CS245745B1 - Method of chemical processing of wastes produced in production of semiconductor elements - Google Patents
Method of chemical processing of wastes produced in production of semiconductor elements Download PDFInfo
- Publication number
- CS245745B1 CS245745B1 CS827086A CS708682A CS245745B1 CS 245745 B1 CS245745 B1 CS 245745B1 CS 827086 A CS827086 A CS 827086A CS 708682 A CS708682 A CS 708682A CS 245745 B1 CS245745 B1 CS 245745B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- water
- point
- solution
- τλθηηηη
- ammonia
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 title claims 2
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 title 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims 3
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- TWRXJAOTZQYOKJ-UHFFFAOYSA-L Magnesium chloride Chemical compound [Mg+2].[Cl-].[Cl-] TWRXJAOTZQYOKJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 2
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 claims 2
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 claims 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000005708 Sodium hypochlorite Substances 0.000 claims 1
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 claims 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 claims 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910021513 gallium hydroxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- DNUARHPNFXVKEI-UHFFFAOYSA-K gallium(iii) hydroxide Chemical group [OH-].[OH-].[OH-].[Ga+3] DNUARHPNFXVKEI-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims 1
- 239000007792 gaseous phase Substances 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 claims 1
- 229910001629 magnesium chloride Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000003018 phosphorus compounds Chemical class 0.000 claims 1
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 claims 1
- 230000007096 poisonous effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 claims 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 1
- 239000008237 rinsing water Substances 0.000 claims 1
- SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N sodium hypochlorite Chemical compound [Na+].Cl[O-] SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 239000002910 solid waste Substances 0.000 claims 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 claims 1
- 241000375392 Tana Species 0.000 description 1
- XOYLJNJLGBYDTH-UHFFFAOYSA-M chlorogallium Chemical compound [Ga]Cl XOYLJNJLGBYDTH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 101150115538 nero gene Proteins 0.000 description 1
- 235000019583 umami taste Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/20—Recycling
Landscapes
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
Description
2- OÓJiacTL· irpmeHeHHH η3ο6ρθτθηηη Μ3θόρθΤθΗΗβ KacaeTCH NieTona jvlh πολγοτοβκη k noBTopHOMy ηοπολβ-30BaHHK) nopOIIlKOOÓpa3HKX, KpHCTaJMHqeCKHX Η «ΜΟρφΗΗΧ, arpecCHB-HHX, ropKHHX h/hJIH HflOBHTHX OTXOflOB Η ΉΧ KOMÓHHaUHÉ, KOTOpuftHHXOflHT ΠρΗΜθΗΘΗΗΘ ΠρΗ ΠρΟΜΗΙΙϋΙΘΗΗΟΜ np0H3B0HCTBe nOJiyiipOBOfl-HHKOBHX npHÓOpOB, B HaCTHOCTH ΠρΗ 3ΠΗΤΒΚ0Η3ΛΒΗ0Μ HapaiUHBaHHHH3 ra3OBOH $a3H h/hJIH ΠΟΛΗΡΟΒΚΘ η/ηΛΗ pacnífflHBaHHH no-zrynpo-bojuihkobhx MaTepnajioB Tuna Λι 11 B v· 2- OÓJiacTL irpmeHeHHH η3ο6ρθτθηηη Μ3θόρθΤθΗΗβ KacaeTCH NieTona jvlh πολγοτοβκη to noBTopHOMy ηοπολβ-30BaHHK) nopOIIlKOOÓpa3HKX, KpHCTaJMHqeCKHX Η «ΜΟρφΗΗΧ, arpecCHB-HHX, ropKHHX h / hJIH HflOBHTHX OTXOflOB Η ΉΧ KOMÓHHaUHÉ, KOTOpuftHHXOflHT ΠρΗΜθΗΘΗΗΘ ΠρΗ ΠρΟΜΗΙΙϋΙΘΗΗΟΜ np0H3B0HCTBe nOJiyiipOBOfl-HHKOBHX npHÓOpOB B HaCTHOCTH ΠρΗ 3ΠΗΤΒΚ0Η3ΛΒΗ0Μ HapaiUHBaHHHH3 ra3OBOH $ a3H h / hJIH ΠΟΛΗΡΟΒΚΘ η / ηΛΗ pacnífflHBaHHH no-zrynpo-bojuihkobhx MaTepnajioB Tuna Λι 11 B v
XapaKTepncTHKa η3βθοτηηχ τθχηηηθοκηχ peuieHHň Η3βθοτηη μθχθηηηθθκηθ μθτολη πο#γοτοβκη k noBTopnorzy ηοπολβθο-XapaKTepncTHKa η3βθοτηηχ τθχηηηθοκηχθοκηχο peuieHHň Η3βθοτηη μθχθηηηθθκηθ μθτολη πο # γοτοβκη k noBTopnorzy ηοπολβθο-
