CS245743B1 - Apparatus for high-duty spraying based on the principle of plasmatron - Google Patents
Apparatus for high-duty spraying based on the principle of plasmatron Download PDFInfo
- Publication number
- CS245743B1 CS245743B1 CS826383A CS638382A CS245743B1 CS 245743 B1 CS245743 B1 CS 245743B1 CS 826383 A CS826383 A CS 826383A CS 638382 A CS638382 A CS 638382A CS 245743 B1 CS245743 B1 CS 245743B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- plasma
- electromagnetic field
- field generating
- plasmatron
- anode
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3402—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering using supplementary magnetic fields
- H01J37/3405—Magnetron sputtering
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
-2- OánaCTL ΠρΗΜΘΗΘΗΗΗ Η300ρ0ΤΘΗΗΗ-2- OánaCTL ΠρΗΜΘΗΘΗΗΗ Η300ρ0ΤΘΗΗΗ
JfcHHoe H30ÓpeT6Hne KacaeTCH ycTpožcTBa jyisi βηοοκοπροη3βοβη-τθΛΒΗΟΓο pacnujiema no npHHunny iuia3MaTpoHa. Tarae ycTpoficT-Ba npe,nHa3HaneHH b κθηθοτβθ hctohhekob nacTun; rhh ycTaHOBOKjyia BaKyyMHoro pacnuneoH c nembB ocas^ema πλθηοκ, πρημθηη-βΜΗΧ B CaMHX pa3HHX OÓJiaCTflX ΤΘΧΗΗΚη, B nacraocTH θλθκτροηηκη,onTHKH n o&iaropaxiiBaHHB MarepnaaoB.JfcHHoe H30OpeT6Hne KacaeTCH ycTpozcTBa jyisi βηοοκοπροη3βοβη-τθΛΒΗΟΓο pacnujiema no npHHunny iuia3MaTpoHa. Tarae ycTpoficT-Ba npe, nHa3HaneHH b κθηθοτβθ hctohhekob nacTun; rhh ycTaHOBOKjyia BaKyyMHoro pacnuneoH c nembB tail ^ ema πλθηοκ, πρημθηη-βΜΗΧ B CaMHX pa3HHX OÓJiaCTflX ΤΘΧΗΗΚη, B nacraocTH θλθκτροηηκη, onTHKH n o & iaropaxiiBaHHB MarepnaaoB.
XapaKTepncTHKa η3βθοτηηχ τθχηεριθοκβχ pemeHnfi ' H3 aHCJia HCTOHHEKOB ΠΛ33Μ3ΤρθΗ3 pa3HOOÓpa3HHX KOHCTpyKHE±npew βοθγο b npaKTHKe onpaBjxaaH ceóa ocHameHme πλοοκημηΜΗΠΙΘΗΗΜΗ H3 ΠΟΛΠΘ3ΚΘΙΙ(ΗΧ ρθΟΠΗΛΘΗΚΒ ΜΘΤθρΠΘΛΟΒ Η ΗΜΘΟΗΗΘ yftTOI-HGHHyK) KOJtLUOByB npope31> jyiH ΗΘΠΗΠΘΗΗΗ ΠΟΛΙΟΚΘΚ C ÓOJIBniHMHmioina&aMH ποβθρχηοοτη. B ycjioBMx τθχηηηθοκογο ncnojii>3OBaHHaTaKHX HCTOaHHKOB ΟΓρθΗΙίΉΘΗΗηδ, 0TH0CHT6JIBH0 HH3KHfi Κ03φφΕΠξΚΘΗΤ 245743 -3- ncnojn>3OBaHJiH MaTepnaJia μηηιθηη, κοτορκζ oóhhho οοοτθβληβτ oko-JIO EXE ΜΘΗΜΠΘ 30 %, 0Κ33ΗΒ3ΘΤ ΗΘΒΗΓΟβΗΟΘ ΒΧΕΗΗΕβ. H3 9Τ0Γ0BUTGKaeT Henpo£OJimT©jií>HHfi οροκ cjiyxdn ectohhekob E3-3a hgoó-XO^HMOCTH ΟΜΘΗΗ ΜΕΙΠβΗΗ Η 0ΒΗ33ΗΗ0Γ0 C 3 TEM ΠρβρΗΒΘΗΕΗ ΠρΟΕξθΟΟΘEanwieHHH ποη BaicyyMOM.XapaKTepncTHKa η3βθοτηηχ τθχηεριθοκβχ pemeHnfi 'H3 aHCJia HCTOHHEKOB ΠΛ33Μ3ΤρθΗ3 pa3HOOÓpa3HHX KOHCTpyKHE ± npew βοθγο b npaKTHKe onpaBjxaaH ceóa ocHameHme πλοοκημηΜΗΠΙΘΗΗΜΗ H3 ΠΟΛΠΘ3ΚΘΙΙ (ΗΧ ρθΟΠΗΛΘΗΚΒ ΜΘΤθρΠΘΛΟΒ Η ΗΜΘΟΗΗΘ yftTOI-HGHHyK) KOJtLUOByB npope31> jyiH ΗΘΠΗΠΘΗΗΗ ΠΟΛΙΟΚΘΚ ÓOJIBniHMHmioina C & ποβθρχηοοτη AMH. B ycjioBMx τθχηηηθοκογο ncnojii> 3OBaHHaTaKHX HCTOaHHKOB ΟΓρθΗΙίΉΘΗΗηδ, 0TH0CHT6JIBH0 HH3KHfi Κ03φφΕΠξΚΘΗΤ 245,743 -3- ncnojn> 3OBaHJiH MaTepnaJia μηηιθηη, κοτορκζ oohhh οοοτθβληβτ eye-jio EXE ΜΘΗΜΠΘ 30% 0Κ33ΗΒ3ΘΤ ΗΘΒΗΓΟβΗΟΘ ΒΧΕΗΗΕβ. H3 9Τ0B0BUTGKaeT Henpo £ OJimT © jii> HHfi οροκ cjiyxdn ectohhekob E3-3a hgoo-XO ^ HMOCTH Μ ΗΕΙΠβΗΗ Η 0ΒΗ33ΗΗ0Γ0 C 3 TEM ΠρβρΗΒΘΗΕΗ ΠρΟΕξθΟΟΘEanwieHHH ποη BaicyyMOM.
Pacxojnjí jyin λοοτθβκη MaTepna.ua rusí MmneHefi e npoqecc οόορκποθμεχ MHmeHefi BimoTHyio po odecneneHEH HeoóxonÉMofi γθομθτρηηθο-kož KOH$ErypanHH e MOHTasca πρθλοτθβληκτ coóofi 3HaHETejn>HyB nacTBpacxoflOB Ha np0H3B0flCTB0 onepanHH HanwieraH. IlosTOMy npejyiara-jihcb pasjíEmme πγτπ no yjtywGHE® κοβΦρεπεθητθ εοπολβ3οβ3ηεη ΜΕ-meHeft, κβκ, HanpEMep, ycTaHOBKa βοπομογ3τθλβηιιχ θλθκτρομθγηητοβ( de-OS 30 04 546). Booóme Bce nyra pemeHEH πρηβολητ k cymecT-ΒΘΗΗΟ ÓOJiee CJIO2KHOH KOHCTpyKnHE ECTOHHEKOB ΠΛ83Μ8ΤρθΗ3, HeodycjiaBJíHBafí ojnioBpeMeHHO cymeoTBeHHoe ymyHmeHne κοθφφΗΠΕθΗΤθHcnojn.3OBaHHH MaTepnajia MHmeHeft.Pacxojnjí jyin λοοτθβκη MaTepna.ua Rus MmneHefi e npoqecc οόορκποθμεχ MHmeHefi BimoTHyio after odecneneHEH HeoóxonÉMofi γθομθτρηηθο-Koz KOH ErypanHH $ e MOHTasca πρθλοτθβληκτ coóofi 3HaHETejn> Hyb nacTBpacxoflOB Ha np0H3B0flCTB0 onepanHH HanwieraH. IlosTOMy npejyiara-jihcb pasjiEmme πγτπ no yjtywGHE® κοβΦρεπεθητθ εοπολβ3οβ3ηεη ΜΕ-meHeft, κβκ, HanpEMep, ycTaHOBKa βοπομογ3τθλβηιιχ θλθκτρομθγηητοβ (de-OS 30 04 546). Booóme Bce nyra pemeHEH πρηβολητ k cymecT-ΒΘΗΗΟ ÓOJiee CJIO2KHOH KOHCTpyKnHE ECTOHHEKOB ΠΛ83Μ8ΤρθΗ3, HeodycjiaBJíHBafm ojnioBpeMeHme cymeoTBeHHoe ymyHHH MaTepnajia MHmeHeft.
