CS245743B1 - Apparatus for high-duty spraying based on the principle of plasmatron - Google Patents

Apparatus for high-duty spraying based on the principle of plasmatron Download PDF

Info

Publication number
CS245743B1
CS245743B1 CS826383A CS638382A CS245743B1 CS 245743 B1 CS245743 B1 CS 245743B1 CS 826383 A CS826383 A CS 826383A CS 638382 A CS638382 A CS 638382A CS 245743 B1 CS245743 B1 CS 245743B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
plasma
electromagnetic field
field generating
plasmatron
anode
Prior art date
Application number
CS826383A
Other languages
Czech (cs)
Other versions
CS638382A1 (en
Inventor
Wolfgang Erbkamm
Johannes Hartung
Volkmar Spreitz
Klaus Goedicke
Ullrich Heisig
Gerhard Kuehn
Siegfried Schiller
Guenther Beister
Hans-Christian Hecht
Original Assignee
Wolfgang Erbkamm
Johannes Hartung
Volkmar Spreitz
Klaus Goedicke
Ullrich Heisig
Gerhard Kuehn
Siegfried Schiller
Guenther Beister
Hecht Hans Christian
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wolfgang Erbkamm, Johannes Hartung, Volkmar Spreitz, Klaus Goedicke, Ullrich Heisig, Gerhard Kuehn, Siegfried Schiller, Guenther Beister, Hecht Hans Christian filed Critical Wolfgang Erbkamm
Publication of CS638382A1 publication Critical patent/CS638382A1/en
Publication of CS245743B1 publication Critical patent/CS245743B1/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3402Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering using supplementary magnetic fields
    • H01J37/3405Magnetron sputtering

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Description

-2- OánaCTL ΠρΗΜΘΗΘΗΗΗ Η300ρ0ΤΘΗΗΗ-2- OánaCTL ΠρΗΜΘΗΘΗΗΗ Η300ρ0ΤΘΗΗΗ

JfcHHoe H30ÓpeT6Hne KacaeTCH ycTpožcTBa jyisi βηοοκοπροη3βοβη-τθΛΒΗΟΓο pacnujiema no npHHunny iuia3MaTpoHa. Tarae ycTpoficT-Ba npe,nHa3HaneHH b κθηθοτβθ hctohhekob nacTun; rhh ycTaHOBOKjyia BaKyyMHoro pacnuneoH c nembB ocas^ema πλθηοκ, πρημθηη-βΜΗΧ B CaMHX pa3HHX OÓJiaCTflX ΤΘΧΗΗΚη, B nacraocTH θλθκτροηηκη,onTHKH n o&iaropaxiiBaHHB MarepnaaoB.JfcHHoe H30OpeT6Hne KacaeTCH ycTpozcTBa jyisi βηοοκοπροη3βοβη-τθΛΒΗΟΓο pacnujiema no npHHunny iuia3MaTpoHa. Tarae ycTpoficT-Ba npe, nHa3HaneHH b κθηθοτβθ hctohhekob nacTun; rhh ycTaHOBOKjyia BaKyyMHoro pacnuneoH c nembB tail ^ ema πλθηοκ, πρημθηη-βΜΗΧ B CaMHX pa3HHX OÓJiaCTflX ΤΘΧΗΗΚη, B nacraocTH θλθκτροηηκη, onTHKH n o & iaropaxiiBaHHB MarepnaaoB.

XapaKTepncTHKa η3βθοτηηχ τθχηεριθοκβχ pemeHnfi ' H3 aHCJia HCTOHHEKOB ΠΛ33Μ3ΤρθΗ3 pa3HOOÓpa3HHX KOHCTpyKHE±npew βοθγο b npaKTHKe onpaBjxaaH ceóa ocHameHme πλοοκημηΜΗΠΙΘΗΗΜΗ H3 ΠΟΛΠΘ3ΚΘΙΙ(ΗΧ ρθΟΠΗΛΘΗΚΒ ΜΘΤθρΠΘΛΟΒ Η ΗΜΘΟΗΗΘ yftTOI-HGHHyK) KOJtLUOByB npope31> jyiH ΗΘΠΗΠΘΗΗΗ ΠΟΛΙΟΚΘΚ C ÓOJIBniHMHmioina&aMH ποβθρχηοοτη. B ycjioBMx τθχηηηθοκογο ncnojii>3OBaHHaTaKHX HCTOaHHKOB ΟΓρθΗΙίΉΘΗΗηδ, 0TH0CHT6JIBH0 HH3KHfi Κ03φφΕΠξΚΘΗΤ 245743 -3- ncnojn>3OBaHJiH MaTepnaJia μηηιθηη, κοτορκζ oóhhho οοοτθβληβτ oko-JIO EXE ΜΘΗΜΠΘ 30 %, 0Κ33ΗΒ3ΘΤ ΗΘΒΗΓΟβΗΟΘ ΒΧΕΗΗΕβ. H3 9Τ0Γ0BUTGKaeT Henpo£OJimT©jií>HHfi οροκ cjiyxdn ectohhekob E3-3a hgoó-XO^HMOCTH ΟΜΘΗΗ ΜΕΙΠβΗΗ Η 0ΒΗ33ΗΗ0Γ0 C 3 TEM ΠρβρΗΒΘΗΕΗ ΠρΟΕξθΟΟΘEanwieHHH ποη BaicyyMOM.XapaKTepncTHKa η3βθοτηηχ τθχηεριθοκβχ pemeHnfi 'H3 aHCJia HCTOHHEKOB ΠΛ33Μ3ΤρθΗ3 pa3HOOÓpa3HHX KOHCTpyKHE ± npew βοθγο b npaKTHKe onpaBjxaaH ceóa ocHameHme πλοοκημηΜΗΠΙΘΗΗΜΗ H3 ΠΟΛΠΘ3ΚΘΙΙ (ΗΧ ρθΟΠΗΛΘΗΚΒ ΜΘΤθρΠΘΛΟΒ Η ΗΜΘΟΗΗΘ yftTOI-HGHHyK) KOJtLUOByB npope31> jyiH ΗΘΠΗΠΘΗΗΗ ΠΟΛΙΟΚΘΚ ÓOJIBniHMHmioina C & ποβθρχηοοτη AMH. B ycjioBMx τθχηηηθοκογο ncnojii> 3OBaHHaTaKHX HCTOaHHKOB ΟΓρθΗΙίΉΘΗΗηδ, 0TH0CHT6JIBH0 HH3KHfi Κ03φφΕΠξΚΘΗΤ 245,743 -3- ncnojn> 3OBaHJiH MaTepnaJia μηηιθηη, κοτορκζ oohhh οοοτθβληβτ eye-jio EXE ΜΘΗΜΠΘ 30% 0Κ33ΗΒ3ΘΤ ΗΘΒΗΓΟβΗΟΘ ΒΧΕΗΗΕβ. H3 9Τ0B0BUTGKaeT Henpo £ OJimT © jii> HHfi οροκ cjiyxdn ectohhekob E3-3a hgoo-XO ^ HMOCTH Μ ΗΕΙΠβΗΗ Η 0ΒΗ33ΗΗ0Γ0 C 3 TEM ΠρβρΗΒΘΗΕΗ ΠρΟΕξθΟΟΘEanwieHHH ποη BaicyyMOM.

Pacxojnjí jyin λοοτθβκη MaTepna.ua rusí MmneHefi e npoqecc οόορκποθμεχ MHmeHefi BimoTHyio po odecneneHEH HeoóxonÉMofi γθομθτρηηθο-kož KOH$ErypanHH e MOHTasca πρθλοτθβληκτ coóofi 3HaHETejn>HyB nacTBpacxoflOB Ha np0H3B0flCTB0 onepanHH HanwieraH. IlosTOMy npejyiara-jihcb pasjíEmme πγτπ no yjtywGHE® κοβΦρεπεθητθ εοπολβ3οβ3ηεη ΜΕ-meHeft, κβκ, HanpEMep, ycTaHOBKa βοπομογ3τθλβηιιχ θλθκτρομθγηητοβ( de-OS 30 04 546). Booóme Bce nyra pemeHEH πρηβολητ k cymecT-ΒΘΗΗΟ ÓOJiee CJIO2KHOH KOHCTpyKnHE ECTOHHEKOB ΠΛ83Μ8ΤρθΗ3, HeodycjiaBJíHBafí ojnioBpeMeHHO cymeoTBeHHoe ymyHmeHne κοθφφΗΠΕθΗΤθHcnojn.3OBaHHH MaTepnajia MHmeHeft.Pacxojnjí jyin λοοτθβκη MaTepna.ua Rus MmneHefi e npoqecc οόορκποθμεχ MHmeHefi BimoTHyio after odecneneHEH HeoóxonÉMofi γθομθτρηηθο-Koz KOH ErypanHH $ e MOHTasca πρθλοτθβληκτ coóofi 3HaHETejn> Hyb nacTBpacxoflOB Ha np0H3B0flCTB0 onepanHH HanwieraH. IlosTOMy npejyiara-jihcb pasjiEmme πγτπ no yjtywGHE® κοβΦρεπεθητθ εοπολβ3οβ3ηεη ΜΕ-meHeft, κβκ, HanpEMep, ycTaHOBKa βοπομογ3τθλβηιιχ θλθκτρομθγηητοβ (de-OS 30 04 546). Booóme Bce nyra pemeHEH πρηβολητ k cymecT-ΒΘΗΗΟ ÓOJiee CJIO2KHOH KOHCTpyKnHE ECTOHHEKOB ΠΛ83Μ8ΤρθΗ3, HeodycjiaBJíHBafm ojnioBpeMeHme cymeoTBeHHoe ymyHHH MaTepnajia MHmeHeft.