BaHKO OTXOflOB, BO3HHKai0!HHX ΠρΗ ΠρΟΒΘΛΘΗΗΗ SnHTaKCHaJIBHHX ΠρΟ-BaHKO OTXOflOB, BO3HHKai0! HHX ΠρΗ ΠρΟΒΘΛΘΗΗΗ
neccoB jyra HapaiUHBaHHH μοηοκρηοτθπληηθοκηχ nonynpoBOHHHKOBHXneccoB jyra HapaiUHBaHHH μοηοκρηοτθπληηθοκηχ nonynpoBOHHHKOBHX
MaTepnanOB Tuna A B ( Martinez, Kutzechbauch, Loas, Ent-III v giftung und Deponie von toxiEchen Produktem und Abprodukten,Akademieverlfig Berlin 1979; Buttner, Giftkunde, Leipzig 1971,Gmelin, Chemie Syet. Wr. 16 Pnoaphor /MaTepnanOB Tuna A B (Martinez, Kutzechbauch, Loas, Ent-III in Giftung and Deponie von toxiEchen Product and Abprodukten, Akademieverlfig Berlin 1979; Buttner, Giftkunde, Leipzig 1971, Gmelin, Chemie Syet. Wr. 16 Pnoaphor /
HeupcTaTKam hx hbjihiotch βηοοκοθ 3θγρη3Ηθηηθ oKpy&aioiueH cpe-h h3hoc HacTefí ycTaHOBKH π on MexamraecKUM βο3λθηοτβηθμ. íanee ηθβθοτηο χημηηθοκοθ ynaneHne otxoaob nyTeM ορηθητηροβθη—ΗΟΓΟ paCTBOpOHEH ( Gmelin,' Chemie Syet, Nr, ió, Phcephor /.HenocTaTKaMH θτογο MeTona ηβληιοτοη B03HHKaionaH βηοοκηη B3pu-BoonacHOCTB, H3H0C ηθοτθη ycTaHOBKH h OTpaBJíeHne OKpysiaioiueHcpenu, TaKHM oópa3OM xpaHeHiie khcjihx pacTBopoB ηθβο3μοηηο. 245745 -3-HeupcTaTKam hx hbjihiotch βηοοκοθ 3θγρη3Ηθηηθ oKpy & aioiueH cpe-h h3hoc HacTefi ycTaHOBKH π on MexamraecKUM βο3λθηοτβηθμ. Ian ηθβθοτηο χημηηθοκοθ ynaneHne otxoaob rivet ορηθητηροβθη-ΗΟΓΟ paCTBOpOHEH (Gmelin, "Chemistry syetem, NR, IO Phcephor /.HenocTaTKaMH θτογο -methone ηβληιοτοη B03HHKaionaH βηοοκηη B3pu-BoonacHOCTB, H3H0C ηθοτθη ycTaHOBKH h OTpaBJíeHne OKpysiaioiueHcpenu, Takhte oópa3OM xpaHeHiie khcjihx pacTBopoB ηθβο3μοηηο. 245,745 - 3-
UeJIL· Ε3θΰρθΤ6ΗΕΗUeJIL · Ε3θΰρθΤ6ΗΕΗ
IiejiL ΗβοόρβτβΗΗΗ 3aKJooHaeTCH b nepepaóoTKe hbobethx otxoaob, 0típa30BaBnniXCH npH ΠρΟΜΗΠΜβΗΗΟΜ Ε3ΓΟΤΟΒΛΘΗΕΕ ΘΛΘΚΤρΟΗΗΟ-ΠΟΛγ- ΠρΟΒΟΑΗΗΚΟΒΗΧ 3ΛΘΜΘΗΤΟΒ, Β OCOÓeHHOCTE TaKEX, ΚΟΤΟρΗθ OÓpa3y- ΚΤΟΗ ΠρΗ 3ΠΗΤβΚ0Β3ΛΒΗ0Μ ΗβρθΙζΒΒΘΗΕΒ Ε3 Γβ3ΟΒΟΒ &a3H, ΠρΕ ΠΟ-IiejiL ΗβοόρβτβΗΗΗ 3aKJooHaeTCH b nepepaóoTKe hbobethx otxoaob, 0típa30BaBnniXCH NPH ΠρΟΜΗΠΜβΗΗΟΜ Ε3ΓΟΤΟΒΛΘΗΕΕ ΘΛΘΚΤρΟΗΗΟ-ΠΟΛγ- ΠρΟΒΟΑΗΗΚΟΒΗΧ 3ΛΘΜΘΗΤΟΒ, Β OCOÓeHHOCTE TaKEX, ΚΟΤΟρΗθ OÓpa3y- ΚΤΟΗ ΠρΗ 3ΠΗΤβΚ0Β3ΛΒΗ0Μ ΗβρθΙζΒΒΘΗΕΒ Ε3 Γβ3ΟΒΟΒ & 3 H, ΠρΕ ΠΟ-
jrapoBaHHK h/ejih ρβοπελεββηεε nojiyirpoBOjxHHKOBHx MaTepuajioBjrapoBaHHK h / ejih ρβοπελεββηεε nojiyirpoBOjxHHKOBHx MaTepuajioB
Tana Αττ -0„ , β οποοοόΗΗθ κ coaAHpoBaHHK) npoíyKTH hjiií oóo-Hj v rameHHoe βτορεηηοθ ctrpte, ne 3θγρβ3Ηηη OKpyacaiomyio cpeny ra3o-0Ópa3HHM2, ΤΒθρίξΗΜΗ ΕΛΕ XHBKHME BJtaME.Tana Αττ -0 ", β οποοοΗΗΗΗθ κ coaAHpoBaHHK) npoíyKTH hjiií oóo-Hj v rameHHoe βτορεηηο ctrpte, no 3θγρβ3Ηηη OKpyacaiomyio cpeny ra3o-0pa3HHM2, ρθρίξΗΜΗ ΕΛΕ XHBKHME BJtaME.
IfejioaeHHe cy%H00TH ε300ρθτθηεη B OCHOBy Ε300ρθΤΘΗΕΗ ΠΟΛΟΚΘΗβ 3a£ana npa IIOMOIUH ΧΗΜΙΠΘΟΚΟΗoópaóoTKE nepeBecTH otxojch, BO3HHKaiMUne npn προμηπμθηηομ H3-ΓΟΤΟΒΠΘΗΕΕ 3JieKTpOHHO-nOJiynpOBOňHHKOBHX ΘΛΘΜΘΗΤΟΒ, B CTadlUIL-Hyn $opmy e nyTeM oóorameHHH αοβθοτε ro γοτοβηοοτη βτορεπηογοCHPBH. /IfejioaeHHe cy% H00TH ε300ρθτθηεη B OCHOBy Ε300ρθΤΘΗΕΗ ΠΟΛΟΚΘΗβ £ 3a ana NPA IIOMOIUH ΧΗΜΙΠΘΟΚΟΗoópaóoTKE nepeBecTH otxojch, BO3HHKaiMUne npn προμηπμθηηομ H3 ΓΟΤΟΒΠΘΗΕΕ 3JieKTpOHHO nOJiynpOBOňHHKOBHX ΘΛΘΜΘΗΤΟΒ-B-Hyn CTadlUIL $ e opmy rivet oóorameHHH αοβθοτε ro γοτοβηοοτη βτορεπηογοCHPBH. /
CoiviacHO Η3θόρθΤθΗΗΐο 3ajiana pemaeTCH τθμ, eto τβθρληθ otxojpj,βο3ηεκθχκιεθ b npoueccax πολβροβκε e pacnroiHBaHHa, pacTBopmTB ΟΜΘΟΕ E3 aSOTHOflí E COJIflHOfi KHCJIOTH, a paCTBOp COemíHHKT cnpOMHBOHHOŽ BOflOfi H3 pa3HHX ΕβΟΤθβ yCTaHOBKH, ETOÓH nOJIHOCTBKOKcnHHpoBaTt BHrpejtaeHTH.-JlotíaBHeHHeM mejioneií h KoaryjiHTopoBB HaCHmeHHOft OCHOBHOfi 30ΗΘ OCaa^atOT H OTfleJIHMT ΟΟθΛΗΗΘΗΗΗ$oc$>opa H ΜΗΠΙΒΗΚΘ. Β ΠξθΛΟΗΗΗβ paCTBOp, COMaCIíď"Η3Ο0ρθΤθΗΗΚ), HOÓaBJIÍHOT KHCJIOTy, H TaKEM OÓpa3OM BOCCTaHaBOTBaiOT CJiaÓO ΚΗΟΛΚΘ 3ΗΒΗθΗΗΗ pH, ΠΡΕΕΘΜ ΟΟΘΛΘΙΟΤ ΟΟΘίΗΗΘΗΕΗ ΓΘΛΠΕΗ, ΚΟΤΟρΗΘ 3aTeM OTflejIHfOTCH.UpOHeCCH ΠρΟΜΗΒΚΕ Β ΟΚΗΟΛΘΗΗΗ COrJiaCHO Η3Ο0ρθΤΘΗΗΚ) ΠρΟΒΟβΗΤβ aTMOc$epe eamaTHoro raea e BO3HEKarauEe πρΕ ηβ3ββηηηχ npo-neccax βλοβητηθ ra3H norjiomaroTCB 3a οεθτ oópaTHOH προμηβκε enponycKa nepee pacTBop γηποχλορητθ ηητρηη. 