Hapw c τθκεμε εοτοηηεκθμε c hjiockeme μηπιθεημε (ectohheke cimockemh mia3MaTpoHaMH) npe&naraioTCH e τθκ Ha3HBaeMue ectohhekeC TOpOHJíaJIBHHME ΠΛ83Μ3ΤρθΗ3ΜΗ, ΟΤΛΕΕΘΚΕΙΕθΟΕ BHCOKHM ΚΟ3$φΕΗΕΘΗ-TOM ECnOJH>3OBaHEH MBTGpEaJia ΜΗΙΠΘΗΗ ( DD-PS 123 952) . ΟΠΗ OR-H3K0 npHrOflHH TOJILKO ROSÍ ΒΟΘΟΤΟρΟΗΗΘΓΟ HQHW1GHXJI B HHJIHHflpHHeC-kex ycTaHOBKax jyw κοηεθητρεηηογο ηβπκπθηεε. Jvw οληοοτοροηηθ-ro HamweHHH hjiookex cxeM πο,ιμιοκβκ ex Hcnojn>3OBaHHe npe#CTaB-jwgtch Hen,ejiecooópa3HHM e τθκκθ cB.asaHo c ηθβηοοκημ κο3$Φεεεθη-ΤΟΜ Η0Π0ΛΒ30Β3ΗΕΗ Μ3ΤθρΕ3ΛΘ ΜΕΙϋθΗθβ.Hapw c τθκεμε εοτοηηεκθμε c hjiockeme μηπιθεημε (ectohheke cimockemh mia3MaTpoHaMH) NPE & e naraioTCH τθκ Ha3HBaeMue ectohhekeC TOpOHJíaJIBHHME ΠΛ83Μ3ΤρθΗ3ΜΗ, ΟΤΛΕΕΘΚΕΙΕθΟΕ BHCOKHM ΚΟ3 $ φΕΗΕΘΗ-TOM ECnOJH> 3OBaHEH MBTGpEaJia ΜΗΙΠΘΗΗ (DD-PS 123 952). ΟΠΗ OR-H3K0 npHrOflHH TOJILKO ROSÍ QρΟΗΗΘΓΟ HQHW1GHXJI B HHJIHHflpHHeC-kex ycTaHOBKax jyw κοηεθητρεηηογο ηβπκπθηεε. Jvw οληοοτοροηηθ-ro HweHHH hjiookex cxeM πο, ιμιοκβκ ex Hcnojn> 3OBaHHe npe # CTaB-jwgtch Hen, ejiecooópa3HHM e θ0Π0ΛΒ30Β3ΗΕΗ Μ3ΤθρΕ3ΛΘ ΜΕΙϋθΗθβ.
Eme OflEH ΗΘΛΟΟΤΘΤΟΚ Ε3ΒβΟΤΗΗΧ ECTOHHEKOB ΙΜ33Μ3Τρ0Η0Β C ΠΛ00-ΚΕΜΕ ΜΕΠΙβΗΗΜΗ 38ΚΛΚ)Η3ΘΤ0Η Β TOM, ΗΤΟ IUIOTHOCTB Πρ0Η3Β0ΛΗΤΘΛΒ-HOCTE Η Τ3ΚΕΜ 0Ópa30M Η ΚΟθφφΜξΗΘΗΤ ΜΟΠΙΗΟΟΤΕ ΗΘΠΗΠΘΗΗΗ 0Κ33ΗΒ3-GTCH ΟΓρθΗΗΗβΗΗΗΜ BBEJiy φΕ3ΕΚ0-ΤβΧΕΗΗΘ0ΚΗΧ ΓρβΗΕΠ, ΟΧΛΘΚΗβΗΗΗMHmeHeft. 3aTpara Ha h3]?otobjighhg tqkhx MwneReft no cpaBHGHHK cHeóOJEblUHM ΚΟ3φφΗΙξΗβΗΤΟΜ Η0Π0ΛΒ30Β3ΕΕΗ ΟΗΘΗΒ BHCOKH. 245743 -4-Eme OflEH ΗΘΛΟΟΤΘΤΟΚ Ε3ΒβΟΤΗΗΧ ECTOHHEKOB ΙΜ33Μ3Τρ0Η0Β ΠΛ00 C-ΚΕΜΕ ΜΕΠΙβΗΗΜΗ 38ΚΛΚ) Η3ΘΤ0Η Β TOM ΗΤΟ IUIOTHOCTB Πρ0Η3Β0ΛΗΤΘΛΒ-HOCTE Η Τ3ΚΕΜ 0Ópa30M Η ΚΟθφφΜξΗΘΗΤ ΜΟΠΙΗΟΟΤΕ ΗΘΠΗΠΘΗΗΗ 0Κ33ΗΒ3-GTCH ΟΓρθΗΗΗβΗΗΗΜ BBEJiy φΕ3ΕΚ0-ΤβΧΕΗΗΘ0ΚΗΧ ΓρβΗΕΠ, ΟΧΛΘΚΗβΗΗΗMHmeHeft. 3aTpara Ha h3]? Otobjighhg tqkhx MwneReft no cpaBHGHHK cHeóOJEblUHM ΚΟ3φφΗΙξΗβΗΤΟΜ Η0Π0ΛΒ30Β3ΕΕΗ ΟΗΘΗΒ BHCOKH. 245743 -4-
Qejn> H30ÓpeTeHHHQejn> H30OpeTeHHH
HacToamee Η3ο«5ρθτθηηθ npecjie,nyeT βθλββ rrpeoAOJierae τθχηηηθο-KHX ΗβΑΟΟΤΘΤΚΟΒ, CHBJR6HH6 paCXOflOB Ha Η3ΓΟΤΟΒΠΘΗΗβ ΜΕΠΠΘΗβδ ΠρΗβηοοκοπροη3βοεητθλι>ηομ pacmuieHHM Η COKpaiUOHHH paCXOflOB Ha 3a-rpy3Ky.HacToamee Η3ο «5ρθτθηηθ npecjie, Nyet βθλββ rrpeoAOJierae τθχηηηθο-KHX ΗβΑΟΟΤΘΤΚΟΒ, CHBJR6HH6 paCXOflOB Ha Η3ΓΟΤΟΒΠΘΗΗβ ΜΕΠΠΘΗβδ ΠρΗβηοοκοπροη3βοεητθλι> ηομ pacmuieHHM Η COKpaiUOHHH paCXOflOB Ha-3a rpy3Ky.
