CS245745B1 - Method of chemical processing of wastes produced in production of semiconductor elements - Google Patents

Method of chemical processing of wastes produced in production of semiconductor elements Download PDF

Info

Publication number
CS245745B1
CS245745B1 CS827086A CS708682A CS245745B1 CS 245745 B1 CS245745 B1 CS 245745B1 CS 827086 A CS827086 A CS 827086A CS 708682 A CS708682 A CS 708682A CS 245745 B1 CS245745 B1 CS 245745B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
water
point
solution
τλθηηηη
ammonia
Prior art date
Application number
CS827086A
Other languages
Czech (cs)
Other versions
CS708682A1 (en
Inventor
Bernd Kloth
Klaus Lehmann
Peter Purpa
Dietmar Lippitz
Peter Heidborn
Original Assignee
Bernd Kloth
Klaus Lehmann
Peter Purpa
Dietmar Lippitz
Peter Heidborn
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Bernd Kloth, Klaus Lehmann, Peter Purpa, Dietmar Lippitz, Peter Heidborn filed Critical Bernd Kloth
Publication of CS708682A1 publication Critical patent/CS708682A1/en
Publication of CS245745B1 publication Critical patent/CS245745B1/en

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P10/00Technologies related to metal processing
    • Y02P10/20Recycling

Landscapes

  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
  • Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)

Description

2- OÓJiacTL· irpmeHeHHH η3ο6ρθτθηηη Μ3θόρθΤθΗΗβ KacaeTCH NieTona jvlh πολγοτοβκη k noBTopHOMy ηοπολβ-30BaHHK) nopOIIlKOOÓpa3HKX, KpHCTaJMHqeCKHX Η «ΜΟρφΗΗΧ, arpecCHB-HHX, ropKHHX h/hJIH HflOBHTHX OTXOflOB Η ΉΧ KOMÓHHaUHÉ, KOTOpuftHHXOflHT ΠρΗΜθΗΘΗΗΘ ΠρΗ ΠρΟΜΗΙΙϋΙΘΗΗΟΜ np0H3B0HCTBe nOJiyiipOBOfl-HHKOBHX npHÓOpOB, B HaCTHOCTH ΠρΗ 3ΠΗΤΒΚ0Η3ΛΒΗ0Μ HapaiUHBaHHHH3 ra3OBOH $a3H h/hJIH ΠΟΛΗΡΟΒΚΘ η/ηΛΗ pacnífflHBaHHH no-zrynpo-bojuihkobhx MaTepnajioB Tuna Λι 11 B v· 2- OÓJiacTL irpmeHeHHH η3ο6ρθτθηηη Μ3θόρθΤθΗΗβ KacaeTCH NieTona jvlh πολγοτοβκη to noBTopHOMy ηοπολβ-30BaHHK) nopOIIlKOOÓpa3HKX, KpHCTaJMHqeCKHX Η «ΜΟρφΗΗΧ, arpecCHB-HHX, ropKHHX h / hJIH HflOBHTHX OTXOflOB Η ΉΧ KOMÓHHaUHÉ, KOTOpuftHHXOflHT ΠρΗΜθΗΘΗΗΘ ΠρΗ ΠρΟΜΗΙΙϋΙΘΗΗΟΜ np0H3B0HCTBe nOJiyiipOBOfl-HHKOBHX npHÓOpOB B HaCTHOCTH ΠρΗ 3ΠΗΤΒΚ0Η3ΛΒΗ0Μ HapaiUHBaHHHH3 ra3OBOH $ a3H h / hJIH ΠΟΛΗΡΟΒΚΘ η / ηΛΗ pacnífflHBaHHH no-zrynpo-bojuihkobhx MaTepnajioB Tuna Λι 11 B v

XapaKTepncTHKa η3βθοτηηχ τθχηηηθοκηχ peuieHHň Η3βθοτηη μθχθηηηθθκηθ μθτολη πο#γοτοβκη k noBTopnorzy ηοπολβθο-XapaKTepncTHKa η3βθοτηηχ τθχηηηθοκηχθοκηχο peuieHHň Η3βθοτηη μθχθηηηθθκηθ μθτολη πο # γοτοβκη k noBTopnorzy ηοπολβθο-

BaHKO OTXOflOB, BO3HHKai0!HHX ΠρΗ ΠρΟΒΘΛΘΗΗΗ SnHTaKCHaJIBHHX ΠρΟ-BaHKO OTXOflOB, BO3HHKai0! HHX ΠρΗ ΠρΟΒΘΛΘΗΗΗ

neccoB jyra HapaiUHBaHHH μοηοκρηοτθπληηθοκηχ nonynpoBOHHHKOBHXneccoB jyra HapaiUHBaHHH μοηοκρηοτθπληηθοκηχ nonynpoBOHHHKOBHX

MaTepnanOB Tuna A B ( Martinez, Kutzechbauch, Loas, Ent-III v giftung und Deponie von toxiEchen Produktem und Abprodukten,Akademieverlfig Berlin 1979; Buttner, Giftkunde, Leipzig 1971,Gmelin, Chemie Syet. Wr. 16 Pnoaphor /MaTepnanOB Tuna A B (Martinez, Kutzechbauch, Loas, Ent-III in Giftung and Deponie von toxiEchen Product and Abprodukten, Akademieverlfig Berlin 1979; Buttner, Giftkunde, Leipzig 1971, Gmelin, Chemie Syet. Wr. 16 Pnoaphor /

HeupcTaTKam hx hbjihiotch βηοοκοθ 3θγρη3Ηθηηθ oKpy&aioiueH cpe-h h3hoc HacTefí ycTaHOBKH π on MexamraecKUM βο3λθηοτβηθμ. íanee ηθβθοτηο χημηηθοκοθ ynaneHne otxoaob nyTeM ορηθητηροβθη—ΗΟΓΟ paCTBOpOHEH ( Gmelin,' Chemie Syet, Nr, ió, Phcephor /.HenocTaTKaMH θτογο MeTona ηβληιοτοη B03HHKaionaH βηοοκηη B3pu-BoonacHOCTB, H3H0C ηθοτθη ycTaHOBKH h OTpaBJíeHne OKpysiaioiueHcpenu, TaKHM oópa3OM xpaHeHiie khcjihx pacTBopoB ηθβο3μοηηο. 245745 -3-HeupcTaTKam hx hbjihiotch βηοοκοθ 3θγρη3Ηθηηθ oKpy & aioiueH cpe-h h3hoc HacTefi ycTaHOBKH π on MexamraecKUM βο3λθηοτβηθμ. Ian ηθβθοτηο χημηηθοκοθ ynaneHne otxoaob rivet ορηθητηροβθη-ΗΟΓΟ paCTBOpOHEH (Gmelin, "Chemistry syetem, NR, IO Phcephor /.HenocTaTKaMH θτογο -methone ηβληιοτοη B03HHKaionaH βηοοκηη B3pu-BoonacHOCTB, H3H0C ηθοτθη ycTaHOBKH h OTpaBJíeHne OKpysiaioiueHcpenu, Takhte oópa3OM xpaHeHiie khcjihx pacTBopoB ηθβο3μοηηο. 245,745 - 3-

UeJIL· Ε3θΰρθΤ6ΗΕΗUeJIL · Ε3θΰρθΤ6ΗΕΗ

IiejiL ΗβοόρβτβΗΗΗ 3aKJooHaeTCH b nepepaóoTKe hbobethx otxoaob, 0típa30BaBnniXCH npH ΠρΟΜΗΠΜβΗΗΟΜ Ε3ΓΟΤΟΒΛΘΗΕΕ ΘΛΘΚΤρΟΗΗΟ-ΠΟΛγ- ΠρΟΒΟΑΗΗΚΟΒΗΧ 3ΛΘΜΘΗΤΟΒ, Β OCOÓeHHOCTE TaKEX, ΚΟΤΟρΗθ OÓpa3y- ΚΤΟΗ ΠρΗ 3ΠΗΤβΚ0Β3ΛΒΗ0Μ ΗβρθΙζΒΒΘΗΕΒ Ε3 Γβ3ΟΒΟΒ &a3H, ΠρΕ ΠΟ-IiejiL ΗβοόρβτβΗΗΗ 3aKJooHaeTCH b nepepaóoTKe hbobethx otxoaob, 0típa30BaBnniXCH NPH ΠρΟΜΗΠΜβΗΗΟΜ Ε3ΓΟΤΟΒΛΘΗΕΕ ΘΛΘΚΤρΟΗΗΟ-ΠΟΛγ- ΠρΟΒΟΑΗΗΚΟΒΗΧ 3ΛΘΜΘΗΤΟΒ, Β OCOÓeHHOCTE TaKEX, ΚΟΤΟρΗθ OÓpa3y- ΚΤΟΗ ΠρΗ 3ΠΗΤβΚ0Β3ΛΒΗ0Μ ΗβρθΙζΒΒΘΗΕΒ Ε3 Γβ3ΟΒΟΒ & 3 H, ΠρΕ ΠΟ-

jrapoBaHHK h/ejih ρβοπελεββηεε nojiyirpoBOjxHHKOBHx MaTepuajioBjrapoBaHHK h / ejih ρβοπελεββηεε nojiyirpoBOjxHHKOBHx MaTepuajioB