245745 ΟτΧΟΛΗ, B03HHKaiOmHe Β CHCT6M6 OTXOAfflUHX Γ&30Β B yCTaHOBKHXjyw anuTaKcnajitHoro HapamHBaHHH H3 ra3OBoft $a3u, a Taicate cmoceΚΟΜΠΟΗΘΗΤΟΒ GaAe, GaP, GaAeIrX, Ρχ, GaCl^, GaN, AegO3, PgO5,CoiviacHO Η3θόρθΤθΗΗΐο 3ajiana pemaeTCH τθμ, eto τβθρληθ otxojpj, βο3ηεκθχκιεθ b npoueccax πολβροβκε e pacnroiHBaHHa, pacTBopmTB ΟΜΘΟΕ E3 aSOTHOflí E COJIflHOfi KHCJIOTH and paCTBOp COemíHHKT cnpOMHBOHHOŽ BOflOfi H3 pa3HHX ΕβΟΤθβ yCTaHOBKH, ETOÓH nOJIHOCTBKOKcnHHpoBaTt BHrpejtaeHTH.-JlotíaBHeHHeM mejioneií h KoaryjiHTopoBB HaCHmeHHOft OCHOBHOfi 30ΗΘ OCaa ^ Atotech H OTfleJIHMT ΟΟθΛΗΗΘΗΗΗ $ oc $> opa H ΜΗΠΙΒΗΚΘ. Β ΠξθΛΟΗΗΗβ paCTBOp, COMaCIíď "Η3Ο0ρθΤθΗΗΚ) HOÓaBJIÍHOT KHCJIOTy H also OÓpa3OM BOCCTaHaBOTBaiOT CJiaÓO ΚΗΟΛΚΘ 3ΗΒΗθΗΗΗ pH ΠΡΕΕΘΜ ΟΟΘΛΘΙΟΤ ΟΟΘίΗΗΘΗΕΗ ΓΘΛΠΕΗ, ΚΟΤΟρΗΘ 3aTeM OTflejIHfOTCH.UpOHeCCH ΠρΟΜΗΒΚΕ Β ΟΚΗΟΛΘΗΗΗ COrJiaCHO Η3Ο0ρθΤΘΗΗΚ) ΠρΟΒΟβΗΤβ aTMOc $ EPE eamaTHoro raea e BO3HEKarauEe πρΕ ηβ3ββηηηχ NPO-neccax βλοβητηθ ra3H norjiomaroTCB 3a οεθτ oópaTHOH προμηβκε enponycKa NEP pacTBop γηποχλορητθ ηητρηη. 245745 ΟτΧΟΛΗ, B03HHKaiOmHe Β CHCT6M6 OTXOAfflUHX Γ & 30Β B yCTaHOBKHXjyw anuTaKcnajitHoro HapamHBaHHH H3 ra3OBoft $ a3u and Taicate cmoceΚΟΜΠΟΗΘΗΤΟΒ GaAe, GaP, GaAeIrX, Ρχ, GaCl ^, GaN, AegO3, PgO5,
Ae, P coejcHHjroTCH c BOfloft b aTMOC$epe a30Ta. Βηπθληιοπιηθοη ra-3H, conepatamne μμπβηκ η φοοφορ, βμθοτθ c β3οτηοτημ γθ3ομ-ηο-ΟΗΤΘΛΘΜ ΠρΟΒΟίζΗΤ ΗΘΡΘ3 H3B0CTHyK) CHCTeMy OHHCTKH OTXOflWIXra30B, cojtepjKaiHTH) npoMHBKy Bojjofi no npoTHBOTOHHOMy npHHHnny, H ra300HHCTKy c pacTBopoM runoxjiopufla HaTpuH. OópaóoTaHHHfiTaKHM oópaeoM u HanpaBUHeMHfi b B03flymHo-TexHHHecKyio yoraHOB—Ae, P coejcHHjroTCH c BOfloft b aTMOC $ epe a30Ta. Βηπθληιοπιηθοη ra-3H, conepatamne μμπβηκ η φοοφορ, βμθοτθ c β3οτηοτημ γθ3ομ-ηο-ΟΗΤΘΛΘΜ ΠρΟΒΟίζΗΤ ΗΘΡΘ3 H3B0CTHyK) CHCTeMy OHHCTKH OTXOflWIXra30B, cojtepjKaiHTH) npoMHBKy Bojjofi well npoTHBOTOHHOMy npHHHnny H ra300HHCTKy c pacTBopoM runoxjiopufla HaTpuH. OopaóoTaHHHfiTaKHM oópaeoM in HanpaBUHeMHfi b B03flymHo-TexHHHecKyio yoraHOB—
Ky OTXOjmmaS ra3 ηθ conepoT Pomine HesonycTHMHX KOHpeHTpa-HH0 HBOBHTHX ΒΘΠΙΘΟΤΒ. ΟρΟΙΠΘΘΜΗΘ Πρ0Η3Β0Π0ΤΒΘΗΗ0Η ΒΟβΟΗ Η3COÓCTBeHHOÍÍ IÍHpKyjUmHOHHOS ΟΗΟΤΘΜΗ HaCTH yCTaHOBKH OHHHaiOTOflΜΘΧΗΗΗΗΘΟΚΗ, 3ΒΤΘΜ npOMtlBaíOTCH HHCTOÍÍ ΒΟβΟΗ H cyiIiaTCH Ha B03ny-ΧΘ. B03HHKaiOIHHH ΙφΗ ΠρΟΜΗΒΚΘ HKOBHTHH BOflHH® paCTBOp C ÓOJIB-ikoíí nojiefí oca^Ka οοθπηηηθτοη c pacTBopoM, β κοτοροΜ pacTsopeHti0čpa30BaBiiiHecH nocjie npopeccoB pacmuiHBaHHH h ποληροββηηηOCTHTKH, ΟΚΗΟΛΗΘΤΟΗ ΟΚΗΟΛΗΤΘΛΘΜ, TaKHM KaK, ΗΒΠρΗΜβρ, HgOgTHK HTO ΜΗΙΠΒΗΚ H φθθφθρ Β HX ΟΟΘΠΗΗΘΗΗΗΧ ΠθρθΒΟΛΗΤΟΗ Β ΗΒΗ—ΒΗΟΙΠΗΘ ΟΤΘΠΘΗΗ ΒΒΗΘΗΤΗΟΟΤΗ. 3ΤΟΤ BHXOAHOg paCTBOp ΗΜΘ6Τ 3Ha-ΗΘΗΗΘ ρΗ ΠΡΗ0ΛΗ3ΗΤΘΛΒΗΟ 1-3. ΠρΗ flOÓaBJíeHHH paCTBOpa aMMH-aKa η πρκ noMoruH οοοτβθτοτβυππθγο οοβπητθλη, HanpHMep MHKCTy- PH MaTHHH, B OCHOBHO0 OÓJiaCTH HpOHCXO^HT ΠΟΗΤΗ ΠΟΛΗΟΘ BUnaHH- \ ηηθ Bcex conep&aiHHX mhuibhk η φοοφορ οοοτθβηηχ HacTen.ΠρΗΜΘΗΘΗΗΒΗ Β ΚΗΗΘΟΤΒΘ OCaflHTGJIH MHKCTypa ΜΒΓΗΘ3ΗΗ COCTOHTH3 BO&HHHCTOTO paCTBOpa XJIOPHUS MaTHHH, XJIOpHÍB aMMOHHH HaMMHaKa.Ky OTXOjmmaS ra3 ηθ conepoT Pomine HesonycTHMHX KOHpeHTpa-HH0 HBOBHTHX ΒΘΠΙΘΟΤΒ. COρΟΙΠΘΘΜΗΘ Πρ0Η3Β0Π0ΤΒΘΗΗ0Η ΒΟβΟΗ Η3COÓCTBeHHOÍÍ IÍHpKyjUmHOHHOS ΟΗΟΤΘΜΗ HaCTH yCTaHOBKH OHHHaiOTOflΜΘΧΗΗΗΗΘΟΚΗ, 3ΒΤΘΜ npOMtlBaíOTCH HHCTOÍÍ ΒΟβΟΗ H cyiIiaTCH Ha B03ny-ΧΘ. B03HHKaiOIHHH ΙφΗ ΠρΟΜΗΒΚΘ HKOBHTHH BOflHH® paCTBOp ÓOJIB C-ikoíí nojiefí oca ^ K C οοθπηηηθτοη pacTBopoM, β κοτοροΜ pacTsopeHti0čpa30BaBiiiHecH nocjie npopeccoB pacmuiHBaHHH h ποληροββηηηOCTHTKH, ΟΚΗΟΛΗΘΤΟΗ ΟΚΗΟΛΗΤΘΛΘΜ, Takhte Kak, ΗΒΠρΗΜβρ, HgOgTHK HTO ΜΗΙΠΒΗΚ H φθθφθρ Β HX ΟΟΘΠΗΗΘΗΗΗΧ ΠθρθΒΟΛΗΤΟΗ Β ΗΒΗ-ΒΗΟΙΠΗΘ ΟΤΘΠΘΗΗ . 3ΤΟΤ BHXOAHOg paCTBOp ΗΜΘ6Τ 3Ha-ΗΘΗΗΘ ρΗ ΠΡΗ0ΛΗ3ΗΤΘΛΒΗΟ 1-3. ΠρΗ flOÓaBJíeHHH paCTBOpa aMMH-AKA η πρκ noMoruH οοοτβθτοτβυππθγο οοβπητθλη, HanpHMep MHKCTy- PH MaTHHH B OCHOBHO0 OÓJiaCTH HpOHCXO-HT ΠΟΗΤΗ ΠΟΛΗΟΘ BUnaHH- \ ηηθ Bcex conep & aiHHX mhuibhk η φοοφορ οοοτθβηηχ HacTen.ΠρΗΜΘΗΘΗΗΒΗ Β ΚΗΗΘΟΤΒΘ OCaflHTGJIH MHKCTypa ΜΒΓΗΘ3ΗΗ COCTOHTH3 BO & HHHCTOTO paCTBOpa XJIOPHUS MaTHHH, XJ10pHiB andMMOHHH HaMMHaKa.