Η3ΛΟΚΘΗΗΘ CymHOCTH H30ÓpeT6HHH B OCHOBy H30típGT©HHH ΠΟΛΟΚδΗθ 3a^ana C03ííaHHfl ycapOHGTBaBHC0K0np0H3B0,HHTeJILH0r0 ρθΟΙΗΒΙΘΗΗΗ ΠΟ HpHHUHHy ΙΙΛΒ3Μ3ΤρθΗ8 CyjycHHeHHofi KOJU.Eteotípa3Ho2 npope3£D, OTjarqawixcH bhcokhm kos$-φΗΠΗβΗΤΟΜ HCnOXE>30BaHO MaTepHaJia ΜΗ1ΠΘΗΗ, tíOJILHIHM CpOKOM CJiy®-óh μεππθβθ& h bo3mo2choctlb otíecneHOHHH tíojamoÉ tojwehh Hanwiae-MOfi ΠΛβΗΚΗ H npiirOJtHOrO JSflSÍ ΗΒΠΠΠΘΗΠΗ IMOCKHX CXSM pacnOJIOSe-HHH ΠΟΛϋΟΚΘΚ. B οοοτβθτοτβηη c η300ρθτθηηθμ a Ta sajta^a pemaeTca npa πομοήηycapoficTBa, cocToamero H3 reHepHpyiomero απθκτροΜβΓΗΗΤΗοθ ncuienpHcnocoÓJieHHfl c κοπΒΐίθΒοδ npope3£B, aHO®a h oxjiaKflaeMofi μεππθ-hh H3 pacmuLHeMoro MaTepnaJia τθμ, ητο μηιπθηβ ημθθτ KOH$arypa-mro TpytíH, BHyipn κοτοροδ pa3MemaBTCH oaho hjih ηθοκολβκο rene-pHpyBjHHX 3ΛΘΚΤρ0Μ3ΓΗΗΤΗ0θ ΠΟΛΘ ΠρΗΟΠΟΟΟάΠΘΗίώ O 3aMKHyTHMH,yWEHHeHHHMH ΚΟΛΒΒΘΒΗΜΗ Προρθ3ΗΜΗ, ΒΘΚΤΟρΗΗΘ JIKHHH KOTOpHX UpO-ΧΟΛΗΤ HaCKB03B Tpydy, T3KHM 0dpa30M, ΉΤΟ HX dojmnafl OCB pacno-jioseHa napaJuejn>HO och TpytíH. Qejiecoodpa3KO, htoóh ηηθμθτρTpytíu (μιππθηη) πρθβηπμ TpexKpaTHyK Bejm^HHy cpejasefi mapmiíΚΟΛΒΗΘΒΟδ Πρθρθ3Η, 3asaHH0Ž 3a CH6T paCCTOHHOH HOJIBCHHX H3K0—ηθηηηκοβ renepupymiero 3λθκτρομ3γηητηο6 πολθ npHcnocoáneHHH.JfeHHoe ycipoficTBO βκπβηθθτ b ceÓH npuBOfl jyu οοβ,πβηκη othoch-τθλβηογο jíBiwsHHH πβρβΜθίξθΗΗΗ Tpydu no οτηοπθηηιο κ reHepapyro-meMy (hm) θλθκτρομθγηητηοθ πολθ npxcnooodJieHira (hm), npejjnon-ΤΗΤΘΛΒΗΟ B BHfle ρβΒΗΟΜθρΗΟΓΟ BpanjaTejILHOIO ,ϊξΒΗΕΘΗΗΗ BOKpyr OCHTpytíH. ΚροΜΘ τογο, βθηηοθ ripncnocodJiemie co^epsHT ycTpoficTBO(θΚΟΙξθΗΤρΗΚ) ftUH Η3ΜΘΗΘΕΗΗ paCCTOHHHH MeSfly BHyTpeHHOfi ΟΤΘΗΚΟδTpytíH hjeh ycipoficTBOM, reHepupynnuM θλθκτρομθγηητηοθ nojie. 245743 -5- *Η3ΛΟΚΘΗΗΘ CymHOCTH H30ÓpeT6HHH B OCHOBy H30típGT © HHH ΠΟΛΟΚδΗθ 3a ^ ana C03ííaHHfl ycapOHGTBaBHC0K0np0H3B0, HHTeJILH0r0 ρθΟΙΗΒΙΘΗΗΗ ΠΟ HpHHUHHy ΙΙΛΒ3Μ3ΤρθΗ8 CyjycHHeHHofi KOJU.Eteotípa3Ho2 npope3 £ D OTjarqawixcH bhcokhm blackbird $ -φΗΠΗβΗΤΟΜ HCnOXE> 30BaHO MaTepHaJia ΜΗ1ΠΘΗΗ, tíOJILHIHM CpOKOM CJiy® μεππθβθ-OH & h bo3mo2choctlb otiecneHOHHH thiojamoÉ tojwehh Hanwiae-MOfi ΠΛβΗΚΗ H npiirOJtHOrO JSflSÍ ΗΒΠΠΠΘΗΠΗ IMOCKHX CXSM pacnOJIOSe-HHH ΠΟΛϋΟΚΘΚ. B οοοτβθτοτβηη c η300ρθτθηηθμ Ta and suck-and pemaeTca NPA πομοήηycapoficTBa, cocToamero H3 reHepHpyiomero απθκτροΜβΓΗΗΤΗοθ ncuienpHcnocoÓJieHHfl κοπΒΐίθΒοδ npope3 c £ B aHO®ah oxjiaKflaeMofi μεππθ HH H3 pacmuLHeMoro MaTepnaJia τθμ, ητο μηιπθηβ ημθθτ KOH $ arypa-furo TpytíH, BHyipn κοτοροδ pa3MemaBTCH oaho hjih ηθοκολβκο rene-pHpyBjHHX 3ΛΘΚΤρ0Μ3ΓΗΗΤΗ0θ ΠΟΛΘ ΠρΗΟΠΟΟΟάΠΘΗίώ O 3aMKHyTHMH, yWEHHeHHHMH ΚΟΛΒΒΘΒΗΜΗ Προρθ3ΗΜΗ, ΒΘΚΤΟρΗΗΘ JIKHHH KOTOpHX UPO-ΧΟΛΗΤ HaCKB03B Tpydy, T3KHM 0dpa30M, ΉΤΟ HX dojmnafl OCB pACN-jioseHa napaJuejn> HO OCH TpytíH. Qejiecoodpa3KO, htoóh ηηθμθτρTpytíu (μιππθηη) πρθβηπμ TpexKpaTHyK Bejm ^ HHy cpejasefi mapmiíΚΟΛΒΗΘΒΟδ Πρθρθ3Η, 3asaHH0Ž 3a CH6T paCCTOHHOH HOJIBCHHX H3K0-ηθηηηκοβ renepupymiero 3λθκτρομ3γηητηο6 πολθ npHcnocoáneHHH.JfeHHoe ycipoficTBO βκπβηθθτ b ceÓH npuBOfl Jyu οοβ, πβηκη othoch-τθλβηογο jíBiwsHHH πβρβΜθίξθΗΗΗ Tpydu well οτηοπθηηιο κ reHepapyro- meMy (hm), npejjnon-ΤΗΤΘΛΒΗΟ B BHfle ρβΒΗΟΜθρΗΟΓΟ BpanjaTejILHOIO, ϊξΒΗΕΘΗΗΗ BOKpyr OCHTpytiH. HTροΜΘ τογο, βθηηοθ ripncnocodJiemie co ^ epsHT ycTpoficTBO (θΚΟΙξθΗΤρΗΚ) ftUH Η3ΜΘΗΘΕΗΗ paCCTOHHHH MeSfly BHyTpeHHOfi ΟΤΘΗΚΟδTpytíH hjeh ycipoficTBOM, reHepupynnuM θλθκτρομθγηητηοθ nojie. 245743 -5- *
Ahoa oÓBonaKHBaeT Tpydy co βοθχ οτοροΗ, 3a ηοκλβήθηηθμ 30huκολβπθβοζ npope3H, r«e npon3BOflHTCít OTcacHBaHEe MaTepnajia mh-meHafi. Ρθοοτοηηηθ οτ θΦΦθκτκβηοη ποβθρχηοοτη μημθηθΑ μοκθτ pe-ryjiapoBaTLCfl πθρηοληηθοκη m HenpepHBHO ro ποοτοηηηοΚ βθληήη-hu nopajijca, HanpnMep 4 mm, nocpeflGTBOM peryjmpoBonHoro ycTpofi-CTBa.Ahoa oÓBonaKHBaeT Tpydy what βοθχο οτοροΗ, 3a ηοκλβήθηηθμ 30huκολβπθβοζpnpope3H, r e npon3BOflHTCit OTcacHBaHEe MaTepnajia mh-meHafi. P H p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p p
Ecjek npn paóoTe ycrpoScTBa β οοοτβθτοτβηη c johhhm ηβοόρβτβ-ηηθμ b paciuMETeju>Hofi ycTaHOBKe κ TpytínaTofi μηβθηη nojiaeTCflΒβΠρΗΚΘΗΗΘ C ΟΤρΗΒΒΤΟΠΒΗΟβ ΠΟΛΗρΗΟΟΤΒΒ, TO Ha ΠΟΒθρΧΗΟΟΤΗ Tpy-óh b npeflojiax reHepapymero θλθκτρομθγηητηοθ πολθ ycTpoficTBaotípa3yeTca ra3OBHfi pa3pajt mia3MaTpoHa. 3oHa c bhcokoS iuiotho-ctbd iuia3MH cooTBeTCTByeT reoMeipjereecKofi KOH$Hrypaujni κολκπθβο-ro 3a3opa (npope3n). B ycjiOBHHX paBHOMepHoro BpameHHH Tpyóa3T0T ra3OBHň pa3pns πρηβολητ κ pacnwieHHB Ha Bcefi oópa3yiaueftTpyóa η, TaKHM 0Ópa30M, κ paBHOMspHOMy ysa^eHino MaTepnaJia. C yneTOM reoMeipmecKoS KOH^aarypaunn κολβηθβογο saeopa b ycjio-BHHX HOCTOHHHOfi UIHpHHH Ηθ ΗΟΚρΗΒΛβΗΗΟΜ yHaCTKe ΚΟΛΒΙίθΒΟΓΟ 3a-sopa ΠΟΑΒΛΗθΤΟΗ ÓOJIBWaH ΠΟ CpaBHeHHK K HeKGKpKBJíeHHOa naCTHοτθπθηβ yía^eHM MaTepnana μηεθηη, zto oóycaaBJmBaxo 6u orpara-•ίθηηθ opona cjiyxóH, a Tarae Koa&prwiíeHTa ηοπολββοβθηηη imnieHefiH3-3a ΤβΧΗΗΗβΟΚΗ HeOÓXOflHMOfi OCTaTOHHOS ΤΟΛϋξΗΗΗ ΜΕΠΠΘΗβΖ Ha Mec-τβ MaKcmiajiLHoro yHoca. IIosTOMy npejtcTaBJweTCíi bhtobhhm pacnm-peHne κολβιι,θβογο 3a3opa Ha ηοκρηβλθηηομ ynacTKe b ycjioBrax no-CTOHHCTBa HanpraeHHOCTH ολθκτρομθγηητηογ'ο ΠΟΛΗ. HCXOAH H3 Η3ΒβΟΤΗΗΧ KOHGTpyKUHOHHHX npHHBJfflOB Ηθ ΠΛΟΟΚΗΘ, BocoóeHHOCTH óojiinnie no iwomajiji cyóCTpaTH cjiejiyeT προη3βοαητβHanmieHHe πλοοκημ πλθθμβτροηομ, a Ha TpyÓH BHyTpn m Heóojn.