Tana Αττ -0„ , β οποοοόΗΗθ κ coaAHpoBaHHK) npoíyKTH hjiií oóo-Hj v rameHHoe βτορεηηοθ ctrpte, ne 3θγρβ3Ηηη OKpyacaiomyio cpeny ra3o-0Ópa3HHM2, ΤΒθρίξΗΜΗ ΕΛΕ XHBKHME BJtaME.Tana Αττ -0 ", β οποοοΗΗΗΗθ κ coaAHpoBaHHK) npoíyKTH hjiií oóo-Hj v rameHHoe βτορεηηο ctrpte, no 3θγρβ3Ηηη OKpyacaiomyio cpeny ra3o-0pa3HHM2, ρθρίξΗΜΗ ΕΛΕ XHBKHME BJtaME.

IfejioaeHHe cy%H00TH ε300ρθτθηεη B OCHOBy Ε300ρθΤΘΗΕΗ ΠΟΛΟΚΘΗβ 3a£ana npa IIOMOIUH ΧΗΜΙΠΘΟΚΟΗoópaóoTKE nepeBecTH otxojch, BO3HHKaiMUne npn προμηπμθηηομ H3-ΓΟΤΟΒΠΘΗΕΕ 3JieKTpOHHO-nOJiynpOBOňHHKOBHX ΘΛΘΜΘΗΤΟΒ, B CTadlUIL-Hyn $opmy e nyTeM oóorameHHH αοβθοτε ro γοτοβηοοτη βτορεπηογοCHPBH. /IfejioaeHHe cy% H00TH ε300ρθτθηεη B OCHOBy Ε300ρθΤΘΗΕΗ ΠΟΛΟΚΘΗβ £ 3a ana NPA IIOMOIUH ΧΗΜΙΠΘΟΚΟΗoópaóoTKE nepeBecTH otxojch, BO3HHKaiMUne npn προμηπμθηηομ H3 ΓΟΤΟΒΠΘΗΕΕ 3JieKTpOHHO nOJiynpOBOňHHKOBHX ΘΛΘΜΘΗΤΟΒ-B-Hyn CTadlUIL $ e opmy rivet oóorameHHH αοβθοτε ro γοτοβηοοτη βτορεπηογοCHPBH. /

CoiviacHO Η3θόρθΤθΗΗΐο 3ajiana pemaeTCH τθμ, eto τβθρληθ otxojpj,βο3ηεκθχκιεθ b npoueccax πολβροβκε e pacnroiHBaHHa, pacTBopmTB ΟΜΘΟΕ E3 aSOTHOflí E COJIflHOfi KHCJIOTH, a paCTBOp COemíHHKT cnpOMHBOHHOŽ BOflOfi H3 pa3HHX ΕβΟΤθβ yCTaHOBKH, ETOÓH nOJIHOCTBKOKcnHHpoBaTt BHrpejtaeHTH.-JlotíaBHeHHeM mejioneií h KoaryjiHTopoBB HaCHmeHHOft OCHOBHOfi 30ΗΘ OCaa^atOT H OTfleJIHMT ΟΟθΛΗΗΘΗΗΗ$oc$>opa H ΜΗΠΙΒΗΚΘ. Β ΠξθΛΟΗΗΗβ paCTBOp, COMaCIíď"Η3Ο0ρθΤθΗΗΚ), HOÓaBJIÍHOT KHCJIOTy, H TaKEM OÓpa3OM BOCCTaHaBOTBaiOT CJiaÓO ΚΗΟΛΚΘ 3ΗΒΗθΗΗΗ pH, ΠΡΕΕΘΜ ΟΟΘΛΘΙΟΤ ΟΟΘίΗΗΘΗΕΗ ΓΘΛΠΕΗ, ΚΟΤΟρΗΘ 3aTeM OTflejIHfOTCH.UpOHeCCH ΠρΟΜΗΒΚΕ Β ΟΚΗΟΛΘΗΗΗ COrJiaCHO Η3Ο0ρθΤΘΗΗΚ) ΠρΟΒΟβΗΤβ aTMOc$epe eamaTHoro raea e BO3HEKarauEe πρΕ ηβ3ββηηηχ npo-neccax βλοβητηθ ra3H norjiomaroTCB 3a οεθτ oópaTHOH προμηβκε enponycKa nepee pacTBop γηποχλορητθ ηητρηη. 245745 ΟτΧΟΛΗ, B03HHKaiOmHe Β CHCT6M6 OTXOAfflUHX Γ&30Β B yCTaHOBKHXjyw anuTaKcnajitHoro HapamHBaHHH H3 ra3OBoft $a3u, a Taicate cmoceΚΟΜΠΟΗΘΗΤΟΒ GaAe, GaP, GaAeIrX, Ρχ, GaCl^, GaN, AegO3, PgO5,CoiviacHO Η3θόρθΤθΗΗΐο 3ajiana pemaeTCH τθμ, eto τβθρληθ otxojpj, βο3ηεκθχκιεθ b npoueccax πολβροβκε e pacnroiHBaHHa, pacTBopmTB ΟΜΘΟΕ E3 aSOTHOflí E COJIflHOfi KHCJIOTH and paCTBOp COemíHHKT cnpOMHBOHHOŽ BOflOfi H3 pa3HHX ΕβΟΤθβ yCTaHOBKH, ETOÓH nOJIHOCTBKOKcnHHpoBaTt BHrpejtaeHTH.-JlotíaBHeHHeM mejioneií h KoaryjiHTopoBB HaCHmeHHOft OCHOBHOfi 30ΗΘ OCaa ^ Atotech H OTfleJIHMT ΟΟθΛΗΗΘΗΗΗ $ oc $> opa H ΜΗΠΙΒΗΚΘ. Β ΠξθΛΟΗΗΗβ paCTBOp, COMaCIíď "Η3Ο0ρθΤθΗΗΚ) HOÓaBJIÍHOT KHCJIOTy H also OÓpa3OM BOCCTaHaBOTBaiOT CJiaÓO ΚΗΟΛΚΘ 3ΗΒΗθΗΗΗ pH ΠΡΕΕΘΜ ΟΟΘΛΘΙΟΤ ΟΟΘίΗΗΘΗΕΗ ΓΘΛΠΕΗ, ΚΟΤΟρΗΘ 3aTeM OTflejIHfOTCH.UpOHeCCH ΠρΟΜΗΒΚΕ Β ΟΚΗΟΛΘΗΗΗ COrJiaCHO Η3Ο0ρθΤΘΗΗΚ) ΠρΟΒΟβΗΤβ aTMOc $ EPE eamaTHoro raea e BO3HEKarauEe πρΕ ηβ3ββηηηχ NPO-neccax βλοβητηθ ra3H norjiomaroTCB 3a οεθτ oópaTHOH προμηβκε enponycKa NEP pacTBop γηποχλορητθ ηητρηη. 245745 ΟτΧΟΛΗ, B03HHKaiOmHe Β CHCT6M6 OTXOAfflUHX Γ & 30Β B yCTaHOBKHXjyw anuTaKcnajitHoro HapamHBaHHH H3 ra3OBoft $ a3u and Taicate cmoceΚΟΜΠΟΗΘΗΤΟΒ GaAe, GaP, GaAeIrX, Ρχ, GaCl ^, GaN, AegO3, PgO5,