BanaflaiOIUHfi OCa^OK ΟΤΚθΛΗΘΤΟΗ ΠθΚΒΗΤΗρΟΒΒΗΗΘΜ, ΟΘΠΗΜΘΗΤΗρΟΒΗ—ΗΗΘΜ, φΠΚΒΤρπρΟΒΒΗΗΘΜ HHH ΠΘΗΤρίίφγΤΗρΟΒΒΗΗΘΜ. Oca®HaiOmHH pac-ΤΒΟΡ ΠΡΗ0ΒΒΛΘΗΗΘΜ KHCHOTH βΟΒΟΠΗΤ KO CJiaóOKHCJIOrO COCTOHHHH, 245745 5« πρηηθμ BHnajtaeT ocanoK rajunui b βηλθ nwoKcnna h ero mohhoOTjtejiHTB ot pacTBopa BHnieHa3BaHHHMH μθτολθμη.BanaflaiOIUHfi OCa ^ OK ΟΤΚθΛΗΘΤΟΗ ΠθΚΒΗΤΗρΟΒΒΗΗΘΜ, ΟΘΠΗΜΘΗΤΗρΟΒΗ — ΗΗΘΜ, φΠΚΒΤρπρΟΒΒΗΗΘΜ HHH ΠΘΗΤρίίφγΤΗρΟΒΒΗΗΘΜ. Oca®HaiOmHH pac-ΡΗΡΗΡΗΒΒΛΘΗΗΘΜΒΒΛΘΗΗΘΜHHHHHHH C C C C C C C C C CJJJJJJJJJJJJJJJOCOCOCOCOCOCOCOCOCOC OCηOCOCOCOCηOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBBB
TaK xax mhuilhk x φοοφορ noane οκηολθηηη h ocaameHHH βμθκζγοηΒ flOCTaTOHHO' CTaÓHHBHHX ΟΟΘΛϋΗβΗΙΙΗΧ, ΚΟΜΠρΗΜΗρΟΒβΗΗθ ΗΛΟΒΗ-ΤΟΓΟ τβθρλογο BemecTBa προη3βολητοη nyreM HcnapeHna βολή πρκHarpeBe. Β cyxoft φορΜβ bo3mojkho HeonacHoe χροηθηηθ ηλοβητηχΟΤΧΟΛΟΒ. PaCTBOP, ΠΟΟΛβ ΠρΟΛθΟΟΟΒ ΟΟβΗΛβΗΗΗ ΘΛΘ ΟΟΛθρ«9®ΗίίΟΛΘΛΗ MHUILHKa, $OC$Opa Η ΓΘΛΛΗΗ, Η0Π0ΛΒ3γβΤ0Η Β ΠΗρί^ΛΗΛΗΟΗ-HOfi ΟΗΟΤΘΜΘ ΛΟ ΟΛβΛγΚΛΘΗ OHHCTKH HaCTeíí ycTaHOBKH. TaKHM0Ópa30M ΗΛΟΒΗΤΗΘ ΒΘΛΘΟΤΒΗ ΗΘ ΟΟΠρΗΚΗΟΗΙΟΤΟΗ C ΟΚργΗΒΚΠΙθβ Cp0-ΛΟΗ. ΒτορκΗΗΟβ cHpte - rajunift, B03HHKaxmee β βηλθ ΓΗΛΡΟΟΚΗΟΗraJUIHH, ΜΟΚΘΤ ÓHTB ΠρθΛΟΟΤΒΒΗΘΗΟ Β ρΗΟΠΟρΗΜΘΗΗΘ COOTBeTCTBy—ΐσίΛθίί ΠρΟΜΗΠΜΘΗΗΟΟΤΗ. ΠρΗΜθΡ OCymeCTBJíeHHH Η300ΡΘΤΘΗΗΗ Ηηηθ H3oópeTeHHe óojiee ποΛροόΗΟ ποηοηηθτοη Ha npHMepe eroocymecTBneHHH h πρκ πομολη pHcyHKa.TaK xax mhuilhk x φοοφορ noane οκηολθηηη h ocaameHHH βμθκζγοηΒ flOCTaTOHHO 'CTaÓHHBHHX ΟΟΘΛϋΗβΗΙΙΗΧ, ΚΟΜΠρΗΜΗρΟΒβΗΗθ ΗΛΟΒΗ-ΤΟΓΟ τβθρλογο BemecTBa προη3βολητοη nyreM HcnapeHna βολή πρκHarpeBe. X cyxoft φορΜβ bo3mojkho HeonacHoe χροηθηηθ ηλοβητηχΟΤΧΟΛΟΒ. PaCTBOP, ΠΟΟΛβ ΠρUθΟΟΟΒ ΟΟβΗΛβΗΗΗ ΟΟΛθρ «9®ΗίίΟΛΘΛΗ MHUILHKa, $ OC $ Opa ΓΘΛΛΗΗ ΓΘΛΛΗΗ, Η0Π0ΛΒ3γβΤ0Η Η ΠΗρί ^ ΛΗΛΗΟΗ-HOfi ΟΗΟΤΘΜΘ ΟΛβΛγΚΛΘΗ OHHCTKH HaCTeíí ycTaHOBKH. TaKHM0Ópa30M ΗΛΟΒΗΤΗΘ ΒΘΛΘΟΤΒΗ ΗΘ ΗΚΗΟΗΙΟΤΟΗΠρΗΚΗΟΗΙΟΤΟΗ C ΟΚργΗΒΚΠΙθβ Cp0-ΛΟΗ. CτορκΗΗΟβ cHpte - rajunift, B03HHKaxmee β βηλθ ΓΗΛΡΟΟΚΗΟΗraJUIHH, Ó ÓHTB ΠρθΛΟΟΤΒΒΗΘΗΟ Β ρΗΟΠΟρΗΜΘΗΗΘ COOTBeTCTBy — ΐσίΛθίί ΠρΟΜΗΠΜΘΗΗΟΟΤΗ. OCymeCTBJiHHH e300ΡΘΤΘΗΗΗ Hηηθ H3oópeTeHHe óojiee ποΛροόΗΟ ποηοηηθτοη Ha npHMepe eroocymecTBneHHH h πρκ πομολη pHcyHKa.