Hapw c τθκεμε εοτοηηεκθμε c hjiockeme μηπιθεημε (ectohheke cimockemh mia3MaTpoHaMH) npe&naraioTCH e τθκ Ha3HBaeMue ectohhekeC TOpOHJíaJIBHHME ΠΛ83Μ3ΤρθΗ3ΜΗ, ΟΤΛΕΕΘΚΕΙΕθΟΕ BHCOKHM ΚΟ3$φΕΗΕΘΗ-TOM ECnOJH>3OBaHEH MBTGpEaJia ΜΗΙΠΘΗΗ ( DD-PS 123 952) . ΟΠΗ OR-H3K0 npHrOflHH TOJILKO ROSÍ ΒΟΘΟΤΟρΟΗΗΘΓΟ HQHW1GHXJI B HHJIHHflpHHeC-kex ycTaHOBKax jyw κοηεθητρεηηογο ηβπκπθηεε. Jvw οληοοτοροηηθ-ro HamweHHH hjiookex cxeM πο,ιμιοκβκ ex Hcnojn>3OBaHHe npe#CTaB-jwgtch Hen,ejiecooópa3HHM e τθκκθ cB.asaHo c ηθβηοοκημ κο3$Φεεεθη-ΤΟΜ Η0Π0ΛΒ30Β3ΗΕΗ Μ3ΤθρΕ3ΛΘ ΜΕΙϋθΗθβ.Hapw c τθκεμε εοτοηηεκθμε c hjiockeme μηπιθεημε (ectohheke cimockemh mia3MaTpoHaMH) NPE & e naraioTCH τθκ Ha3HBaeMue ectohhekeC TOpOHJíaJIBHHME ΠΛ83Μ3ΤρθΗ3ΜΗ, ΟΤΛΕΕΘΚΕΙΕθΟΕ BHCOKHM ΚΟ3 $ φΕΗΕΘΗ-TOM ECnOJH> 3OBaHEH MBTGpEaJia ΜΗΙΠΘΗΗ (DD-PS 123 952). ΟΠΗ OR-H3K0 npHrOflHH TOJILKO ROSÍ QρΟΗΗΘΓΟ HQHW1GHXJI B HHJIHHflpHHeC-kex ycTaHOBKax jyw κοηεθητρεηηογο ηβπκπθηεε. Jvw οληοοτοροηηθ-ro HweHHH hjiookex cxeM πο, ιμιοκβκ ex Hcnojn> 3OBaHHe npe # CTaB-jwgtch Hen, ejiecooópa3HHM e θ0Π0ΛΒ30Β3ΗΕΗ Μ3ΤθρΕ3ΛΘ ΜΕΙϋθΗθβ.

Eme OflEH ΗΘΛΟΟΤΘΤΟΚ Ε3ΒβΟΤΗΗΧ ECTOHHEKOB ΙΜ33Μ3Τρ0Η0Β C ΠΛ00-ΚΕΜΕ ΜΕΠΙβΗΗΜΗ 38ΚΛΚ)Η3ΘΤ0Η Β TOM, ΗΤΟ IUIOTHOCTB Πρ0Η3Β0ΛΗΤΘΛΒ-HOCTE Η Τ3ΚΕΜ 0Ópa30M Η ΚΟθφφΜξΗΘΗΤ ΜΟΠΙΗΟΟΤΕ ΗΘΠΗΠΘΗΗΗ 0Κ33ΗΒ3-GTCH ΟΓρθΗΗΗβΗΗΗΜ BBEJiy φΕ3ΕΚ0-ΤβΧΕΗΗΘ0ΚΗΧ ΓρβΗΕΠ, ΟΧΛΘΚΗβΗΗΗMHmeHeft. 3aTpara Ha h3]?otobjighhg tqkhx MwneReft no cpaBHGHHK cHeóOJEblUHM ΚΟ3φφΗΙξΗβΗΤΟΜ Η0Π0ΛΒ30Β3ΕΕΗ ΟΗΘΗΒ BHCOKH. 245743 -4-Eme OflEH ΗΘΛΟΟΤΘΤΟΚ Ε3ΒβΟΤΗΗΧ ECTOHHEKOB ΙΜ33Μ3Τρ0Η0Β ΠΛ00 C-ΚΕΜΕ ΜΕΠΙβΗΗΜΗ 38ΚΛΚ) Η3ΘΤ0Η Β TOM ΗΤΟ IUIOTHOCTB Πρ0Η3Β0ΛΗΤΘΛΒ-HOCTE Η Τ3ΚΕΜ 0Ópa30M Η ΚΟθφφΜξΗΘΗΤ ΜΟΠΙΗΟΟΤΕ ΗΘΠΗΠΘΗΗΗ 0Κ33ΗΒ3-GTCH ΟΓρθΗΗΗβΗΗΗΜ BBEJiy φΕ3ΕΚ0-ΤβΧΕΗΗΘ0ΚΗΧ ΓρβΗΕΠ, ΟΧΛΘΚΗβΗΗΗMHmeHeft. 3aTpara Ha h3]? Otobjighhg tqkhx MwneReft no cpaBHGHHK cHeóOJEblUHM ΚΟ3φφΗΙξΗβΗΤΟΜ Η0Π0ΛΒ30Β3ΕΕΗ ΟΗΘΗΒ BHCOKH. 245743 -4-

Qejn> H30ÓpeTeHHHQejn> H30OpeTeHHH

HacToamee Η3ο«5ρθτθηηθ npecjie,nyeT βθλββ rrpeoAOJierae τθχηηηθο-KHX ΗβΑΟΟΤΘΤΚΟΒ, CHBJR6HH6 paCXOflOB Ha Η3ΓΟΤΟΒΠΘΗΗβ ΜΕΠΠΘΗβδ ΠρΗβηοοκοπροη3βοεητθλι>ηομ pacmuieHHM Η COKpaiUOHHH paCXOflOB Ha 3a-rpy3Ky.HacToamee Η3ο «5ρθτθηηθ npecjie, Nyet βθλββ rrpeoAOJierae τθχηηηθο-KHX ΗβΑΟΟΤΘΤΚΟΒ, CHBJR6HH6 paCXOflOB Ha Η3ΓΟΤΟΒΠΘΗΗβ ΜΕΠΠΘΗβδ ΠρΗβηοοκοπροη3βοεητθλι> ηομ pacmuieHHM Η COKpaiUOHHH paCXOflOB Ha-3a rpy3Ky.