-nme cyóCTpaTH, pacnonoseHnue κθκ Tpyóa, cxejtyeT προΗ3Βθ£ΗΤΒHanwieHHe BpamawMGH mia3MOTpoHOM, ηθοκη,π,θηηο οτθλο bo3moxhhmKOMÓHHHpOBaTB ΘΛΘΜΘΗΤΗ OÓeZX KOHGTpyKBJífi T3K, ΉΤΟ ΟόθΟΠβΗΗΒΘ-θτοη tíojiee βκοοκθη cyMMapHan npoH3Boj5iTeHi>HocTB, npeawe Bcero3a οηθτ npesMymecTB oóonx πρηηιβιποβ. yCTpOŽCTBO B ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΗΗ C HaCTOíHHHM Η300ρθΤβΗΗΘΜ ΟόθΟΠΘΗΗΒΘ-θτ θκοτρθΜθΛΒΗο bhookhě κοδφφΕΠίΗθΗτ ηοπολββοβθηηη MaTepnana(πρηΜθρΗΟ 80 #). Οροκ cjryxÓH μητηθηθη ποβηπκθτοη cymecTBeHHO. 245743 -6-Ecjek npn paóoTe ycrpoScTBa β οοοτβθτοτβηη c johhhm ηβοόρβτβ-ηηθμ paciuMETeju b> κ Hofi ycTaHOBKe TpytínaTofi μηβθηη nojiaeTCflΒβΠρΗΚΘΗΗΘ C ΟΤρΗΒΒΤΟΠΒΗΟβ ΠΟΛΗρΗΟΟΤΒΒ, TO Ha ΠΟΒθρΧΗΟΟΤΗ TPY-OH b npeflojiax reHepapymero θλθκτρομθγηητηοθ πολθ ycTpoficTBaotípa3yeTca ra3OBHfi pa3pajt mia3MaTpoHa. 3oHa c bhcokoS iuiotho-ctbd iuia3MH cooTBeTCTByeT reoMeipjereecKofi KOH $ Hrypaujni κολκπθβο-ro 3a3opa (npope3n). B ycjiOBHHX paBHOMepHoro BpameHHH Tpyóa3T0T ra3OBHň pa3pns πρηβολητ κ pacnwieHHB Ha Bcefi oópa3yiaueftTpyóa η, TaKHM 0Ópa30M, κ paBHOMspHOMy ysa ^ eHino MaTepnaJia. C yneTOM reoMeipmecKoS KOH ^ aarypaunn κολβηθβογο saeopa b ycjio-BHHX HOCTOHHHOfi UIHpHHH Ηθ ΗΟΚρΗΒΛβΗΗΟΜ yHaCTKe ΚΟΛΒΙίθΒΟΓΟ 3a-sopa ΠΟΑΒΛΗθΤΟΗ ÓOJIBWaH ΠΟ CpaBHeHHK K HeKGKpKBJíeHHOa naCTHοτθπθηβ Yia-EHM MaTepnana μηεθηη, ZTO oóycaaBJmBaxo 6u orpara- • ίθηηθ curtain cjiyxóH and Tara Koa & prwiíeHTa ηοπολββοβθηηη imnieHefiH3-3a OβΧΗΗΗβΟΚΗ HeOÓXOflHMOfi OCTaTOHHOS ΤΟΛϋξΗΗΗ ΜΕΠΠΘΗβΖ Ha Mec-τβ MaKcmiajiLHoro yHoca. IIosTOMy npejtcTaBJweTCíi bhtobhhm pacnm-peHne κολβιι, θβογο 3a3opa Ha ηοκρηβλθηηομ ynacTKe b ycjioBrax no-CTOHHCTBa HanpraeHHOCTH ολθκτρομθγηητηογ'ο ΠΟΛΗ. HCXOAH H3 Η3ΒβΟΤΗΗΧ KOHGTpyKUHOHHHX npHHBJfflOB Ηθ ΠΛΟΟΚΗΘ, BocoóeHHOCTH óojiinnie well iwomajiji cyóCTpaTH cjiejiyeT προη3βοαητβHanmieHHe πλοοκημ πλθθμβτροηομ and Ha TpyÓH BHyTpn m Heóojn. NMe cyóCTpaTH, pacnonoseHnue κθκ Tpyóa, cxejtyeT προΗ3Βθ £ ΗΤΒHanwieHHe BpamawMGH mia3MOTpoHOM, ηθοκη, π, θηηο οτθλο bo3moxhhmKOMÓHHHpOBaTB ΘΛΘΜΘΗΤΗ OÓeZX KOHGTpyKBJífi T3K, ΟόθΟΠβΗΗΒΘ-θτοη tíojiee cymMapHan npoH3Boj5iTeHi> HocTB, npeawe Bcero3a οηθτ npesMymecTB oóonx πρηηιβιποβ. CT Ž BO BO B CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT CT T T T T T T T T T T T T T T T T T T T T Cροκ cjryxÓH μητηθηθη ποβηπκθτοη cymecTBeHHO. 245743 -6-
PaCXOflH Ha cóopxy ΜΕΠΠΘΗΘΕ ΗΘ3ΗΗ·ΊΗΤΘΛΙ>ΗΗ BBHSy Η0Π0ΛΒ30Β8ΗΗΗTpyÓHaTOfi 3ΘΓ0Τ0ΒΚΗ C ΤρθόγθΜΟβ ΗΘ3Η8ΊΗΤβΚΙ>Ηθίί TpySOeMKOCTUOHa otípaóoTKy. Ρθβηομθρηοθ ysasemie MaTepnasa o ποβθρχηοοτηMámená h odecneHeHHaa bthm ycipoficTBOM bo3Moxhoctb Η3μθηθηζηpaccTOHHHH Mensy Tpyóofi z irpzcnocoÓJieHiieM ssh γθηθρηροβθηηηΒΛΘΚΤρΟΜΘΓΗΗΤΗΟΓΟ ΠΟΛΗ 0Κ33ΗΒΘΘΤ ΒΛΗΗΗΗΘ Β ΤΟΜ CMHGSe, ΗΤΟβ xose Bcero npoijecca pacnuneHna Marněna $OKycapoBKa nsa3MHocTaeTCH hoctohhhoS η τθκημ otípa3OM sKcnsya® ηκοηηηθ 'napaMeT-pn mia3MaTpoHa, κθκ Hanpnnenae γορθηηη h pa3pHHHnfi tok, τθκκθocTaxwcH nocTOHHHHMH. lípa πομοποι yoapofioTBa ssh perysapoBKupaCCTOHHHH Mensy aHOSOM Η θφφθΚΤΖΒΗΟΖ nOBepXHOCTLK) MHffleHH SO“cTHraeTCH ληπιθηηθη nepeapaTEfi 3KcnsyaTar[Bfl ηθ3Θβηοημο ot cog-ΤΟΗΗΠΗ 3pO3HH ΜΗΠΙΘΗΗ. 3a cneT ycTpoficTBa, β ηθοτηοοτη b ycsoBusx paBHOMepHoro Bpase-HHH ΜΗΕβΗΗ, Β ΟρθβΗβΜ BO ΒρβΜΘΗΗ HSOTHOCTL Πρ0Η3Β0£ΗΤΘΚΒΗ00ΤΗHa MHffleHH yMeHBinaeTOH npn 3asaHHOfi cyMMapHOŽ Πρ0Η3Β0ΚΗΤΘ£ΒΗ0-cth Ha tíosBme, ηθμ oshh nopasoK. Τθκημ otípa3OM ysaeTca ποβηιπθ-ΗΘΖ CyMMapHOŽ Πρ0Η3Β0£ΗΤΘΛΙ>Η00ΤΗ H TaKHM Odpa3OM ΤΟΛΠξΗΗΗ Hanu—JLHeMOÉ IUieHKK ΠΟ CpaBHeHHK) C ΗΟΤΟΗΗΗΚΘΜΗ Β ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΗΗ c cy-SeCTBOBaBIUHM SO CHX πορ ΤΘΧΗΗΗβΟΚΗΜ ypOBHOM Ha BeSOTHHy 9T0-ro K03$$mpeHTa. XapaKTepacTHKa HanpaBJíeHHocTH, oóycsoBseHHaHHCKpzBJíeHzeM noBepxHOCTH MzmeHefi οκ83ηβθθτοη npHcnocoóJieHHofiB HaCTHOOTH B yCSOBHHX OSHOpOSHOfi TOSfflHHH HanHSHeMOfli ΠΛΘΗΚΗnsocKHx cxeM noftJioneK.PaCXOflH Ha copxy ΜΕΠΠΘΗΘΕ ΗΘ3ΗΗ · ΊΗΤΘΛΙ> ΗΗ BBHSy Η0Π0ΛΒ30Β8ΗΗΗTpyÓHaTOfi 3ΘΓ0Τ0ΒΚΗ C ΤρθόγθΜΟβ ΗΘ3Η8ΊΗΤβΚΙ> Ηθίί TpySOeMKOCTUOHa otípaóoTKy. Ρθβηομθρηοθ ysasemie MaTepnasa of ποβθρχηοοτηMámená h odecneHeHHaa bthm ycipoficTBOM bo3Moxhoctb Η3μθηθηζηpaccTOHHHH Mensa Tpyóofi of irpzcnocoÓJieHiieM ssh γθηθρηροβθηηηΒΛΘΚΤρΟΜΘΓΗΗΤΗΟΓΟ ΠΟΛΗ 0Κ33ΗΒΘΘΤ ΒΛΗΗΗΗΘ Β ΤΟΜ CMHGSe, ΗΤΟβ xose Bcero npoijecca pacnuneHna wasting $ OKycapoBKa nsa3MHocTaeTCH hoctohhhoS η τθκημ otípa3OM sKcnsya® ηκοηηηθ 'napaMeT-pn mia3MaTpoHa, κθκ Hanpnnenae γορθηηη h pa3pHHHnfi flow, τθκκθocTaxwcH nocTOHHHHMH. lipa πομοποι yoapofioTBa ssh perysapoBKupaCCTOHHHH Mensy aHOSOM Η θφφθΚΤΖΒΗΟΖ nOBepXHOCTLK) MHffleHH SO ”cTHraeTCH ληπιθηηθη nepeapaTEfi 3KcnsyaTar [Bfl ηθ3Θβηοημο ot cog-ΤΟΗΗΠΗ 3pO3HH ΜΗΠΙΘΗΗ. 