HacTH ycTaHOBKH, eaKynopeHHHe πρκ npoixecce θπητβκοηη H3 raeo-BOfi ΟΡΘΛΗ Tma A^By ΟΜΘΟΗΜΗ n0p0DIK00Ópa3HHX, ΘΜΟρφΗΗΧ H KPHC-TazmircecKHX τβθρληχ βθλθοτβ, οοΛθρ»θΛΗΧ raJuiaS, μεππβηκ, φοο-φορ, a30T, ΧΛΟΡ Η ΒΟΛΟΡΟΛ» BHyTpH ΟΗΗΟΤΗΤΘΛΒΗΟβ ΚβΜθρΗ 21 ΠρΗ-Φηθηιχοβηβθβτοη κ προλϊβοηηημ KJianaHaM 37 πο 40. ΗητθηοηβηημΠρΟΛΥΒΟΗΗβΜ a3OTOM ΛΟ ΒΗΤΘΟΗΘΗΗΗ Β03ΛΥΧβ, Β03ΛΥΧ ynaJlneTCHΗ3 ΟΉΗΟΤΗΤΘΛΒΗΟ8 ΚΒΜθρΗ 21. 3aTeM ΠΟΟρθΛΟΤΒΟΜ Haooca 22 nepesOTKPHBHIHHCH ÍOianaH 10 Η ΠΟΟΗΘΛΟΒΘΤΘΛΒΗΟ ΟΤΚρΗΒΘΜΛξΗΘΟΗ ΚΛΘΠΘΗΗ16 πο 19 ποοτθπθηηο ποληθτοη βολθ Η3 ixHpKyjumHH Η3 peaepByapa24 ho οβθηθη boa& nepes πρηΦζιθηποββηηηθ ήηοτη ycTaHOBKH. B03-ΗΗΚΗΚΛΗΗ πρπ STOH ΓΘ3 ΠρΗ ρΒ3ρΗ3ΚΘΗΗΗ MHHHMyM B 10 MM ΒΟΛ.ΟΤ.ocBOóosmaeTCH ot apcHHa η $oc$HHa πρπ πομολη οηηοτπτθλβηο®chctgmh oTpaóoTaBinero ra3a, cocTonmefi H3 ycTaHOBKH óópaTHoít 2*5745 f? -6- ΠρΟΜΗΒΚΗ 25 C BOflOfi Η ΓΒ300ΗΗ0ΤΜΤβΛΗ 26, ΗΗΠΟΛΗΘΗΗΟΓΟ paC-ΤΒοροΜ ranoxJiopHTa HaTpua, η HanpaBJweTCH β βθητηληρηοηηυιοycTaHOBKy 20. Κοητρολβ hhobhthx ra30B β οτχοληπιθμ BO3^yxeιτρ0Η3Β0ΒΗΤ0Η npn πομοπιη TpyóoK Jperepa jyia apcHHa h $oc$HHa.IlocJie κρβτκοβρθμθηηογο nponycKa προμηβοήηο0 jkhukocth KJianaHH16 «o 19 3aicpnBaiOT, πολβολκ k npojyBHHM oanaHaM 37 jto 40yflaJL®OTCH h οτλοχθηηη b πρηΦζιβηηοββηηηχ nacTax ycTaHOBKH npnnoMomn HHCTpyMSHTa, KaK, HanpuMep, cBep^a, n nocjresyioinero no-jiocKaHHH BOňoň, KOTopaa πολβοβητοη napě 3 raÓKHfi umám? npn ot-ΚΡΗΤΟΜ ΒΘΗΤΗΚβ 12, ΒΒΟΛΗΤ BOBHyTpt ΟΗΗΟΤΗΤΘΛΒΗΟβ ΚΘΜβρΗ.HacTH ycTaHOBKH, eaKynopeHHHe πρκ npoixecce θπητβκοηη H3 raeo-BOfi ΟΡΘΛΗ TMA ^ By ΟΜΘΟΗΜΗ n0p0DIK00Ópa3HHX, ΘΜΟρφΗΗΧ H-KPHC TazmircecKHX τβθρληχ βθλθοτβ, οοΛθρ »θΛΗΧ raJuiaS, μεππβηκ, φοο-φορ, A30t, ΧΛΟΡ Η ΒΟΛΟΡΟΛ» BHyTpH ΟΗΗΟΤΗΤΘΛΒΗΟβ ΚβΜθρΗ 21 ΠρΗ- Φηθηιχοβηβθβτοη κ προλϊβοηηημ KJianaHaM 37 πο 40. ΗητθηοηβηημΠρΟΛΥΒΟΗΗβΜ a3OTOM ΛΟ ΒΗΤΘΟΗΘΗΗΗ Β03ΛΥΧβ, Β03ΛΥΧ ynaJlneTCHΗ3 ΟΉΗΟΤΗΤΘΛΒΗΟ8 ΚΒΜθρΗ 21st 3aTeM ΠΟΟρθΛΟΤΒΟΜ Haooca 22 nepesOTKPHBHIHHCH ÍOianaH 10 Η ΠΟΟΗΘΛΟΒΘΤΘΛΒΗΟ ΟΤΚρΗΒΘΜΛξΗΘΟΗ ΚΛΘΠΘΗΗ16 πο 19 ποοτθπθηηο ποληθτοη βολθ Η3 ixHpKyjumHH Η3 peaepByapa24 it οβθηθη boa & nees πρηΦζιθηποββηηηθ ήηοτη ycTaHOBKH. B03-ρ πρπ STOH ΓΘ3 ΠρΗ ρΒ3ρΗ3ΚΘΗΗΗ MHHHMyM B 10 MM ΟΤ.oc.ocBOóosmaeTCH ot apcHHa η $ oc $ HHa πρμ πομολη οηηοτπτθλβηο®chctgmh oTpaóoTaBinero ra3a, cocTonmefi H3 ycTaHOBKH óópaTHoít 2 * 5745 f? -6- ΠρΟΜΗΒΚΗ 25 C BOflOfi Η ΓΒ300ΗΗ0ΤΜΤβΛΗ 26 ΗΗΠΟΛΗΘΗΗΟΓΟ PAC-ΤΒοροΜ ranoxJiopHTa HaTpua, η β HanpaBJweTCH βθητηληρηοηηυιοycTaHOBKy 20th Κοητρολβ hhobhthx ra30B β οτχοληπιθμ BO3 ^ yxeιτρ0Η3Β0ΒΗΤ0Η npn πομοπιη TpyóoK Jperepa jyia apcHHa h $ alpha $ HHa.IlocJie κρβτκοβρθμθηηογο nponycKa προμηβοήηο0 jkhukocth KJianaHH16 «19 3aicpnBaiOT, πολβολκ npojyBHHM oanaHaM for 37 h JTO 40yflaJL®OTCH οτλοχθηηη b πρηΦζιβηηοββηηηχ nacTax ycTaHOBKH npnnoMomn HHCTpyMSHTa, Kak, HanpuMep, cBep ^ and n-well nocjresyioinero jiocKaHHH BOňoň, KOTopaa πολβοβητοη overvoltages 3 raÓKHfi umami? npn ot-12β 12, OB BOBHyTpt ptβ ΟΗΗΟΤΗΤΘΛΒΗΟβρΗ.
HocJie HHTeHCHBHoro npoflyBaHHH a3OTOM OHHCTETejiBHaH KaMepa ot-KpuBaeTCH h npn^iaimoBaHHHe, Tenept οήηπιθηηηθ ήηοτη ycTaHOBKHΠΟΟΛβ npOMEBaHHH CBeJKefi BOKOfl ynaJUBOTCfl H3 οπηοτητθλβηοη κημθ-pu 21, npocyinHBaioTCH Ha BO3,nyxe, nocjie nero οπητβ γοτοβη k hc-nojn>30BaHino b nocaenyioíma nponeccax θπητθκοηη.HocJie HHTeHCHBHoro npoflyBaHHH a3OTOM OHHCTETejiBHaH KaMepa OT-KpuBaeTCH h npn ^ iaimoBaHHHe, Tenept οήηπιθηηηθ ήηοτη ycTaHOBKHΠΟΟΛβ npOMEBaHHH CBeJKefi BOKOfl ynaJUBOTCfl H3 οπηοτητθλβηοη κημθ-pu 21 npocyinHBaioTCH Ha BO3, nyxe, nocjie Nero οπητβ γοτοβη to HC-nojn> 30BaHino b nocaenyioíma nponeccax θπητθκοηη.
