CS239299B1

CS239299B1 - Způsob výroby koloidniho kysličníku křemičitého

Info

Publication number: CS239299B1
Application number: CS842029A
Authority: CS
Inventors: Miloslav Novotny; Jiri Socha; Jiri Dolezal
Original assignee: Miloslav Novotny; Jiri Socha; Jiri Dolezal
Priority date: 1984-03-21
Filing date: 1984-03-21
Publication date: 1986-01-16
Also published as: CS202984A1

Abstract

Řešení se týká způsobu výroby koloidního kysličníku křemičitého. Tento se vyrábí tak, že se koloidní kysličník křemičitý s obsahem 25 až 34 % hmot. SÍO2, 0,1 až 0,5 % hmot. Na20 s velikostí částic 6 až 100 nm deionizuje pomocí silně kyselého katexu na kyselý sol kysličníku křemičitého a potom se alkalizuje 20 až 30% roztokem hydroxidu amonného až do pH 9 až 10,5.

Description

Vynález se týká způsobu výroby koloidního kysličníku křemičitého. S rozvojem moderní elektroniky jsou kladeny nové požadavky na leštění křemíkových desek používaných k výrobě polovodičů.

Původně používaná suspenze kysličníku chromitého byla postupně nahrazována různými typy koloidních roztoků kysličníku křemičitého. Jako výhodnější se jeví použití koloidního kysličníku křemičitého vyrobeného způsobem podle vynálezu, jehož podstata výroby spočívá v tom, že se koloidní kysličník křemičitý s obsahem 25 až 34 % hmot. Si0₂, 0,1 až 0,5 % hmot. Na^O, měrné hmotnosti 1 175 až 1 250 kg/m³, pH 8 až 10,5, a s velikostí částic 6 až 100 nm deionlzuje pomocí silně kyselého katexu v H⁺ formě na kyselý sol kysličníku křemičitého, mající pH 1,5 až 2,9 a ten se alkalizuje 20 až 30% roztokem hydroxidu amonného do pH 9 až 10,5.

Při použití koloidního kysličníku křemičitého vyrobeného postupem podle yynálezu je dosahováno ve srovnání s doposud používanými prostředky vyššího úběru při leštění křemíkových desek.

V aparaturním uspořádání je možno celý postup realizovat tak, že se koloidní kysličník křemičitý deionlzuje na katexové koloně na kyselý sol kysličníku křemičitého a ten se v nerezové nebo skleněné míchačce alkalizuje 20 až 30% roztokem hydroxidu amonného až je dosaženo pH 9 až 10,5.

Způsobem podle vynálezu se připraví koloidní kysličník křemičitý o složeni 25 až 34 % □

hmot. SiO₂, 0,07 až 0,6 % hmot. NH^, měrné hmotnosti 1 162 až 1 240 kg/m , viskozitě 3 až 8 mPas, pH 9 až 10,5 a s velikostí částic 6 až 100 nm.

< Koloidní kysličník křemičitý vyrobený tímto postupem je hlavně použitelný k leštění křemíkových desek a k úpravě grafitové suspenze používané při výrobě televizních obrazovek.

Příklad

Koloidní kysličník křemičitý o složení 30,56 % hmot. SiO₂, 0,11 % hmot. Na₂0, hustotě 1 206 kg/m³, pH 9,74, velikost částic 19,5 nm byl deionizován na katexové koloně s náplní silně kyselého katexu Ostion KS v H⁺ formě.

Vznikl kyselý sol SiO₂, mající pH 1,72. K 60 kg tohoto sólu přidáno za míchání 300 ml

26% roztoku	NH^OH, až bylo pH 9,54. výsledkem byl koloidní kysličník křemičitý o složení
^Si02	29,53	%	hmot.	měrná hmotnost	1 200 kg/m³
^NH3	0,1	%	hmot.	viskozita	3,45 mPas
Cl	0,057	%	hmot.	pH	9,54
so^3- 4	0,0039	%	hmot.	velikost částic	18,9 nm
K₂°	stopy
Na₂°	0,04	%	hmot.

PŘEDMfiT VYNÁLEZU

Claims

Způsob výroby koloidního kysličníku křemičitého, vyznačený tím, že se koloidní kysličník křemičitý o složení 25 až 34 % hmot. SiO₂, 0,1 až 0,5 % hmot. Na₂0, měrné hmotnosti 1 17.i až 1 250 kg/m , pH 8 až 10,5 a s velikosti částic 6 až 100 nm deionlzuje pomocí silně kyselého katexu v H⁺ formě na kyselý sol kysličníku křemičitého mající pH 1,5 až 2,9 a ten se alkalizuje 20 až 30% roztokem hydroxidu amonného do pH 9 až 10,5.