Η3ΛΟΚΘΗΗΘ CymHOCTH H30ÓpeT6HHH B OCHOBy H30típGT©HHH ΠΟΛΟΚδΗθ 3a^ana C03ííaHHfl ycapOHGTBaBHC0K0np0H3B0,HHTeJILH0r0 ρθΟΙΗΒΙΘΗΗΗ ΠΟ HpHHUHHy ΙΙΛΒ3Μ3ΤρθΗ8 CyjycHHeHHofi KOJU.Eteotípa3Ho2 npope3£D, OTjarqawixcH bhcokhm kos$-φΗΠΗβΗΤΟΜ HCnOXE>30BaHO MaTepHaJia ΜΗ1ΠΘΗΗ, tíOJILHIHM CpOKOM CJiy®-óh μεππθβθ& h bo3mo2choctlb otíecneHOHHH tíojamoÉ tojwehh Hanwiae-MOfi ΠΛβΗΚΗ H npiirOJtHOrO JSflSÍ ΗΒΠΠΠΘΗΠΗ IMOCKHX CXSM pacnOJIOSe-HHH ΠΟΛϋΟΚΘΚ. B οοοτβθτοτβηη c η300ρθτθηηθμ a Ta sajta^a pemaeTca npa πομοήηycapoficTBa, cocToamero H3 reHepHpyiomero απθκτροΜβΓΗΗΤΗοθ ncuienpHcnocoÓJieHHfl c κοπΒΐίθΒοδ npope3£B, aHO®a h oxjiaKflaeMofi μεππθ-hh H3 pacmuLHeMoro MaTepnaJia τθμ, ητο μηιπθηβ ημθθτ KOH$arypa-mro TpytíH, BHyipn κοτοροδ pa3MemaBTCH oaho hjih ηθοκολβκο rene-pHpyBjHHX 3ΛΘΚΤρ0Μ3ΓΗΗΤΗ0θ ΠΟΛΘ ΠρΗΟΠΟΟΟάΠΘΗίώ O 3aMKHyTHMH,yWEHHeHHHMH ΚΟΛΒΒΘΒΗΜΗ Προρθ3ΗΜΗ, ΒΘΚΤΟρΗΗΘ JIKHHH KOTOpHX UpO-ΧΟΛΗΤ HaCKB03B Tpydy, T3KHM 0dpa30M, ΉΤΟ HX dojmnafl OCB pacno-jioseHa napaJuejn>HO och TpytíH. Qejiecoodpa3KO, htoóh ηηθμθτρTpytíu (μιππθηη) πρθβηπμ TpexKpaTHyK Bejm^HHy cpejasefi mapmiíΚΟΛΒΗΘΒΟδ Πρθρθ3Η, 3asaHH0Ž 3a CH6T paCCTOHHOH HOJIBCHHX H3K0—ηθηηηκοβ renepupymiero 3λθκτρομ3γηητηο6 πολθ npHcnocoáneHHH.JfeHHoe ycipoficTBO βκπβηθθτ b ceÓH npuBOfl jyu οοβ,πβηκη othoch-τθλβηογο jíBiwsHHH πβρβΜθίξθΗΗΗ Tpydu no οτηοπθηηιο κ reHepapyro-meMy (hm) θλθκτρομθγηητηοθ πολθ npxcnooodJieHira (hm), npejjnon-ΤΗΤΘΛΒΗΟ B BHfle ρβΒΗΟΜθρΗΟΓΟ BpanjaTejILHOIO ,ϊξΒΗΕΘΗΗΗ BOKpyr OCHTpytíH. ΚροΜΘ τογο, βθηηοθ ripncnocodJiemie co^epsHT ycTpoficTBO(θΚΟΙξθΗΤρΗΚ) ftUH Η3ΜΘΗΘΕΗΗ paCCTOHHHH MeSfly BHyTpeHHOfi ΟΤΘΗΚΟδTpytíH hjeh ycipoficTBOM, reHepupynnuM θλθκτρομθγηητηοθ nojie. 245743 -5- *Η3ΛΟΚΘΗΗΘ CymHOCTH H30ÓpeT6HHH B OCHOBy H30típGT © HHH ΠΟΛΟΚδΗθ 3a ^ ana C03ííaHHfl ycapOHGTBaBHC0K0np0H3B0, HHTeJILH0r0 ρθΟΙΗΒΙΘΗΗΗ ΠΟ HpHHUHHy ΙΙΛΒ3Μ3ΤρθΗ8 CyjycHHeHHofi KOJU.Eteotípa3Ho2 npope3 £ D OTjarqawixcH bhcokhm blackbird $ -φΗΠΗβΗΤΟΜ HCnOXE> 30BaHO MaTepHaJia ΜΗ1ΠΘΗΗ, tíOJILHIHM CpOKOM CJiy® μεππθβθ-OH & h bo3mo2choctlb otiecneHOHHH thiojamoÉ tojwehh Hanwiae-MOfi ΠΛβΗΚΗ H npiirOJtHOrO JSflSÍ ΗΒΠΠΠΘΗΠΗ IMOCKHX CXSM pacnOJIOSe-HHH ΠΟΛϋΟΚΘΚ. B οοοτβθτοτβηη c η300ρθτθηηθμ Ta and suck-and pemaeTca NPA πομοήηycapoficTBa, cocToamero H3 reHepHpyiomero απθκτροΜβΓΗΗΤΗοθ ncuienpHcnocoÓJieHHfl κοπΒΐίθΒοδ npope3 c £ B aHO®ah oxjiaKflaeMofi μεππθ HH H3 pacmuLHeMoro MaTepnaJia τθμ, ητο μηιπθηβ ημθθτ KOH $ arypa-furo TpytíH, BHyipn κοτοροδ pa3MemaBTCH oaho hjih ηθοκολβκο rene-pHpyBjHHX 3ΛΘΚΤρ0Μ3ΓΗΗΤΗ0θ ΠΟΛΘ ΠρΗΟΠΟΟΟάΠΘΗίώ O 3aMKHyTHMH, yWEHHeHHHMH ΚΟΛΒΒΘΒΗΜΗ Προρθ3ΗΜΗ, ΒΘΚΤΟρΗΗΘ JIKHHH KOTOpHX UPO-ΧΟΛΗΤ HaCKB03B Tpydy, T3KHM 0dpa30M, ΉΤΟ HX dojmnafl OCB pACN-jioseHa napaJuejn> HO OCH TpytíH. Qejiecoodpa3KO, htoóh ηηθμθτρTpytíu (μιππθηη) πρθβηπμ TpexKpaTHyK Bejm ^ HHy cpejasefi mapmiíΚΟΛΒΗΘΒΟδ Πρθρθ3Η, 3asaHH0Ž 3a CH6T paCCTOHHOH HOJIBCHHX H3K0-ηθηηηκοβ renepupymiero 3λθκτρομ3γηητηο6 πολθ npHcnocoáneHHH.JfeHHoe ycipoficTBO βκπβηθθτ b ceÓH npuBOfl Jyu οοβ, πβηκη othoch-τθλβηογο jíBiwsHHH πβρβΜθίξθΗΗΗ Tpydu well οτηοπθηηιο κ reHepapyro- meMy (hm), npejjnon-ΤΗΤΘΛΒΗΟ B BHfle ρβΒΗΟΜθρΗΟΓΟ BpanjaTejILHOIO, ϊξΒΗΕΘΗΗΗ BOKpyr OCHTpytiH. HTροΜΘ τογο, βθηηοθ ripncnocodJiemie co ^ epsHT ycTpoficTBO (θΚΟΙξθΗΤρΗΚ) ftUH Η3ΜΘΗΘΕΗΗ paCCTOHHHH MeSfly BHyTpeHHOfi ΟΤΘΗΚΟδTpytíH hjeh ycipoficTBOM, reHepupynnuM θλθκτρομθγηητηοθ nojie. 245743 -5- *

Ahoa oÓBonaKHBaeT Tpydy co βοθχ οτοροΗ, 3a ηοκλβήθηηθμ 30huκολβπθβοζ npope3H, r«e npon3BOflHTCít OTcacHBaHEe MaTepnajia mh-meHafi. Ρθοοτοηηηθ οτ θΦΦθκτκβηοη ποβθρχηοοτη μημθηθΑ μοκθτ pe-ryjiapoBaTLCfl πθρηοληηθοκη m HenpepHBHO ro ποοτοηηηοΚ βθληήη-hu nopajijca, HanpnMep 4 mm, nocpeflGTBOM peryjmpoBonHoro ycTpofi-CTBa.Ahoa oÓBonaKHBaeT Tpydy what βοθχο οτοροΗ, 3a ηοκλβήθηηθμ 30huκολβπθβοζpnpope3H, r e npon3BOflHTCit OTcacHBaHEe MaTepnajia mh-meHafi. P H p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p

