CS236158B1 - Zapojeni korekčního systému elektronového litografu - Google Patents

Abstract

Zapojení korekčního systému elektronového litografu korigující zkresleni expozičního pole, jehož podstatou je propojeni deseti digitálně-analogových převodníků s šesti analogovými násobičkami, se šesti sumátory a se čtyřmi tvarovacimi obvody upravujícími signály ze dvou oddělovacích zesilovačů. Zapojení je určeno pro korigování vad způsobující změnu výchylky elektronového svazku v elektronově optických přístrojích.

Description

Vynález se týká zapojení korekčního systému elektronového litografu korigující zkreslení expozičního pole·

V elektronovém litográfu se vyskytuje řada vad, které deformují expoziční pole. Tyto vady jsou deformace křemíkového substrátu, vliv externích stejnosměrných magnetických polí, nepřesnost polohovéní souřadnicového stolu, nepřesnost výroby a teplotní dilatace vychylovacího systému, změna urych lovacího napětí a teplotní dilatace materiálu, ve kterém je umístěn zdroj elektronů, optický systém a vychylovací systém.

Tyto vady, které deformují expoziční pole, odstraňuje zapojení korekčního systému, jehož podstatou je, že výstup prvního převodníku je spojen s prvním vstupem pátého sumátoru výstup druhého převodníku je spojen s prvním vstupem prvního sumátoru, výstup třetího převodníku je spojen s prvním vstupem první násobičky, výstup čtvrtého převodníku je spojen s prvním vstupem druhého sumátoru, výstup pátého převodníku je spojen s prvním vstupem druhé násobičky, výstup Šestého převodníku je spojen s druhým vstupem třetího sumátoru, výstup sedmého převodníku je spojen s prvním vstupem třetí násobičky» výstup osmého převodníku je spojen s prvním vstupem čtvrtého sumátoru, výstup devátého převodníku je spojen s prvním vstupem čtvrté násobičky, výstup desátého převodníku je spojen se čtvrtým vstupem šestého sumátoru, přičemž první vstupní svorka je spojena se vstupem prvního oddělovacího zesilovače, jehož výstup je spojen s druhým vstupem páté násobičky, se vstupem třetího a čtvrtého tvarovacího obvodu a β druhými ⁷ vstupy třetí a čtvrté násobičky, druhá vstupní svorka je spojena se vstupem druhého oddělovacího zesilovače, jehož výstup 'Ίζ'

238 158 /

je spojen s první· vstupe· Šesté násobičky, se vstupe· prvního a druhého tvarovacího obvodu a s druhý·! vstupy první a druhé násobičky, jejichž výstupy jsou spojeny e druhými vstupy prvního a druhého sumátoru, přičemž Výstup prvního tvarovacího obvodu je spojen s třetí· vstupe· druhého suaátoru, jehož výstup je spojen s první· vstupe· páté násobičky, jejíž výstup je spojen β třetí· vstupe· pátého eumátoru, jehož druhý vstup je spojen s výstupe· prvního suaátoru a čtvrtý vstup je spojen s výstupe· druhého tvarovačího obvodu, přičemž výstup čtvrtého tvarovačího obvodu je spojen s prvním vstupem třetího sunátoru, jehož výstup je spojen β druhým vstupem Šesté násobičky, přičemž její výstup je spojen s druhý· vstupem Šestého sumátoru, jehož třetí vstup je spojen s výstupe· čtvrtého suaátoru, jehož druhý vstup je spojen s výstupem čtvrté násobičky, zatímco výstup třetí násobičky je spojen s.třetím vstupem třetího suaátoru, přičemž výstup třetího tvarovacího obvodu je spojen s prvním vstupem šestého sumátoru, jehož výstup je spojen 8 druhou výstupní svorkou a výstup pátého sumátoru je spojen s první výstupní svorkou.

Hlavní předností je, že na výstupních svorkách je chybový signál odpovídající vstupním signálům na vstupních svorkách a na vstupech digitálně-analogových převodníků·

Zapojení tvoří deset digitálně-analogových převodníků, dva oddělovací zesilovače, Šest analogových násobiček, čtyři tvarovací obvody a šest analogových sumátorů. Výstup prvního převodníku 1 je spojen s prvním vstupem 271 pátého sumátoru 27. výstup druhého převodníku 2 je spojen s prvním vstupem 231 prvního sumátoru 23« výstup třetího převodníku J je spojen 8 prvním vstupem 131 první násobičky 13. výstup Čtvrtého převodníku 4 je spojen s prvním vstupem 251 druhého sumátoru

