CS245745B1 - Method of chemical processing of wastes produced in production of semiconductor elements - Google Patents
Method of chemical processing of wastes produced in production of semiconductor elements Download PDFInfo
- Publication number
- CS245745B1 CS245745B1 CS827086A CS708682A CS245745B1 CS 245745 B1 CS245745 B1 CS 245745B1 CS 827086 A CS827086 A CS 827086A CS 708682 A CS708682 A CS 708682A CS 245745 B1 CS245745 B1 CS 245745B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- water
- point
- solution
- τλθηηηη
- ammonia
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 title claims 2
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 title 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims 3
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- TWRXJAOTZQYOKJ-UHFFFAOYSA-L Magnesium chloride Chemical compound [Mg+2].[Cl-].[Cl-] TWRXJAOTZQYOKJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 2
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 claims 2
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 claims 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000005708 Sodium hypochlorite Substances 0.000 claims 1
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 claims 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 claims 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910021513 gallium hydroxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- DNUARHPNFXVKEI-UHFFFAOYSA-K gallium(iii) hydroxide Chemical group [OH-].[OH-].[OH-].[Ga+3] DNUARHPNFXVKEI-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims 1
- 239000007792 gaseous phase Substances 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 claims 1
- 229910001629 magnesium chloride Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000003018 phosphorus compounds Chemical class 0.000 claims 1
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 claims 1
- 230000007096 poisonous effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 claims 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 1
- 239000008237 rinsing water Substances 0.000 claims 1
- SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N sodium hypochlorite Chemical compound [Na+].Cl[O-] SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 239000002910 solid waste Substances 0.000 claims 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 claims 1
- 241000375392 Tana Species 0.000 description 1
- XOYLJNJLGBYDTH-UHFFFAOYSA-M chlorogallium Chemical compound [Ga]Cl XOYLJNJLGBYDTH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 101150115538 nero gene Proteins 0.000 description 1
