CS236361B1

CS236361B1 - Wiring for converting numeric data to two counters with throughput

Info

Publication number: CS236361B1
Application number: CS833779A
Authority: CS
Inventors: Alois Stejskal
Original assignee: Alois Stejskal
Priority date: 1983-05-26
Filing date: 1983-05-26
Publication date: 1985-05-15
Also published as: CS377983A1

Abstract

ftešení se týká zapojení určeného pro vyhodnocovací elektroniku laserových interferometrů. Podstatou řešení je zapojení, u kterého mezi vstup prvního čítače, spínací obvod a vstupní jednotku je zapojen obvod prů- kladů spojený s generátorem. Zapojení je určeno pro laserové interferenční odměřovací systémy, například v elektronovém litografu.The fake refers to a circuit designed for the evaluation electronics of laser interferometers. The essence of the solution is a circuit in which a circuit of circuits connected to the generator is connected between the input of the first counter, the switching circuit and the input unit. The wiring is intended for laser interference metering systems, for example in electron beam lithography.

Description

Vynález se týká zapojení pro převod číselných údajů mezi dvěma čítači s průkladem, určené například pny vyhodnocovací elektroniku laserinterferometru.The invention relates to a circuit for converting numerical data between two counter-readers, for example determined by the laser electronics of the laser interferferometer.

Řešení problému převodu číselných údajů narůstajících během sledovaného měřicího cyklu od počáteční* ke konečné hodnotě v jednom elektronickém čítači na údaj, který se liší o zvolenou multiplikativní konstantu ve druhém čítači, popisuje například čs. patent 147.720. Podstatou dosavadního zapojení je vstupní jednotka, spojená s prvním čítačem a přes spínací obvod s druhým čítačem. Jednotlivé dekády prvního čítače jsou propojeny s konverzní jednotkou, která je spojena se spínacím obvodem. Toto zapojení umožňuje indikaci údajů v jednotkách metrických, která je obsažena ve druhém čítači. Nevýhodou dosavadního zapojení je, že chyba převodu může přesáhnout chybu rozlišovací jednotky, čím může zvýšit možnost systematické chyby při využívání údaje přepočteného na metrickou míru. Dále je použitý princip nevhodný pro přímou aplikaci při interferenčním modulu A/16, neboř tam konstanta převodu je asi 0,4^ což se značně liší od výhodných konstant pro uvedený princip.The solution to the problem of converting numerical data increasing during the measured measuring cycle from the initial * to the final value in one electronic counter to a data that differs by the selected multiplicative constant in the other counter is described, for example, in the following. No. 147,720. The essence of the current connection is an input unit connected to the first counter and via a switching circuit to the second counter. The individual decades of the first counter are connected to a conversion unit which is connected to a switching circuit. This connection enables the indication of the data in metric units contained in the second counter. A drawback of the prior art is that the conversion error may exceed the resolution error, thereby increasing the possibility of a systematic error in using a metric. Furthermore, the principle used is unsuitable for direct application in the interference module A / 16, since there the conversion constant is about 0.4 µ, which differs considerably from the preferred constants for said principle.

Tyto dosavadní nevýhody odstraňuje zapojení pro převod číselných údajů mezi dvěma čítači s průkladem_řvyznačené tím, že mezi vstup prvního čítače, spínací obvod a vstupní jednotku je zapojen obvod průkladů, spojený s generátorem.These disadvantages are eliminated by the existing circuit for converting numerical data between the two counters with průkladem _being characterized in that between the input of the first counter, switching circuit and the input unit is connected průkladů circuit, connected to the generator.

Hlavní předností tohoto zapojení je, že dociluje podstatné snížení systematické chyby způsobené konverzí.The main advantage of this engagement is that it significantly reduces the systematic error caused by the conversion.

Vynález blíže objasní blokové zapojeftí na přiloženém výkrese.The invention is illustrated in more detail by the block diagram in the accompanying drawing.

Zapojení sestává z prvního čítače £ pro počítání interferenčních jednotek vyznačeného čtyřmi dekádami 10°, IQ¹, IQ*¹ až 10ⁿ, které jsou spojeny s konverzní jednotkou 4, Výstupy konverzní jednotky 4 jsou spojeny se spínacím obvodem 5 který je vstupem spojen se vstupem prvního čítače a obvodem 6 průkladů,The circuit consists of a first counter 8 for counting the interference units indicated by four decades of 10 °, IQ ¹ , IQ * ¹ to 10 ⁿ , which are connected to the conversion unit 4. The outputs of the conversion unit 4 are connected to the switching circuit 5 the first counter and 6 translations,

- 2 -ί.- 2 -ί.