Coflepacamyio ocajpK jkhukoctb, nojiyneHnyio noojie ohhctkh, Teneptcoe^MHHioT co CMecBio H3 3 nacTefi a30TH0ň κηολοτη η I nacTLiocoJXHHofi khcjioth, b κοτοροΑ pacTBopeHH ΟΟΤΒΒΙϋΗΘΟΗ ΠΟΟΛβ nponec-COB pacnOHBaHHH Η ΠΟΛίφΟΒβΗΗΗ ΤΒβρΛΗθ BemeCTBa, ΠΟΟΛβ ΠβΓΟnpHÓaBJMioT I jo '3 λ πβρβκποπ Bonopona. ΟκηοΛβΗΗβπ κηλκοοτβ npn noMomn Hacoca 23 nocJie otkphthh oa-naHOB 15 h 9 noaaeTCH b nepBHfi pe3epgyap jyia κηολοτη 27. Te-nepi> ΛοόΗΒΛβΗΗβΜ aMMuaxa ηλη cpenoTBa jma ocasmeHHH, KaK mhkc-TypH ΜβΓΗΘ3ΗΗ, yCTaHaBJIHBaiOT 3HaHeHne pH OT 8 - 10. Βθ3ΗΗΚΘΚ(-mne πρκ 3T0M ra3H BcacuBajoTCH πβρβ3 KnanaH 7 b BeHTiytHnHOHHytoycTaHOBKy 20. Πο ποτβπβΗΗκ οτ 5 λο 8 nacoB προβολητοη rpytíoepa3,nejieHiie. Ποοτθπθηηο nocJieBOBaTejiBHo πβρβ3 οτκρπτΗβ KnanaHH 3, 2, I η 6οοβθτλθηηηη pacTBop ΛθκβΗΤΗργβτοΗ BO BTOpofl pe3epByap c ΚΗΟΛΟ-Tofi 28. Ilpu floóaBJíeHHH οοληηοΑ κηολοτη ycTaHaBJíHBaioT 3HaneHHe 245745 7- pH 6, πρκ κοτοροΜ nponcxcwT BTopoe ocaroeHíie, npemyinecT-ΒθΗΗΟ Qa/oH/^. Πθ ΜΟΤΘΗΘΗΗΗ ΠρΗ0ΛΗ3ΗΤΘΛΒΗΟ AByX HaCOB ΟΟΒβΤΛΘΗΗΗΗ paCTBOpποοτθπθηηο aeKaHTHpyeTCH nepe3 KjranaHH 6, 5, 4 a 10 β peeep-syap 24. Βηπθβπιηθ b nepBOM κ BŤopoM pesepnyapax c khcjiotoS27 h 28 nmaM00dpa3HHe ocajura nepe3 KJianaHH 14 h 13 οληβθκτοηb βοβοηοπβρητθλβηη0 cocyn 29 (h3 HepacaBeiomefi cTajin mra 3Ma-JIHpOBaHHOÍi JIHCTOBOÍÍ CTaJIH) Η ΚΟΜΠρΗΜΙφγΚΤΟΗ ΠΟΑ BHTH3KHHM ΙΠΚβ-$OM Ha ΘΑΘΚΤρΟΠΛΗΤΚΘ 30 ΠγΤΘΜ ΗΟΠΒρθΗΗΗ BOflH. 0Ópa3OBaBHIHeCHTHKHM 0Ópa30M OTXO£H Πρ0Η3Β0Α0ΤΒΘ 3ΗΠ0ΛΗΗΗ)Τ0Η B ΠρΗΓΟΑΗΗΚ RUSIxpaHeHHH peeepByap h crniaAnpyioTCH mra nocTynaioT b npon3BOAcr-bo b KanecTBe βτορηηηογο chpbh. 245745 -θ- $OPMyJia Η300ΡΘΤΘΗΗΗ I.IIoflroTOBKa nocpeflCTBOM XHMiraecKofi oópaóoTKH κ noBTopHOMy hc-Π0ΛΒ30ΒΘΗΗΚ) ΒΟ3ΗΗΚΘΚΗΙΙΗΧ ΠρΗ Πρ01<ϊ3Β0Λ0ΤΒΘ nOJiynpOBOflHHKOBHXΠΡΗΰΟρΟΒ OTXOflOB, Β HaCTHOCTH ΠρΗ ΘΠΗΤβΚΟΗΘΛΒΗΟΜ HapaiUHBaHHHΗ3 ra3OBoS $a3K η/ηλη noJurpoBaHHH «/mra pacmaHBaHHH nojiynpo-BOflHHKOBHX ΜΘΤβρΗΘΛΟΒ ΤΗΠΘ AjjjBy , ΗΠΗ ΠρθΒρθΙξθΗΗΘ HX B CTa-0ΗΛΒΗΗΘ ΟΜθΟΗ TBepjUJX ΒΘΠΙΘΟΤΒ, ΟΠΟΟΟ0ΗΗΧ Κ ΛΛΗΤΘΛΒΗΟΜγ XpaHG-hhio, OTJiiraaiomaHCH tgm, hto ocaswaiomHecH TBepjpje otxoeh pac-TBOpflJOT B ΟΜΘΟΗ β3ΟΤΗΟ0 H COJIHHOfi KHCJIOT, pac CBOp ΟΟΘ,ξΗΗΗΙΟΤC npOMHBOHHOlí BOflOft H3 ΗΘΟΤθβ yCTaHOBKH, aOÓaiUUBOT CpeflCTBa&JIH ΟΚΗΟΛΘΗΗΗ, 3ΘΤΘΜ B ΚΟΗΒΘΗΤρΗρΟΒΘΗΗΟΗ OGHOBÍIOň 3ΟΗΘ φΗAoóaBJíeHHH aMwmaKa mm cpencTBa jyin ocasmeHHH ocaswaioT h ot-ΛΘληιοτ coejcHHeHHfl MumiHKa h $oc$opa, xnnKan nacTB pacTBopa #o·0ηβλθηηθμ cojihhoS khcjioth λοβολητοη eo 3ηηηθηηη pH 6 h ipn3TOM b Bnne runpoKcnna ocasmaeTCH rajuinň, ηβοβητηθ ra3H ste,0ópa30BaBinHecH b npejumyumx paóonHX nponeccax, oninnaioT otípaTrHOfl IipOMHBKOfl BOflOfi Η ΠρΟΙψΟΚΘΗΗΘΜ Ήθρθ3 paCTBOp ΓΗΠΟΧΛΟρΗΤΘHaTpuH, a Taras τθμ, hto patíoHHe onepanHH προμηβκη nacTefíycTaHOBKH η okhcjiohhh προτθΚθίοτ b aTMOC$epe 3θπιητηογο ra3a. 2. ΜΘΤΟΛ nOflrOTQBKH K riOBTOpHOMy HCn0JH>30BaHHH) ΟΤΧΟβΟΒ COWiaCHOnyHKTy I, oTjnraaronmftCH τθμ, hto b κθηθοτβθ 3amHTHoro raea πρκΜΘΗΗΘΤΟΗ a30T. 3. Μθτοβ ποβγοτοβκη οτχολοβ no nyHKTy I, OTjnrearanHftCH τθμ, ήτοKaK cpencTBO οκη&πθηηη πρημθηηθτοη 30^hhS pacTBop HgOg. 4. Μθτολ πολγοτοβκη otxobob no nyHKTy I; OTJiircaioinHHCH τθμ, htoκθκ cpe^cTBO jwh ocaameHHH πρημθηηθτοη MHKCTypa μθγηθ3ηη, co-CToamaH H3 BOflHHHCToro pacTBopa ημμηβκβ, xjiopnua μθγηθ3Ηη hXJIOpmia aMMOHHH. 245745 -9- 5.Μθτολ noflroTOBKH OTXOflOB no nymíTy I, OTJimaKHUHHGH τθμ, η;τοKaK npOMHBOHHan BOfla ftZLH HaCTeÉ yCTaHOBKH HCnOJIB3yeTCH OTXO-Sfluafl nocjie ocasmeHUH rimpooKHCH rajuira Boj^a. 245745 -10-Coflepacamyio ocajpK jkhukoctb, nojiyneHnyio noojie ohhctkh, Teneptcoe ^ MHHioT what CMecBio H3 3 nacTefi a30TH0ň κηολοτη η I nacTLiocoJXHHofi khcjioth b κοτοροΑ pacTBopeHH ΟΟΤΒΒΙϋΗΘΟΗ ΠΟΟΛβ nponec --COB pacnOHBaHHH Η ΠΟΛίφΟΒβΗΗΗ ΤΒβρΛΗθ BemeCTBa, ΠΟΟΛβ ΠβΓΟnpHÓaBJMioT I yo '3 λ πβρβκποπ Bonopona. ΟκηοΛβΗΗβπ κηλκοοτβ npn noMomn Hacoca nocJie otkphthh 23 OA-naHOB 15 h 9 b noaaeTCH nepBHfi pe3epgyap jyia κηολοτη 27th-Te Nepi> ΛοόΗΒΛβΗΗβΜ aMMuaxa ηλη cpenoTBa JMA ocasmeHHH, KaK mhkc ΜβΓΗΘ3ΗΗ-typhi, yCTaHaBJIHBaiOT 3HaHeHne OT pH 8 to 10 Βθ3ΗΗΚΘΚ (- me πρκ 3T0M ra3H BcacuBajoTCH πβρβ3 KnanaH 7 b BeHTiytHnHOHHytoycTaHOBKy 20th Πο ποτβπβΗΗκ οτ 5 λο 8 nacoB προβολητοη rpytíoepa3, nejieHiie. Ποοτθπθηηο nocJieBOBaTejiBHo πβρβ3 οτκρπτΗβ KnanaHH 3, 2, I η 6οοβθτλθηηηη pacTBop ΛθκβΗΤΗργβτοΗ BO BTOpofl pe3epByap c-ΚΗΟΛΟ Tofi 28th Ilpu floóaBJíeHHH οοληηοΑ 57 ο 57 57 57 57 57 57 57 57 57 57 57 57 op op op op op op op y y y a y ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ ΤΛΘΗΗΗΗ j j j j -syap 24th Βηπθβπιηθ b nepBOM κ BŤopoM pesepnyapax c h khcjiotoS27 28 nmaM00dpa3HHe ocajura nepe3 KJianaHH 14 h 13 οληβθκτοηb βοβοηοπβρητθλβηη0 cocyn 29 (h3 HepacaBeiomefi cTajin MRA-3mA JIHpOBaHHOÍi JIHCTOBOÍÍ CTaJIH) Η ΚΟΜΠρΗΜΙφγΚΤΟΗ ΠΟΑ BHTH3KHHM ΙΠΚβ- OM $ Ha ΘΑΘΚΤρΟΠΛΗΤΚΘ 30 ΠγΤΘΜ ΗΟΠΒρθΗΗΗ BOflH . 