- 235000019583 umami taste Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/20—Recycling
Landscapes
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
2- OÓJiacTL· irpmeHeHHH η3ο6ρθτθηηη Μ3θόρθΤθΗΗβ KacaeTCH NieTona jvlh πολγοτοβκη k noBTopHOMy ηοπολβ-30BaHHK) nopOIIlKOOÓpa3HKX, KpHCTaJMHqeCKHX Η «ΜΟρφΗΗΧ, arpecCHB-HHX, ropKHHX h/hJIH HflOBHTHX OTXOflOB Η ΉΧ KOMÓHHaUHÉ, KOTOpuftHHXOflHT ΠρΗΜθΗΘΗΗΘ ΠρΗ ΠρΟΜΗΙΙϋΙΘΗΗΟΜ np0H3B0HCTBe nOJiyiipOBOfl-HHKOBHX npHÓOpOB, B HaCTHOCTH ΠρΗ 3ΠΗΤΒΚ0Η3ΛΒΗ0Μ HapaiUHBaHHHH3 ra3OBOH $a3H h/hJIH ΠΟΛΗΡΟΒΚΘ η/ηΛΗ pacnífflHBaHHH no-zrynpo-bojuihkobhx MaTepnajioB Tuna Λι 11 B v
XapaKTepncTHKa η3βθοτηηχ τθχηηηθοκηχ peuieHHň Η3βθοτηη μθχθηηηθθκηθ μθτολη πο#γοτοβκη k noBTopnorzy ηοπολβθο-
BaHKO OTXOflOB, BO3HHKai0!HHX ΠρΗ ΠρΟΒΘΛΘΗΗΗ SnHTaKCHaJIBHHX ΠρΟ-
neccoB jyra HapaiUHBaHHH μοηοκρηοτθπληηθοκηχ nonynpoBOHHHKOBHX
MaTepnanOB Tuna A B ( Martinez, Kutzechbauch, Loas, Ent-III v giftung und Deponie von toxiEchen Produktem und Abprodukten,Akademieverlfig Berlin 1979; Buttner, Giftkunde, Leipzig 1971,Gmelin, Chemie Syet. Wr. 16 Pnoaphor /
HeupcTaTKam hx hbjihiotch βηοοκοθ 3θγρη3Ηθηηθ oKpy&aioiueH cpe-h h3hoc HacTefí ycTaHOBKH π on MexamraecKUM βο3λθηοτβηθμ. íanee ηθβθοτηο χημηηθοκοθ ynaneHne otxoaob nyTeM ορηθητηροβθη—ΗΟΓΟ paCTBOpOHEH ( Gmelin,' Chemie Syet, Nr, ió, Phcephor /.HenocTaTKaMH θτογο MeTona ηβληιοτοη B03HHKaionaH βηοοκηη B3pu-BoonacHOCTB, H3H0C ηθοτθη ycTaHOBKH h OTpaBJíeHne OKpysiaioiueHcpenu, TaKHM oópa3OM xpaHeHiie khcjihx pacTBopoB ηθβο3μοηηο. 245745 -3-
UeJIL· Ε3θΰρθΤ6ΗΕΗ
IiejiL ΗβοόρβτβΗΗΗ 3aKJooHaeTCH b nepepaóoTKe hbobethx otxoaob, 0típa30BaBnniXCH npH ΠρΟΜΗΠΜβΗΗΟΜ Ε3ΓΟΤΟΒΛΘΗΕΕ ΘΛΘΚΤρΟΗΗΟ-ΠΟΛγ- ΠρΟΒΟΑΗΗΚΟΒΗΧ 3ΛΘΜΘΗΤΟΒ, Β OCOÓeHHOCTE TaKEX, ΚΟΤΟρΗθ OÓpa3y- ΚΤΟΗ ΠρΗ 3ΠΗΤβΚ0Β3ΛΒΗ0Μ ΗβρθΙζΒΒΘΗΕΒ Ε3 Γβ3ΟΒΟΒ &a3H, ΠρΕ ΠΟ-
jrapoBaHHK h/ejih ρβοπελεββηεε nojiyirpoBOjxHHKOBHx MaTepuajioB
Tana Αττ -0„ , β οποοοόΗΗθ κ coaAHpoBaHHK) npoíyKTH hjiií oóo-Hj v rameHHoe βτορεηηοθ ctrpte, ne 3θγρβ3Ηηη OKpyacaiomyio cpeny ra3o-0Ópa3HHM2, ΤΒθρίξΗΜΗ ΕΛΕ XHBKHME BJtaME.
IfejioaeHHe cy%H00TH ε300ρθτθηεη B OCHOBy Ε300ρθΤΘΗΕΗ ΠΟΛΟΚΘΗβ 3a£ana npa IIOMOIUH ΧΗΜΙΠΘΟΚΟΗoópaóoTKE nepeBecTH otxojch, BO3HHKaiMUne npn προμηπμθηηομ H3-ΓΟΤΟΒΠΘΗΕΕ 3JieKTpOHHO-nOJiynpOBOňHHKOBHX ΘΛΘΜΘΗΤΟΒ, B CTadlUIL-Hyn $opmy e nyTeM oóorameHHH αοβθοτε ro γοτοβηοοτη βτορεπηογοCHPBH. /