Ae, P coejcHHjroTCH c BOfloft b aTMOC$epe a30Ta. Βηπθληιοπιηθοη ra-3H, conepatamne μμπβηκ η φοοφορ, βμθοτθ c β3οτηοτημ γθ3ομ-ηο-ΟΗΤΘΛΘΜ ΠρΟΒΟίζΗΤ ΗΘΡΘ3 H3B0CTHyK) CHCTeMy OHHCTKH OTXOflWIXra30B, cojtepjKaiHTH) npoMHBKy Bojjofi no npoTHBOTOHHOMy npHHHnny, H ra300HHCTKy c pacTBopoM runoxjiopufla HaTpuH. OópaóoTaHHHfiTaKHM oópaeoM u HanpaBUHeMHfi b B03flymHo-TexHHHecKyio yoraHOB—Ae, P coejcHHjroTCH c BOfloft b aTMOC $ epe a30Ta. Βηπθληιοπιηθοη ra-3H, conepatamne μμπβηκ η φοοφορ, βμθοτθ c β3οτηοτημ γθ3ομ-ηο-ΟΗΤΘΛΘΜ ΠρΟΒΟίζΗΤ ΗΘΡΘ3 H3B0CTHyK) CHCTeMy OHHCTKH OTXOflWIXra30B, cojtepjKaiHTH) npoMHBKy Bojjofi well npoTHBOTOHHOMy npHHHnny H ra300HHCTKy c pacTBopoM runoxjiopufla HaTpuH. OopaóoTaHHHfiTaKHM oópaeoM in HanpaBUHeMHfi b B03flymHo-TexHHHecKyio yoraHOB—

Ky OTXOjmmaS ra3 ηθ conepoT Pomine HesonycTHMHX KOHpeHTpa-HH0 HBOBHTHX ΒΘΠΙΘΟΤΒ. ΟρΟΙΠΘΘΜΗΘ Πρ0Η3Β0Π0ΤΒΘΗΗ0Η ΒΟβΟΗ Η3COÓCTBeHHOÍÍ IÍHpKyjUmHOHHOS ΟΗΟΤΘΜΗ HaCTH yCTaHOBKH OHHHaiOTOflΜΘΧΗΗΗΗΘΟΚΗ, 3ΒΤΘΜ npOMtlBaíOTCH HHCTOÍÍ ΒΟβΟΗ H cyiIiaTCH Ha B03ny-ΧΘ. B03HHKaiOIHHH ΙφΗ ΠρΟΜΗΒΚΘ HKOBHTHH BOflHH® paCTBOp C ÓOJIB-ikoíí nojiefí oca^Ka οοθπηηηθτοη c pacTBopoM, β κοτοροΜ pacTsopeHti0čpa30BaBiiiHecH nocjie npopeccoB pacmuiHBaHHH h ποληροββηηηOCTHTKH, ΟΚΗΟΛΗΘΤΟΗ ΟΚΗΟΛΗΤΘΛΘΜ, TaKHM KaK, ΗΒΠρΗΜβρ, HgOgTHK HTO ΜΗΙΠΒΗΚ H φθθφθρ Β HX ΟΟΘΠΗΗΘΗΗΗΧ ΠθρθΒΟΛΗΤΟΗ Β ΗΒΗ—ΒΗΟΙΠΗΘ ΟΤΘΠΘΗΗ ΒΒΗΘΗΤΗΟΟΤΗ. 3ΤΟΤ BHXOAHOg paCTBOp ΗΜΘ6Τ 3Ha-ΗΘΗΗΘ ρΗ ΠΡΗ0ΛΗ3ΗΤΘΛΒΗΟ 1-3. ΠρΗ flOÓaBJíeHHH paCTBOpa aMMH-aKa η πρκ noMoruH οοοτβθτοτβυππθγο οοβπητθλη, HanpHMep MHKCTy- PH MaTHHH, B OCHOBHO0 OÓJiaCTH HpOHCXO^HT ΠΟΗΤΗ ΠΟΛΗΟΘ BUnaHH- \ ηηθ Bcex conep&aiHHX mhuibhk η φοοφορ οοοτθβηηχ HacTen.ΠρΗΜΘΗΘΗΗΒΗ Β ΚΗΗΘΟΤΒΘ OCaflHTGJIH MHKCTypa ΜΒΓΗΘ3ΗΗ COCTOHTH3 BO&HHHCTOTO paCTBOpa XJIOPHUS MaTHHH, XJIOpHÍB aMMOHHH HaMMHaKa.Ky OTXOjmmaS ra3 ηθ conepoT Pomine HesonycTHMHX KOHpeHTpa-HH0 HBOBHTHX ΒΘΠΙΘΟΤΒ. COρΟΙΠΘΘΜΗΘ Πρ0Η3Β0Π0ΤΒΘΗΗ0Η ΒΟβΟΗ Η3COÓCTBeHHOÍÍ IÍHpKyjUmHOHHOS ΟΗΟΤΘΜΗ HaCTH yCTaHOBKH OHHHaiOTOflΜΘΧΗΗΗΗΘΟΚΗ, 3ΒΤΘΜ npOMtlBaíOTCH HHCTOÍÍ ΒΟβΟΗ H cyiIiaTCH Ha B03ny-ΧΘ. B03HHKaiOIHHH ΙφΗ ΠρΟΜΗΒΚΘ HKOBHTHH BOflHH® paCTBOp ÓOJIB C-ikoíí nojiefí oca ^ K C οοθπηηηθτοη pacTBopoM, β κοτοροΜ pacTsopeHti0čpa30BaBiiiHecH nocjie npopeccoB pacmuiHBaHHH h ποληροββηηηOCTHTKH, ΟΚΗΟΛΗΘΤΟΗ ΟΚΗΟΛΗΤΘΛΘΜ, Takhte Kak, ΗΒΠρΗΜβρ, HgOgTHK HTO ΜΗΙΠΒΗΚ H φθθφθρ Β HX ΟΟΘΠΗΗΘΗΗΗΧ ΠθρθΒΟΛΗΤΟΗ Β ΗΒΗ-ΒΗΟΙΠΗΘ ΟΤΘΠΘΗΗ . 3ΤΟΤ BHXOAHOg paCTBOp ΗΜΘ6Τ 3Ha-ΗΘΗΗΘ ρΗ ΠΡΗ0ΛΗ3ΗΤΘΛΒΗΟ 1-3. ΠρΗ flOÓaBJíeHHH paCTBOpa aMMH-AKA η πρκ noMoruH οοοτβθτοτβυππθγο οοβπητθλη, HanpHMep MHKCTy- PH MaTHHH B OCHOBHO0 OÓJiaCTH HpOHCXO-HT ΠΟΗΤΗ ΠΟΛΗΟΘ BUnaHH- \ ηηθ Bcex conep & aiHHX mhuibhk η φοοφορ οοοτθβηηχ HacTen.ΠρΗΜΘΗΘΗΗΒΗ Β ΚΗΗΘΟΤΒΘ OCaflHTGJIH MHKCTypa ΜΒΓΗΘ3ΗΗ COCTOHTH3 BO & HHHCTOTO paCTBOpa XJIOPHUS MaTHHH, XJ10pHiB andMMOHHH HaMMHaKa.