0Ópa3OBaBHIHeCHTHKHM 0Ópa30M OTXO £ H Πρ0Η3Β0Α0ΤΒΘ 3ΗΠ0ΛΗΗΗ) Τ0ΗB ΠρΗΓΟΑΗΗΚ RUSIxpaHeHHH peeepByap h crniaAnpyioTCH mra nocTynaioT b npon3BOAcr-bo b KanecTBe βτορηηηογο chpbh. $ 245,745 -θ- OPMyJia Η300ΡΘΤΘΗΗΗ I.IIoflroTOBKa nocpeflCTBOM XHMiraecKofi oópaóoTKH κ noBTopHOMy HC-Π0ΛΒ30ΒΘΗΗΚ) ΒΟ3ΗΗΚΘΚΗΙΙΗΧ ΠρΗ Πρ01 <ϊ3Β0Λ0ΤΒΘ nOJiynpOBOflHHKOBHXΠΡΗΰΟρΟΒ OTXOflOB, Β HaCTHOCTH ΠρΗ ΘΠΗΤβΚΟΗΘΛΒΗΟΜ HapaiUHBaHHHΗ3 ra3OBoS $ A3K η / ηλη noJurpoBaHHH «/ MRA pacmaHBaHHH nojiynpo-BOflHHKOBHX ΜΘΤβρΗΘΛΟΒ ΤΗΠΘ AjjjBy, ΗΠΗ ΠρθΒρθΙξθΗΗΘ HX B CTA-0ΗΛΒΗΗΘ ΟΜθΟΗ TBepjUJX ΒΘΠΙΘΟΤΒ, ΟΠΟΟΟ0ΗΗΧ Κ ΛΛΗΤΘΛΒΗΟΜγ XpaHG-hhio, OTJiiraaiomaHCH TGM HTO ocaswaiomHecH TBepjpje otxoeh pac-TBOpflJOT B ΟΜΘΟΗ β3ΟΤΗΟ0 H COJIHHOfi KHCJIOT PAC CBOp ΟΟΘ, ξΗΗΗΙΟΤC npOMHBOHHOlí BOflOft H3 ΗΘΟΤθβ yCTaHOBKH, aOÓaiUUBOT CpeflCTBa & SOUTH ΟΚΗΟΛΘΗΗΗ, 3ΘΤΘΜ B ΚΟΗΒΘΗΤρΗρΟΒΘΗΗΟΗ OGHOBÍIOň 3ΟΗΘ φΗAoóaBJíeHHH aMwmaKa mm cpencTBa jyin ocasmeHHH ocaswaioT h ot-ηληιοτ coejcHHeHHfl MumiHKa h $ oc $ opa, xnnKan n ACTB pacTBopa # o · 0ηβλθηηθμ cojihhoS khcjioth λοβολητοη eo 3ηηηθηηη pH 6 h ipn3TOM b Bnne runpoKcnna ocasmaeTCH rajuinň, ηβοβητηθ ra3H you, 0ópa30BaBinHecH b npejumyumx paóonHX nponeccax, oninnaioT otípaTrHOfl IipOMHBKOfl BOflOfi Η ΠρΟΙψΟΚΘΗΗΘΜ Ήθρθ3 paCTBOp ΓΗΠΟΧΛΟρΗΤΘHaTpuH, and Taras τθμ, HTO patíoHHe onepanHH προμηβκη nacTefíycTaHOBKH η okhcjiohhh προτθΚθίοτ b aTMOC $ epe 3θπιητηογο ra3a. 2. O nOflrOTQBKH K riOBTOpHOMy HCn0JH> 30BaHHH) ΟΒβΟΒ COWiaCHOnyHKTy I, oTjnraaronmftCH τθμ, hto b κθηθοτβθ 3amHTHoro raea πρκΜΘΗΗΘΤΟΗ a30T. 3. Tθτοβ ποβγοτοβκη οτχολοβ no nyHKTy I, OTjnrearanHftCH τθμ, ήτοKaK cpencTBO οκη & πθηηη πρημθηηθτοη 30 ^ hhS pacTBop HgOg. 4. Μθτολ πολγοτοβκη otxobob no nyHKTy I; OTJiircaioinHHCH τθμ, htoκθκ cpe ^ cTBO jwh ocaameHHH πρημθηηη MHKCTypa μθγηθ3ηη, co-CToamaH H3 BOflHHHCToro pacTBopa ημμηβκβ, xjiopnua μθγηθ3Ηη hXJIOpmia aMMOHHH. 245745 -9- 5.Μθτολ noflroTOBKH OTXOflOB no nymTy I, OTJimaKHUHHGH τθμ, η; τοKaK npOMHBOHHan BOfla ftZLH HaCTeÉ yCTaHOBKH HCnOJIB3yeTCH OTXO-Sfluafl nocjie ocasmeHUH rimpooKHCH rajuira Boj ^ a. 245745 -10-
AHHOTaiíHH Μ300ρθτθηηθ KacaeTca πολγοτοβκη 0dpa30BaBmHxcH ποολθ H3ro-TOBJISHHH 3JieKTpOHHO-nOJrynpOBOAHHKOBHX ΘΛΘΜΘΗΤΟΒ HflOBHTHXOTXOflOB, B OCOtíeHHOOTH 0dpa30BaBUIKXCH IipH amiTaKCHaJIBHOMHapaiUHBaHHH H3 ra3OBOÉ $a3n h/hjih nojiupoBaHUH h/hjih pacnn-JIHBaHHH nOJiynpOBO^HHKOBHX ΜΒΤθρΗΗΛΟΒ THna ΑΙΙΙΰν K BTO-PHHHOMy Η0Π0Ο30ΒΘΗΗΚ) ΠΟΟρθ^ΟΤΒΟΜ ΧΗΜΗΗΘΟΚΟβ OÓpaÓOTKH, HJIHnojiy^eHHH cTaóanBHHX cwieceS H3 τβθρληχ BemecTB, πρηγοληηχκ jyiHTejibHOMy xpaHeHmo, hjih odoramemioro βτορηηηογο chpbh.CorJiaCHO Η30ΰρθΤΘΗΗΚ) ΟΤΧΟβΗ paCTBOpffiOTCH B ΟΜθΟΗ H3 KHCJIOTHO OKHCJlfWTCH B ΒΟ£θ H OCaWJOTCH B ΚΟΗΙΙβΗΤρΗρΟΒΗΗΗΟΗ OCHOB-HOfi 30ΗΘ B ΒΚΛθ ΟΟΘβΗΗΘΗΗΗ $oc$opa H MHfflBHKa,' OdpaTHOÍi UHp-KyAHHHeii jkhukoh nacTH cMecH b cjiado KHCJiyio cpefly ocasjíaioTCHΟΟθΛΗΗΘΗΗΗ raJUIHH. 0dpa3OBaBuiHeca b npoiíecce ra3H ohwiotch bojzoK h pacTBopoMmnoxJiopHTa, nprraeM &jih pacTBopeHHH hjih bphhhthh otxoaobynoTpedJiHioTCfl pacTBopa, conepatamne ηεοβητηθ BemecTBa. PadonneonepaiiHH πρηηητηθ οτχολοβ b βοηθ z οκηολθηηθ προβολητοη b aT-Moc$epe 3amnTHoro ra3a. 245745AHHOTaiíHH Μ300ρθτθηηθ KacaeTca πολγοτοβκη 0dpa30BaBmHxcH ποολθ H3ro-TOBJISHHH 3JieKTpOHHO-nOJrynpOBOAHHKOBHX ΘΛΘΜΘΗΤΟΒ HflOBHTHXOTXOflOB B OCOtíeHHOOTH 0dpa30BaBUIKXCH IipH amiTaKCHaJIBHOMHapaiUHBaHHH H3 ra3OBOÉ $ A3N h / hjih nojiupoBaHUH h / hjih pacnn-JIHBaHHH nOJiynpOBO ^ HHKOBHX ΜΒΤθρΗΗΛΟΒ THna ΑΙΙΙΰν K BTO-PHHHOMy Η0Π0Ο30ΒΘΗΗΚ) ΠΟΟρθ ^ ΟΤΒΟΜ ΧΗΜΗΗΘΟΚΟβ OÓpaÓOTKH, HJIHnojiy ^ ehhh cTaóanBHHX cwieceS H3 τβθρληχ BemecTB, πρηγοληηχκ jyiHTejibHOMy xpaHeHmo, hjih odoramemioro βτορηηηογο chpbh.CorJiaCHO Η30ΰρθΤΘΗΗΚ) ΟΤΧΟβΗ paCTBOpffiOTCH B ΟΜθΟΗ H3 KHCJIOTHO OKHCJlfWTCH B ΒΟ £ θ H OCaWJOTCH ΚΟΗΙΙβΗΤρΗρΟΒΗΗΗΟΗ OCHOB B-B Hofi 30ΗΘ ΒΚΛθ ΟΟΘβΗΗΘΗΗΗ $ alpha $ H OPA MHfflBHKa, 'OdpaTHOIi UHp-KyAHHHeii jkhukoh nacTH cMecH b cjiado KHCJiyio cpefly ocasjiaioTCHΟΟθΛΗΗΘΗΗΗ raJUIHH. 0dpa3OBaBuiHeca b npoiíecce ra3H ohwiotch bojzoK h pacTBopoMmnoxJiopHTa, nprraeM & south pacTBopeHHH hjih bphhhthh otxoaobynoTpedJiHioTCfl pacTBopa, conepatamne ηεοβητηθ BemecTBa. PadonneonepaiiHH πρηηητηθ οτχολοβ b βοηθ from οκηολθηη προβολητοη b aT-Moc $ epe 3amnTHoro ra3a. 245745