CoiviacHO Η3θόρθΤθΗΗΐο 3ajiana pemaeTCH τθμ, eto τβθρληθ otxojpj,βο3ηεκθχκιεθ b npoueccax πολβροβκε e pacnroiHBaHHa, pacTBopmTB ΟΜΘΟΕ E3 aSOTHOflí E COJIflHOfi KHCJIOTH, a paCTBOp COemíHHKT cnpOMHBOHHOŽ BOflOfi H3 pa3HHX ΕβΟΤθβ yCTaHOBKH, ETOÓH nOJIHOCTBKOKcnHHpoBaTt BHrpejtaeHTH.-JlotíaBHeHHeM mejioneií h KoaryjiHTopoBB HaCHmeHHOft OCHOBHOfi 30ΗΘ OCaa^atOT H OTfleJIHMT ΟΟθΛΗΗΘΗΗΗ$oc$>opa H ΜΗΠΙΒΗΚΘ. Β ΠξθΛΟΗΗΗβ paCTBOp, COMaCIíď"Η3Ο0ρθΤθΗΗΚ), HOÓaBJIÍHOT KHCJIOTy, H TaKEM OÓpa3OM BOCCTaHaBOTBaiOT CJiaÓO ΚΗΟΛΚΘ 3ΗΒΗθΗΗΗ pH, ΠΡΕΕΘΜ ΟΟΘΛΘΙΟΤ ΟΟΘίΗΗΘΗΕΗ ΓΘΛΠΕΗ, ΚΟΤΟρΗΘ 3aTeM OTflejIHfOTCH.UpOHeCCH ΠρΟΜΗΒΚΕ Β ΟΚΗΟΛΘΗΗΗ COrJiaCHO Η3Ο0ρθΤΘΗΗΚ) ΠρΟΒΟβΗΤβ aTMOc$epe eamaTHoro raea e BO3HEKarauEe πρΕ ηβ3ββηηηχ npo-neccax βλοβητηθ ra3H norjiomaroTCB 3a οεθτ oópaTHOH προμηβκε enponycKa nepee pacTBop γηποχλορητθ ηητρηη. 245745 ΟτΧΟΛΗ, B03HHKaiOmHe Β CHCT6M6 OTXOAfflUHX Γ&30Β B yCTaHOBKHXjyw anuTaKcnajitHoro HapamHBaHHH H3 ra3OBoft $a3u, a Taicate cmoceΚΟΜΠΟΗΘΗΤΟΒ GaAe, GaP, GaAeIrX, Ρχ, GaCl^, GaN, AegO3, PgO5,
Ae, P coejcHHjroTCH c BOfloft b aTMOC$epe a30Ta. Βηπθληιοπιηθοη ra-3H, conepatamne μμπβηκ η φοοφορ, βμθοτθ c β3οτηοτημ γθ3ομ-ηο-ΟΗΤΘΛΘΜ ΠρΟΒΟίζΗΤ ΗΘΡΘ3 H3B0CTHyK) CHCTeMy OHHCTKH OTXOflWIXra30B, cojtepjKaiHTH) npoMHBKy Bojjofi no npoTHBOTOHHOMy npHHHnny, H ra300HHCTKy c pacTBopoM runoxjiopufla HaTpuH. OópaóoTaHHHfiTaKHM oópaeoM u HanpaBUHeMHfi b B03flymHo-TexHHHecKyio yoraHOB—
Ky OTXOjmmaS ra3 ηθ conepoT Pomine HesonycTHMHX KOHpeHTpa-HH0 HBOBHTHX ΒΘΠΙΘΟΤΒ. ΟρΟΙΠΘΘΜΗΘ Πρ0Η3Β0Π0ΤΒΘΗΗ0Η ΒΟβΟΗ Η3COÓCTBeHHOÍÍ IÍHpKyjUmHOHHOS ΟΗΟΤΘΜΗ HaCTH yCTaHOBKH OHHHaiOTOflΜΘΧΗΗΗΗΘΟΚΗ, 3ΒΤΘΜ npOMtlBaíOTCH HHCTOÍÍ ΒΟβΟΗ H cyiIiaTCH Ha B03ny-ΧΘ. B03HHKaiOIHHH ΙφΗ ΠρΟΜΗΒΚΘ HKOBHTHH BOflHH® paCTBOp C ÓOJIB-ikoíí nojiefí oca^Ka οοθπηηηθτοη c pacTBopoM, β κοτοροΜ pacTsopeHti0čpa30BaBiiiHecH nocjie npopeccoB pacmuiHBaHHH h ποληροββηηηOCTHTKH, ΟΚΗΟΛΗΘΤΟΗ ΟΚΗΟΛΗΤΘΛΘΜ, TaKHM KaK, ΗΒΠρΗΜβρ, HgOgTHK HTO ΜΗΙΠΒΗΚ H φθθφθρ Β HX ΟΟΘΠΗΗΘΗΗΗΧ ΠθρθΒΟΛΗΤΟΗ Β ΗΒΗ—ΒΗΟΙΠΗΘ ΟΤΘΠΘΗΗ ΒΒΗΘΗΤΗΟΟΤΗ. 3ΤΟΤ BHXOAHOg paCTBOp ΗΜΘ6Τ 3Ha-ΗΘΗΗΘ ρΗ ΠΡΗ0ΛΗ3ΗΤΘΛΒΗΟ 1-3. ΠρΗ flOÓaBJíeHHH paCTBOpa aMMH-aKa η πρκ noMoruH οοοτβθτοτβυππθγο οοβπητθλη, HanpHMep MHKCTy- PH MaTHHH, B OCHOBHO0 OÓJiaCTH HpOHCXO^HT ΠΟΗΤΗ ΠΟΛΗΟΘ BUnaHH- \ ηηθ Bcex conep&aiHHX mhuibhk η φοοφορ οοοτθβηηχ HacTen.ΠρΗΜΘΗΘΗΗΒΗ Β ΚΗΗΘΟΤΒΘ OCaflHTGJIH MHKCTypa ΜΒΓΗΘ3ΗΗ COCTOHTH3 BO&HHHCTOTO paCTBOpa XJIOPHUS MaTHHH, XJIOpHÍB aMMOHHH HaMMHaKa.
BanaflaiOIUHfi OCa^OK ΟΤΚθΛΗΘΤΟΗ ΠθΚΒΗΤΗρΟΒΒΗΗΘΜ, ΟΘΠΗΜΘΗΤΗρΟΒΗ—ΗΗΘΜ, φΠΚΒΤρπρΟΒΒΗΗΘΜ HHH ΠΘΗΤρίίφγΤΗρΟΒΒΗΗΘΜ. Oca®HaiOmHH pac-ΤΒΟΡ ΠΡΗ0ΒΒΛΘΗΗΘΜ KHCHOTH βΟΒΟΠΗΤ KO CJiaóOKHCJIOrO COCTOHHHH, 245745 5« πρηηθμ BHnajtaeT ocanoK rajunui b βηλθ nwoKcnna h ero mohhoOTjtejiHTB ot pacTBopa BHnieHa3BaHHHMH μθτολθμη.