3a CNet ycTpoficTBa, β ηθοτηοοτη b ycsoBusx paBHOMepHoro BPAS-HHH ΜΗΕβΗΗ, Β ΟρθβΗβΜ BO ΒρβΜΘΗΗ HSOTHOCTL Πρ0Η3Β0 £ ΗΤΘΚΒΗ00ΤΗHa MHffleHH yMeHBinaeTOH npn 3asaHHOfi cyMMapHOŽ Πρ0Η3Β0ΚΗΤΘ £ ΒΗ0 CTH-Ha tíosBme, ηθμ oshh nopasoK. M κ ΤΗ M M y ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ ΤΗ Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be Be. XapaKTepacTHKa HanpaBJíeHzeM noBepxHOCTH MzmeHefi οκ83ηβθθτοη npHcnocoóJieHHofiB HaCTHOOTH B yCSOBHHX OSHOpOSHOfi TOSfflHHH HanHSHeMOfli ΠΛΘΗΚΗnsocKHx cxeM noftJioneK.
CymecTBeHHoe npezMymecTBo θτογο ycTpoficTBa 38Κλβηθθτοη β tom,HTO B03M0HH0 όΟΛβθ θφφβΚΤΗΒΗΟθ ΟΧΛΘΗβθΗΗβ ΜΗΙΠΘΗΗ Η Β pe3ySBTa-Τθ 9ΤΟΓΟ - SOnOSHHTeSBHOe ΠΟΒΗΠΙΘΕΚΘ ΠρθΗ3ΒΟ£ΗΤΘΛΒΗΟΟΤΗ.CymecTBeHHoe npezMymecTBo θτογο ycTpoficTBa 38Κλβηθθτοη β tom, HTO B03M0HH0 ΟΛΟΛ θθ ΗΗβθΗΗβ ΒΠΘΗΗ Η Β pe3ySBTa-Τθ 9ΤΟΓΟ - SOnOSHHTeSBHOe ΠΟΒΗΠΙΘΕΚΘ ΠρθΗ3ΒΟ £ ΗΤΘΛΒΗΟΟΤΗ.
HpHMep OCymeCTBSeHHH Η300ρβΤΘΗΗΗ Β npoaraeMHx nepienax H3oópanaBTc.H: Φηγ. I: IIonepeHHoe cenenae ycTpoiicTBa Φηγ. 2: npososBHoe ceneHne ycTpoficTBa 245743 7- ycTpoficTBo am EucoKonpoK3BOjíaTejiLHoro pacnmieHM no rrpHHUHnymia3MaTpoHa c υαπηηθηηπμ κολβαθβημ 3a3opoM pacnojiaraeT Tpyó-naTofi μημθηβκ) I 23 pacnKJixeMoro MaTepnajia (θλκμηηηΒ:) . BHyTpnSTOfi Μ21ΠΘΗ2 I ΠΟΜΘΠ0βΤΟΗ ΓΘΗθρζργΚϊΠΘΘ ΘΛΘΚΤρΟΜΘΓΗΗΤΗΟΘ ΠΟΛΘycrpoficTBO 2 c yftrameHHHM, 3awiKHyTHM κοΑΒηθΒΗΜ 3a3opoM 3. ΠρΗ a tom óojiLniaa ocb KOJLEiíeBoro saeopa 3 pacnojiaraeTca napax-jiejiBHo oc2 TpyÓH. HapymjS Α^θΜθτρ apyón npeBumaeT TpexKpaTHyioB&sHHEHy cpejmeň iukphhh κολβιιθβογο 3a3opa (οοοτββαηθτ, Hanpn-Mep, mecTKKpaTHyio sejmauHy). Πρη θτομ ορθαηηη nnapHHa κολβο,θβο-ro 3a3opa αβαηθτο,η cpe^Hm θρηΦμθτηήθοκημ 23 eephhh κολβρθβογο3a3opa Ha ηοκρηβλθηηομ η πρημομ ynacTKax. HpHBOA 4, coctohujjiS.23 3yÓHaToro KOJieca h npmoAHoS 3Be3AonK2 3a npeflonaMH Baicyy-Ma, a TaK&e npnBOAHOíi θλθκτρο^βηγθτθλβ προη3βοαητ paBHowepHoeBpamaTejiLHoe αβηχθηηθ μηπιθηβ I BOKpyr ocn TpyÓH co ckopoctbk 1 οόοροτ/MHHyTy. 3κοΐίθΗτρ2κοΒθθ ycipoScTBo 5 npejíHasHaneHo am τογο, htoóhnojmepsHBaTB ποοτοηηηημ paccTOHHKS (3a3op) Mesyiy nocTenemoyflajueMoÉ b nponecce pacnwiema Hapysnofi ποβθρχηοοτβκ) μηπιθηη 2 reHepapyiwM θλθκτρομθγηητηοθ πολθ ycTpoficTBOM 2. Ahoa 6 oó-BOJiarazmaeT μιππθηβ I co Bcex οτοροΗ 3a βοκλέπθηηθμ 3ohh BÓJ1232KOJiBHeBoro 3a3opa 3» nepe3 κοτορπχ προχοΑπτ pacnwineMne ββοτη-hh b HanpaBJi6H22 ποαποκκη. PeryjmpoBOHHoe ycTpoacTBO 7 cjrysoíTAM ycTaHOBKH ποοτοηηηογο 3a3opa Meyjoy μβειθηβ» I 2 θηοαομ 6ΒΘΑΗΉΗΗΟΖ 4 MM BO ΒρθΜΗ ΒΟΘΓΟ ΠρΟΙξθΟΟΘ Η3Πϋ5ΘΗ2Η ΠΟΒθρΧΗΟΟΤΗΜΗΠΙΘΗΗ. ycrpoficTBO COOÓmaeTCH C OAHOĚ CTOpOHH noepeACTBOM ΟΤ-BepcT2H c BaxyyMHHM ymioTHOHEOM c paóoneS KaMepoíí. OxAasAaicqaHοηοτθμβ, cocToamaa 23 bxoahoh TpyÓH 8, HanpaBJíawx (αθΦ-τθκ-ΤΟΡΗΗΧ) JE2CT0B 9 2 BHHyCKHOÍÍ TpyÓH 10, ΟόθΟΠΘΗηΒΘΘΤ HHT6HC2B-Hoe BOAHHoe oxnaJKAeffiie TpyónaTOH μηπθηη I c τθμ, htoÓh peann-30BaTL no MecTaM euiothoctl βθη2ηηηο2 200 Bt cm-^ 2 μομθητθαβ-HpHMep OCymeCTBSeHHH Η300ρβΤΘΗΗΗ po npoaraeMHx nepienax H3oopanaBTc.H: Φηγ. I: IIonepeHHoe cenenae ycTpoiicTBa Φηγ. 2: 245,743 npososBHoe ceneHne ycTpoficTBa 7- ycTpoficTBo am EucoKonpoK3BOjíaTejiLHoro pacnmieHM amino rrpHHUHnymia3MaTpoHa c υαπηηθηηπμ κολβαθβημ 3a3opoM pacnojiaraeT Tpyó-naTofi μημθηβκ) I 23 pacnKJixeMoro MaTepnajia (θλκμηηηΒ :). BHyTpnSTOfi Μ21ΠΘΗ2 I ΠΟΜΘΠ0βΤΟΗ ΓΘΗθρζργΚϊΠΘΘ ΟΛΘρΟΜΘΓΗΗΤΗΟΘ ΠΟΛΘycrpoficTBO 2 c yftrameHHHM, 3awiKHyTHM κοΑΒηθΒΗΜ 3a3opoM 3. ΠρΗ a tom óojiLniaa ocb KOJLEiíeBoro saeopa 3 pacnojiaraeTca napax-jiejiBHo oc2 TpyÓH. HapymjS Α ^ θΜθτρ apyon npeBumaeT TpexKpaTHyioB & sHHEHy cpejmnu iukphhh κολβιιθβογο 3a3opa (οοοτββαηθτ, Hanpn-Mep, mecTKKpaTHyio sejmauHy). N η n a a a a m m m m opa Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha Ha n n n n n. HpHBOA 4 coctohujjiS.23 3yÓHaToro KOJieca h npmoAHoS 3Be3AonK2 3a npeflonaMH Baicyy-Ma, thus & e ^ npnBOAHOíi θλθκτρο βηγθτθλβ προη3βοαητ paBHowepHoeBpamaTejiLHoe αβηχθηηθ μηπιθηβ I BOKpyr OCN TpyÓH what ckopoctbk 1 οόοροτ / MHHyTy. 3κοΐίθΗτρ2κοΒθθ ycipoScTBo 5 npejíHasHaneHo am τογο, htoóhnojmepsHBaTB ποοτοηηηημ paccTOHHKS (3a3op) mesylate nocTenemoyflajueMoÉ b nponecce pacnwiema Hapysnofi ποβθρχηοοτβκ) μηπιθηη 2 reHepapyiwM θλθκτρομθγηητηοθ πολθ ycTpoficTBOM second Ahoa OO-6 BOJiarazmaeT μιππθηβ what I Bcex οτοροΗ 3a βοκλέπθηηθμ 3ohh BÓJ1232KOJiBHeBoro 3a3opa 3 »nepe3 κοτορπχ προχοΑπτ pacnwineMne ββοτη-hh b HanpaBJi6H22 ποαποκκη. PeryjmpoBOHHoe ycTpoacTBO 7 cjrysoíTAM ycTaHOBKH ποοτοηηηογο 3a3opa Meyjoy μβειθηβ »I 2 ΑηΗΉΗΗΟΖ 4 MM BO ΒρθΜΗ Π ΠρΟΟΘξθΟΟΘ Η3Πϋ5Η2ΟΒ ΠΟΒθρΧΗΟΟΤΗΜΗΠΙΘΗΗ. YoPoCoMoCoMoCoMoCoMoHoMoHoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMoMo. OxAasAaicqaHοηοτθμβ, cocToamaa 23 bxoahoh TpyÓH 8 HanpaBJíawx (αθΦ-τθκ-ΤΟΡΗΗΧ) JE2CT0B 9 2 BHHyCKHOÍÍ TpyÓH 10 ΟόθΟΠΘΗηΒΘΘΤ HHT6HC2B-Hoe BOAHHoe oxnaJKAeffiie TpyónaTOH μηπθηη Ic τθμ, htoÓh peann-amino 30BaTL MecTaM euiothoctl βθη2ηηηο2 Bt 200 cm ^ 2 μομθητθαβ -