BanaflaiOIUHfi OCa^OK ΟΤΚθΛΗΘΤΟΗ ΠθΚΒΗΤΗρΟΒΒΗΗΘΜ, ΟΘΠΗΜΘΗΤΗρΟΒΗ—ΗΗΘΜ, φΠΚΒΤρπρΟΒΒΗΗΘΜ HHH ΠΘΗΤρίίφγΤΗρΟΒΒΗΗΘΜ. Oca®HaiOmHH pac-ΤΒΟΡ ΠΡΗ0ΒΒΛΘΗΗΘΜ KHCHOTH βΟΒΟΠΗΤ KO CJiaóOKHCJIOrO COCTOHHHH, 245745 5« πρηηθμ BHnajtaeT ocanoK rajunui b βηλθ nwoKcnna h ero mohhoOTjtejiHTB ot pacTBopa BHnieHa3BaHHHMH μθτολθμη.BanaflaiOIUHfi OCa ^ OK ΟΤΚθΛΗΘΤΟΗ ΠθΚΒΗΤΗρΟΒΒΗΗΘΜ, ΟΘΠΗΜΘΗΤΗρΟΒΗ — ΗΗΘΜ, φΠΚΒΤρπρΟΒΒΗΗΘΜ HHH ΠΘΗΤρίίφγΤΗρΟΒΒΗΗΘΜ. Oca®HaiOmHH pac-ΡΗΡΗΡΗΒΒΛΘΗΗΘΜΒΒΛΘΗΗΘΜHHHHHHH C C C C C C C C C CJJJJJJJJJJJJJJJOCOCOCOCOCOCOCOCOCOC OCηOCOCOCOCηOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB

TaK xax mhuilhk x φοοφορ noane οκηολθηηη h ocaameHHH βμθκζγοηΒ flOCTaTOHHO' CTaÓHHBHHX ΟΟΘΛϋΗβΗΙΙΗΧ, ΚΟΜΠρΗΜΗρΟΒβΗΗθ ΗΛΟΒΗ-ΤΟΓΟ τβθρλογο BemecTBa προη3βολητοη nyreM HcnapeHna βολή πρκHarpeBe. Β cyxoft φορΜβ bo3mojkho HeonacHoe χροηθηηθ ηλοβητηχΟΤΧΟΛΟΒ. PaCTBOP, ΠΟΟΛβ ΠρΟΛθΟΟΟΒ ΟΟβΗΛβΗΗΗ ΘΛΘ ΟΟΛθρ«9®ΗίίΟΛΘΛΗ MHUILHKa, $OC$Opa Η ΓΘΛΛΗΗ, Η0Π0ΛΒ3γβΤ0Η Β ΠΗρί^ΛΗΛΗΟΗ-HOfi ΟΗΟΤΘΜΘ ΛΟ ΟΛβΛγΚΛΘΗ OHHCTKH HaCTeíí ycTaHOBKH. TaKHM0Ópa30M ΗΛΟΒΗΤΗΘ ΒΘΛΘΟΤΒΗ ΗΘ ΟΟΠρΗΚΗΟΗΙΟΤΟΗ C ΟΚργΗΒΚΠΙθβ Cp0-ΛΟΗ. ΒτορκΗΗΟβ cHpte - rajunift, B03HHKaxmee β βηλθ ΓΗΛΡΟΟΚΗΟΗraJUIHH, ΜΟΚΘΤ ÓHTB ΠρθΛΟΟΤΒΒΗΘΗΟ Β ρΗΟΠΟρΗΜΘΗΗΘ COOTBeTCTBy—ΐσίΛθίί ΠρΟΜΗΠΜΘΗΗΟΟΤΗ. ΠρΗΜθΡ OCymeCTBJíeHHH Η300ΡΘΤΘΗΗΗ Ηηηθ H3oópeTeHHe óojiee ποΛροόΗΟ ποηοηηθτοη Ha npHMepe eroocymecTBneHHH h πρκ πομολη pHcyHKa.TaK xax mhuilhk x φοοφορ noane οκηολθηηη h ocaameHHH βμθκζγοηΒ flOCTaTOHHO 'CTaÓHHBHHX ΟΟΘΛϋΗβΗΙΙΗΧ, ΚΟΜΠρΗΜΗρΟΒβΗΗθ ΗΛΟΒΗ-ΤΟΓΟ τβθρλογο BemecTBa προη3βολητοη nyreM HcnapeHna βολή πρκHarpeBe. X cyxoft φορΜβ bo3mojkho HeonacHoe χροηθηηθ ηλοβητηχΟΤΧΟΛΟΒ. PaCTBOP, ΠΟΟΛβ ΠρUθΟΟΟΒ ΟΟβΗΛβΗΗΗ ΟΟΛθρ «9®ΗίίΟΛΘΛΗ MHUILHKa, $ OC $ Opa ΓΘΛΛΗΗ ΓΘΛΛΗΗ, Η0Π0ΛΒ3γβΤ0Η Η ΠΗρί ^ ΛΗΛΗΟΗ-HOfi ΟΗΟΤΘΜΘ ΟΛβΛγΚΛΘΗ OHHCTKH HaCTeíí ycTaHOBKH. TaKHM0Ópa30M ΗΛΟΒΗΤΗΘ ΒΘΛΘΟΤΒΗ ΗΘ ΗΚΗΟΗΙΟΤΟΗΠρΗΚΗΟΗΙΟΤΟΗ C ΟΚργΗΒΚΠΙθβ Cp0-ΛΟΗ. CτορκΗΗΟβ cHpte - rajunift, B03HHKaxmee β βηλθ ΓΗΛΡΟΟΚΗΟΗraJUIHH, Ó ÓHTB ΠρθΛΟΟΤΒΒΗΘΗΟ Β ρΗΟΠΟρΗΜΘΗΗΘ COOTBeTCTBy — ΐσίΛθίί ΠρΟΜΗΠΜΘΗΗΟΟΤΗ. OCymeCTBJiHHH e300ΡΘΤΘΗΗΗ Hηηθ H3oópeTeHHe óojiee ποΛροόΗΟ ποηοηηθτοη Ha npHMepe eroocymecTBneHHH h πρκ πομολη pHcyHKa.