Claims (4)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD81235308A DD210809A3 (en) | 1981-12-02 | 1981-12-02 | PREPARATION OF PRODUCTS ARISING FROM THE MANUFACTURE OF ELECTRONIC SEMICONDUCTOR ELEMENTS |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS708682A1 CS708682A1 (en) | 1985-06-13 |
| CS245745B1 true CS245745B1 (en) | 1986-10-16 |
Family
ID=5535057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS827086A CS245745B1 (en) | 1981-12-02 | 1982-10-05 | Method of chemical processing of wastes produced in production of semiconductor elements |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| BG (1) | BG43909A1 (en) |
| CS (1) | CS245745B1 (en) |
| DD (1) | DD210809A3 (en) |
| RO (1) | RO84411B (en) |
| SU (1) | SU1308653A1 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5972073A (en) * | 1997-10-02 | 1999-10-26 | The University Of Dayton | Recovery of the components of group III-V material aqueous wastes |
-
1981
- 1981-12-02 DD DD81235308A patent/DD210809A3/en not_active IP Right Cessation
-
1982
- 1982-09-29 SU SU827772645A patent/SU1308653A1/en active
- 1982-09-29 BG BG5812482A patent/BG43909A1/en unknown
- 1982-10-05 CS CS827086A patent/CS245745B1/en unknown
- 1982-11-30 RO RO109183A patent/RO84411B/en unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| BG43909A1 (en) | 1988-09-15 |
| DD210809A3 (en) | 1984-06-20 |
| CS708682A1 (en) | 1985-06-13 |
| RO84411B (en) | 1984-08-30 |
| RO84411A (en) | 1984-06-21 |
| SU1308653A1 (en) | 1987-05-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Martell et al. | Coordination of Al (III) in the environment and in biological systems | |
| CN102180540B (en) | Water treatment medicament for eliminating pollution through oxidation of high-activity intermediate state pentavalent manganese | |
| JP5817718B2 (en) | Chemical substance treatment agent containing persulfate and silver complex, and chemical substance decomposition method using the same | |
| KR950034561A (en) | Semiconductor Surface Treatment Agents and Treatment Methods | |
| JPH02207891A (en) | Decomposition of nitrophenol | |
| CS245745B1 (en) | Method of chemical processing of wastes produced in production of semiconductor elements | |
| Kapteijn et al. | Decomposition of nitrous oxide over ZSM-5 catalysts | |
| US20040079681A1 (en) | Recycle process for a metal bearing sludge concentrate | |
| JP4721320B2 (en) | Decomposition method of organic pollutants | |
| ATE6055T1 (en) | PROCESS FOR THE MANUFACTURE OF MULTI-TRACE NUTRIENT FERTILIZER. | |
| DK0686166T3 (en) | Process and polycondensation plant for purifying contaminated ethylene glycol | |
| Stevens et al. | Oxidation of cysteine, cysteine methyl ester, and penicillamine by copper (II)-2, 9-dimethyl-1, 10-phenanthroline complexes | |
| KR20180118759A (en) | Treatment agent for wastewater containing cyanide and method for treating wastewater containing cyanide using the same | |
| MX172335B (en) | NEW PROCEDURE FOR OBTAINING POTASSIC MANGANATE (K2MN04), FOR THE INDUSTRIAL MANUFACTURE OF POTASSIC PERMANGANATE (KMN04), FROM NATURAL MINERALS OR MANGANESE BIOXIDE COMPOUNDS | |
| JP2021053620A (en) | Treatment method for cyanide-containing wastewater | |
| JP2001300553A (en) | Method for treating cyanide-containing wastewater | |
| EE200100627A (en) | Pressed products of non-sintering salt | |
| CN1100714A (en) | Nitrosamine inhibition | |
| ATE111971T1 (en) | BATHS AND PROCESSES FOR CHEMICAL POLISHING OF STAINLESS STEEL SURFACES. | |
| JP7111308B2 (en) | High-concentration stabilization method and treatment method for bleaching agents for clothing and building interior and exterior materials | |
| ES8406383A1 (en) | A method for producing water-purifying chemicals. | |
| JPS6018475B2 (en) | Treatment method for cyanide-containing plating solution wastewater | |
| Carr | Ferrate ion: potential uses in advanced wastewater treatment | |
| Piao et al. | Complexations of 13-group metalsIII with 7-[(2-hydroxy-5-chlorophenyl) azo]-8-hydroxyquinoline-5-sulfonate | |
| Rohrer | Chemical precipitants for lead-bearing waste waters |