SU720565A1 - Система дл отклонени электронного луча - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к устройствам дл  управлени  электронными пучками и может быть использовано в электроннолучевых установках, например, при исследовании и изготовлении микросхем.

Известны электроннолитографйческие установки, системы дл  отклонени  пучка в которых содержат отклон ющие катушки , симметричные дл  обеих координат (X и У), цифроаналоговые преобразователи , например, код - ток с усилителем тока или без него 1,

Шфроаналоговые преобразователи. этих систем отклонени  содержат 12-14 разр дов и обеспечивают прецизионное отклонение электронного пучка в проделах сравнительно небольших полей отклонени  (пор дка 2x2 мм). Обычно размер пол  отклонени  вследствие отрицательного вли ни  расфокусировки пучка и про влени  краевых искажений из-за неабсолютной линейности отклон ющих катушек этой величиной и ограничиваетс . В слу1ае прин ти  специальных мер по

снижению аберрашш отклонени  раэмер пол  может быть срдественно увели-. чен. Однако, при этом вступают в сипу ограШ1-че1 и  по резр дности цифроаналогового  рэобразовател  системы отклонени , которые снижают точность взаимного расположени  элементов топо логни и увеличивают неровность кра , котора  в свою очередь, налагает ограничени  на минимальный размер элемейта.

Известна также система дл  отклонени  электронного пучка, содержаща  отклон ющую катушку и цифроанапоговый преобразователь, включающий регистр числа и генераторы тока, соединенные с шиной суммировани  через токовые клю ,чк 2,

Claims (2)

1. Недостатком этой  вл етс  больша  сложность цифроаналЬгового преобразовател  и высокие требовани , предъ вл емые ко всем кс «{понентам сис темы и в первую очередь - к отклон ющему усилителю, который, кроме того, нагружен на отклон ющую к тушку с соо )1 доток.ч1ными 1а 1аметрами, имеющую, как следствие, большое значение нидуктипиости и распределенной межвнтковой С мкости. Спедовательно, в усипитепе должны быть прин ты меры дл  эффективного демпфировани  колебательного контура и получени  высокого быстродеЛстви  системы. Целью предлагаемого изобретени   вл етс  повышение быстродействи  системы и ее упрощение путем снижени  требований к ци(}}роаналоговому преобразо-ват ел ю без потери точности системы в целом. Дл  этого отклон юща  катушка выполнена в виде секций с двоичным соотношением витков, а генераторы тока объединены в группы по числу секций групповыми шинами суммировани  двоичновзвешенных токов. На чертеже приведен один из возможных вариантов выполне1га  системы дп  отклонени  электронного луча. Она включает регистр 1 числа, генераторы 2 тока, токовые ключи 3, секции отклон ющей катушки, шину 5 питани  и шины 6 суммировани . Система работает следующим образом При неизменном ускор ющем напр же нии скорость электронов  вл етс  величи ной посто нной, поэтому оттюнение пучка зависит только от напр женности маг нитного пол . Напр женность магнитного пол  про юраиональна ампер-виткам намагничива ни  и, следовательно, отклон ть пучок можно, измен   ток через катушку и количество витков в ней. Использование только одной из этих возможностей 1три в дит к неоправданному усложнению соответствующего узла системы от1шонени  и к сужению ее возможностей. Применение цифровой коммутации поз вол ет решать задачу отклонени  пучка к;омби трованным методом, осуществлг   иеобхош- мое ступенчатое изменение напр женности пол  как за счет ступенчато измен ющегос  тока, формируемого ци(1 роаналоговым преобразователем, так и; подключением дополнительных секций, чи ла витков в которых относ тс  как целые степени Двойки. Сущность варианта, схема которого приведена на чертеже, заключаетс  в то что дл  получени  необходимой напр. жен ности пол , используетс  как принцип на  ожени  напр женностей, так и принщш суммировани  токов в общей нагрузке. По количеству витков в сокпи х этот вариант может быть решен несколькими пут ми, в частности выбором отиошеьш  витков 1-2-4-8. При этом отклон юща  катушка раздел етс  на четыре секции 4 (в общем случаем секций), а генераторы 2 тока, соответственно, на четыре группы, причем внутри групп токи двоично взвешены, а между группами взвешенность выполн емс  с учетом количества витков в соот ветствующих секци х. Так, если в младшей группе токи взвешены в отношении 1-2-4-8, то в следующей за ней старшей - в отношении 8-16-32-64 и т. д. Таким образом, генераторы токов смежных разр дов соседних групп  вл ютс  идентичными, благодар  чему эквивалентна  разр дность цифроаналогового при- образовател  в этом случае составл ет 13 разр дов. Токи всех генераторов одной группы суммируютс  в групповой шине 6 суммировани , к которой подключена обща  нагрузка - секци  отклон ющей катушки. При выпол:нении системы дл  отклонени  пучка по предлагаемой схеме в 2 раз уменьшаетс  статическа  погрешность и снижаютс  требовани  к точности источников тока при неизменной точности системы дп  отклонени  в целом, или при той же точности источников можно увеличить разр дность г реобразовател  на -l разр д. Предлагаема  система дл  отклонени  электронного пучка может быть использована также и в устройствах вывода графической информации из ЭВМ или в устройствах микрофильмировани , выполненных на основе электроннолучевых трубок высокого разрешени . Формула изобретени  Система дл  отклонени  электронного пучка, содержаща  отклон ющую катушку и цифроаналоговый преобразователь, включающий регистр числа и генераторы тока , соединенные с шиной суммировани  через токовые ключи, отличающа с  тем, что, с целью повышени  быстродействи  системы и ее упрощени  путем снижени  требований к цифроана-. логовому преобразователю без потери точности системы в целом, отклон юща  катушка выполнена в виде секьщй с двоичным соотношением витков, а генераторы тока объединены в группы по числу секций групповыми шинами суммировани  двоичновэвешенных токов. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Электронна  литографи  и ее применение в микроэлектронике, (Материалы Всесоюзной научно-технической конферен7 5 дни), тезисьг докладов, сер. 3, Микроэлектроника , вып. 1 (53), 1976, с. &-10.
2. 2. Быстродействующа  эпектроннолучева  система дл  экспонировани  полупроводниковых пластин, Электроника, 1976, т. 49, № 26/5ОО, пер. с англ., с. 18.

   Г

   I