CS236361B1 - Zapojení pro převod číselných údajů me2i dvěma čítači s průkladem - Google Patents

Abstract

ftešení se týká zapojení určeného pro vyhodnocovací elektroniku laserových interferometrů. Podstatou řešení je zapojení, u kterého mezi vstup prvního čítače, spínací obvod a vstupní jednotku je zapojen obvod prů- kladů spojený s generátorem. Zapojení je určeno pro laserové interferenční odměřovací systémy, například v elektronovém litografu.

Description

Vynález se týká zapojení pro převod číselných údajů mezi dvěma čítači s průkladem, určené například pny vyhodnocovací elektroniku laserinterferometru.

Řešení problému převodu číselných údajů narůstajících během sledovaného měřicího cyklu od počáteční* ke konečné hodnotě v jednom elektronickém čítači na údaj, který se liší o zvolenou multiplikativní konstantu ve druhém čítači, popisuje například čs. patent 147.720. Podstatou dosavadního zapojení je vstupní jednotka, spojená s prvním čítačem a přes spínací obvod s druhým čítačem. Jednotlivé dekády prvního čítače jsou propojeny s konverzní jednotkou, která je spojena se spínacím obvodem. Toto zapojení umožňuje indikaci údajů v jednotkách metrických, která je obsažena ve druhém čítači. Nevýhodou dosavadního zapojení je, že chyba převodu může přesáhnout chybu rozlišovací jednotky, čím může zvýšit možnost systematické chyby při využívání údaje přepočteného na metrickou míru. Dále je použitý princip nevhodný pro přímou aplikaci při interferenčním modulu A/16, neboř tam konstanta převodu je asi 0,4^ což se značně liší od výhodných konstant pro uvedený princip.

Tyto dosavadní nevýhody odstraňuje zapojení pro převod číselných údajů mezi dvěma čítači s průkladem_řvyznačené tím, že mezi vstup prvního čítače, spínací obvod a vstupní jednotku je zapojen obvod průkladů, spojený s generátorem.

Hlavní předností tohoto zapojení je, že dociluje podstatné snížení systematické chyby způsobené konverzí.

Vynález blíže objasní blokové zapojeftí na přiloženém výkrese.

Zapojení sestává z prvního čítače £ pro počítání interferenčních jednotek vyznačeného čtyřmi dekádami 10°, IQ¹, IQ*¹ až 10ⁿ, které jsou spojeny s konverzní jednotkou 4, Výstupy konverzní jednotky 4 jsou spojeny se spínacím obvodem 5 který je vstupem spojen se vstupem prvního čítače a obvodem 6 průkladů,

- 2 -ί.

238 381 který je jedním vstupem spojen se vstupní jednotkou 3 a druhým vstupem s generátorem 7. Spínací obvod 5 je výstupem spojen s druhým čítačem 2 se čtyřmi dekádami 10°, 10^, 10ⁿ * až 10ⁿ.

Zapojení doplněné v podstatě obvodem 6 průkladů s generátorem 7 mezi vstupní jednotku 2 ⁸ °^a čítače 1_,2 při průkladů deseti dociluje snížení důsledků systematické chyby konverze desetkrát a při průkladů pěti pulsy se tímto způsobem řeší problém přepočtu pro interferenční modul ΑΛθ dosavadními obvody navrženými pro interferenční modul A/8, kde je dobře splněna podmínka pro blízkost převodní konstanty hodnotě jedna. Příčina je tedy v tom, že pro určitou projetou vzdálenost interferometrem s interferenčním modulem Á/16 dostáváme dvojnásobný počet pulsů oproti interferometru s interferenčním modulem A/8 Generací pěti pulsů na každý puls, přicházející ze vstupní jednotky, dostáváme celkem lOx větší počet zaregistrovaných impulsů a ty jsou dosavadními obvody konverze přepočteny na metrické vyjádření, které na displeji je vyjádřeno lOx větším údajem, co? se ovšem řeší jen posunutím desetinné čárky. Nejnižší řád z důvodu průkladů a následné konverze indikuje změnu dráhy po skocích, odpovídajících interferenční mu modulu: tzn. při interferenčním modulu Λ/8 a průkladů deseti po osmi nebo sedmi jednotkách, při interferenčním modulu λ/16 po čtyřech nebo třech jednotkách. Z fyzikálního hlediska nelze nejnižšímu řádu přisoudit význam, který má v matematickém pojetí - tedy vyšší rozlišovací schopnost, avšak důsledek systematické chyby konverze je řádově snížen , v případě interferenčního modulu A/16 ie stejným obvody řeší přepočet poloviční konstantou. I když je při průkladu rovně? řádově snížena povolená maximální rychlost interferometru, celá operace přepočtu na metrickou míru je prováděna v době přibližně lyUS, což převyšuje O'*několik řádů rychlost vyhodnocení dosažitelnou jinými přijatelnými prostředky. Vysoká rychlost vyhodnocení je pro některé aplikace on line např. v elektronovém litografu, zcela nezbytná.

Zapojení je určeno zejména pro přesné interferenční systémy, například u elektronového litografu.

Claims (1)

1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU

   238 381

   Zapojení pro převod číselných údajů mezi dvěma čítači s průkladem, kde vstupní jednotka je spojená s prvním čítačem a přes spínací obvod s druhým čítačem a kde jednotlivé dekády prvního Čítače jsou spojeny s konverzní jednotkou, spojenou se spínacím obvodem 'vyznačené tím, že mezi vstup prvního čítače (1), spínací obvod (5) a vstupní jednotku (3) je zapojen obvod (6) průkladu spojený s generátorem (7).