Ecjek npn paóoTe ycrpoScTBa β οοοτβθτοτβηη c johhhm ηβοόρβτβ-ηηθμ b paciuMETeju>Hofi ycTaHOBKe κ TpytínaTofi μηβθηη nojiaeTCflΒβΠρΗΚΘΗΗΘ C ΟΤρΗΒΒΤΟΠΒΗΟβ ΠΟΛΗρΗΟΟΤΒΒ, TO Ha ΠΟΒθρΧΗΟΟΤΗ Tpy-óh b npeflojiax reHepapymero θλθκτρομθγηητηοθ πολθ ycTpoficTBaotípa3yeTca ra3OBHfi pa3pajt mia3MaTpoHa. 3oHa c bhcokoS iuiotho-ctbd iuia3MH cooTBeTCTByeT reoMeipjereecKofi KOH$Hrypaujni κολκπθβο-ro 3a3opa (npope3n). B ycjiOBHHX paBHOMepHoro BpameHHH Tpyóa3T0T ra3OBHň pa3pns πρηβολητ κ pacnwieHHB Ha Bcefi oópa3yiaueftTpyóa η, TaKHM 0Ópa30M, κ paBHOMspHOMy ysa^eHino MaTepnaJia. C yneTOM reoMeipmecKoS KOH^aarypaunn κολβηθβογο saeopa b ycjio-BHHX HOCTOHHHOfi UIHpHHH Ηθ ΗΟΚρΗΒΛβΗΗΟΜ yHaCTKe ΚΟΛΒΙίθΒΟΓΟ 3a-sopa ΠΟΑΒΛΗθΤΟΗ ÓOJIBWaH ΠΟ CpaBHeHHK K HeKGKpKBJíeHHOa naCTHοτθπθηβ yía^eHM MaTepnana μηεθηη, zto oóycaaBJmBaxo 6u orpara-•ίθηηθ opona cjiyxóH, a Tarae Koa&prwiíeHTa ηοπολββοβθηηη imnieHefiH3-3a ΤβΧΗΗΗβΟΚΗ HeOÓXOflHMOfi OCTaTOHHOS ΤΟΛϋξΗΗΗ ΜΕΠΠΘΗβΖ Ha Mec-τβ MaKcmiajiLHoro yHoca. IIosTOMy npejtcTaBJweTCíi bhtobhhm pacnm-peHne κολβιι,θβογο 3a3opa Ha ηοκρηβλθηηομ ynacTKe b ycjioBrax no-CTOHHCTBa HanpraeHHOCTH ολθκτρομθγηητηογ'ο ΠΟΛΗ. HCXOAH H3 Η3ΒβΟΤΗΗΧ KOHGTpyKUHOHHHX npHHBJfflOB Ηθ ΠΛΟΟΚΗΘ, BocoóeHHOCTH óojiinnie no iwomajiji cyóCTpaTH cjiejiyeT προη3βοαητβHanmieHHe πλοοκημ πλθθμβτροηομ, a Ha TpyÓH BHyTpn m Heóojn.-nme cyóCTpaTH, pacnonoseHnue κθκ Tpyóa, cxejtyeT προΗ3Βθ£ΗΤΒHanwieHHe BpamawMGH mia3MOTpoHOM, ηθοκη,π,θηηο οτθλο bo3moxhhmKOMÓHHHpOBaTB ΘΛΘΜΘΗΤΗ OÓeZX KOHGTpyKBJífi T3K, ΉΤΟ ΟόθΟΠβΗΗΒΘ-θτοη tíojiee βκοοκθη cyMMapHan npoH3Boj5iTeHi>HocTB, npeawe Bcero3a οηθτ npesMymecTB oóonx πρηηιβιποβ. yCTpOŽCTBO B ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΗΗ C HaCTOíHHHM Η300ρθΤβΗΗΘΜ ΟόθΟΠΘΗΗΒΘ-θτ θκοτρθΜθΛΒΗο bhookhě κοδφφΕΠίΗθΗτ ηοπολββοβθηηη MaTepnana(πρηΜθρΗΟ 80 #). Οροκ cjryxÓH μητηθηθη ποβηπκθτοη cymecTBeHHO. 245743 -6-Ecjek npn paóoTe ycrpoScTBa β οοοτβθτοτβηη c johhhm ηβοόρβτβ-ηηθμ paciuMETeju b> κ Hofi ycTaHOBKe TpytínaTofi μηβθηη nojiaeTCflΒβΠρΗΚΘΗΗΘ C ΟΤρΗΒΒΤΟΠΒΗΟβ ΠΟΛΗρΗΟΟΤΒΒ, TO Ha ΠΟΒθρΧΗΟΟΤΗ TPY-OH b npeflojiax reHepapymero θλθκτρομθγηητηοθ πολθ ycTpoficTBaotípa3yeTca ra3OBHfi pa3pajt mia3MaTpoHa. 3oHa c bhcokoS iuiotho-ctbd iuia3MH cooTBeTCTByeT reoMeipjereecKofi KOH $ Hrypaujni κολκπθβο-ro 3a3opa (npope3n). B ycjiOBHHX paBHOMepHoro BpameHHH Tpyóa3T0T ra3OBHň pa3pns πρηβολητ κ pacnwieHHB Ha Bcefi oópa3yiaueftTpyóa η, TaKHM 0Ópa30M, κ paBHOMspHOMy ysa ^ eHino MaTepnaJia. C yneTOM reoMeipmecKoS KOH ^ aarypaunn κολβηθβογο saeopa b ycjio-BHHX HOCTOHHHOfi UIHpHHH Ηθ ΗΟΚρΗΒΛβΗΗΟΜ yHaCTKe ΚΟΛΒΙίθΒΟΓΟ 3a-sopa ΠΟΑΒΛΗθΤΟΗ ÓOJIBWaH ΠΟ CpaBHeHHK K HeKGKpKBJíeHHOa naCTHοτθπθηβ Yia-EHM MaTepnana μηεθηη, ZTO oóycaaBJmBaxo 6u orpara- • ίθηηθ curtain cjiyxóH and Tara Koa & prwiíeHTa ηοπολββοβθηηη imnieHefiH3-3a OβΧΗΗΗβΟΚΗ HeOÓXOflHMOfi OCTaTOHHOS ΤΟΛϋξΗΗΗ ΜΕΠΠΘΗβΖ Ha Mec-τβ MaKcmiajiLHoro yHoca. IIosTOMy npejtcTaBJweTCíi bhtobhhm pacnm-peHne κολβιι, θβογο 3a3opa Ha ηοκρηβλθηηομ ynacTKe b ycjioBrax no-CTOHHCTBa HanpraeHHOCTH ολθκτρομθγηητηογ'ο ΠΟΛΗ. HCXOAH H3 Η3ΒβΟΤΗΗΧ KOHGTpyKUHOHHHX npHHBJfflOB Ηθ ΠΛΟΟΚΗΘ, BocoóeHHOCTH óojiinnie well iwomajiji cyóCTpaTH cjiejiyeT προη3βοαητβHanmieHHe πλοοκημ πλθθμβτροηομ and Ha TpyÓH BHyTpn m Heóojn. NMe cyóCTpaTH, pacnonoseHnue κθκ Tpyóa, cxejtyeT προΗ3Βθ £ ΗΤΒHanwieHHe BpamawMGH mia3MOTpoHOM, ηθοκη, π, θηηο οτθλο bo3moxhhmKOMÓHHHpOBaTB ΘΛΘΜΘΗΤΗ OÓeZX KOHGTpyKBJífi T3K, ΟόθΟΠβΗΗΒΘ-θτοη tíojiee cymMapHan npoH3Boj5iTeHi> HocTB, npeawe Bcero3a οηθτ npesMymecTB oóonx πρηηιβιποβ. CT Ž BO BO B CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT T T T T T T T T T T T T T T T T T T T T Cροκ cjryxÓH μητηθηθη ποβηπκθτοη cymecTBeHHO. 245743 -6-

PaCXOflH Ha cóopxy ΜΕΠΠΘΗΘΕ ΗΘ3ΗΗ·ΊΗΤΘΛΙ>ΗΗ BBHSy Η0Π0ΛΒ30Β8ΗΗΗTpyÓHaTOfi 3ΘΓ0Τ0ΒΚΗ C ΤρθόγθΜΟβ ΗΘ3Η8ΊΗΤβΚΙ>Ηθίί TpySOeMKOCTUOHa otípaóoTKy. Ρθβηομθρηοθ ysasemie MaTepnasa o ποβθρχηοοτηMámená h odecneHeHHaa bthm ycipoficTBOM bo3Moxhoctb Η3μθηθηζηpaccTOHHHH Mensy Tpyóofi z irpzcnocoÓJieHiieM ssh γθηθρηροβθηηηΒΛΘΚΤρΟΜΘΓΗΗΤΗΟΓΟ ΠΟΛΗ 0Κ33ΗΒΘΘΤ ΒΛΗΗΗΗΘ Β ΤΟΜ CMHGSe, ΗΤΟβ xose Bcero npoijecca pacnuneHna Marněna $OKycapoBKa nsa3MHocTaeTCH hoctohhhoS η τθκημ otípa3OM sKcnsya® ηκοηηηθ 'napaMeT-pn mia3MaTpoHa, κθκ Hanpnnenae γορθηηη h pa3pHHHnfi tok, τθκκθocTaxwcH nocTOHHHHMH. lípa πομοποι yoapofioTBa ssh perysapoBKupaCCTOHHHH Mensy aHOSOM Η θφφθΚΤΖΒΗΟΖ nOBepXHOCTLK) MHffleHH SO“cTHraeTCH ληπιθηηθη nepeapaTEfi 3KcnsyaTar[Bfl ηθ3Θβηοημο ot cog-ΤΟΗΗΠΗ 3pO3HH ΜΗΠΙΘΗΗ. 3a cneT ycTpoficTBa, β ηθοτηοοτη b ycsoBusx paBHOMepHoro Bpase-HHH ΜΗΕβΗΗ, Β ΟρθβΗβΜ BO ΒρβΜΘΗΗ HSOTHOCTL Πρ0Η3Β0£ΗΤΘΚΒΗ00ΤΗHa MHffleHH yMeHBinaeTOH npn 3asaHHOfi cyMMapHOŽ Πρ0Η3Β0ΚΗΤΘ£ΒΗ0-cth Ha tíosBme, ηθμ oshh nopasoK. Τθκημ otípa3OM ysaeTca ποβηιπθ-ΗΘΖ CyMMapHOŽ Πρ0Η3Β0£ΗΤΘΛΙ>Η00ΤΗ H TaKHM Odpa3OM ΤΟΛΠξΗΗΗ Hanu—JLHeMOÉ IUieHKK ΠΟ CpaBHeHHK) C ΗΟΤΟΗΗΗΚΘΜΗ Β ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΗΗ c cy-SeCTBOBaBIUHM SO CHX πορ ΤΘΧΗΗΗβΟΚΗΜ ypOBHOM Ha BeSOTHHy 9T0-ro K03$$mpeHTa. XapaKTepacTHKa HanpaBJíeHHocTH, oóycsoBseHHaHHCKpzBJíeHzeM noBepxHOCTH MzmeHefi οκ83ηβθθτοη npHcnocoóJieHHofiB HaCTHOOTH B yCSOBHHX OSHOpOSHOfi TOSfflHHH HanHSHeMOfli ΠΛΘΗΚΗnsocKHx cxeM noftJioneK.PaCXOflH Ha copxy ΜΕΠΠΘΗΘΕ ΗΘ3ΗΗ · ΊΗΤΘΛΙ> ΗΗ BBHSy Η0Π0ΛΒ30Β8ΗΗΗTpyÓHaTOfi 3ΘΓ0Τ0ΒΚΗ C ΤρθόγθΜΟβ ΗΘ3Η8ΊΗΤβΚΙ> Ηθίί TpySOeMKOCTUOHa otípaóoTKy. Ρθβηομθρηοθ ysasemie MaTepnasa of ποβθρχηοοτηMámená h odecneHeHHaa bthm ycipoficTBOM bo3Moxhoctb Η3μθηθηζηpaccTOHHHH Mensa Tpyóofi of irpzcnocoÓJieHiieM ssh γθηθρηροβθηηηΒΛΘΚΤρΟΜΘΓΗΗΤΗΟΓΟ ΠΟΛΗ 0Κ33ΗΒΘΘΤ ΒΛΗΗΗΗΘ Β ΤΟΜ CMHGSe, ΗΤΟβ xose Bcero npoijecca pacnuneHna wasting $ OKycapoBKa nsa3MHocTaeTCH hoctohhhoS η τθκημ otípa3OM sKcnsya® ηκοηηηθ 'napaMeT-pn mia3MaTpoHa, κθκ Hanpnnenae γορθηηη h pa3pHHHnfi flow, τθκκθocTaxwcH nocTOHHHHMH. lipa πομοποι yoapofioTBa ssh perysapoBKupaCCTOHHHH Mensy aHOSOM Η θφφθΚΤΖΒΗΟΖ nOBepXHOCTLK) MHffleHH SO ”cTHraeTCH ληπιθηηθη nepeapaTEfi 3KcnsyaTar [Bfl ηθ3Θβηοημο ot cog-ΤΟΗΗΠΗ 3pO3HH ΜΗΠΙΘΗΗ. 3a CNet ycTpoficTBa, β ηθοτηοοτη b ycsoBusx paBHOMepHoro BPAS-HHH ΜΗΕβΗΗ, Β ΟρθβΗβΜ BO ΒρβΜΘΗΗ HSOTHOCTL Πρ0Η3Β0 £ ΗΤΘΚΒΗ00ΤΗHa MHffleHH yMeHBinaeTOH npn 3asaHHOfi cyMMapHOŽ Πρ0Η3Β0ΚΗΤΘ £ ΒΗ0 CTH-Ha tíosBme, ηθμ oshh nopasoK. M κ ΤΗ M M y ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be. XapaKTepacTHKa HanpaBJíeHzeM noBepxHOCTH MzmeHefi οκ83ηβθθτοη npHcnocoóJieHHofiB HaCTHOOTH B yCSOBHHX OSHOpOSHOfi TOSfflHHH HanHSHeMOfli ΠΛΘΗΚΗnsocKHx cxeM noftJioneK.