TT
HyB T0JIHÍ2Hy Η3ΠΗΗΘΗ2Η 10 MKM M2H (Ha θλκμηηηθ). 245743 -8- ΦΟΡΜΖΚΑ H3OEPETEHKfl 1. ycTpožcTBO jyifl βηοοκοπροη3ΒΟλητθλι>ηογο pacmuieMH nonpHHUKny njia3MaTpoHa, cocToamee H3 reHepnpynnero 3JieKTpoMar~ΗΗΤΗΟΘ HOJie npncnOGOÓJieHM C ΚΟΛΒΠ,ΘΒΗΜ 3θ30ρ0Μ, H3 ΟΧΜ32ζΠ3ΒΜθίίΜΗΙΠΘΗΗ H aHOfla. OTJIHHaKmeeCfl ΤΘΜ, ΗΤΟ ΜΗΠΙΘΗΒ (I) ΗΜΘΘΤ φΟρΜγTpytíu, ητο reHepnpyiauee θλθκτρομθγηητηοθ nojie ycrpoficTBo (2)ημθθτ 3aMKHyTHfi, yjpiHHeHHHfi KOJiBneBofi 3a3op (3) η pa3MemaeTcab μημθηη (I) τθκ, hto dojaniafl ocb npoxojgaT napaJuiejiBHo ochΜΗΜΘΗΗ, ΤΘΜ, HTQ aΗΟ,ζ (6) Ο0ΒΟΛ3ΚΗΒ3ΘΤ ΜΗΠΙΘΗΒ (I) T3K, HTOtíuynacTOK c κολβιχθβημ 3a3opoM ocTaBajicn cBotíojtHHM η τθμ, titonpn noMoma peryjmpoBOHHoro ycTpoňcTBa (7) ycT3HaBJiHBaeTc.fi pac-ΟΤΟΗΗΗΘ M02Wy ΘΗΟβΟΜ (6) Η ΠΟΒθρΧΗΟΟΤΒΚ ΜΗΠΙΘΗΗ Ha nOCTOHHHyK)BeJIHHHHy, ΤΘΜ, HTO flJUI ΠΟ^ΉΘΗΗΗ OTHOCHTeJIBHOrO flBH2®HHfl ΜΘΕ-ny ΜΗΜΘΗΒΚ (I) Η ΠρΗΟΠΟΟΟ&ΙΘΗΗΘΜ jyLH ΓΘΗβρΗρΟΒΘΗΗΗ ΘΛΘΚΤρΟΜΘΓ-ηητηογο noJiH (2) ycTaHaBJíHBaeTOH πρηβοα (4), η τθμ, hto Ha re-HepHpyxmeM θλθκτρομθγηητηοθ nojie ycTpožcTBe (2) ομοητηροβθηοnpHcnocoÓJieHHe jyia ηθμθηθηηη paccTOHHHH Messy sthm irpHcnoootíJie-ΗΗΘΜ Η ΜΗΜΘΗΒΚ (1) . 2. YcapofiCTBO B ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΗΗ C nyHKTOM I, ΟυίΗΗΘΚΜθθΟΗ ΤΘΜ,hto reHepHpynuee θλθκτρομθγηητηοθ nojie npHcnocotíJieHHe (2) pa3-ÓHTO Ha ΗΘΟΚΟΧΒΚΟ ΠΟΛΟΗΟΤΘΜ. 3. ycipOfiCTBO B ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΗΗ C nyHKTaMH I H 2, ΟΤΜΗΗΘΚΜθθΟΗτθμ, ητο κοαπ>ηθΒθ2 sasop (3) pacnuapeH Ha HCKpHBjíeHHOM ynacTKe. 4. yCTpoSCTBO B ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΗΗ o nyHKTaMH I no 3, OTJDnaiOmeeCHΤΘΜ, ΗΤΟ ΑΗβΜΘΤρ ΜΗΜΘΗΗ (I) ΟΟΟΤΘΒΛΗΘΤ ΚΘΚ MHHHMyM TpeXKapTHyHBejiHHHHy ot cpejíHefi βθ,ηηίηηιι mhphhh κοπιβε;θβογο 3a3opa. 5. ΥοτροϋοτΒΟ b οοοτβθτοτβηη c nyHKTaMH I no 4, OTjnnawecHΤΘΜ, ΉΤΟ Ha ΜΗΜΘΗΗ (I) ΟΜΟΗΤΗρΟΒΘΗΗ BIiyCKHaH Tpytía (8) Η BH-nycKHan Tpytía (10), a BHyTpn μημθηη (I) ycTaHOBJíeHH Αθφπθκτορ-ηηθ (HanpaBJunaMHe) jekotu (9) jyuí oxuasjíaromefi bojeu.HyB T0JIHI2Hy Η3ΠΗΗΘΗ2Η 10 MKM M2H (Ha θλκμηηηθ). 245743 -8- ΦΟΡΜΖΚΑ H3OEPETEHKfl first ycTpožcTBO jyifl βηοοκοπροη3ΒΟλητθλι> ηογο pacmuieMH nonpHHUKny njia3MaTpoHa, cocToamee H3 reHepnpynnero 3JieKTpoMar ~ ΗΗΤΗΟΘ heals npncnOGOÓJieHM C ΚΟΛΒΠ, ΘΒΗΜ 3θ30ρ0Μ H3 ΟΧΜ32ζΠ3ΒΜθίίΜΗΙΠΘΗΗ H aHOfla. OTJIHHaKmeeCfl ΤΘΜ, ΗΤΟ ΜΗΠΙΘΗΒ (I) ΗΜΘΘΤ φΟρΜγTpytíu, ητο reHepnpyiauee θλθκτρομθγηητηοθ nojie ycrpoficTBo (2) ημθθτ 3aMKHyTHfi, yjpiHHeHHHfi KOJiBneBofi 3a3op (3) η pa3MemaeTcab μημθηη (I) τθκ, HTO dojaniafl OCB npoxojgaT napaJuiejiBHo ochΜΗΜΘΗΗ, ΤΘΜ, HTQ aΗΟ, ζ ( 6) Ο0ΒΟΛ3ΚΗΒ3ΘΤ ΜΗΠΙΘΗΒ (I) T3K, HTOtíuynacTOK c κολβιχθβημ 3a3opoM ocTaBajicn cBotíojtHHM η τθμ, titonpn prefecture peryjmpoBOHHoro ycTpoňcTBa (7) ycT3HaBJiHBaeTc.fi pac-ΟΤΟΗΗΗΘ M02Wy ΘΗΟβΟΜ (6) Η ΠΟΒθρΧΗΟΟΤΒΚ ΜΗΠΙΘΗΗ nOCTOHHHyK IIa) BeJIHHHHy, ΤΘΜ, HTO flJUI ΠΟ ^ ΉΘΗΗΗ OTHOCHTeJIBHOrO flBH2®HHfl ΜΘΕ-ny ΜΗΜΘΗΒΚ (I) Η ΠρΗΟΠΟΟΟ & ΙΘΗΗΘΜ Jylhä ΓΘΗβρΗρΟΒΘΗΗΗ ΘΛΘΚΤρΟΜΘΓ-ηητηογο noJiH (2) ycTaHaBJíHBaeTOH πρηβοα (4), η τθμ, HTO Ha re-HepHpyxmeM θλθκτρομθγηητηοθ nojie ycTpožcTBe (2) ομοητηροβθηοnpHcnoc oÓJieHHe jyia ηθμθηθηηη paccTOHHHH Messy sthm irpHcnoootíJie-ΗΗΘΜ Η ΜΗΜΘΗΒΚ (1). 2. YcapofiCTBO B ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΗΗ C nyHKTOM I, ΗΗΘΚΜυίΗΗΘΚΜθθΟΗ ΤΘΜ, hto reHepHpynuee θλθκτρομθγηητηοθ nojie npHcnocotíJieHHe (2) pa3-ÓHTO Ha ΗΘΟΚΟΧΒΚΟ ΠΟΛΟΗΟΤΘΜ. 3. ycipOfiCTBO B ny C nyHKTaMH I H 2, ΟΗθθΟΗτθμ, ητο κοαπ> ηθΒθ2 sasop (3) pacnuapeH Ha HCKpHBjeeHHOM ynacTKe. 4. yCTpoSCTBO B ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒΗΗ o nyHKTaMH I no 3, OTJDnaiOmeeCHΤΘΜ, Η ΑΗβΜΘΤρ ΜΗΜΘΗΗ (I) ΟΟΟΤΘΒΛΗΘΤ ΚΘΚ MHHHMyM TpeXKapTHyHBejiHHHHy ot cpejíHefi βθ, ηηίηηιι mhphhh κοπιβε; θβογο 3a3opa. 5. ΥοτροϋοτΒΟ b οοοτβθτοτβηη c nyHKTaMH I no 4, OTjnnawecHΤΘΜ, ΉΤΟ Ha ΜΗΜΘΗΗ (I) ΟΜΟΗΤΗρΟΒΘΗΗ BIiyCKHaH Tpytia (8) Η BH-nycKHan Tpyti (10), and BHyTpn μημθηη (I) ycTaHOBJieHH Αθφπθκτορ-ηηθ (HanpaBJunaMHe) ) jyuí oxuasjíaromefi bojeu.
ΠρΗΛΟΚΘΗΗθ: ΗθρΤΘΚΗ Ha 2-X JIHCTaX 2*5743 -9-Ha 2-X JIHCTaX 2 * 5743 -9-
AHHOTAWAHHOTAW
