CS236158B1

CS236158B1 - Involvement of electron lithograph correction system

Info

Publication number: CS236158B1
Application number: CS833780A
Authority: CS
Inventors: Karel Hladil; Tomas Papirek; Petr Vasina
Original assignee: Karel Hladil; Tomas Papirek; Petr Vasina
Priority date: 1983-05-26
Filing date: 1983-05-26
Publication date: 1985-05-15
Also published as: CS378083A1

Abstract

Zapojení korekčního systému elektronového litografu korigující zkresleni expozičního pole, jehož podstatou je propojeni deseti digitálně-analogových převodníků s šesti analogovými násobičkami, se šesti sumátory a se čtyřmi tvarovacimi obvody upravujícími signály ze dvou oddělovacích zesilovačů. Zapojení je určeno pro korigování vad způsobující změnu výchylky elektronového svazku v elektronově optických přístrojích.Connection of the correction system of an electron lithographer correcting the distortion of the exposure field, the essence of which is the connection of ten digital-to-analog converters with six analog multipliers, with six adders and with four shaping circuits adjusting the signals from two isolating amplifiers. The connection is intended for correcting defects causing a change in the deflection of the electron beam in electron-optical devices.

Description

Vynález se týká zapojení korekčního systému elektronového litografu korigující zkreslení expozičního pole·The invention relates to the connection of an electron lithography correction system correcting exposure field distortion.

V elektronovém litográfu se vyskytuje řada vad, které deformují expoziční pole. Tyto vady jsou deformace křemíkového substrátu, vliv externích stejnosměrných magnetických polí, nepřesnost polohovéní souřadnicového stolu, nepřesnost výroby a teplotní dilatace vychylovacího systému, změna urych lovacího napětí a teplotní dilatace materiálu, ve kterém je umístěn zdroj elektronů, optický systém a vychylovací systém.In electron lithography, there are a number of defects that deform the exposure field. These defects are deformation of the silicon substrate, the influence of external DC magnetic fields, inaccuracy of the positioning of the coordinate table, inaccuracy of the manufacturing and thermal expansion of the deflection system, change in the accelerating voltage and thermal expansion of the material in which the electron source, optical system and deflection system are located.

Tyto vady, které deformují expoziční pole, odstraňuje zapojení korekčního systému, jehož podstatou je, že výstup prvního převodníku je spojen s prvním vstupem pátého sumátoru výstup druhého převodníku je spojen s prvním vstupem prvního sumátoru, výstup třetího převodníku je spojen s prvním vstupem první násobičky, výstup čtvrtého převodníku je spojen s prvním vstupem druhého sumátoru, výstup pátého převodníku je spojen s prvním vstupem druhé násobičky, výstup Šestého převodníku je spojen s druhým vstupem třetího sumátoru, výstup sedmého převodníku je spojen s prvním vstupem třetí násobičky» výstup osmého převodníku je spojen s prvním vstupem čtvrtého sumátoru, výstup devátého převodníku je spojen s prvním vstupem čtvrté násobičky, výstup desátého převodníku je spojen se čtvrtým vstupem šestého sumátoru, přičemž první vstupní svorka je spojena se vstupem prvního oddělovacího zesilovače, jehož výstup je spojen s druhým vstupem páté násobičky, se vstupem třetího a čtvrtého tvarovacího obvodu a β druhými ⁷vstupy třetí a čtvrté násobičky, druhá vstupní svorka je spojena se vstupem druhého oddělovacího zesilovače, jehož výstup 'Ίζ'These defects that deform the exposure field are eliminated by the connection of a correction system, the essence of which is that the output of the first converter is connected to the first input of the fifth adder, the output of the second converter is connected to the first input of the first adder, the output of the third converter is connected to the first input of the first multiplier, the output of the fourth converter is connected to the first input of the second adder, the output of the fifth converter is connected to the first input of the second multiplier, the output of the sixth converter is connected to the second input of the third adder, the output of the seventh converter is connected to the first input of the third multiplier, the output of the eighth converter is connected to the first input of the fourth adder, the output of the ninth converter is connected to the first input of the fourth multiplier, the output of the tenth converter is connected to the fourth input of the sixth adder, the first input terminal of which is connected to the input of the first isolating amplifier, the output of which is connected to the second input of the fifth multiplier, to the input of the third and fourth shaping circuits and β the second ⁷ inputs of the third and fourth multipliers, the second input terminal is connected to the input of the second isolating amplifier, whose output 'Ίζ'