TaK xax mhuilhk x φοοφορ noane οκηολθηηη h ocaameHHH βμθκζγοηΒ flOCTaTOHHO' CTaÓHHBHHX ΟΟΘΛϋΗβΗΙΙΗΧ, ΚΟΜΠρΗΜΗρΟΒβΗΗθ ΗΛΟΒΗ-ΤΟΓΟ τβθρλογο BemecTBa προη3βολητοη nyreM HcnapeHna βολή πρκHarpeBe. Β cyxoft φορΜβ bo3mojkho HeonacHoe χροηθηηθ ηλοβητηχΟΤΧΟΛΟΒ. PaCTBOP, ΠΟΟΛβ ΠρΟΛθΟΟΟΒ ΟΟβΗΛβΗΗΗ ΘΛΘ ΟΟΛθρ«9®ΗίίΟΛΘΛΗ MHUILHKa, $OC$Opa Η ΓΘΛΛΗΗ, Η0Π0ΛΒ3γβΤ0Η Β ΠΗρί^ΛΗΛΗΟΗ-HOfi ΟΗΟΤΘΜΘ ΛΟ ΟΛβΛγΚΛΘΗ OHHCTKH HaCTeíí ycTaHOBKH. TaKHM0Ópa30M ΗΛΟΒΗΤΗΘ ΒΘΛΘΟΤΒΗ ΗΘ ΟΟΠρΗΚΗΟΗΙΟΤΟΗ C ΟΚργΗΒΚΠΙθβ Cp0-ΛΟΗ. ΒτορκΗΗΟβ cHpte - rajunift, B03HHKaxmee β βηλθ ΓΗΛΡΟΟΚΗΟΗraJUIHH, ΜΟΚΘΤ ÓHTB ΠρθΛΟΟΤΒΒΗΘΗΟ Β ρΗΟΠΟρΗΜΘΗΗΘ COOTBeTCTBy—ΐσίΛθίί ΠρΟΜΗΠΜΘΗΗΟΟΤΗ. ΠρΗΜθΡ OCymeCTBJíeHHH Η300ΡΘΤΘΗΗΗ Ηηηθ H3oópeTeHHe óojiee ποΛροόΗΟ ποηοηηθτοη Ha npHMepe eroocymecTBneHHH h πρκ πομολη pHcyHKa.
HacTH ycTaHOBKH, eaKynopeHHHe πρκ npoixecce θπητβκοηη H3 raeo-BOfi ΟΡΘΛΗ Tma A^By ΟΜΘΟΗΜΗ n0p0DIK00Ópa3HHX, ΘΜΟρφΗΗΧ H KPHC-TazmircecKHX τβθρληχ βθλθοτβ, οοΛθρ»θΛΗΧ raJuiaS, μεππβηκ, φοο-φορ, a30T, ΧΛΟΡ Η ΒΟΛΟΡΟΛ» BHyTpH ΟΗΗΟΤΗΤΘΛΒΗΟβ ΚβΜθρΗ 21 ΠρΗ-Φηθηιχοβηβθβτοη κ προλϊβοηηημ KJianaHaM 37 πο 40. ΗητθηοηβηημΠρΟΛΥΒΟΗΗβΜ a3OTOM ΛΟ ΒΗΤΘΟΗΘΗΗΗ Β03ΛΥΧβ, Β03ΛΥΧ ynaJlneTCHΗ3 ΟΉΗΟΤΗΤΘΛΒΗΟ8 ΚΒΜθρΗ 21. 3aTeM ΠΟΟρθΛΟΤΒΟΜ Haooca 22 nepesOTKPHBHIHHCH ÍOianaH 10 Η ΠΟΟΗΘΛΟΒΘΤΘΛΒΗΟ ΟΤΚρΗΒΘΜΛξΗΘΟΗ ΚΛΘΠΘΗΗ16 πο 19 ποοτθπθηηο ποληθτοη βολθ Η3 ixHpKyjumHH Η3 peaepByapa24 ho οβθηθη boa& nepes πρηΦζιθηποββηηηθ ήηοτη ycTaHOBKH. B03-ΗΗΚΗΚΛΗΗ πρπ STOH ΓΘ3 ΠρΗ ρΒ3ρΗ3ΚΘΗΗΗ MHHHMyM B 10 MM ΒΟΛ.ΟΤ.ocBOóosmaeTCH ot apcHHa η $oc$HHa πρπ πομολη οηηοτπτθλβηο®chctgmh oTpaóoTaBinero ra3a, cocTonmefi H3 ycTaHOBKH óópaTHoít 2*5745 f? -6- ΠρΟΜΗΒΚΗ 25 C BOflOfi Η ΓΒ300ΗΗ0ΤΜΤβΛΗ 26, ΗΗΠΟΛΗΘΗΗΟΓΟ paC-ΤΒοροΜ ranoxJiopHTa HaTpua, η HanpaBJweTCH β βθητηληρηοηηυιοycTaHOBKy 20. Κοητρολβ hhobhthx ra30B β οτχοληπιθμ BO3^yxeιτρ0Η3Β0ΒΗΤ0Η npn πομοπιη TpyóoK Jperepa jyia apcHHa h $oc$HHa.IlocJie κρβτκοβρθμθηηογο nponycKa προμηβοήηο0 jkhukocth KJianaHH16 «o 19 3aicpnBaiOT, πολβολκ k npojyBHHM oanaHaM 37 jto 40yflaJL®OTCH h οτλοχθηηη b πρηΦζιβηηοββηηηχ nacTax ycTaHOBKH npnnoMomn HHCTpyMSHTa, KaK, HanpuMep, cBep^a, n nocjresyioinero no-jiocKaHHH BOňoň, KOTopaa πολβοβητοη napě 3 raÓKHfi umám? npn ot-ΚΡΗΤΟΜ ΒΘΗΤΗΚβ 12, ΒΒΟΛΗΤ BOBHyTpt ΟΗΗΟΤΗΤΘΛΒΗΟβ ΚΘΜβρΗ.