25. výstup pátého převodníku 2 d® spojen s prvním vstupem 141 druhé násobičky 14« výstup šestého převodníku 6 je spojen s druhým vstupem 262 třetího sumátoru 26, výstup sedmého převodníku 2 je spojen s prvním vstupem 151 třetí násobičky 15. výstup osmého převodníku 8 je spojen s prvním vstupem 241 čtvrtého sumátoru 24. výstup devátého převodníku £ je spojen s prvním vstupem 161 čtvrté násobičky 16. výstup desátého převodníku 22 d^e spojen s čtvrtým vstupem 284 šestého sumátoru 28, přičemž první vstupní svorka 29 je spojena se vstupem

236 138

-3prvního oddělovacího zesilovače 11 a druhá vstupní svorka 30 je spojena se vstupe* druhého oddělovacího zesilovače 12. jehož výstup je spojen s druhý* vstupe* 132 první násobičky 13. s druhý* vstupe* 142 druhé násobičky 14. s první* vstupem 181 šesté násobičky 18 a se vstupy prvního a druhého tvarovacího obvodu 19 a 20, jehož výstup je spojen se čtvrtý* vstupe* 274 pátého eunátoru 27 a výstup prvního tvarovacího obvodu 19 ie spojen 8 třetí* vstupe* 253 druhého suaátoru 25. jehož druhý vstup 252 je spojen s výstupe* druhé násobičky 14. přičeaž výstup první násobičky 13 je spojen s druhým vstupe* 232 prvního šumátoru 23. jehož výstup je spojen s druhým vstupem 272 pátého suaátoru 27. přičemž jeho třetí vstup 273 je spojen β výstupem páté násobičky 17. jejíž první vstup 171 je spojen 8 výstupe* druhého suaátoru 25 a druhý vstup 172 je spojen s výstupe* prvního oddělovacího zesilovače 11. jež je dále spojen s druhý* vstupe* 152 třetí násobičky 15. s druhý* vstupe* 162 čtvrté násobičky 16 a se vstupy čtvrtého a třetího tvarovacího obvodu 22 a 21. jehož výstup je spojen s první* vstupe* 281 šestého sumátoru ,28, jehož druhý vstup 282 je spojen s výstupem třetího suaátoru 26, jehož první vstup 261 je spojen s výstupe* čtvrtého tvarovacího obvodu 22 a třetí vstup 263 s výstupem třetí násobičky 15. přičemž výstup čtvrté násobičky 16 je spojen s druhým vstupem 242 čtvrtého sumátoru 24. jehož výstup je spojen s třetím vstupem 283 šestého sumátoru 28, jehož výstup je spojen s druhou výstupní svorkou 32 a zároveň výstup pátého sumátoru 27 je spojen s první výstupní svorkou 31.

Zapojení pracuje za provozu takto: digitálně-analogové převodníky převedou číslicovou informaci na analogový signál.

Na výstupu prvního převodníku	i		signál	Dox.
H	druhého	11	2	je	signál	Aox>
H	třetího	tt	3			A,X.
n	čtvrtého	11	1		M	BOX.
»	pátého	M	í		11	B,X.
ti	šestého	H	6		M	Boy·
«	sedmého	11	1			Bty<
ti	o smého	11	8		1«	Aoy»

-kna -výstupu devátého převodníku % 3® signál A_1y, desátého 10 * D_Qy.

Signál Aj_x se násobí signále* 7 v první násobičce 13. výsled ný signál se sčítá v první* suaátoru ff3 se signále* Α_οχ. Sig nál Β^_χ se násobí signále* 7 v druhé násobičce 14. výsledný signál se sčítá v druhé* suaátoru se signálem Βθ_χ a se signá le* C_1x.Y, který je vytvořen v první* tvarovacín obvodu 19. Výsledný signál z druhého suaátoru 25 se násobí signálem X v páté násobičce JJ. Výsledný signál se sčítá v páté* sumátoru 27 se signále* 1>_οχ, s výstupní* signále* prvního suaátoru 23 a s výstupní* signále* C_QX.Y a druhého tvarovačího obvodu 20. Na výstupní svorce 31 je přiveden signál z pátého suaátoru 27. Tento chybový signál *é tvar:

AX » A + A« .7 + “ ox 1x <Β_οχ ♦ Β,_χ.Τ).Χ ♦ (C_{ox +}

Signál A_1y se násobí se signále* X v čtvrté násobičce 16, vý sledný signál se sčítá v čtvrté* suaátoru 24 se signále* A_oy Signál B_1y se násobí v třetí násobičce 15. výsledný signál se sčítá v třetí* suaátoru 26 se signálem B_Qy a se signálem C^_y.X, který je vytvořen v čtvrtém tvarovacím obvodu 22. Výsledný signál z třetího suaátoru 26 se násobí signálem 7 v šesté násobičce 18. Výsledný signál se sčítá v šestém sumátoru 28 ee signálem D_oy, s výstupním signálem z čtvrtého sumátoru 24 a s výstupním signálem C_oy.X z třetího tvarovacího obvodu ,21,. Na druhé výstupní svorce 32 je přiveden signál z šestého suaátoru 28. Tento chybový signál mé tvar:

ΔΪ = A_{oy +} A,_y.X ₊ (B_{oy +} B,_y.X).Y ₊ <C_oy c,_y.n.x * i>_oy

Konstanty C_QX, C_Qy, C_1x, C_1y jsou pevně nastavené hodnoty zjištěné jako přístrojová funkce.

Využití zapojení je v elektronově optických přístrojích pro korigování vad vychylovacích systémů.

Claims (1)

1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU

   Zapojení korekčního systému elektronového litografu, sestávající z deseti digitálně-*analogových převodníků, dvou oddělovacích zesilovačů, šesti analogových násobiček, čtyř tvarovacích obvodů a šesti analogových sumétorů, vyznačené tím, že výstup prvního převodníku (1) je spojen s prvním vstupem (271) pátého sumátoru (27), výstup druhého převodníku (2) je spojen s prvním vstupem (231) prvního sumátoru (23), výstup třetího převodníku (3) je spojen’s prvním vstupem (131) první násobičky (13), výstup čtvrtého převodníku (4) je spojen s prvním vstupem (251) druhého sumátoru (25), výstup pátého převodníku (5) je spojen s prvním vstupem (141) druhé násobičky (14), výstup šestého převodníku (6) je spojen s druhým vstupem (262) třetího sumátoru (26), výstup sedmého převodníku (7) je spojen s prvním vstupem (151) třetí násobičky (15), výstup osmého převodníku (8) je spojen s prvním vstupem (241) čtvrtého sumátoru (24), výstup devátého pře vodníku (9) je spojen s prvním vstupem (161) čtvrté násobičky (16), výstup desátého převodníku (10) je spojen se čtvrtým vstupem (284) šestého sumátoru (28), přičemž první vstupní svorka (29) je spojena se vstupem prvního oddělovacího zesilovače (11), jehož výstup je spojen s druhým vstupem (172) páté násobičky (17), se vstupem třetího a čtvrtého tvarovacího obvodu (21, 22) a s druhými vstupy (152, 162) třetí a čtvrté násobičky (15, 16), druhá vstupní svorka (30) je spojena se vstupem druhého oddělovacího zesilovače (12), jehož výstup je spojen s prvním vstupem (181) šesté násobičky (18), se vstupem prvního a druhého tvarovacího obvodu (19, 20) a s druhými vstupy (132, 142) první a druhé násobičky (13, 14), jejichž výstupy jsou spojeny s druhými vstupy (232, 252) prvního a druhého sumátoru (23, 25), přičemž výstup prvního tvarovacího obvodu (19) je spojen se třetím vstupem (253) druhého sumátoru (25),1 jehož výstup je spojen s prvním vstupem (171) páté násobičky (17), jejíž výstup je spojen se třetím vstupem (273) pátého sumátoru (27), jehoždřuhývstup (272) je spojen s výstupem prvního sumátoW’4^>~sr^Čfvrtý vstup* (274) je spojen s výstupem driiřiého tvarovácííio obvodů (20), přičemž výstup čtvrtého tvarovaeího obTodu (22) je spojen s prvním vstupem (261) třetího sumátoru (26), jehož (o' výstup je spojen s druhým vstupem (182) šesté násobičky (18), přičemž její výstup je spojen s druhým vstupem (282) šestého sumátoru (28), jehož třetí vstup (283) je spojen s výstupem čtvrtého sumátoru (24), jehož druhý vstup (242) je spojen s výstupem čtvrté násobičky (16), zatímco výstup třetí násobičky (15) je spojen s třetím vstupem (263) třetího sumátoru (26), přičemž výstup třetího tvarovacího obvodu (21) je spojen 8 prvním vstupem (281) šestého sumátoru (28), jehož výstup je spojen s druhou výstupní svorkou (32) a výstup pátého sumátoru (27) je spojen s první výstupní svorkou (31)·