238 158 /238 158 /

je spojen s první· vstupe· Šesté násobičky, se vstupe· prvního a druhého tvarovacího obvodu a s druhý·! vstupy první a druhé násobičky, jejichž výstupy jsou spojeny e druhými vstupy prvního a druhého sumátoru, přičemž Výstup prvního tvarovacího obvodu je spojen s třetí· vstupe· druhého suaátoru, jehož výstup je spojen s první· vstupe· páté násobičky, jejíž výstup je spojen β třetí· vstupe· pátého eumátoru, jehož druhý vstup je spojen s výstupe· prvního suaátoru a čtvrtý vstup je spojen s výstupe· druhého tvarovačího obvodu, přičemž výstup čtvrtého tvarovačího obvodu je spojen s prvním vstupem třetího sunátoru, jehož výstup je spojen β druhým vstupem Šesté násobičky, přičemž její výstup je spojen s druhý· vstupem Šestého sumátoru, jehož třetí vstup je spojen s výstupe· čtvrtého suaátoru, jehož druhý vstup je spojen s výstupem čtvrté násobičky, zatímco výstup třetí násobičky je spojen s.třetím vstupem třetího suaátoru, přičemž výstup třetího tvarovacího obvodu je spojen s prvním vstupem šestého sumátoru, jehož výstup je spojen 8 druhou výstupní svorkou a výstup pátého sumátoru je spojen s první výstupní svorkou.is connected to the first input of the sixth multiplier, to the inputs of the first and second shaping circuits and to the second! inputs of the first and second multipliers, the outputs of which are connected to the second inputs of the first and second adders, the output of the first shaping circuit being connected to the third input of the second adder, the output of which is connected to the first input of the fifth multiplier, the output of which is connected to the third input of the fifth adder, the second input of which is connected to the output of the first adder and the fourth input is connected to the output of the second shaping circuit, the output of the fourth shaping circuit being connected to the first input of the third adder, the output of which is connected to the second input of the sixth adder, the third input of which is connected to the output of the fourth adder, the second input of which is connected to the output of the fourth multiplier, while the output of the third multiplier is connected to the third input of the third adder, the output of the third shaping circuit being connected to the first input of the sixth adder, the output of which is connected to the second output terminal and the output of the fifth adder is connected to the first output terminal.

Hlavní předností je, že na výstupních svorkách je chybový signál odpovídající vstupním signálům na vstupních svorkách a na vstupech digitálně-analogových převodníků·The main advantage is that at the output terminals there is an error signal corresponding to the input signals at the input terminals and at the inputs of the digital-to-analog converters.

Zapojení tvoří deset digitálně-analogových převodníků, dva oddělovací zesilovače, Šest analogových násobiček, čtyři tvarovací obvody a šest analogových sumátorů. Výstup prvního převodníku 1 je spojen s prvním vstupem 271 pátého sumátoru 27. výstup druhého převodníku 2 je spojen s prvním vstupem 231 prvního sumátoru 23« výstup třetího převodníku J je spojen 8 prvním vstupem 131 první násobičky 13. výstup Čtvrtého převodníku 4 je spojen s prvním vstupem 251 druhého sumátoruThe circuit consists of ten digital-to-analog converters, two isolation amplifiers, six analog multipliers, four shaping circuits and six analog adders. The output of the first converter 1 is connected to the first input 271 of the fifth adder 27. The output of the second converter 2 is connected to the first input 231 of the first adder 23« The output of the third converter J is connected to the first input 131 of the first multiplier 13. The output of the fourth converter 4 is connected to the first input 251 of the second adder