CymecTBeHHoe npezMymecTBo θτογο ycTpoficTBa 38Κλβηθθτοη β tom,HTO B03M0HH0 όΟΛβθ θφφβΚΤΗΒΗΟθ ΟΧΛΘΗβθΗΗβ ΜΗΙΠΘΗΗ Η Β pe3ySBTa-Τθ 9ΤΟΓΟ - SOnOSHHTeSBHOe ΠΟΒΗΠΙΘΕΚΘ ΠρθΗ3ΒΟ£ΗΤΘΛΒΗΟΟΤΗ.CymecTBeHHoe npezMymecTBo θτογο ycTpoficTBa 38Κλβηθθτοη β tom, HTO B03M0HH0 ΟΛΟΛ θθ ΗΗβθΗΗβ ΒΠΘΗΗ Η Β pe3ySBTa-Τθ 9ΤΟΓΟ - SOnOSHHTeSBHOe ΠΟΒΗΠΙΘΕΚΘ ΠρθΗ3ΒΟ £ ΗΤΘΛΒΗΟΟΤΗ.

HpHMep OCymeCTBSeHHH Η300ρβΤΘΗΗΗ Β npoaraeMHx nepienax H3oópanaBTc.H: Φηγ. I: IIonepeHHoe cenenae ycTpoiicTBa Φηγ. 2: npososBHoe ceneHne ycTpoficTBa 245743 7- ycTpoficTBo am EucoKonpoK3BOjíaTejiLHoro pacnmieHM no rrpHHUHnymia3MaTpoHa c υαπηηθηηπμ κολβαθβημ 3a3opoM pacnojiaraeT Tpyó-naTofi μημθηβκ) I 23 pacnKJixeMoro MaTepnajia (θλκμηηηΒ:) . BHyTpnSTOfi Μ21ΠΘΗ2 I ΠΟΜΘΠ0βΤΟΗ ΓΘΗθρζργΚϊΠΘΘ ΘΛΘΚΤρΟΜΘΓΗΗΤΗΟΘ ΠΟΛΘycrpoficTBO 2 c yftrameHHHM, 3awiKHyTHM κοΑΒηθΒΗΜ 3a3opoM 3. ΠρΗ a tom óojiLniaa ocb KOJLEiíeBoro saeopa 3 pacnojiaraeTca napax-jiejiBHo oc2 TpyÓH. HapymjS Α^θΜθτρ apyón npeBumaeT TpexKpaTHyioB&sHHEHy cpejmeň iukphhh κολβιιθβογο 3a3opa (οοοτββαηθτ, Hanpn-Mep, mecTKKpaTHyio sejmauHy). Πρη θτομ ορθαηηη nnapHHa κολβο,θβο-ro 3a3opa αβαηθτο,η cpe^Hm θρηΦμθτηήθοκημ 23 eephhh κολβρθβογο3a3opa Ha ηοκρηβλθηηομ η πρημομ ynacTKax. HpHBOA 4, coctohujjiS.23 3yÓHaToro KOJieca h npmoAHoS 3Be3AonK2 3a npeflonaMH Baicyy-Ma, a TaK&e npnBOAHOíi θλθκτρο^βηγθτθλβ προη3βοαητ paBHowepHoeBpamaTejiLHoe αβηχθηηθ μηπιθηβ I BOKpyr ocn TpyÓH co ckopoctbk 1 οόοροτ/MHHyTy. 3κοΐίθΗτρ2κοΒθθ ycipoScTBo 5 npejíHasHaneHo am τογο, htoóhnojmepsHBaTB ποοτοηηηημ paccTOHHKS (3a3op) Mesyiy nocTenemoyflajueMoÉ b nponecce pacnwiema Hapysnofi ποβθρχηοοτβκ) μηπιθηη 2 reHepapyiwM θλθκτρομθγηητηοθ πολθ ycTpoficTBOM 2. Ahoa 6 oó-BOJiarazmaeT μιππθηβ I co Bcex οτοροΗ 3a βοκλέπθηηθμ 3ohh BÓJ1232KOJiBHeBoro 3a3opa 3» nepe3 κοτορπχ προχοΑπτ pacnwineMne ββοτη-hh b HanpaBJi6H22 ποαποκκη. PeryjmpoBOHHoe ycTpoacTBO 7 cjrysoíTAM ycTaHOBKH ποοτοηηηογο 3a3opa Meyjoy μβειθηβ» I 2 θηοαομ 6ΒΘΑΗΉΗΗΟΖ 4 MM BO ΒρθΜΗ ΒΟΘΓΟ ΠρΟΙξθΟΟΘ Η3Πϋ5ΘΗ2Η ΠΟΒθρΧΗΟΟΤΗΜΗΠΙΘΗΗ. ycrpoficTBO COOÓmaeTCH C OAHOĚ CTOpOHH noepeACTBOM ΟΤ-BepcT2H c BaxyyMHHM ymioTHOHEOM c paóoneS KaMepoíí. OxAasAaicqaHοηοτθμβ, cocToamaa 23 bxoahoh TpyÓH 8, HanpaBJíawx (αθΦ-τθκ-ΤΟΡΗΗΧ) JE2CT0B 9 2 BHHyCKHOÍÍ TpyÓH 10, ΟόθΟΠΘΗηΒΘΘΤ HHT6HC2B-Hoe BOAHHoe oxnaJKAeffiie TpyónaTOH μηπθηη I c τθμ, htoÓh peann-30BaTL no MecTaM euiothoctl βθη2ηηηο2 200 Bt cm-^ 2 μομθητθαβ-HpHMep OCymeCTBSeHHH Η300ρβΤΘΗΗΗ po npoaraeMHx nepienax H3oopanaBTc.H: Φηγ. I: IIonepeHHoe cenenae ycTpoiicTBa Φηγ. 2: 245,743 npososBHoe ceneHne ycTpoficTBa 7- ycTpoficTBo am EucoKonpoK3BOjíaTejiLHoro pacnmieHM amino rrpHHUHnymia3MaTpoHa c υαπηηθηηπμ κολβαθβημ 3a3opoM pacnojiaraeT Tpyó-naTofi μημθηβκ) I 23 pacnKJixeMoro MaTepnajia (θλκμηηηΒ :). BHyTpnSTOfi Μ21ΠΘΗ2 I ΠΟΜΘΠ0βΤΟΗ ΓΘΗθρζργΚϊΠΘΘ ΟΛΘρΟΜΘΓΗΗΤΗΟΘ ΠΟΛΘycrpoficTBO 2 c yftrameHHHM, 3awiKHyTHM κοΑΒηθΒΗΜ 3a3opoM 3. ΠρΗ a tom óojiLniaa ocb KOJLEiíeBoro saeopa 3 pacnojiaraeTca napax-jiejiBHo oc2 TpyÓH. HapymjS Α ^ θΜθτρ apyon npeBumaeT TpexKpaTHyioB & sHHEHy cpejmnu iukphhh κολβιιθβογο 3a3opa (οοοτββαηθτ, Hanpn-Mep, mecTKKpaTHyio sejmauHy). N η n a a a a m m m m opa Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha n n n n n. HpHBOA 4 coctohujjiS.23 3yÓHaToro KOJieca h npmoAHoS 3Be3AonK2 3a npeflonaMH Baicyy-Ma, thus & e ^ npnBOAHOíi θλθκτρο βηγθτθλβ προη3βοαητ paBHowepHoeBpamaTejiLHoe αβηχθηηθ μηπιθηβ I BOKpyr OCN TpyÓH what ckopoctbk 1 οόοροτ / MHHyTy. 3κοΐίθΗτρ2κοΒθθ ycipoScTBo 5 npejíHasHaneHo am τογο, htoóhnojmepsHBaTB ποοτοηηηημ paccTOHHKS (3a3op) mesylate nocTenemoyflajueMoÉ b nponecce pacnwiema Hapysnofi ποβθρχηοοτβκ) μηπιθηη 2 reHepapyiwM θλθκτρομθγηητηοθ πολθ ycTpoficTBOM second Ahoa OO-6 BOJiarazmaeT μιππθηβ what I Bcex οτοροΗ 3a βοκλέπθηηθμ 3ohh BÓJ1232KOJiBHeBoro 3a3opa 3 »nepe3 κοτορπχ προχοΑπτ pacnwineMne ββοτη-hh b HanpaBJi6H22 ποαποκκη. PeryjmpoBOHHoe ycTpoacTBO 7 cjrysoíTAM ycTaHOBKH ποοτοηηηογο 3a3opa Meyjoy μβειθηβ »I 2 ΑηΗΉΗΗΟΖ 4 MM BO ΒρθΜΗ Π ΠρΟΟΘξθΟΟΘ Η3Πϋ5Η2ΟΒ ΠΟΒθρΧΗΟΟΤΗΜΗΠΙΘΗΗ. YoPoCoMoCoMoCoMoCoMoHoMoHoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMo. OxAasAaicqaHοηοτθμβ, cocToamaa 23 bxoahoh TpyÓH 8 HanpaBJíawx (αθΦ-τθκ-ΤΟΡΗΗΧ) JE2CT0B 9 2 BHHyCKHOÍÍ TpyÓH 10 ΟόθΟΠΘΗηΒΘΘΤ HHT6HC2B-Hoe BOAHHoe oxnaJKAeffiie TpyónaTOH μηπθηη Ic τθμ, htoÓh peann-amino 30BaTL MecTaM euiothoctl βθη2ηηηο2 Bt 200 cm ^ 2 μομθητθαβ -