HacTH ycTaHOBKH, eaKynopeHHHe πρκ npoixecce θπητβκοηη H3 raeo-BOfi ΟΡΘΛΗ Tma A^By ΟΜΘΟΗΜΗ n0p0DIK00Ópa3HHX, ΘΜΟρφΗΗΧ H KPHC-TazmircecKHX τβθρληχ βθλθοτβ, οοΛθρ»θΛΗΧ raJuiaS, μεππβηκ, φοο-φορ, a30T, ΧΛΟΡ Η ΒΟΛΟΡΟΛ» BHyTpH ΟΗΗΟΤΗΤΘΛΒΗΟβ ΚβΜθρΗ 21 ΠρΗ-Φηθηιχοβηβθβτοη κ προλϊβοηηημ KJianaHaM 37 πο 40. ΗητθηοηβηημΠρΟΛΥΒΟΗΗβΜ a3OTOM ΛΟ ΒΗΤΘΟΗΘΗΗΗ Β03ΛΥΧβ, Β03ΛΥΧ ynaJlneTCHΗ3 ΟΉΗΟΤΗΤΘΛΒΗΟ8 ΚΒΜθρΗ 21. 3aTeM ΠΟΟρθΛΟΤΒΟΜ Haooca 22 nepesOTKPHBHIHHCH ÍOianaH 10 Η ΠΟΟΗΘΛΟΒΘΤΘΛΒΗΟ ΟΤΚρΗΒΘΜΛξΗΘΟΗ ΚΛΘΠΘΗΗ16 πο 19 ποοτθπθηηο ποληθτοη βολθ Η3 ixHpKyjumHH Η3 peaepByapa24 ho οβθηθη boa& nepes πρηΦζιθηποββηηηθ ήηοτη ycTaHOBKH. B03-ΗΗΚΗΚΛΗΗ πρπ STOH ΓΘ3 ΠρΗ ρΒ3ρΗ3ΚΘΗΗΗ MHHHMyM B 10 MM ΒΟΛ.ΟΤ.ocBOóosmaeTCH ot apcHHa η $oc$HHa πρπ πομολη οηηοτπτθλβηο®chctgmh oTpaóoTaBinero ra3a, cocTonmefi H3 ycTaHOBKH óópaTHoít 2*5745 f? -6- ΠρΟΜΗΒΚΗ 25 C BOflOfi Η ΓΒ300ΗΗ0ΤΜΤβΛΗ 26, ΗΗΠΟΛΗΘΗΗΟΓΟ paC-ΤΒοροΜ ranoxJiopHTa HaTpua, η HanpaBJweTCH β βθητηληρηοηηυιοycTaHOBKy 20. Κοητρολβ hhobhthx ra30B β οτχοληπιθμ BO3^yxeιτρ0Η3Β0ΒΗΤ0Η npn πομοπιη TpyóoK Jperepa jyia apcHHa h $oc$HHa.IlocJie κρβτκοβρθμθηηογο nponycKa προμηβοήηο0 jkhukocth KJianaHH16 «o 19 3aicpnBaiOT, πολβολκ k npojyBHHM oanaHaM 37 jto 40yflaJL®OTCH h οτλοχθηηη b πρηΦζιβηηοββηηηχ nacTax ycTaHOBKH npnnoMomn HHCTpyMSHTa, KaK, HanpuMep, cBep^a, n nocjresyioinero no-jiocKaHHH BOňoň, KOTopaa πολβοβητοη napě 3 raÓKHfi umám? npn ot-ΚΡΗΤΟΜ ΒΘΗΤΗΚβ 12, ΒΒΟΛΗΤ BOBHyTpt ΟΗΗΟΤΗΤΘΛΒΗΟβ ΚΘΜβρΗ.HacTH ycTaHOBKH, eaKynopeHHHe πρκ npoixecce θπητβκοηη H3 raeo-BOfi ΟΡΘΛΗ TMA ^ By ΟΜΘΟΗΜΗ n0p0DIK00Ópa3HHX, ΘΜΟρφΗΗΧ H-KPHC TazmircecKHX τβθρληχ βθλθοτβ, οοΛθρ »θΛΗΧ raJuiaS, μεππβηκ, φοο-φορ, A30t, ΧΛΟΡ Η ΒΟΛΟΡΟΛ» BHyTpH ΟΗΗΟΤΗΤΘΛΒΗΟβ ΚβΜθρΗ 21 ΠρΗ- Φηθηιχοβηβθβτοη κ προλϊβοηηημ KJianaHaM 37 πο 40. ΗητθηοηβηημΠρΟΛΥΒΟΗΗβΜ a3OTOM ΛΟ ΒΗΤΘΟΗΘΗΗΗ Β03ΛΥΧβ, Β03ΛΥΧ ynaJlneTCHΗ3 ΟΉΗΟΤΗΤΘΛΒΗΟ8 ΚΒΜθρΗ 21st 3aTeM ΠΟΟρθΛΟΤΒΟΜ Haooca 22 nepesOTKPHBHIHHCH ÍOianaH 10 Η ΠΟΟΗΘΛΟΒΘΤΘΛΒΗΟ ΟΤΚρΗΒΘΜΛξΗΘΟΗ ΚΛΘΠΘΗΗ16 πο 19 ποοτθπθηηο ποληθτοη βολθ Η3 ixHpKyjumHH Η3 peaepByapa24 it οβθηθη boa & nees πρηΦζιθηποββηηηθ ήηοτη ycTaHOBKH. B03-ρ πρπ STOH ΓΘ3 ΠρΗ ρΒ3ρΗ3ΚΘΗΗΗ MHHHMyM B 10 MM ΟΤ.oc.ocBOóosmaeTCH ot apcHHa η $ oc $ HHa πρμ πομολη οηηοτπτθλβηο®chctgmh oTpaóoTaBinero ra3a, cocTonmefi H3 ycTaHOBKH óópaTHoít 2 * 5745 f? -6- ΠρΟΜΗΒΚΗ 25 C BOflOfi Η ΓΒ300ΗΗ0ΤΜΤβΛΗ 26 ΗΗΠΟΛΗΘΗΗΟΓΟ PAC-ΤΒοροΜ ranoxJiopHTa HaTpua, η β HanpaBJweTCH βθητηληρηοηηυιοycTaHOBKy 20th Κοητρολβ hhobhthx ra30B β οτχοληπιθμ BO3 ^ yxeιτρ0Η3Β0ΒΗΤ0Η npn πομοπιη TpyóoK Jperepa jyia apcHHa h $ alpha $ HHa.IlocJie κρβτκοβρθμθηηογο nponycKa προμηβοήηο0 jkhukocth KJianaHH16 «19 3aicpnBaiOT, πολβολκ npojyBHHM oanaHaM for 37 h JTO 40yflaJL®OTCH οτλοχθηηη b πρηΦζιβηηοββηηηχ nacTax ycTaHOBKH npnnoMomn HHCTpyMSHTa, Kak, HanpuMep, cBep ^ and n-well nocjresyioinero jiocKaHHH BOňoň, KOTopaa πολβοβητοη overvoltages 3 raÓKHfi umami? npn ot-12β 12, OB BOBHyTpt ptβ ΟΗΗΟΤΗΤΘΛΒΗΟβρΗ.

HocJie HHTeHCHBHoro npoflyBaHHH a3OTOM OHHCTETejiBHaH KaMepa ot-KpuBaeTCH h npn^iaimoBaHHHe, Tenept οήηπιθηηηθ ήηοτη ycTaHOBKHΠΟΟΛβ npOMEBaHHH CBeJKefi BOKOfl ynaJUBOTCfl H3 οπηοτητθλβηοη κημθ-pu 21, npocyinHBaioTCH Ha BO3,nyxe, nocjie nero οπητβ γοτοβη k hc-nojn>30BaHino b nocaenyioíma nponeccax θπητθκοηη.HocJie HHTeHCHBHoro npoflyBaHHH a3OTOM OHHCTETejiBHaH KaMepa OT-KpuBaeTCH h npn ^ iaimoBaHHHe, Tenept οήηπιθηηηθ ήηοτη ycTaHOBKHΠΟΟΛβ npOMEBaHHH CBeJKefi BOKOfl ynaJUBOTCfl H3 οπηοτητθλβηοη κημθ-pu 21 npocyinHBaioTCH Ha BO3, nyxe, nocjie Nero οπητβ γοτοβη to HC-nojn> 30BaHino b nocaenyioíma nponeccax θπητθκοηη.