HocJie HHTeHCHBHoro npoflyBaHHH a3OTOM OHHCTETejiBHaH KaMepa ot-KpuBaeTCH h npn^iaimoBaHHHe, Tenept οήηπιθηηηθ ήηοτη ycTaHOBKHΠΟΟΛβ npOMEBaHHH CBeJKefi BOKOfl ynaJUBOTCfl H3 οπηοτητθλβηοη κημθ-pu 21, npocyinHBaioTCH Ha BO3,nyxe, nocjie nero οπητβ γοτοβη k hc-nojn>30BaHino b nocaenyioíma nponeccax θπητθκοηη.
Coflepacamyio ocajpK jkhukoctb, nojiyneHnyio noojie ohhctkh, Teneptcoe^MHHioT co CMecBio H3 3 nacTefi a30TH0ň κηολοτη η I nacTLiocoJXHHofi khcjioth, b κοτοροΑ pacTBopeHH ΟΟΤΒΒΙϋΗΘΟΗ ΠΟΟΛβ nponec-COB pacnOHBaHHH Η ΠΟΛίφΟΒβΗΗΗ ΤΒβρΛΗθ BemeCTBa, ΠΟΟΛβ ΠβΓΟnpHÓaBJMioT I jo '3 λ πβρβκποπ Bonopona. ΟκηοΛβΗΗβπ κηλκοοτβ npn noMomn Hacoca 23 nocJie otkphthh oa-naHOB 15 h 9 noaaeTCH b nepBHfi pe3epgyap jyia κηολοτη 27. Te-nepi> ΛοόΗΒΛβΗΗβΜ aMMuaxa ηλη cpenoTBa jma ocasmeHHH, KaK mhkc-TypH ΜβΓΗΘ3ΗΗ, yCTaHaBJIHBaiOT 3HaHeHne pH OT 8 - 10. Βθ3ΗΗΚΘΚ(-mne πρκ 3T0M ra3H BcacuBajoTCH πβρβ3 KnanaH 7 b BeHTiytHnHOHHytoycTaHOBKy 20. Πο ποτβπβΗΗκ οτ 5 λο 8 nacoB προβολητοη rpytíoepa3,nejieHiie. Ποοτθπθηηο nocJieBOBaTejiBHo πβρβ3 οτκρπτΗβ KnanaHH 3, 2, I η 6οοβθτλθηηηη pacTBop ΛθκβΗΤΗργβτοΗ BO BTOpofl pe3epByap c ΚΗΟΛΟ-Tofi 28. Ilpu floóaBJíeHHH οοληηοΑ κηολοτη ycTaHaBJíHBaioT 3HaneHHe 245745 7- pH 6, πρκ κοτοροΜ nponcxcwT BTopoe ocaroeHíie, npemyinecT-ΒθΗΗΟ Qa/oH/^. Πθ ΜΟΤΘΗΘΗΗΗ ΠρΗ0ΛΗ3ΗΤΘΛΒΗΟ AByX HaCOB ΟΟΒβΤΛΘΗΗΗΗ paCTBOpποοτθπθηηο aeKaHTHpyeTCH nepe3 KjranaHH 6, 5, 4 a 10 β peeep-syap 24. Βηπθβπιηθ b nepBOM κ BŤopoM pesepnyapax c khcjiotoS27 h 28 nmaM00dpa3HHe ocajura nepe3 KJianaHH 14 h 13 οληβθκτοηb βοβοηοπβρητθλβηη0 cocyn 29 (h3 HepacaBeiomefi cTajin mra 3Ma-JIHpOBaHHOÍi JIHCTOBOÍÍ CTaJIH) Η ΚΟΜΠρΗΜΙφγΚΤΟΗ ΠΟΑ BHTH3KHHM ΙΠΚβ-$OM Ha ΘΑΘΚΤρΟΠΛΗΤΚΘ 30 ΠγΤΘΜ ΗΟΠΒρθΗΗΗ BOflH. 0Ópa3OBaBHIHeCHTHKHM 0Ópa30M OTXO£H Πρ0Η3Β0Α0ΤΒΘ 3ΗΠ0ΛΗΗΗ)Τ0Η B ΠρΗΓΟΑΗΗΚ RUSIxpaHeHHH peeepByap h crniaAnpyioTCH mra nocTynaioT b npon3BOAcr-bo b KanecTBe βτορηηηογο chpbh. 