TT

HyB T0JIHÍ2Hy Η3ΠΗΗΘΗ2Η 10 MKM M2H (Ha θλκμηηηθ). 245743 -8- ΦΟΡΜΖΚΑ H3OEPETEHKfl 1. ycTpožcTBO jyifl βηοοκοπροη3ΒΟλητθλι>ηογο pacmuieMH nonpHHUKny njia3MaTpoHa, cocToamee H3 reHepnpynnero 3JieKTpoMar~ΗΗΤΗΟΘ HOJie npncnOGOÓJieHM C ΚΟΛΒΠ,ΘΒΗΜ 3θ30ρ0Μ, H3 ΟΧΜ32ζΠ3ΒΜθίίΜΗΙΠΘΗΗ H aHOfla. OTJIHHaKmeeCfl ΤΘΜ, ΗΤΟ ΜΗΠΙΘΗΒ (I) ΗΜΘΘΤ φΟρΜγTpytíu, ητο reHepnpyiauee θλθκτρομθγηητηοθ nojie ycrpoficTBo (2)ημθθτ 3aMKHyTHfi, yjpiHHeHHHfi KOJiBneBofi 3a3op (3) η pa3MemaeTcab μημθηη (I) τθκ, hto dojaniafl ocb npoxojgaT napaJuiejiBHo ochΜΗΜΘΗΗ, ΤΘΜ, HTQ aΗΟ,ζ (6) Ο0ΒΟΛ3ΚΗΒ3ΘΤ ΜΗΠΙΘΗΒ (I) T3K, HTOtíuynacTOK c κολβιχθβημ 3a3opoM ocTaBajicn cBotíojtHHM η τθμ, titonpn noMoma peryjmpoBOHHoro ycTpoňcTBa (7) ycT3HaBJiHBaeTc.fi pac-ΟΤΟΗΗΗΘ M02Wy ΘΗΟβΟΜ (6) Η ΠΟΒθρΧΗΟΟΤΒΚ ΜΗΠΙΘΗΗ Ha nOCTOHHHyK)BeJIHHHHy, ΤΘΜ, HTO flJUI ΠΟ^ΉΘΗΗΗ OTHOCHTeJIBHOrO flBH2®HHfl ΜΘΕ-ny ΜΗΜΘΗΒΚ (I) Η ΠρΗΟΠΟΟΟ&ΙΘΗΗΘΜ jyLH ΓΘΗβρΗρΟΒΘΗΗΗ ΘΛΘΚΤρΟΜΘΓ-ηητηογο noJiH (2) ycTaHaBJíHBaeTOH πρηβοα (4), η τθμ, hto Ha re-HepHpyxmeM θλθκτρομθγηητηοθ nojie ycTpožcTBe (2) ομοητηροβθηοnpHcnocoÓJieHHe jyia ηθμθηθηηη paccTOHHHH Messy sthm irpHcnoootíJie-ΗΗΘΜ Η ΜΗΜΘΗΒΚ (1) . 2. YcapofiCTBO B ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΗΗ C nyHKTOM I, ΟυίΗΗΘΚΜθθΟΗ ΤΘΜ,hto reHepHpynuee θλθκτρομθγηητηοθ nojie npHcnocotíJieHHe (2) pa3-ÓHTO Ha ΗΘΟΚΟΧΒΚΟ ΠΟΛΟΗΟΤΘΜ. 3. ycipOfiCTBO B ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΗΗ C nyHKTaMH I H 2, ΟΤΜΗΗΘΚΜθθΟΗτθμ, ητο κοαπ>ηθΒθ2 sasop (3) pacnuapeH Ha HCKpHBjíeHHOM ynacTKe. 4. yCTpoSCTBO B ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΗΗ o nyHKTaMH I no 3, OTJDnaiOmeeCHΤΘΜ, ΗΤΟ ΑΗβΜΘΤρ ΜΗΜΘΗΗ (I) ΟΟΟΤΘΒΛΗΘΤ ΚΘΚ MHHHMyM TpeXKapTHyHBejiHHHHy ot cpejíHefi βθ,ηηίηηιι mhphhh κοπιβε;θβογο 3a3opa. 5. ΥοτροϋοτΒΟ b οοοτβθτοτβηη c nyHKTaMH I no 4, OTjnnawecHΤΘΜ, ΉΤΟ Ha ΜΗΜΘΗΗ (I) ΟΜΟΗΤΗρΟΒΘΗΗ BIiyCKHaH Tpytía (8) Η BH-nycKHan Tpytía (10), a BHyTpn μημθηη (I) ycTaHOBJíeHH Αθφπθκτορ-ηηθ (HanpaBJunaMHe) jekotu (9) jyuí oxuasjíaromefi bojeu.HyB T0JIHI2Hy Η3ΠΗΗΘΗ2Η 10 MKM M2H (Ha θλκμηηηθ). 245743 -8- ΦΟΡΜΖΚΑ H3OEPETEHKfl first ycTpožcTBO jyifl βηοοκοπροη3ΒΟλητθλι> ηογο pacmuieMH nonpHHUKny njia3MaTpoHa, cocToamee H3 reHepnpynnero 3JieKTpoMar ~ ΗΗΤΗΟΘ heals npncnOGOÓJieHM C ΚΟΛΒΠ, ΘΒΗΜ 3θ30ρ0Μ H3 ΟΧΜ32ζΠ3ΒΜθίίΜΗΙΠΘΗΗ H aHOfla. OTJIHHaKmeeCfl ΤΘΜ, ΗΤΟ ΜΗΠΙΘΗΒ (I) ΗΜΘΘΤ φΟρΜγTpytíu, ητο reHepnpyiauee θλθκτρομθγηητηοθ nojie ycrpoficTBo (2) ημθθτ 3aMKHyTHfi, yjpiHHeHHHfi KOJiBneBofi 3a3op (3) η pa3MemaeTcab μημθηη (I) τθκ, HTO dojaniafl OCB npoxojgaT napaJuiejiBHo ochΜΗΜΘΗΗ, ΤΘΜ, HTQ aΗΟ, ζ ( 6) Ο0ΒΟΛ3ΚΗΒ3ΘΤ ΜΗΠΙΘΗΒ (I) T3K, HTOtíuynacTOK c κολβιχθβημ 3a3opoM ocTaBajicn cBotíojtHHM η τθμ, titonpn prefecture peryjmpoBOHHoro ycTpoňcTBa (7) ycT3HaBJiHBaeTc.fi pac-ΟΤΟΗΗΗΘ M02Wy ΘΗΟβΟΜ (6) Η ΠΟΒθρΧΗΟΟΤΒΚ ΜΗΠΙΘΗΗ nOCTOHHHyK IIa) BeJIHHHHy, ΤΘΜ, HTO flJUI ΠΟ ^ ΉΘΗΗΗ OTHOCHTeJIBHOrO flBH2®HHfl ΜΘΕ-ny ΜΗΜΘΗΒΚ (I) Η ΠρΗΟΠΟΟΟ & ΙΘΗΗΘΜ Jylhä ΓΘΗβρΗρΟΒΘΗΗΗ ΘΛΘΚΤρΟΜΘΓ-ηητηογο noJiH (2) ycTaHaBJíHBaeTOH πρηβοα (4), η τθμ, HTO Ha re-HepHpyxmeM θλθκτρομθγηητηοθ nojie ycTpožcTBe (2) ομοητηροβθηοnpHcnoc oÓJieHHe jyia ηθμθηθηηη paccTOHHHH Messy sthm irpHcnoootíJie-ΗΗΘΜ Η ΜΗΜΘΗΒΚ (1). 2. YcapofiCTBO B ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΗΗ C nyHKTOM I, ΗΗΘΚΜυίΗΗΘΚΜθθΟΗ ΤΘΜ, hto reHepHpynuee θλθκτρομθγηητηοθ nojie npHcnocotíJieHHe (2) pa3-ÓHTO Ha ΗΘΟΚΟΧΒΚΟ ΠΟΛΟΗΟΤΘΜ. 3. ycipOfiCTBO B ny C nyHKTaMH I H 2, ΟΗθθΟΗτθμ, ητο κοαπ> ηθΒθ2 sasop (3) pacnuapeH Ha HCKpHBjeeHHOM ynacTKe. 4. yCTpoSCTBO B ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΗΗ o nyHKTaMH I no 3, OTJDnaiOmeeCHΤΘΜ, Η ΑΗβΜΘΤρ ΜΗΜΘΗΗ (I) ΟΟΟΤΘΒΛΗΘΤ ΚΘΚ MHHHMyM TpeXKapTHyHBejiHHHHy ot cpejíHefi βθ, ηηίηηιι mhphhh κοπιβε; θβογο 3a3opa. 5. ΥοτροϋοτΒΟ b οοοτβθτοτβηη c nyHKTaMH I no 4, OTjnnawecHΤΘΜ, ΉΤΟ Ha ΜΗΜΘΗΗ (I) ΟΜΟΗΤΗρΟΒΘΗΗ BIiyCKHaH Tpytia (8) Η BH-nycKHan Tpyti (10), and BHyTpn μημθηη (I) ycTaHOBJieHH Αθφπθκτορ-ηηθ (HanpaBJunaMHe) ) jyuí oxuasjíaromefi bojeu.