Coflepacamyio ocajpK jkhukoctb, nojiyneHnyio noojie ohhctkh, Teneptcoe^MHHioT co CMecBio H3 3 nacTefi a30TH0ň κηολοτη η I nacTLiocoJXHHofi khcjioth, b κοτοροΑ pacTBopeHH ΟΟΤΒΒΙϋΗΘΟΗ ΠΟΟΛβ nponec-COB pacnOHBaHHH Η ΠΟΛίφΟΒβΗΗΗ ΤΒβρΛΗθ BemeCTBa, ΠΟΟΛβ ΠβΓΟnpHÓaBJMioT I jo '3 λ πβρβκποπ Bonopona. ΟκηοΛβΗΗβπ κηλκοοτβ npn noMomn Hacoca 23 nocJie otkphthh oa-naHOB 15 h 9 noaaeTCH b nepBHfi pe3epgyap jyia κηολοτη 27. Te-nepi> ΛοόΗΒΛβΗΗβΜ aMMuaxa ηλη cpenoTBa jma ocasmeHHH, KaK mhkc-TypH ΜβΓΗΘ3ΗΗ, yCTaHaBJIHBaiOT 3HaHeHne pH OT 8 - 10. Βθ3ΗΗΚΘΚ(-mne πρκ 3T0M ra3H BcacuBajoTCH πβρβ3 KnanaH 7 b BeHTiytHnHOHHytoycTaHOBKy 20. Πο ποτβπβΗΗκ οτ 5 λο 8 nacoB προβολητοη rpytíoepa3,nejieHiie. Ποοτθπθηηο nocJieBOBaTejiBHo πβρβ3 οτκρπτΗβ KnanaHH 3, 2, I η 6οοβθτλθηηηη pacTBop ΛθκβΗΤΗργβτοΗ BO BTOpofl pe3epByap c ΚΗΟΛΟ-Tofi 28. Ilpu floóaBJíeHHH οοληηοΑ κηολοτη ycTaHaBJíHBaioT 3HaneHHe 245745 7- pH 6, πρκ κοτοροΜ nponcxcwT BTopoe ocaroeHíie, npemyinecT-ΒθΗΗΟ Qa/oH/^. Πθ ΜΟΤΘΗΘΗΗΗ ΠρΗ0ΛΗ3ΗΤΘΛΒΗΟ AByX HaCOB ΟΟΒβΤΛΘΗΗΗΗ paCTBOpποοτθπθηηο aeKaHTHpyeTCH nepe3 KjranaHH 6, 5, 4 a 10 β peeep-syap 24. Βηπθβπιηθ b nepBOM κ BŤopoM pesepnyapax c khcjiotoS27 h 28 nmaM00dpa3HHe ocajura nepe3 KJianaHH 14 h 13 οληβθκτοηb βοβοηοπβρητθλβηη0 cocyn 29 (h3 HepacaBeiomefi cTajin mra 3Ma-JIHpOBaHHOÍi JIHCTOBOÍÍ CTaJIH) Η ΚΟΜΠρΗΜΙφγΚΤΟΗ ΠΟΑ BHTH3KHHM ΙΠΚβ-$OM Ha ΘΑΘΚΤρΟΠΛΗΤΚΘ 30 ΠγΤΘΜ ΗΟΠΒρθΗΗΗ BOflH. 0Ópa3OBaBHIHeCHTHKHM 0Ópa30M OTXO£H Πρ0Η3Β0Α0ΤΒΘ 3ΗΠ0ΛΗΗΗ)Τ0Η B ΠρΗΓΟΑΗΗΚ RUSIxpaHeHHH peeepByap h crniaAnpyioTCH mra nocTynaioT b npon3BOAcr-bo b KanecTBe βτορηηηογο chpbh. 245745 -θ- $OPMyJia Η300ΡΘΤΘΗΗΗ I.IIoflroTOBKa nocpeflCTBOM XHMiraecKofi oópaóoTKH κ noBTopHOMy hc-Π0ΛΒ30ΒΘΗΗΚ) ΒΟ3ΗΗΚΘΚΗΙΙΗΧ ΠρΗ Πρ01<ϊ3Β0Λ0ΤΒΘ nOJiynpOBOflHHKOBHXΠΡΗΰΟρΟΒ OTXOflOB, Β HaCTHOCTH ΠρΗ ΘΠΗΤβΚΟΗΘΛΒΗΟΜ HapaiUHBaHHHΗ3 ra3OBoS $a3K η/ηλη noJurpoBaHHH «/mra pacmaHBaHHH nojiynpo-BOflHHKOBHX ΜΘΤβρΗΘΛΟΒ ΤΗΠΘ AjjjBy , ΗΠΗ ΠρθΒρθΙξθΗΗΘ HX B CTa-0ΗΛΒΗΗΘ ΟΜθΟΗ TBepjUJX ΒΘΠΙΘΟΤΒ, ΟΠΟΟΟ0ΗΗΧ Κ ΛΛΗΤΘΛΒΗΟΜγ XpaHG-hhio, OTJiiraaiomaHCH tgm, hto ocaswaiomHecH TBepjpje otxoeh pac-TBOpflJOT B ΟΜΘΟΗ β3ΟΤΗΟ0 H COJIHHOfi KHCJIOT, pac CBOp ΟΟΘ,ξΗΗΗΙΟΤC npOMHBOHHOlí BOflOft H3 ΗΘΟΤθβ yCTaHOBKH, aOÓaiUUBOT CpeflCTBa&amp;JIH ΟΚΗΟΛΘΗΗΗ, 3ΘΤΘΜ B ΚΟΗΒΘΗΤρΗρΟΒΘΗΗΟΗ OGHOBÍIOň 3ΟΗΘ φΗAoóaBJíeHHH aMwmaKa mm cpencTBa jyin ocasmeHHH ocaswaioT h ot-ΛΘληιοτ coejcHHeHHfl MumiHKa h $oc$opa, xnnKan nacTB pacTBopa #o·0ηβλθηηθμ cojihhoS khcjioth λοβολητοη eo 3ηηηθηηη pH 6 h ipn3TOM b Bnne runpoKcnna ocasmaeTCH rajuinň, ηβοβητηθ ra3H ste,0ópa30BaBinHecH b npejumyumx paóonHX nponeccax, oninnaioT otípaTrHOfl IipOMHBKOfl BOflOfi Η ΠρΟΙψΟΚΘΗΗΘΜ Ήθρθ3 paCTBOp ΓΗΠΟΧΛΟρΗΤΘHaTpuH, a Taras τθμ, hto patíoHHe onepanHH προμηβκη nacTefíycTaHOBKH η okhcjiohhh προτθΚθίοτ b aTMOC$epe 3θπιητηογο ra3a. 2. ΜΘΤΟΛ nOflrOTQBKH K riOBTOpHOMy HCn0JH>30BaHHH) ΟΤΧΟβΟΒ COWiaCHOnyHKTy I, oTjnraaronmftCH τθμ, hto b κθηθοτβθ 3amHTHoro raea πρκΜΘΗΗΘΤΟΗ a30T. 3. Μθτοβ ποβγοτοβκη οτχολοβ no nyHKTy I, OTjnrearanHftCH τθμ, ήτοKaK cpencTBO οκη&amp;πθηηη πρημθηηθτοη 30^hhS pacTBop HgOg. 4. Μθτολ πολγοτοβκη otxobob no nyHKTy I; OTJiircaioinHHCH τθμ, htoκθκ cpe^cTBO jwh ocaameHHH πρημθηηθτοη MHKCTypa μθγηθ3ηη, co-CToamaH H3 BOflHHHCToro pacTBopa ημμηβκβ, xjiopnua μθγηθ3Ηη hXJIOpmia aMMOHHH. 245745 -9- 5.Μθτολ noflroTOBKH OTXOflOB no nymíTy I, OTJimaKHUHHGH τθμ, η;τοKaK npOMHBOHHan BOfla ftZLH HaCTeÉ yCTaHOBKH HCnOJIB3yeTCH OTXO-Sfluafl nocjie ocasmeHUH rimpooKHCH rajuira Boj^a. 245745 -10-Coflepacamyio ocajpK jkhukoctb, nojiyneHnyio noojie ohhctkh, Teneptcoe ^ MHHioT what CMecBio H3 3 nacTefi a30TH0ň κηολοτη η I nacTLiocoJXHHofi khcjioth b κοτοροΑ pacTBopeHH ΟΟΤΒΒΙϋΗΘΟΗ ΠΟΟΛβ nponec --COB pacnOHBaHHH Η ΠΟΛίφΟΒβΗΗΗ ΤΒβρΛΗθ BemeCTBa, ΠΟΟΛβ ΠβΓΟnpHÓaBJMioT I yo '3 λ πβρβκποπ Bonopona. ΟκηοΛβΗΗβπ κηλκοοτβ npn noMomn Hacoca nocJie otkphthh 23 OA-naHOB 15 h 9 b noaaeTCH nepBHfi pe3epgyap jyia κηολοτη 27th-Te Nepi> ΛοόΗΒΛβΗΗβΜ aMMuaxa ηλη cpenoTBa JMA ocasmeHHH, KaK mhkc ΜβΓΗΘ3ΗΗ-typhi, yCTaHaBJIHBaiOT 3HaHeHne OT pH 8 to 10 Βθ3ΗΗΚΘΚ (- me πρκ 3T0M ra3H BcacuBajoTCH πβρβ3 KnanaH 7 b BeHTiytHnHOHHytoycTaHOBKy 20th Πο ποτβπβΗΗκ οτ 5 λο 8 nacoB προβολητοη rpytíoepa3, nejieHiie. Ποοτθπθηηο nocJieBOBaTejiBHo πβρβ3 οτκρπτΗβ KnanaHH 3, 2, I η 6οοβθτλθηηηη pacTBop ΛθκβΗΤΗργβτοΗ BO BTOpofl pe3epByap c-ΚΗΟΛΟ Tofi 28th Ilpu floóaBJíeHHH οοληηοΑ 57 ο 57 57 57 57 57 57 57 57 57 57 57 57 op op op op op op op y y y a y ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ j j j j -syap 24th Βηπθβπιηθ b nepBOM κ BŤopoM pesepnyapax c h khcjiotoS27 28 nmaM00dpa3HHe ocajura nepe3 KJianaHH 14 h 13 οληβθκτοηb βοβοηοπβρητθλβηη0 cocyn 29 (h3 HepacaBeiomefi cTajin MRA-3mA JIHpOBaHHOÍi JIHCTOBOÍÍ CTaJIH) Η ΚΟΜΠρΗΜΙφγΚΤΟΗ ΠΟΑ BHTH3KHHM ΙΠΚβ- OM $ Ha ΘΑΘΚΤρΟΠΛΗΤΚΘ 30 ΠγΤΘΜ ΗΟΠΒρθΗΗΗ BOflH . 0Ópa3OBaBHIHeCHTHKHM 0Ópa30M OTXO £ H Πρ0Η3Β0Α0ΤΒΘ 3ΗΠ0ΛΗΗΗ) Τ0ΗB ΠρΗΓΟΑΗΗΚ RUSIxpaHeHHH peeepByap h crniaAnpyioTCH mra nocTynaioT b npon3BOAcr-bo b KanecTBe βτορηηηογο chpbh. $ 245,745 -θ- OPMyJia Η300ΡΘΤΘΗΗΗ I.IIoflroTOBKa nocpeflCTBOM XHMiraecKofi oópaóoTKH κ noBTopHOMy HC-Π0ΛΒ30ΒΘΗΗΚ) ΒΟ3ΗΗΚΘΚΗΙΙΗΧ ΠρΗ Πρ01 <ϊ3Β0Λ0ΤΒΘ nOJiynpOBOflHHKOBHXΠΡΗΰΟρΟΒ OTXOflOB, Β HaCTHOCTH ΠρΗ ΘΠΗΤβΚΟΗΘΛΒΗΟΜ HapaiUHBaHHHΗ3 ra3OBoS $ A3K η / ηλη noJurpoBaHHH «/ MRA pacmaHBaHHH nojiynpo-BOflHHKOBHX ΜΘΤβρΗΘΛΟΒ ΤΗΠΘ AjjjBy, ΗΠΗ ΠρθΒρθΙξθΗΗΘ HX B CTA-0ΗΛΒΗΗΘ ΟΜθΟΗ TBepjUJX ΒΘΠΙΘΟΤΒ, ΟΠΟΟΟ0ΗΗΧ Κ ΛΛΗΤΘΛΒΗΟΜγ XpaHG-hhio, OTJiiraaiomaHCH TGM HTO ocaswaiomHecH TBepjpje otxoeh pac-TBOpflJOT B ΟΜΘΟΗ β3ΟΤΗΟ0 H COJIHHOfi KHCJIOT PAC CBOp ΟΟΘ, ξΗΗΗΙΟΤC npOMHBOHHOlí BOflOft H3 ΗΘΟΤθβ yCTaHOBKH, aOÓaiUUBOT CpeflCTBa &amp; SOUTH ΟΚΗΟΛΘΗΗΗ, 3ΘΤΘΜ B ΚΟΗΒΘΗΤρΗρΟΒΘΗΗΟΗ OGHOBÍIOň 3ΟΗΘ φΗAoóaBJíeHHH aMwmaKa mm cpencTBa jyin ocasmeHHH ocaswaioT h ot-ηληιοτ coejcHHeHHfl MumiHKa h $ oc $ opa, xnnKan n ACTB pacTBopa # o · 0ηβλθηηθμ cojihhoS khcjioth λοβολητοη eo 3ηηηθηηη pH 6 h ipn3TOM b Bnne runpoKcnna ocasmaeTCH rajuinň, ηβοβητηθ ra3H you, 0ópa30BaBinHecH b npejumyumx paóonHX nponeccax, oninnaioT otípaTrHOfl IipOMHBKOfl BOflOfi Η ΠρΟΙψΟΚΘΗΗΘΜ Ήθρθ3 paCTBOp ΓΗΠΟΧΛΟρΗΤΘHaTpuH, and Taras τθμ, HTO patíoHHe onepanHH προμηβκη nacTefíycTaHOBKH η okhcjiohhh προτθΚθίοτ b aTMOC $ epe 3θπιητηογο ra3a. 2. O nOflrOTQBKH K riOBTOpHOMy HCn0JH> 30BaHHH) ΟΒβΟΒ COWiaCHOnyHKTy I, oTjnraaronmftCH τθμ, hto b κθηθοτβθ 3amHTHoro raea πρκΜΘΗΗΘΤΟΗ a30T. 3. Tθτοβ ποβγοτοβκη οτχολοβ no nyHKTy I, OTjnrearanHftCH τθμ, ήτοKaK cpencTBO οκη &amp; πθηηη πρημθηηθτοη 30 ^ hhS pacTBop HgOg. 4. Μθτολ πολγοτοβκη otxobob no nyHKTy I; OTJiircaioinHHCH τθμ, htoκθκ cpe ^ cTBO jwh ocaameHHH πρημθηηη MHKCTypa μθγηθ3ηη, co-CToamaH H3 BOflHHHCToro pacTBopa ημμηβκβ, xjiopnua μθγηθ3Ηη hXJIOpmia aMMOHHH. 245745 -9- 5.Μθτολ noflroTOBKH OTXOflOB no nymTy I, OTJimaKHUHHGH τθμ, η; τοKaK npOMHBOHHan BOfla ftZLH HaCTeÉ yCTaHOBKH HCnOJIB3yeTCH OTXO-Sfluafl nocjie ocasmeHUH rimpooKHCH rajuira Boj ^ a. 245745 -10-