238 381 který je jedním vstupem spojen se vstupní jednotkou 3 a druhým vstupem s generátorem 7. Spínací obvod 5 je výstupem spojen s druhým čítačem 2 se čtyřmi dekádami 10°, 10^, 10ⁿ * až 10ⁿ.238 381 which is connected by one input to the input unit 3 and the other by the generator 7. The switching circuit 5 is connected to the second counter 2 with four decades of 10 °, 10 µ, 10 ⁿ * to 10 ⁿ .

Zapojení doplněné v podstatě obvodem 6 průkladů s generátorem 7 mezi vstupní jednotku 2 ⁸ °^a čítače 1_,2 při průkladů deseti dociluje snížení důsledků systematické chyby konverze desetkrát a při průkladů pěti pulsy se tímto způsobem řeší problém přepočtu pro interferenční modul ΑΛθ dosavadními obvody navrženými pro interferenční modul A/8, kde je dobře splněna podmínka pro blízkost převodní konstanty hodnotě jedna. Příčina je tedy v tom, že pro určitou projetou vzdálenost interferometrem s interferenčním modulem Á/16 dostáváme dvojnásobný počet pulsů oproti interferometru s interferenčním modulem A/8 Generací pěti pulsů na každý puls, přicházející ze vstupní jednotky, dostáváme celkem lOx větší počet zaregistrovaných impulsů a ty jsou dosavadními obvody konverze přepočteny na metrické vyjádření, které na displeji je vyjádřeno lOx větším údajem, co? se ovšem řeší jen posunutím desetinné čárky. Nejnižší řád z důvodu průkladů a následné konverze indikuje změnu dráhy po skocích, odpovídajících interferenční mu modulu: tzn. při interferenčním modulu Λ/8 a průkladů deseti po osmi nebo sedmi jednotkách, při interferenčním modulu λ/16 po čtyřech nebo třech jednotkách. Z fyzikálního hlediska nelze nejnižšímu řádu přisoudit význam, který má v matematickém pojetí - tedy vyšší rozlišovací schopnost, avšak důsledek systematické chyby konverze je řádově snížen , v případě interferenčního modulu A/16 ie stejným obvody řeší přepočet poloviční konstantou. I když je při průkladu rovně? řádově snížena povolená maximální rychlost interferometru, celá operace přepočtu na metrickou míru je prováděna v době přibližně lyUS, což převyšuje O'*několik řádů rychlost vyhodnocení dosažitelnou jinými přijatelnými prostředky. Vysoká rychlost vyhodnocení je pro některé aplikace on line např. v elektronovém litografu, zcela nezbytná.Wiring completed essentially by generator 6 circuit with generator 7 between input unit ⁸ ° 2 and counters 1,2 at 10 interleaves reduces the consequences of a systematic conversion error by 10 times, and with 5 pulses interleaving solves the recalculation problem for interference module ΑΛθ for the A / 8 interference module, where the condition for the proximity of the conversion constant to one is well met. The reason is that for a certain distance traveled by interferometer with interference module A / 16 we get twice the number of pulses compared to interferometer with interference module A / 8 By generating five pulses for each pulse coming from the input unit, we get a total of 10 times more registered pulses and these are converted by metric conversion circuits to metric, which is 10 times greater on the display, huh? is only solved by shifting the decimal point. The lowest order due to interleavers and subsequent conversion indicates a change in path after jumps corresponding to the interference module: i. with the modulu / 8 interference module and ten / eight or seven unit translations, with the λ / 16 interference module with four or three units. From the physical point of view, the significance of mathematical conception - ie higher resolution ability - cannot be attributed to the lowest order, but the consequence of systematic conversion error is of the order of magnitude. In the case of interference module A / 16 ie. Even if it is straight when translated? the permissible interferometer velocity is reduced in the order of magnitude, the entire metric conversion operation being performed at approximately lyUS, which exceeds several times the evaluation rate achievable by other acceptable means. High evaluation speed is absolutely necessary for some applications on-line, eg in an electron beam lithograph.

Zapojení je určeno zejména pro přesné interferenční systémy, například u elektronového litografu.The wiring is intended especially for precise interference systems, for example in an electron beam lithograph.

Claims

SUBJECT OF THE INVENTION

238 381

A circuit for converting numerical data between two counter counters, where the input unit is connected to the first counter and through the switching circuit to the second counter and wherein the individual decades of the first counter are connected to a conversion unit connected to the switching circuit indicated by between a counter circuit (6) connected to the generator (7) is connected to the counter (1), the switching circuit (5) and the input unit (3).