na kvapalný alebo plynný vetmi čistý argon, ktorý sa odvedie do spotřeby.1. A process for producing very pure argon, characterized in that liquid argon is cooled to solid argon, liquid oxygen and nitrogen are separated from solid argon, heated and evaporated and solid argon is converted to pure argon by heating a cooling bath, which is diverted into consumption. 2. Zariadenie k uskutočneniu sposobu podlá bodu 1 vyznačené tým, že pozostáva zo zásobníka (lj kvapalného surového argonu s vedením (2) kvapalného surového argonu zaústěným cez ventil (3) do zásobníka (4) kvapalného argonu, ktorý je vložený do zásobníka (5') kvapalného dusíka, ktorý je vložený do izolačného krytu (6), pričom zásobník (5) kvapalného dusíka je vybavený ventilom (7) přívodu kvapalného dusíka, ventilom (8) přívodu kvapalného kyslíka, ventilom (9) přívodu kvapalného argóynAlezu nu, vedením (10) vypúštania kvapalného dusíka, vedením (11) kontroly naplnenia zásobníka kvapalného dusíka, poistným ventilom (12), teplomerom (13) chladiaceho kúpela a zásobník (4) kvapalného argonu je tiež vybavený vedením (14) kontroly naplnenia zásobníka, sušičom (15), vedením (16) přívodu suchého plynného argonu, poistným ventilom (17), ohrievačom (18) kvapalného kyslíka a dusíka, regulátorom (19) ohřevu, teplomerom (20) kontroly ohřevu, vedením (21) výstupu odpařeného kyslíka a dusíka, vedením (22) vypúštania velmi čistého kvapalného argonu do zásobníka (23) velmi čistého kvapalného argonu, pričom zásobník (4) kvapalného argonu je tiež vybavený ventilom (24) regulácie tlaku v zásobníku kvapalného argonu, tlakomerom (25), odparovačom (26) kvapalného argonu, stavoznakom (27) kvapalného argonu.2. Apparatus according to claim 1, characterized in that it comprises a liquid argon container (1j) with a liquid argon line (2) leading through a valve (3) to a liquid argon container (4) which is inserted into the container (5). liquid nitrogen, which is inserted into the insulating cover (6), wherein the liquid nitrogen container (5) is equipped with a liquid nitrogen supply valve (7), a liquid oxygen supply valve (8), a liquid argonoyle nuclide supply valve (9), (10) discharging liquid nitrogen, a liquid nitrogen storage tank control line (11), a safety valve (12), a cooling bath thermometer (13), and a liquid argon storage tank (4) also equipped with a storage tank control line (14), a dryer (15) ), dry argon gas supply line (16), relief valve (17), liquid oxygen and nitrogen heater (18), heating controller (19), temperature (20) heating control, vaporized oxygen and nitrogen outlet line (21), line (22) of very pure liquid argon discharge (23) into a very pure liquid argon reservoir (23), wherein the liquid argon reservoir (4) is also provided with a valve (24) controlling the pressure in the liquid argon reservoir, a pressure gauge (25), a liquid argon evaporator (26), a liquid argon level gauge (27).
CS844608A 1984-06-18 1984-06-18 Method of high-purity argon production and device for its realization CS249938B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS844608A CS249938B1 (en) 1984-06-18 1984-06-18 Method of high-purity argon production and device for its realization

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS844608A CS249938B1 (en) 1984-06-18 1984-06-18 Method of high-purity argon production and device for its realization

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CS249938B1 true CS249938B1 (en) 1987-04-16

Family

ID=5389245

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS844608A CS249938B1 (en) 1984-06-18 1984-06-18 Method of high-purity argon production and device for its realization

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS249938B1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4579723A (en) Methods for purifying inert gas streams
US6740302B2 (en) Method for producing high-purity sulphuric acid
US3533221A (en) Oxygen concentration process
US5348592A (en) Method of producing nitrogen-hydrogen atmospheres for metals processing
US5689974A (en) Method and apparatus for pre-purification for air cryogenic separation plant
JP2001089131A (en) Purification process and apparatus for boron trichloride
JP3569017B2 (en) Method and apparatus for producing high-purity liquid nitrogen
TWI393713B (en) Ethylene oxide plant operation
KR20120095394A (en) Method and device for separating argon from a gaseous mixture
Au et al. The recovery, purification, storage and transport of hydrogen separated from industrial purge gas by means of mobile hydride containers
KR20220141815A (en) Method and plant for electrochemical production of oxygen
US20100115994A1 (en) Adsorbent for carbon monoxide, gas purification method, and gas purification apparatus
EP1211329A2 (en) Process and apparatus for high pressure gas quenching in an atmospheric furnace
US4623524A (en) Process and apparatus for recovering inert gas
CS249938B1 (en) Method of high-purity argon production and device for its realization
JPH0624962B2 (en) Method for recovering high-purity argon from exhaust gas from a single crystal manufacturing furnace
EP0854111B1 (en) Apparatus for recovering, refining, and storing hydrogen gas
CN202337694U (en) Electron-level hyper-pure ammonia extracting device and automatic online detecting device thereof
EP0078780B1 (en) A method in the production of hydrogen peroxide
CS234861B1 (en) Method of pure argon production and equipment for its application
JP3424100B2 (en) Method for purifying krypton and xenon
US3219414A (en) Purification of helium
CN210751947U (en) Gas deoxidation purification system capable of effectively controlling hydrogen and oxygen contents
FR2486817B1 (en) GAS PURIFICATION PROCESS AND INSTALLATION FOR ITS IMPLEMENTATION
CS251471B1 (en) Device for argon purifying from nitrogen