25. výstup pátého převodníku 2 d® spojen s prvním vstupem 141 druhé násobičky 14« výstup šestého převodníku 6 je spojen s druhým vstupem 262 třetího sumátoru 26, výstup sedmého převodníku 2 je spojen s prvním vstupem 151 třetí násobičky 15. výstup osmého převodníku 8 je spojen s prvním vstupem 241 čtvrtého sumátoru 24. výstup devátého převodníku £ je spojen s prvním vstupem 161 čtvrté násobičky 16. výstup desátého převodníku 22 d^e spojen s čtvrtým vstupem 284 šestého sumátoru 28, přičemž první vstupní svorka 29 je spojena se vstupem25. the output of the fifth converter 2 d® is connected to the first input 141 of the second multiplier 14« the output of the sixth converter 6 is connected to the second input 262 of the third adder 26, the output of the seventh converter 2 is connected to the first input 151 of the third multiplier 15. the output of the eighth converter 8 is connected to the first input 241 of the fourth adder 24. the output of the ninth converter £ is connected to the first input 161 of the fourth multiplier 16. the output of the tenth converter 22 d ^e is connected to the fourth input 284 of the sixth adder 28, with the first input terminal 29 being connected to the input

236 138236 138

-3prvního oddělovacího zesilovače 11 a druhá vstupní svorka 30 je spojena se vstupe* druhého oddělovacího zesilovače 12. jehož výstup je spojen s druhý* vstupe* 132 první násobičky 13. s druhý* vstupe* 142 druhé násobičky 14. s první* vstupem 181 šesté násobičky 18 a se vstupy prvního a druhého tvarovacího obvodu 19 a 20, jehož výstup je spojen se čtvrtý* vstupe* 274 pátého eunátoru 27 a výstup prvního tvarovacího obvodu 19 ie spojen 8 třetí* vstupe* 253 druhého suaátoru 25. jehož druhý vstup 252 je spojen s výstupe* druhé násobičky 14. přičeaž výstup první násobičky 13 je spojen s druhým vstupe* 232 prvního šumátoru 23. jehož výstup je spojen s druhým vstupem 272 pátého suaátoru 27. přičemž jeho třetí vstup 273 je spojen β výstupem páté násobičky 17. jejíž první vstup 171 je spojen 8 výstupe* druhého suaátoru 25 a druhý vstup 172 je spojen s výstupe* prvního oddělovacího zesilovače 11. jež je dále spojen s druhý* vstupe* 152 třetí násobičky 15. s druhý* vstupe* 162 čtvrté násobičky 16 a se vstupy čtvrtého a třetího tvarovacího obvodu 22 a 21. jehož výstup je spojen s první* vstupe* 281 šestého sumátoru ,28, jehož druhý vstup 282 je spojen s výstupem třetího suaátoru 26, jehož první vstup 261 je spojen s výstupe* čtvrtého tvarovacího obvodu 22 a třetí vstup 263 s výstupem třetí násobičky 15. přičemž výstup čtvrté násobičky 16 je spojen s druhým vstupem 242 čtvrtého sumátoru 24. jehož výstup je spojen s třetím vstupem 283 šestého sumátoru 28, jehož výstup je spojen s druhou výstupní svorkou 32 a zároveň výstup pátého sumátoru 27 je spojen s první výstupní svorkou 31.-3of the first isolating amplifier 11 and the second input terminal 30 is connected to the input* of the second isolating amplifier 12. whose output is connected to the second* input* 132 of the first multiplier 13. with the second* input* 142 of the second multiplier 14. with the first* input 181 of the sixth multiplier 18 and with the inputs of the first and second shaping circuits 19 and 20, whose output is connected to the fourth* input* 274 of the fifth multiplier 27 and the output of the first shaping circuit 19 is connected to the third* input* 253 of the second summation 25. whose second input 252 is connected to the output* of the second multiplier 14. while the output of the first multiplier 13 is connected to the second input* 232 of the first summation 23. whose output is connected to the second input 272 of the fifth summation 27. wherein its third input 273 is connected to the output of the fifth multiplier 17. whose first input 171 is connected to the output of the second multiplier 25 and the second input 172 is connected to the output of the first isolation amplifier 11. which is further connected to the second input 152 of the third multiplier 15. to the second input 162 of the fourth multiplier 16 and to the inputs of the fourth and third shaping circuits 22 and 21. whose output is connected to the first input 281 of the sixth adder 28, whose second input 282 is connected to the output of the third multiplier 26, whose first input 261 is connected to the output of the fourth shaping circuit 22 and the third input 263 to the output of the third multiplier 15. wherein the output of the fourth multiplier 16 is connected to the second input 242 of the fourth adder 24. whose output is connected with the third input 283 of the sixth adder 28, the output of which is connected to the second output terminal 32 and at the same time the output of the fifth adder 27 is connected to the first output terminal 31.