245745 -θ- $OPMyJia Η300ΡΘΤΘΗΗΗ I.IIoflroTOBKa nocpeflCTBOM XHMiraecKofi oópaóoTKH κ noBTopHOMy hc-Π0ΛΒ30ΒΘΗΗΚ) ΒΟ3ΗΗΚΘΚΗΙΙΗΧ ΠρΗ Πρ01<ϊ3Β0Λ0ΤΒΘ nOJiynpOBOflHHKOBHXΠΡΗΰΟρΟΒ OTXOflOB, Β HaCTHOCTH ΠρΗ ΘΠΗΤβΚΟΗΘΛΒΗΟΜ HapaiUHBaHHHΗ3 ra3OBoS $a3K η/ηλη noJurpoBaHHH «/mra pacmaHBaHHH nojiynpo-BOflHHKOBHX ΜΘΤβρΗΘΛΟΒ ΤΗΠΘ AjjjBy , ΗΠΗ ΠρθΒρθΙξθΗΗΘ HX B CTa-0ΗΛΒΗΗΘ ΟΜθΟΗ TBepjUJX ΒΘΠΙΘΟΤΒ, ΟΠΟΟΟ0ΗΗΧ Κ ΛΛΗΤΘΛΒΗΟΜγ XpaHG-hhio, OTJiiraaiomaHCH tgm, hto ocaswaiomHecH TBepjpje otxoeh pac-TBOpflJOT B ΟΜΘΟΗ β3ΟΤΗΟ0 H COJIHHOfi KHCJIOT, pac CBOp ΟΟΘ,ξΗΗΗΙΟΤC npOMHBOHHOlí BOflOft H3 ΗΘΟΤθβ yCTaHOBKH, aOÓaiUUBOT CpeflCTBa&JIH ΟΚΗΟΛΘΗΗΗ, 3ΘΤΘΜ B ΚΟΗΒΘΗΤρΗρΟΒΘΗΗΟΗ OGHOBÍIOň 3ΟΗΘ φΗAoóaBJíeHHH aMwmaKa mm cpencTBa jyin ocasmeHHH ocaswaioT h ot-ΛΘληιοτ coejcHHeHHfl MumiHKa h $oc$opa, xnnKan nacTB pacTBopa #o·0ηβλθηηθμ cojihhoS khcjioth λοβολητοη eo 3ηηηθηηη pH 6 h ipn3TOM b Bnne runpoKcnna ocasmaeTCH rajuinň, ηβοβητηθ ra3H ste,0ópa30BaBinHecH b npejumyumx paóonHX nponeccax, oninnaioT otípaTrHOfl IipOMHBKOfl BOflOfi Η ΠρΟΙψΟΚΘΗΗΘΜ Ήθρθ3 paCTBOp ΓΗΠΟΧΛΟρΗΤΘHaTpuH, a Taras τθμ, hto patíoHHe onepanHH προμηβκη nacTefíycTaHOBKH η okhcjiohhh προτθΚθίοτ b aTMOC$epe 3θπιητηογο ra3a. 2. ΜΘΤΟΛ nOflrOTQBKH K riOBTOpHOMy HCn0JH>30BaHHH) ΟΤΧΟβΟΒ COWiaCHOnyHKTy I, oTjnraaronmftCH τθμ, hto b κθηθοτβθ 3amHTHoro raea πρκΜΘΗΗΘΤΟΗ a30T. 3. Μθτοβ ποβγοτοβκη οτχολοβ no nyHKTy I, OTjnrearanHftCH τθμ, ήτοKaK cpencTBO οκη&πθηηη πρημθηηθτοη 30^hhS pacTBop HgOg. 4. Μθτολ πολγοτοβκη otxobob no nyHKTy I; OTJiircaioinHHCH τθμ, htoκθκ cpe^cTBO jwh ocaameHHH πρημθηηθτοη MHKCTypa μθγηθ3ηη, co-CToamaH H3 BOflHHHCToro pacTBopa ημμηβκβ, xjiopnua μθγηθ3Ηη hXJIOpmia aMMOHHH. 245745 -9- 5.Μθτολ noflroTOBKH OTXOflOB no nymíTy I, OTJimaKHUHHGH τθμ, η;τοKaK npOMHBOHHan BOfla ftZLH HaCTeÉ yCTaHOBKH HCnOJIB3yeTCH OTXO-Sfluafl nocjie ocasmeHUH rimpooKHCH rajuira Boj^a. 245745 -10-