ΠρΗΛΟΚΘΗΗθ: ΗθρΤΘΚΗ Ha 2-X JIHCTaX 2*5743 -9-Ha 2-X JIHCTaX 2 * 5743 -9-

AHHOTAWAHHOTAW

HacToamee Η3θόρθτβΗζβ Kacaeica ycTpoficTBa flna BncoKonpoz3BOflz-τθλβηογο pacnKneHBLH no npimumiy nna3MaTpoHa wlh οοθβκθηζη(HanunsHJia) πλθηοκ bo Bcex oónacTHX τθχηηκε. Βθλβε ηβληθτοη cHoenze TpysoeMKOCTz λλη MzmeHeB z pacxonoBsa Dp0H3B0j[CTB0 onepanzfi ηθπηλθηζη. 3ajiaHa cbo^htch k ποβηλθηζβ κοθφφκηζθΗΤθ ζοπολββοβθηζη uranemz TOjmmHH HamuuieMSx ολοθβ (πλθηοκ) c τβθλζηθηηθμ cpoKa cjiyzÓHμηπιθηθΑ. B οοοτβθτοτβζζ c ζ300ρθτθηζθμ BHyTpz TpytteaTofi μζιπθηηΡΘ3ΜΘΠ®ΘΤΟΗ yCTpofiCTBO jpifl 003ΛΠΗΖΗ 3ΛΘΚΤρ0Μ3ΓΗΖΤΗ0Γ0 ΠΟΛΗ C3aMKHyTHM ΚΟΛΒΠθΒΠΜ 3θ30ρ0Μ. AHOfl 00Β0Λ3ΚΖΒ3ΘΤ ΜΗΠΙθΗΒ 3a ΖΟΚΛΕ-ΗβΗΖΘΜ 30HH ΚΟΛΒΠΘΒΟΓΟ 3θ30ρθ C BOXMOEHOCTLE Ζ3ΜΘΗΘΗΖΗ (peryjffl-ροεκζ) paocTOHHZH οτ μεππθηη. Hpz noMontz npzBojta Mes^y μζεθηβεΗ ΠρΗΟΠΟΟΟόΛβΗΖΘΜ &ZIH ΓΘΗθρζρΟΒβΗΖΗ ΘΛΘΚΤρΟΜΒΓΗΗΤΗΟΓΟ ΠΟΛΗC03,n;aeTCH οτηοοζτθλβηοθ ,πβηχθηηθ. Ρθοοτοηηηθ Mes^y μεππθηβ» ζΠρΖΟΠΟΟΟόΛΘΗΖΘΜ JSflSl ΓΘΗθρζρΟΒΘΗΗΗ 9ΛΘΚΤρ0Μ3ΓΗΗΤΗ0Γ0 ΠΟΛΗ ΠΟ,Π.—peryJDipy©TCH ($zr. I). 245743HacToamee aca3θόρθτβΗζβ Kacaeica ycTpoficTBa flna BncoKonpoz3BOflz-τθλβηογο pacnKneHBLH no npimumiy nna3MaTpoHa wlh οοθβκθηζη (HanunsHJia) πλθηοκ bo Bcex oonacTHX τθχηηκε. Hθλβε ηβληθτοη cHoenze TpysoeMKOCTz λλη MzmeHeB from pacxonoBsa Dp0H3B0j [CTB0 onepanzfi ηθπηλθηζη. 3ajiaHa cbo ^ htch k ποβηλθηζβ κοθφφκηζθΗΤθ ζοπολββοβθηζη uranemz TOjmmHH HamuuieMSx ολοθβ (πλθηοκ) c τβθλζηθηηθμ cpoKa cjiyzÓHμηπιθηθΑ. B οοοτβθτοτβζζ c ζ300ρθτθηζθμ BHyTpz TpytteaTofi μζιπθηηΡΘ3ΜΘΠ®ΘΤΟΗ yCTpofiCTBO jpifl 003ΛΠΗΖΗ 3ΛΘΚΤρ0Μ3ΓΗΖΤΗ0Γ0 ΠΟΛΗ C3aMKHyTHM ΚΟΛΒΠθΒΠΜ 3θ30ρ0Μ. AHOfl 00Β0Λ3ΚΖΒ3ΘΤ ΙΠΙθΗΒ 3a -Ε-ΗβΗΖΘΜ 30HH θΠΘΒΟΓΟ 3θ30ρθ C BOXMOEHOCTLE Ζ3ΜΘΗΘΗΖΗ (peryjffl-ροεκζ) paocTOHHZH οτ μεππθηη. Hpz noMontz npzBojta Mes ^ y μζεθηβε ΠρΗΟΠΟΟΟόΛβΗΖΘΜ & ZIH ΓΘΗθρζρΟΒβΗΖΗ ΘΛΘΚΤρΟΜΒΓΗΗΤΗΟΓΟ ΠΟΛΗC03, n; aeTCH οτηοοζτθλβηοθ, πβηχθηηθ. Mesθοοτοηηηθ Mes ^ y μεππθηβ »ΖΟΠρΖΟΠΟΟΟόΛΘΗΖΘΜ JSflSl ΓΘΗθρζρΟΒΘΗΗΗ 9ΛΘΚΤρ0Μ3ΓΗΗΤΗ0Γ0 ΠΟΛΗ ΠΟ, Π. — peryJDipy © TCH ($ zr. I). 245743

Claims (5)