Zapojení pracuje za provozu takto: digitálně-analogové převodníky převedou číslicovou informaci na analogový signál.The circuit works as follows during operation: digital-to-analog converters convert digital information into an analog signal.

Na výstupu prvního převodníku At the output of the first converter i and signál signal ^Dox. ^D ox. H H druhého the second 11 11 2 2 je is signál signal ^Aox> ^And oh> H H třetího third tt tt 3 3 ^A,X. ^And , X. n n čtvrtého fourth 11 11 1 1 M M ^BOX. ^B OX. » » pátého fifth M M í í 11 11 ^B,X. ^B ,X. ti those šestého sixth H H 6 6 M M ^Boy· ^Boy « « sedmého seventh 11 11 1 1 ^Bty< ^You are ti those o smého about laughter 11 11 8 8 1« 1« ^Aoy» ^And oh»

-kna -výstupu devátého převodníku % 3® signál A_1y, desátého 10 * D_Qy.-kna -output of the ninth converter % 3® signal A _1y , of the tenth 10 * D _Qy .

Signál Aj_x se násobí signále* 7 v první násobičce 13. výsled ný signál se sčítá v první* suaátoru ff3 se signále* Α_οχ. Sig nál Β^_χ se násobí signále* 7 v druhé násobičce 14. výsledný signál se sčítá v druhé* suaátoru se signálem Βθ_χ a se signá le* C_1x.Y, který je vytvořen v první* tvarovacín obvodu 19. Výsledný signál z druhého suaátoru 25 se násobí signálem X v páté násobičce JJ. Výsledný signál se sčítá v páté* sumátoru 27 se signále* 1>_οχ, s výstupní* signále* prvního suaátoru 23 a s výstupní* signále* C_QX.Y a druhého tvarovačího obvodu 20. Na výstupní svorce 31 je přiveden signál z pátého suaátoru 27. Tento chybový signál *é tvar:The signal Aj _x is multiplied by the signal* 7 in the first multiplier 13. The resulting signal is added in the first* summation ff3 with the signal* Α _χ . The signal Β^ _χ is multiplied by the signal* 7 in the second multiplier 14. The resulting signal is added in the second* summation with the signal Βθ _χ and with the signal* C _1x .Y, which is formed in the first* shaping circuit 19. The resulting signal from the second summation 25 is multiplied by the signal X in the fifth multiplier JJ. The resulting signal is added in the fifth* summation 27 with the signal* 1> _χ , with the output signal* of the first summation 23 and with the output signal* C _QX .Y and the second shaping circuit 20. The signal from the fifth summation 27 is applied to the output terminal 31. This error signal *is of the form:

AX » A + A« .7 + “ ox 1x <Β_οχ ♦ Β,_χ.Τ).Χ ♦ (C_{ox +} AX » A + A« .7 + “ ox 1x <Β _οχ ♦ Β, _χ .Τ).Χ ♦ (C _{ox +}