AHHOTaiíHH Μ300ρθτθηηθ KacaeTca πολγοτοβκη 0dpa30BaBmHxcH ποολθ H3ro-TOBJISHHH 3JieKTpOHHO-nOJrynpOBOAHHKOBHX ΘΛΘΜΘΗΤΟΒ HflOBHTHXOTXOflOB, B OCOtíeHHOOTH 0dpa30BaBUIKXCH IipH amiTaKCHaJIBHOMHapaiUHBaHHH H3 ra3OBOÉ $a3n h/hjih nojiupoBaHUH h/hjih pacnn-JIHBaHHH nOJiynpOBO^HHKOBHX ΜΒΤθρΗΗΛΟΒ THna ΑΙΙΙΰν K BTO-PHHHOMy Η0Π0Ο30ΒΘΗΗΚ) ΠΟΟρθ^ΟΤΒΟΜ ΧΗΜΗΗΘΟΚΟβ OÓpaÓOTKH, HJIHnojiy^eHHH cTaóanBHHX cwieceS H3 τβθρληχ BemecTB, πρηγοληηχκ jyiHTejibHOMy xpaHeHmo, hjih odoramemioro βτορηηηογο chpbh.CorJiaCHO Η30ΰρθΤΘΗΗΚ) ΟΤΧΟβΗ paCTBOpffiOTCH B ΟΜθΟΗ H3 KHCJIOTHO OKHCJlfWTCH B ΒΟ£θ H OCaWJOTCH B ΚΟΗΙΙβΗΤρΗρΟΒΗΗΗΟΗ OCHOB-HOfi 30ΗΘ B ΒΚΛθ ΟΟΘβΗΗΘΗΗΗ $oc$opa H MHfflBHKa,' OdpaTHOÍi UHp-KyAHHHeii jkhukoh nacTH cMecH b cjiado KHCJiyio cpefly ocasjíaioTCHΟΟθΛΗΗΘΗΗΗ raJUIHH. 0dpa3OBaBuiHeca b npoiíecce ra3H ohwiotch bojzoK h pacTBopoMmnoxJiopHTa, nprraeM &amp;jih pacTBopeHHH hjih bphhhthh otxoaobynoTpedJiHioTCfl pacTBopa, conepatamne ηεοβητηθ BemecTBa. PadonneonepaiiHH πρηηητηθ οτχολοβ b βοηθ z οκηολθηηθ προβολητοη b aT-Moc$epe 3amnTHoro ra3a. 245745AHHOTaiíHH Μ300ρθτθηηθ KacaeTca πολγοτοβκη 0dpa30BaBmHxcH ποολθ H3ro-TOBJISHHH 3JieKTpOHHO-nOJrynpOBOAHHKOBHX ΘΛΘΜΘΗΤΟΒ HflOBHTHXOTXOflOB B OCOtíeHHOOTH 0dpa30BaBUIKXCH IipH amiTaKCHaJIBHOMHapaiUHBaHHH H3 ra3OBOÉ $ A3N h / hjih nojiupoBaHUH h / hjih pacnn-JIHBaHHH nOJiynpOBO ^ HHKOBHX ΜΒΤθρΗΗΛΟΒ THna ΑΙΙΙΰν K BTO-PHHHOMy Η0Π0Ο30ΒΘΗΗΚ) ΠΟΟρθ ^ ΟΤΒΟΜ ΧΗΜΗΗΘΟΚΟβ OÓpaÓOTKH, HJIHnojiy ^ ehhh cTaóanBHHX cwieceS H3 τβθρληχ BemecTB, πρηγοληηχκ jyiHTejibHOMy xpaHeHmo, hjih odoramemioro βτορηηηογο chpbh.CorJiaCHO Η30ΰρθΤΘΗΗΚ) ΟΤΧΟβΗ paCTBOpffiOTCH B ΟΜθΟΗ H3 KHCJIOTHO OKHCJlfWTCH B ΒΟ £ θ H OCaWJOTCH ΚΟΗΙΙβΗΤρΗρΟΒΗΗΗΟΗ OCHOB B-B Hofi 30ΗΘ ΒΚΛθ ΟΟΘβΗΗΘΗΗΗ $ alpha $ H OPA MHfflBHKa, 'OdpaTHOIi UHp-KyAHHHeii jkhukoh nacTH cMecH b cjiado KHCJiyio cpefly ocasjiaioTCHΟΟθΛΗΗΘΗΗΗ raJUIHH. 0dpa3OBaBuiHeca b npoiíecce ra3H ohwiotch bojzoK h pacTBopoMmnoxJiopHTa, nprraeM & south pacTBopeHHH hjih bphhhthh otxoaobynoTpedJiHioTCfl pacTBopa, conepatamne ηεοβητηθ BemecTBa. PadonneonepaiiHH πρηηητηθ οτχολοβ b βοηθ from οκηολθηη προβολητοη b aT-Moc $ epe 3amnTHoro ra3a. 245745