HacToamee Η3θόρθτβΗζβ Kacaeica ycTpoficTBa flna BncoKonpoz3BOflz-τθλβηογο pacnKneHBLH no npimumiy nna3MaTpoHa wlh οοθβκθηζη(HanunsHJia) πλθηοκ bo Bcex oónacTHX τθχηηκε. Βθλβε ηβληθτοη cHoenze TpysoeMKOCTz λλη MzmeHeB z pacxonoBsa Dp0H3B0j[CTB0 onepanzfi ηθπηλθηζη. 3ajiaHa cbo^htch k ποβηλθηζβ κοθφφκηζθΗΤθ ζοπολββοβθηζη uranemz TOjmmHH HamuuieMSx ολοθβ (πλθηοκ) c τβθλζηθηηθμ cpoKa cjiyzÓHμηπιθηθΑ. B οοοτβθτοτβζζ c ζ300ρθτθηζθμ BHyTpz TpytteaTofi μζιπθηηΡΘ3ΜΘΠ®ΘΤΟΗ yCTpofiCTBO jpifl 003ΛΠΗΖΗ 3ΛΘΚΤρ0Μ3ΓΗΖΤΗ0Γ0 ΠΟΛΗ C3aMKHyTHM ΚΟΛΒΠθΒΠΜ 3θ30ρ0Μ. AHOfl 00Β0Λ3ΚΖΒ3ΘΤ ΜΗΠΙθΗΒ 3a ΖΟΚΛΕ-ΗβΗΖΘΜ 30HH ΚΟΛΒΠΘΒΟΓΟ 3θ30ρθ C BOXMOEHOCTLE Ζ3ΜΘΗΘΗΖΗ (peryjffl-ροεκζ) paocTOHHZH οτ μεππθηη. Hpz noMontz npzBojta Mes^y μζεθηβεΗ ΠρΗΟΠΟΟΟόΛβΗΖΘΜ &ZIH ΓΘΗθρζρΟΒβΗΖΗ ΘΛΘΚΤρΟΜΒΓΗΗΤΗΟΓΟ ΠΟΛΗC03,n;aeTCH οτηοοζτθλβηοθ ,πβηχθηηθ. Ρθοοτοηηηθ Mes^y μεππθηβ» ζΠρΖΟΠΟΟΟόΛΘΗΖΘΜ JSflSl ΓΘΗθρζρΟΒΘΗΗΗ 9ΛΘΚΤρ0Μ3ΓΗΗΤΗ0Γ0 ΠΟΛΗ ΠΟ,Π.—peryJDipy©TCH ($zr. I). 245743HacToamee aca3θόρθτβΗζβ Kacaeica ycTpoficTBa flna BncoKonpoz3BOflz-τθλβηογο pacnKneHBLH no npimumiy nna3MaTpoHa wlh οοθβκθηζη (HanunsHJia) πλθηοκ bo Bcex oonacTHX τθχηηκε. Hθλβε ηβληθτοη cHoenze TpysoeMKOCTz λλη MzmeHeB from pacxonoBsa Dp0H3B0j [CTB0 onepanzfi ηθπηλθηζη. 3ajiaHa cbo ^ htch k ποβηλθηζβ κοθφφκηζθΗΤθ ζοπολββοβθηζη uranemz TOjmmHH HamuuieMSx ολοθβ (πλθηοκ) c τβθλζηθηηθμ cpoKa cjiyzÓHμηπιθηθΑ. B οοοτβθτοτβζζ c ζ300ρθτθηζθμ BHyTpz TpytteaTofi μζιπθηηΡΘ3ΜΘΠ®ΘΤΟΗ yCTpofiCTBO jpifl 003ΛΠΗΖΗ 3ΛΘΚΤρ0Μ3ΓΗΖΤΗ0Γ0 ΠΟΛΗ C3aMKHyTHM ΚΟΛΒΠθΒΠΜ 3θ30ρ0Μ. AHOfl 00Β0Λ3ΚΖΒ3ΘΤ ΙΠΙθΗΒ 3a -Ε-ΗβΗΖΘΜ 30HH θΠΘΒΟΓΟ 3θ30ρθ C BOXMOEHOCTLE Ζ3ΜΘΗΘΗΖΗ (peryjffl-ροεκζ) paocTOHHZH οτ μεππθηη. Hpz noMontz npzBojta Mes ^ y μζεθηβε ΠρΗΟΠΟΟΟόΛβΗΖΘΜ & ZIH ΓΘΗθρζρΟΒβΗΖΗ ΘΛΘΚΤρΟΜΒΓΗΗΤΗΟΓΟ ΠΟΛΗC03, n; aeTCH οτηοοζτθλβηοθ, πβηχθηηθ. Mesθοοτοηηηθ Mes ^ y μεππθηβ »ΖΟΠρΖΟΠΟΟΟόΛΘΗΖΘΜ JSflSl ΓΘΗθρζρΟΒΘΗΗΗ 9ΛΘΚΤρ0Μ3ΓΗΗΤΗ0Γ0 ΠΟΛΗ ΠΟ, Π. — peryJDipy © TCH ($ zr. I). 245743
Claims (5)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD23381781A DD217964A3 (en) | 1981-10-02 | 1981-10-02 | DEVICE FOR HIGH-RATE SCREENING ACCORDING TO THE PLASMATRON PRINCIPLE |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CS638382A1 CS638382A1 (en) | 1985-04-16 |
CS245743B1 true CS245743B1 (en) | 1986-10-16 |
Family
ID=5533920
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CS826383A CS245743B1 (en) | 1981-10-02 | 1982-09-02 | Apparatus for high-duty spraying based on the principle of plasmatron |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
CS (1) | CS245743B1 (en) |
DD (1) | DD217964A3 (en) |
DE (1) | DE3229969A1 (en) |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL8700620A (en) * | 1987-03-16 | 1988-10-17 | Hauzer Holding | CATHODE ARC VAPORIZATION DEVICE AND METHOD FOR ITS OPERATION. |
US5096562A (en) * | 1989-11-08 | 1992-03-17 | The Boc Group, Inc. | Rotating cylindrical magnetron structure for large area coating |
BE1003701A3 (en) * | 1990-06-08 | 1992-05-26 | Saint Roch Glaceries | Rotary cathode. |
JP3516949B2 (en) * | 1990-08-10 | 2004-04-05 | バイラテック・シン・フィルムズ・インコーポレイテッド | Shielding for arc suppression in rotating magnetron sputtering systems |
US5106474A (en) * | 1990-11-21 | 1992-04-21 | Viratec Thin Films, Inc. | Anode structures for magnetron sputtering apparatus |
US5108574A (en) * | 1991-01-29 | 1992-04-28 | The Boc Group, Inc. | Cylindrical magnetron shield structure |
DE4107505A1 (en) * | 1991-03-08 | 1992-09-10 | Leybold Ag | METHOD FOR OPERATING A SPUTTER, AND DEVICE FOR CARRYING OUT THE METHOD |
US5364518A (en) * | 1991-05-28 | 1994-11-15 | Leybold Aktiengesellschaft | Magnetron cathode for a rotating target |
DE4117367C2 (en) * | 1991-05-28 | 1999-11-04 | Leybold Ag | Method for generating a homogeneous removal profile on a rotating target of a sputtering device |
DE4117518C2 (en) * | 1991-05-29 | 2000-06-21 | Leybold Ag | Device for sputtering with a moving, in particular rotating, target |
US5571393A (en) * | 1994-08-24 | 1996-11-05 | Viratec Thin Films, Inc. | Magnet housing for a sputtering cathode |
US5527439A (en) * | 1995-01-23 | 1996-06-18 | The Boc Group, Inc. | Cylindrical magnetron shield structure |
DE19610253C2 (en) * | 1996-03-15 | 1999-01-14 | Fraunhofer Ges Forschung | Atomizing device |
DE10145201C1 (en) * | 2001-09-13 | 2002-11-21 | Fraunhofer Ges Forschung | Device for coating substrates having a curved surface contains a pair of rectangular magnetron sources and substrate holders arranged in an evacuated chamber |
DE10213043B4 (en) * | 2002-03-22 | 2008-10-30 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Tubular magnetron and its use |