AHHOTaiíHH Μ300ρθτθηηθ KacaeTca πολγοτοβκη 0dpa30BaBmHxcH ποολθ H3ro-TOBJISHHH 3JieKTpOHHO-nOJrynpOBOAHHKOBHX ΘΛΘΜΘΗΤΟΒ HflOBHTHXOTXOflOB, B OCOtíeHHOOTH 0dpa30BaBUIKXCH IipH amiTaKCHaJIBHOMHapaiUHBaHHH H3 ra3OBOÉ $a3n h/hjih nojiupoBaHUH h/hjih pacnn-JIHBaHHH nOJiynpOBO^HHKOBHX ΜΒΤθρΗΗΛΟΒ THna ΑΙΙΙΰν K BTO-PHHHOMy Η0Π0Ο30ΒΘΗΗΚ) ΠΟΟρθ^ΟΤΒΟΜ ΧΗΜΗΗΘΟΚΟβ OÓpaÓOTKH, HJIHnojiy^eHHH cTaóanBHHX cwieceS H3 τβθρληχ BemecTB, πρηγοληηχκ jyiHTejibHOMy xpaHeHmo, hjih odoramemioro βτορηηηογο chpbh.CorJiaCHO Η30ΰρθΤΘΗΗΚ) ΟΤΧΟβΗ paCTBOpffiOTCH B ΟΜθΟΗ H3 KHCJIOTHO OKHCJlfWTCH B ΒΟ£θ H OCaWJOTCH B ΚΟΗΙΙβΗΤρΗρΟΒΗΗΗΟΗ OCHOB-HOfi 30ΗΘ B ΒΚΛθ ΟΟΘβΗΗΘΗΗΗ $oc$opa H MHfflBHKa,' OdpaTHOÍi UHp-KyAHHHeii jkhukoh nacTH cMecH b cjiado KHCJiyio cpefly ocasjíaioTCHΟΟθΛΗΗΘΗΗΗ raJUIHH. 0dpa3OBaBuiHeca b npoiíecce ra3H ohwiotch bojzoK h pacTBopoMmnoxJiopHTa, nprraeM &jih pacTBopeHHH hjih bphhhthh otxoaobynoTpedJiHioTCfl pacTBopa, conepatamne ηεοβητηθ BemecTBa. PadonneonepaiiHH πρηηητηθ οτχολοβ b βοηθ z οκηολθηηθ προβολητοη b aT-Moc$epe 3amnTHoro ra3a. 245745
Claims (4)
1. Způsob chemického zpracováni odpadů vznikajících při výrobě polovodičových součástí)zejména při epitaxním narůstání z plynné fáze a/nebo leštění a/nebo řezání polovodičovýchmateriálů typu a jejich konverze na stabilní směsi pevných látek, přizpůsobených k dlouhodobému skladování, vyznačený tím, že se pevné odpady rozpouští ve směsi kyselinysolné a dusičné, získaný roztok se mísí s proplachovací vodou z jednotlivých částí zaří-zení, potom se k němu přidávají oxidační látky, potom se v základní koncentrační zóněza přidání amoniaku nebo jiného srážecího činidla vylučují a oddělí sloučeniny arzenua fosforu, zbylý tekutý podíl se přidáním kyseliny solné upraví na hodnotu pH 6, přičemžse ve formě hydroxidu vysráží galium a jedovaté plyny vytvářející se během předcházejícíchpracovních stupňů se zpětně vymývají vodou a roztokem chlornanu sodného, přičemž vymývániatmosféře· 1, vyznačený tím, že se jako ochranného plynu používá dusíku. 1, vyznačený tím, že se jako oxidační látky používá 30% roztoku 1, vyznačený tím, že se jako srážecího prostředku používá směsi skládající se z vodného roztoku amoniaku, chloridu hořečnatého a chloridu amonného.