Signál A_1y se násobí se signále* X v čtvrté násobičce 16, vý sledný signál se sčítá v čtvrté* suaátoru 24 se signále* A_oySignál B_1y se násobí v třetí násobičce 15. výsledný signál se sčítá v třetí* suaátoru 26 se signálem B_Qy a se signálem C^_y.X, který je vytvořen v čtvrtém tvarovacím obvodu 22. Výsledný signál z třetího suaátoru 26 se násobí signálem 7 v šesté násobičce 18. Výsledný signál se sčítá v šestém sumátoru 28 ee signálem D_oy, s výstupním signálem z čtvrtého sumátoru 24 a s výstupním signálem C_oy.X z třetího tvarovacího obvodu ,21,. Na druhé výstupní svorce 32 je přiveden signál z šestého suaátoru 28. Tento chybový signál mé tvar:The signal A _1y is multiplied with the signal* X in the fourth multiplier 16, the resulting signal is summed in the fourth* summation 24 with the signal* A _oy The signal B _1y is multiplied in the third multiplier 15. the resulting signal is summed in the third* summation 26 with the signal B _Qy and with the signal C^ _y .X, which is formed in the fourth shaping circuit 22. The resulting signal from the third summation 26 is multiplied by the signal 7 in the sixth multiplier 18. The resulting signal is summed in the sixth summation 28 with the signal D _oy , with the output signal from the fourth summation 24 and with the output signal C _oy .X from the third shaping circuit ,21,. The signal from the sixth summation 28 is applied to the second output terminal 32. This error signal has the form:

ΔΪ = A_{oy +} A,_y.X ₊ (B_{oy +} B,_y.X).Y ₊ <C_oy c,_y.n.x * i>_oy ΔΪ = A _{oy +} A, _y .X ₊ (B _{oy +} B, _y .X).Y ₊ <C _oy c, _y .nx * i> _oy

Konstanty C_QX, C_Qy, C_1x, C_1y jsou pevně nastavené hodnoty zjištěné jako přístrojová funkce.The constants C _QX , C _Qy , C _1x , C _1y are fixed values determined as an instrument function.

Využití zapojení je v elektronově optických přístrojích pro korigování vad vychylovacích systémů.The connection is used in electron-optical devices to correct defects in deflection systems.

Claims

SUBJECT OF THE INVENTION

Connection of an electronic lithography correction system consisting of ten digital-to-analog converters, two decoupling amplifiers, six analog multipliers, four forming circuits and six analog summers, characterized in that the output of the first converter (1) is connected to the first input (271) of the fifth the output of the second converter (2) is connected to the first input (231) of the first summer (23), the output of the third converter (3) is connected to the first input (131) of the first multiplier (13), the output of the fourth converter (4) is connected to the first input (251) of the second summer (25), the output of the fifth converter (5) is connected to the first input (141) of the second multiplier (14), the output of the sixth converter (6) is connected to the second input (262) (26), the output of the seventh converter (7) is coupled to the first input (151) of the third multiplier (15), the output of the eighth converter (8) is coupled to the first input (241) the output of the ninth converter (9) is connected to the first input (161) of the fourth multiplier (16), the output of the tenth converter (10) is connected to the fourth input (284) of the sixth sump (28), the first input the terminal (29) is connected to the input of the first isolating amplifier (11), the output of which is coupled to the second input (172) of the fifth multiplier (17), the inputs of the third and fourth shaping circuits (21, 22) and the second inputs (152, 162) ) the third and fourth multipliers (15, 16), the second input terminal (30) being connected to the input of the second isolating amplifier (12), the output of which is connected to the first input (181) of the sixth multiplier (18), a circuit (19, 20) and second inputs (132, 142) of the first and second multipliers (13, 14), the outputs of which are connected to the second inputs (232, 252) of the first and second summers (23, 25); circuit (19) is connected to t a chain input (253) of the second summer (25), the output of which is connected to the first input (171) of the fifth multiplier (17), the output of which is connected to the third input (273) of the fifth summer (27); the fourth inlet (274) is connected to the output of the preforming circuitry (20), the output of the fourth forming circuit (22) being connected to the first inlet (261) of the third summer (26), whose output is coupled to the second input (182) of the sixth multiplier (18), its output being coupled to the second input (282) of the sixth summer (28), the third input (283) of which is coupled to the output of the fourth summer (24) ), whose second input (242) is connected to the output of the fourth multiplier (16), while the output of the third multiplier (15) is connected to the third input (263) of the third summer (26), the output of the third shaping circuit (21) the first input (281) of the sixth summer (28), the output of which is connected to the second output terminal (32) and the output of the fifth sump (27) is connected to the first output terminal (31);