Claims (4)

11 245745 PŘEDMĚT VYNÁLEZU11 245745 OBJECT OF THE INVENTION 1. Způsob chemického zpracováni odpadů vznikajících při výrobě polovodičových součástí)zejména při epitaxním narůstání z plynné fáze a/nebo leštění a/nebo řezání polovodičovýchmateriálů typu a jejich konverze na stabilní směsi pevných látek, přizpůsobených k dlouhodobému skladování, vyznačený tím, že se pevné odpady rozpouští ve směsi kyselinysolné a dusičné, získaný roztok se mísí s proplachovací vodou z jednotlivých částí zaří-zení, potom se k němu přidávají oxidační látky, potom se v základní koncentrační zóněza přidání amoniaku nebo jiného srážecího činidla vylučují a oddělí sloučeniny arzenua fosforu, zbylý tekutý podíl se přidáním kyseliny solné upraví na hodnotu pH 6, přičemžse ve formě hydroxidu vysráží galium a jedovaté plyny vytvářející se během předcházejícíchpracovních stupňů se zpětně vymývají vodou a roztokem chlornanu sodného, přičemž vymývániatmosféře· 1, vyznačený tím, že se jako ochranného plynu používá dusíku. 1, vyznačený tím, že se jako oxidační látky používá 30% roztoku 1, vyznačený tím, že se jako srážecího prostředku používá směsi skládající se z vodného roztoku amoniaku, chloridu hořečnatého a chloridu amonného.1. A method for the chemical treatment of wastes arising from the manufacture of semiconductor components, in particular in the epitaxial growth of gaseous phase and / or polishing and / or cutting of semiconductor materials of the type and their conversion to a stable mixture of solids adapted for long-term storage, characterized in that the solid wastes are dissolves in the acid-nitric mixture, the solution obtained is mixed with the rinsing water from the individual parts of the apparatus, then oxidizing agents are added thereto, then the arsenic and phosphorus compounds are removed and separated in the basic concentration zone by the addition of ammonia or other precipitating agent; the hydrochloric acid is adjusted to pH 6 by addition of hydrochloric acid, the gallium precipitates in the form of hydroxide and the poisonous gases formed during the preceding working steps are washed back with water and with sodium hypochlorite solution, with the washout characterized in that nitrogen is used as shielding gas. 1, characterized in that 30% solution 1 is used as the oxidizing agent, characterized in that a mixture consisting of an aqueous solution of ammonia, magnesium chloride and ammonium chloride is used as the precipitating agent. 5. Způsob podle bodu 1, vyznačený tím, že se jako promývacl vody z části zařízení výuží·vá odpadní vody po usazování hydroxidu galia. probíhá v ochranné plynné5. A method according to claim 1, wherein waste water after the deposition of gallium hydroxide is used as the wash of water from a portion of the apparatus. in gaseous protective gas 2. Způsob podle bodu2. Method according to point 3. Způsob podle bodu H2°2·3. Method according to point H2 ° 2 · 4. Způsob podle bodu Uznáno vynálezem na základě výsledků expertizy, provedené Úřadem pro vynálezectvía patentnictví, Berlín, DD. 1 výkres J» Λ 44. Method according to the point Recognized by the invention based on the results of the expert review by the Patent Inventory Office, Berlin, DD. 1 drawing J »Λ 4
CS827086A 1981-12-02 1982-10-05 Method of chemical processing of wastes produced in production of semiconductor elements CS245745B1 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD81235308A DD210809A3 (en) 1981-12-02 1981-12-02 PREPARATION OF PRODUCTS ARISING FROM THE MANUFACTURE OF ELECTRONIC SEMICONDUCTOR ELEMENTS

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CS708682A1 CS708682A1 (en) 1985-06-13
CS245745B1 true CS245745B1 (en) 1986-10-16

Family

ID=5535057

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS827086A CS245745B1 (en) 1981-12-02 1982-10-05 Method of chemical processing of wastes produced in production of semiconductor elements

Country Status (5)

Country Link
BG (1) BG43909A1 (en)
CS (1) CS245745B1 (en)
DD (1) DD210809A3 (en)
RO (1) RO84411B (en)
SU (1) SU1308653A1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5972073A (en) * 1997-10-02 1999-10-26 The University Of Dayton Recovery of the components of group III-V material aqueous wastes

Also Published As

Publication number Publication date
BG43909A1 (en) 1988-09-15
DD210809A3 (en) 1984-06-20
CS708682A1 (en) 1985-06-13
RO84411B (en) 1984-08-30
RO84411A (en) 1984-06-21
SU1308653A1 (en) 1987-05-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Martell et al. Coordination of Al (III) in the environment and in biological systems
CN102180540B (en) Water treatment medicament for eliminating pollution through oxidation of high-activity intermediate state pentavalent manganese
JP5817718B2 (en) Chemical substance treatment agent containing persulfate and silver complex, and chemical substance decomposition method using the same
KR950034561A (en) Semiconductor Surface Treatment Agents and Treatment Methods
JPH02207891A (en) Decomposition of nitrophenol
CS245745B1 (en) Method of chemical processing of wastes produced in production of semiconductor elements
Kapteijn et al. Decomposition of nitrous oxide over ZSM-5 catalysts
US20040079681A1 (en) Recycle process for a metal bearing sludge concentrate
JP4721320B2 (en) Decomposition method of organic pollutants
ATE6055T1 (en) PROCESS FOR THE MANUFACTURE OF MULTI-TRACE NUTRIENT FERTILIZER.
DK0686166T3 (en) Process and polycondensation plant for purifying contaminated ethylene glycol
Stevens et al. Oxidation of cysteine, cysteine methyl ester, and penicillamine by copper (II)-2, 9-dimethyl-1, 10-phenanthroline complexes
KR20180118759A (en) Treatment agent for wastewater containing cyanide and method for treating wastewater containing cyanide using the same
MX172335B (en) NEW PROCEDURE FOR OBTAINING POTASSIC MANGANATE (K2MN04), FOR THE INDUSTRIAL MANUFACTURE OF POTASSIC PERMANGANATE (KMN04), FROM NATURAL MINERALS OR MANGANESE BIOXIDE COMPOUNDS
JP2021053620A (en) Treatment method for cyanide-containing wastewater
JP2001300553A (en) Method for treating cyanide-containing wastewater
EE200100627A (en) Pressed products of non-sintering salt
CN1100714A (en) Nitrosamine inhibition
ATE111971T1 (en) BATHS AND PROCESSES FOR CHEMICAL POLISHING OF STAINLESS STEEL SURFACES.
JP7111308B2 (en) High-concentration stabilization method and treatment method for bleaching agents for clothing and building interior and exterior materials
ES8406383A1 (en) A method for producing water-purifying chemicals.
JPS6018475B2 (en) Treatment method for cyanide-containing plating solution wastewater
Carr Ferrate ion: potential uses in advanced wastewater treatment
Piao et al. Complexations of 13-group metalsIII with 7-[(2-hydroxy-5-chlorophenyl) azo]-8-hydroxyquinoline-5-sulfonate
Rohrer Chemical precipitants for lead-bearing waste waters