245743 10 P Ř E D M Ě T VYNÁLEZU245743 10 E N G L IS M TION OF THE INVENTION 1. Zařízení pro vysokovýkonné rozprašování na principu plazmatronu, sestávající z části generující elektromagnetické pole s prstencovou štěrbinou, z chladicího plazma-tronu a anody, vyznačující se tím, že plazmatron /1/ má tvar trubice, takže zařízení /2/generující elektromagnetické pole má uzavřenou, prodlouženou, prstencovou štěrbinu /3/a je uloženo v plazmatronu /1/ tak, že velká osa prochází paralelně s osou plazmatronutak, že anoda /6/ obklopuje plazmatron /1/ tak, že část s prstencovou štěrbinou zůstávávolná tak, že regulujícím zařízením /7/ je nastavena vzdálenost mezi anodou /6/ a povr-chem plazmatronu na stálou hodnotu tak, že pro získáni příslušného pohybu mezi plazmatro-nem /1/ a částí pro generování elektromagnetického pole /2/ je upevněn pohon /4/ tak,že ha zařízeni /2/ generujícím elektromagnetické pole je nastaven mechanismus pro změnuvzdálenosti mezi tímto mechanismem a plazmatronem /1/.An apparatus for high-performance plasma-atomization spraying, comprising an electromagnetic field generating portion with an annular gap, a cooling plasma-anon and anode, characterized in that the plasmatron (1) has a tube shape so that the electromagnetic field generating device (2) has the closed, elongated, annular slot (3) and is mounted in the plasma beam (1) such that the large axis extends parallel to the plasmatronutak axis such that the anode (6) surrounds the plasmatron (1) so that the annular slot portion remains so that it regulates the device (7) sets the distance between the anode (6) and the surface of the plasmatron to a constant value such that a drive (4) is fixed to obtain the appropriate movement between the plasma meter (1) and the electromagnetic field generating part (2) that the electromagnetic field generating device (2) has a mechanism for changing the distance between the mechanism and the plasma (1). 2. Zařízeni podle bodu 1, vyznačující se tím, že zařízení /2/ generující elektro-magnetické pole je rozděleno na několik podsystémů·2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the electromagnetic field generating device (2) is divided into several sub-systems. 3. Zařízení podle bodů 1na na zakřivené části.3. Device according to points 1 on the curved part. 4. Zařízeni podle bodů 1trojnásobnou velikost střední 2, vyznačující se tím, že prstencová štěrbina /3/ je umístě- až 3, vyznačující se tím, že průměr plazmatronu /1/ má nejméně hodnoty šířky prstencové štěrbiny.4. The device of item 1, 3 times the size of the middle 2, characterized in that the annular gap (3) is located up to 3, characterized in that the diameter of the plasma jet (1) has at least the width values of the annular gap. 5. Zařízení podle bodů 1 až 4, vyznačující,se tím, že na plazmatronu /1/ jsou upevněnypřívodní trubice /8/ a vypouštěci trubice /10/ a uvnitř plazmatronu /1/ jsou upevněnydeflektorní (vodicí) listy /9/ pro chladicí vodu. Uznáno vynálezem ná základě výsledků expertizy, provedené Úřadem pro vynálezectví apatentnictví, Berlín, DD. 2 výkresy5. Apparatus according to any one of claims 1 to 4, characterized in that inlet tubes (8) and discharge tubes (10) are attached to the plasma tube (1) and reflector sheets (9) for cooling water are mounted inside the plasma tube (1). . Recognized by the invention on the basis of the results of expertise conducted by the Apatent Inventory Office, Berlin, DD. 2 drawings
CS826383A 1981-10-02 1982-09-02 Apparatus for high-duty spraying based on the principle of plasmatron CS245743B1 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD23381781A DD217964A3 (en) 1981-10-02 1981-10-02 DEVICE FOR HIGH-RATE SCREENING ACCORDING TO THE PLASMATRON PRINCIPLE

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CS638382A1 CS638382A1 (en) 1985-04-16
CS245743B1 true CS245743B1 (en) 1986-10-16

Family

ID=5533920

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS826383A CS245743B1 (en) 1981-10-02 1982-09-02 Apparatus for high-duty spraying based on the principle of plasmatron

Country Status (3)

Country Link
CS (1) CS245743B1 (en)
DD (1) DD217964A3 (en)
DE (1) DE3229969A1 (en)

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8700620A (en) * 1987-03-16 1988-10-17 Hauzer Holding CATHODE ARC VAPORIZATION DEVICE AND METHOD FOR ITS OPERATION.
US5096562A (en) * 1989-11-08 1992-03-17 The Boc Group, Inc. Rotating cylindrical magnetron structure for large area coating
BE1003701A3 (en) * 1990-06-08 1992-05-26 Saint Roch Glaceries Rotary cathode.
JP3516949B2 (en) * 1990-08-10 2004-04-05 バイラテック・シン・フィルムズ・インコーポレイテッド Shielding for arc suppression in rotating magnetron sputtering systems
US5106474A (en) * 1990-11-21 1992-04-21 Viratec Thin Films, Inc. Anode structures for magnetron sputtering apparatus
US5108574A (en) * 1991-01-29 1992-04-28 The Boc Group, Inc. Cylindrical magnetron shield structure
DE4107505A1 (en) * 1991-03-08 1992-09-10 Leybold Ag METHOD FOR OPERATING A SPUTTER, AND DEVICE FOR CARRYING OUT THE METHOD
US5364518A (en) * 1991-05-28 1994-11-15 Leybold Aktiengesellschaft Magnetron cathode for a rotating target
DE4117367C2 (en) * 1991-05-28 1999-11-04 Leybold Ag Method for generating a homogeneous removal profile on a rotating target of a sputtering device
DE4117518C2 (en) * 1991-05-29 2000-06-21 Leybold Ag Device for sputtering with a moving, in particular rotating, target
US5571393A (en) * 1994-08-24 1996-11-05 Viratec Thin Films, Inc. Magnet housing for a sputtering cathode
US5527439A (en) * 1995-01-23 1996-06-18 The Boc Group, Inc. Cylindrical magnetron shield structure
DE19610253C2 (en) * 1996-03-15 1999-01-14 Fraunhofer Ges Forschung Atomizing device
DE10145201C1 (en) * 2001-09-13 2002-11-21 Fraunhofer Ges Forschung Device for coating substrates having a curved surface contains a pair of rectangular magnetron sources and substrate holders arranged in an evacuated chamber
DE10213043B4 (en) * 2002-03-22 2008-10-30 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Tubular magnetron and its use
DE10234858A1 (en) * 2002-07-31 2004-02-12 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Device for producing a magnetron discharge, especially for magnetron sputtering, in the coating of substrates has a unit producing a magnetic field having a fixed position relative to the outer target limit in the region of the outer pole
ES2282769T3 (en) * 2004-08-10 2007-10-16 APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG DEVICE OF SPRAY CATODIC WITH MAGNETRON, CILINDRIC CATHODE AND PROCEDURE FOR THE APPLICATION OF SLIM COATS OF MULTIPLE COMPONENTS IN A SUBSTRATE.
US7504011B2 (en) * 2005-10-24 2009-03-17 Guardian Industries Corp. Sputtering target and method/apparatus for cooling the target
US20070089982A1 (en) * 2005-10-24 2007-04-26 Hendryk Richert Sputtering target and method/apparatus for cooling the target
US7842355B2 (en) 2005-11-01 2010-11-30 Applied Materials, Inc. System and method for modulation of power and power related functions of PECVD discharge sources to achieve new film properties
DE502006008952D1 (en) 2006-11-14 2011-04-07 Applied Materials Inc Magnetron sputter source, sputter coating equipment and method of coating a substrate
US8182662B2 (en) 2009-03-27 2012-05-22 Sputtering Components, Inc. Rotary cathode for magnetron sputtering apparatus
CN101994093B (en) * 2009-08-14 2013-08-21 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 Magnetron sputtering device
DE102010040759B4 (en) * 2010-09-14 2015-10-08 Von Ardenne Gmbh Cooling arrangement for targets of sputter sources
DE102011075543B4 (en) * 2011-05-10 2015-10-08 Von Ardenne Gmbh Arrangement for cooling an elongate magnetron
DE102012203152A1 (en) * 2012-02-29 2013-08-29 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Method and apparatus for reactive magnetron sputtering a transparent metal oxide layer
EP2746424B1 (en) 2012-12-21 2018-10-17 Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon Evaporation source
EP2778253B1 (en) 2013-02-26 2018-10-24 Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon Cylindrical evaporation source

Also Published As

Publication number Publication date
DD217964A3 (en) 1985-01-23
DE3229969A1 (en) 1983-04-21
CS638382A1 (en) 1985-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CS245743B1 (en) Apparatus for high-duty spraying based on the principle of plasmatron
US4837794A (en) Filter apparatus for use with an x-ray source
DE951514C (en) Cooling dynamo-electric machines
GB494835A (en) Improvements in or relating to the transmission and reception of electromagnetic waves
JPS5755762A (en) Permanent magnet type stepping motor
DE3335334C2 (en) Cooling device for plastic tubular films extruded from a film blow head with air cooling
MX173628B (en) CONVEYOR
GB1262622A (en) Turbine nozzles
FI824142L (en) FOERFARANDE FOER ATT MEDELST STRAOLNING UTSAEND AV ETT ROENTGENROER UTAN ATT FOERSTOERA PROVET MAETA FOERDELNINGEN AV FYLL- OCH / ELLER BELAEGGNINGSMEDEL I TJOCKLEKSRIKTNINGEN AV PAPPER, KARTONG OLER LIKN
GB603077A (en) Improvements in or relating to the manufacture of synthetic resinous tubing
FI824141L (en) FOERFARANDE FOER ATT MEDELST STRAOLNING FRAON EN RADIOISOTOPKAELLA UTAN ATT FOERSTOERA PROVET MAETA FOERDELNINGEN AV FYLL- OCH / ELLER BELAEGGNINGSMEDEL I TJOCKLEKSRIKTNINGEN AV PAPPER, KARTONG OLER HIKNE
ES410389A1 (en) Method for forming a color television picture tube screen
DE612236C (en) Equipment for cooling runners of large construction lengths
GB1463283A (en) Colour picture tube
SU456418A3 (en) Canvas aerodynamic device
GB1338640A (en) Cooling means for tubular plastics film made by a blowhead
DE1210079B (en) Optical transmitter or amplifier with gaseous stimulable medium for monochromatic coherent radiation
DE913564C (en) Permanent magnet system with high air gap induction, especially for electrodynamic telephones and loudspeakers
West Production test 105-2-P (Supplement A)-Activity of pile discharge water (Activation of manganese and iron)
JPS5223259A (en) Cathode-ray tube for color
JPS56104200A (en) Motor-driven blower
JPS5243789A (en) Red fluorescent substance and method of preparing thereof
JPS5294976A (en) Rubber tube for air lock shaft for taking-up paper tube etc.
JPS5265612A (en) Deflecting coil for camera tube
Meek The mechanism of growth of spark discharges