DE10234858A1 (en) * | 2002-07-31 | 2004-02-12 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Device for producing a magnetron discharge, especially for magnetron sputtering, in the coating of substrates has a unit producing a magnetic field having a fixed position relative to the outer target limit in the region of the outer pole |
ES2282769T3 (en) * | 2004-08-10 | 2007-10-16 | APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG | DEVICE OF SPRAY CATODIC WITH MAGNETRON, CILINDRIC CATHODE AND PROCEDURE FOR THE APPLICATION OF SLIM COATS OF MULTIPLE COMPONENTS IN A SUBSTRATE. |
US7504011B2 (en) * | 2005-10-24 | 2009-03-17 | Guardian Industries Corp. | Sputtering target and method/apparatus for cooling the target |
US20070089982A1 (en) * | 2005-10-24 | 2007-04-26 | Hendryk Richert | Sputtering target and method/apparatus for cooling the target |
US7842355B2 (en) | 2005-11-01 | 2010-11-30 | Applied Materials, Inc. | System and method for modulation of power and power related functions of PECVD discharge sources to achieve new film properties |
DE502006008952D1 (en) † | 2006-11-14 | 2011-04-07 | Applied Materials Inc | Magnetron sputter source, sputter coating equipment and method of coating a substrate |
US8182662B2 (en) | 2009-03-27 | 2012-05-22 | Sputtering Components, Inc. | Rotary cathode for magnetron sputtering apparatus |
CN101994093B (en) * | 2009-08-14 | 2013-08-21 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | Magnetron sputtering device |
DE102010040759B4 (en) * | 2010-09-14 | 2015-10-08 | Von Ardenne Gmbh | Cooling arrangement for targets of sputter sources |
DE102011075543B4 (en) * | 2011-05-10 | 2015-10-08 | Von Ardenne Gmbh | Arrangement for cooling an elongate magnetron |
DE102012203152A1 (en) * | 2012-02-29 | 2013-08-29 | Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh | Method and apparatus for reactive magnetron sputtering a transparent metal oxide layer |
EP2746424B1 (en) | 2012-12-21 | 2018-10-17 | Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon | Evaporation source |
EP2778253B1 (en) | 2013-02-26 | 2018-10-24 | Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon | Cylindrical evaporation source |
-
1981
- 1981-10-02 DD DD23381781A patent/DD217964A3/en not_active IP Right Cessation
-
1982
- 1982-08-12 DE DE19823229969 patent/DE3229969A1/en not_active Withdrawn
- 1982-09-02 CS CS826383A patent/CS245743B1/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DD217964A3 (en) | 1985-01-23 |
DE3229969A1 (en) | 1983-04-21 |
CS638382A1 (en) | 1985-04-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CS245743B1 (en) | Apparatus for high-duty spraying based on the principle of plasmatron | |
US4837794A (en) | Filter apparatus for use with an x-ray source | |
DE951514C (en) | Cooling dynamo-electric machines | |
GB494835A (en) | Improvements in or relating to the transmission and reception of electromagnetic waves | |
JPS5755762A (en) | Permanent magnet type stepping motor | |
DE3335334C2 (en) | Cooling device for plastic tubular films extruded from a film blow head with air cooling | |
MX173628B (en) | CONVEYOR | |
GB1262622A (en) | Turbine nozzles | |
FI824142L (en) | FOERFARANDE FOER ATT MEDELST STRAOLNING UTSAEND AV ETT ROENTGENROER UTAN ATT FOERSTOERA PROVET MAETA FOERDELNINGEN AV FYLL- OCH / ELLER BELAEGGNINGSMEDEL I TJOCKLEKSRIKTNINGEN AV PAPPER, KARTONG OLER LIKN | |
GB603077A (en) | Improvements in or relating to the manufacture of synthetic resinous tubing | |
FI824141L (en) | FOERFARANDE FOER ATT MEDELST STRAOLNING FRAON EN RADIOISOTOPKAELLA UTAN ATT FOERSTOERA PROVET MAETA FOERDELNINGEN AV FYLL- OCH / ELLER BELAEGGNINGSMEDEL I TJOCKLEKSRIKTNINGEN AV PAPPER, KARTONG OLER HIKNE | |
ES410389A1 (en) | Method for forming a color television picture tube screen | |
DE612236C (en) | Equipment for cooling runners of large construction lengths | |
GB1463283A (en) | Colour picture tube | |
SU456418A3 (en) | Canvas aerodynamic device | |
GB1338640A (en) | Cooling means for tubular plastics film made by a blowhead | |
DE1210079B (en) | Optical transmitter or amplifier with gaseous stimulable medium for monochromatic coherent radiation | |
DE913564C (en) | Permanent magnet system with high air gap induction, especially for electrodynamic telephones and loudspeakers | |
West | Production test 105-2-P (Supplement A)-Activity of pile discharge water (Activation of manganese and iron) | |
JPS5223259A (en) | Cathode-ray tube for color | |
JPS56104200A (en) | Motor-driven blower | |
JPS5243789A (en) | Red fluorescent substance and method of preparing thereof | |
JPS5294976A (en) | Rubber tube for air lock shaft for taking-up paper tube etc. | |
JPS5265612A (en) | Deflecting coil for camera tube | |
Meek | The mechanism of growth of spark discharges |