5. Způsob podle bodu 1, vyznačený tím, že se jako promývacl vody z části zařízení výuží·vá odpadní vody po usazování hydroxidu galia. probíhá v ochranné plynné
2. Způsob podle bodu
3. Způsob podle bodu H2°2·
4. Způsob podle bodu Uznáno vynálezem na základě výsledků expertizy, provedené Úřadem pro vynálezectvía patentnictví, Berlín, DD. 1 výkres J» Λ 4
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD81235308A DD210809A3 (de) | 1981-12-02 | 1981-12-02 | Aufbereitung von bei der herstellung elektronischer halbleiterbauelemente anfallenden abprodukten |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS708682A1 CS708682A1 (en) | 1985-06-13 |
| CS245745B1 true CS245745B1 (en) | 1986-10-16 |
Family
ID=5535057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS827086A CS245745B1 (en) | 1981-12-02 | 1982-10-05 | Method of chemical processing of wastes produced in production of semiconductor elements |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| BG (1) | BG43909A1 (cs) |
| CS (1) | CS245745B1 (cs) |
| DD (1) | DD210809A3 (cs) |
| RO (1) | RO84411B (cs) |
| SU (1) | SU1308653A1 (cs) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5972073A (en) * | 1997-10-02 | 1999-10-26 | The University Of Dayton | Recovery of the components of group III-V material aqueous wastes |
-
1981
- 1981-12-02 DD DD81235308A patent/DD210809A3/de not_active IP Right Cessation
-
1982
- 1982-09-29 BG BG5812482A patent/BG43909A1/xx unknown
- 1982-09-29 SU SU827772645A patent/SU1308653A1/ru active
- 1982-10-05 CS CS827086A patent/CS245745B1/cs unknown
- 1982-11-30 RO RO109183A patent/RO84411B/ro unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RO84411B (ro) | 1984-08-30 |
| DD210809A3 (de) | 1984-06-20 |
| SU1308653A1 (ru) | 1987-05-07 |
| BG43909A1 (en) | 1988-09-15 |
| CS708682A1 (en) | 1985-06-13 |
| RO84411A (ro) | 1984-06-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102083557B (zh) | 土壤和/或地下水的净化剂以及净化方法 | |
| JP5817718B2 (ja) | 過硫酸塩および銀錯体を含む化学物質分解用処理剤及びそれを用いた化学物質の分解方法 | |
| KR950034561A (ko) | 반도체 표면 처리제 및 처리 방법 | |
| JP4382556B2 (ja) | シアン含有廃水の処理方法 | |
| CS245745B1 (en) | Method of chemical processing of wastes produced in production of semiconductor elements | |
| JP4721320B2 (ja) | 有機汚染物質の分解方法 | |
| ATE6055T1 (de) | Verfahren zur herstellung von mehrspurennaehrstoffduengemitteln. | |
| US5154836A (en) | Process for treating contaminants in aqueous-based materials | |
| Stevens et al. | Oxidation of cysteine, cysteine methyl ester, and penicillamine by copper (II)-2, 9-dimethyl-1, 10-phenanthroline complexes | |
| DK0686166T3 (da) | Fremgangsmåde og polykondenseringsanlæg til oprensning af forurenet ethylenglycol | |
| KR20180118759A (ko) | 시아나이드 함유 폐수용 처리제 및 그것을 사용하는 시아나이드 함유 폐수의 처리방법 | |
| Basu et al. | Kinetic studies of glutamic acid oxidation by hexavalent chromium in presence of surfactants | |
| JP2021053620A (ja) | シアン含有廃水の処理方法 | |
| Meloon et al. | Kinetics of reaction of anions with methemerythrin derivatives | |
| MX172335B (es) | Nuevo procedimiento de obtencion de manganato potasico (k2mn04), para la fabricacion industrial de permanganato potasico (kmn04), a partir de minerales naturales o compuestos de bioxido de manganeso | |
| US6841188B1 (en) | Method of developing latent fingerprints | |
| JP2001300553A (ja) | シアン含有廃水の処理方法 | |
| JP2005313112A (ja) | シアン含有廃水の処理方法 | |
| CN1100714A (zh) | 亚硝胺的抑制 | |
| Meshulam et al. | Mechanism of oxidation of (meso-5, 7, 7, 12, 14, 14-hexamethyl-1, 4, 8, 11-tetraazacyclotetradecane) nickel (II) by hydroperoxyl free radicals in aqueous solutions. A pulse radiolysis study | |
| Mallick et al. | Substitution of aqua ligands from cis-diaqua-bis (bipyridyl) ruthenium (II) by 1, 10-phenanthroline in aqueous medium | |
| ES8406383A1 (es) | Un metodo para preparar un producto quimico depurador del agua | |
| JPS6018475B2 (ja) | シアン含有メッキ液排水の処理方法 | |
| JPH05345615A (ja) | 硝酸第一鉄の製造方法 | |
| Carr | Ferrate ion: potential uses in advanced wastewater treatment |