CS233010B1 - Způsob repase dilatačních elektrod polovodičových součástek - Google Patents

Abstract

Vynález se týká způsobu repase dilatačních elektrod polovodičových součástek s kontaktní slitinovou vrstvou AgGe. Podstata vynálezu spočívá v tom, že slitinová kontaktní vrstva AgGe je chemicky odstraněna rozpuštěním ve zředěné HNO-j a kovové stříbro je převedeno do roztoku ve formě AgNOj, Potom se Ag převede přídavkem nadstechiometrického množství HCl na AgCl, který se oddělí od GeCl^, dekantuje se a po promytí vodou se vyauší.

Description

Vynález se týká způsobu repase dilatačních elektrod výkonových polovodičových součástek s kontaktní slitinovou vrstvou AgGe.

Slitina AgGe je užívána jako kontaktní vrstva pro zajištění požadované nízké úrovně kontaktního odporu ve styku křemíkové desky s dalšími díly pouzdra a pro získání maximální stykové plochy kontaktu. Vrstva je pájitelná měkkými pájkami, které se používají pro připojení křemíkové destičky s PN přechody k elektrodě. V případě, že elektrické parametry polovodičového systému nesplňují požadovanou úroveň, případně je systém z jiných důvodů považován za zmetkový, je křemíková destička rozpájena nebo jinak mechanicky oddělena od dilatačních elektrod. Dilatační elektrody lze pak opět použít pro výrobu polovodičových součástek odpovídajícího průměru křemíkové desky. V případě, že je nutno průměr dilatační elektrody upravit, dochází k porušení povrchu kontaktní slitinové vrstvy AgGe, které pak nedovolí upravenou elektrodu znovu použít.

Z toho důvodu je nutné nejprve sejmout kontaktní vrstvu AgGe, poté upravit rozměr elektrody ze základního materiálu a elektrodu opětně pokovit.

Snímání kontaktní slitiny AgGe mechanickým způsobem nezaručuje pouhé její sejmutí, ale vede obvykle i ke změně tlouštky nákladního materiálu dilatační elektrody, většinou molybdenového kotouče. Současně tento způsob nedovoluje získat jednoduchým postupem drahý kov z brusných kalů a suspenzí.

Tyto nevýhody odstraňuje způsob repase dilatačních elektrod polovodičových součástek s kontaktní slitinovou vrstvou AgGe podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, že slitina AgGe s maximálním obsahem 10% Ge se rozpustí v zředěné v poměru 1 : 1 s destilovanou nebo deionizovanou vodou při teplotě maximálně 45 °C, potom se Ag obsažené v roztoku převede přídavkem více než stechiometrického množství HC1 na AgCl, který se oddělí od GeCl^, dekantuje se a po promytí vodou se vysuší.

Popsaný způsob má výhody v minimální potřebě vybavení reakčními nádobami pro vlastní chemické převedení stříbra z roztoku na pevnou fázi. Lze jej provádět přímo ve skladovacích nádobách, s minimálními nároky na použité chemikálie, jak z hlediska použitého množství, tak z hlediska cenové dostupnosti. Významně se omezí manipulace s velkými objemy roztoků.

Příklad provedení

Molybdenové dilatační elektrody plátované kontaktní vrstvou ze slitiny AgGe 3 tlouštky 0,1 mm se odmastí běžným způsobem v alkalickém odmaglovači nebo v organickém rozpouštědle. Pak se vloží do roztoku kyseliny dusičné a destilované vody ředěné v poměru 1:1a zahřáté na teplotu 40 °C. K ředění kyseliny dusičné je možno použít též deionizované vody, nebo vody upravené tak, aby neobsahovala chloridové anionty, které by pasivovalv povrch slitiny AgGe 3 a zamezily tak jejímu homogennímu rozpouštění.

Kovové stříbro je převedeno do roztoku ve formě dusičnanu stříbrného AgNOj. Roztok současně obsahuje rozpouštěné germanium a stopy molybdenu z dilatační elektrody. Stříbro je z roztoku vysráženo přidáním kyseliny chlorovodíkové HC1 ve více než stechiometriekém množství ve formě chloridu stříbrného AgCl. Germanium zůstává v roztoku ve formě kapalného chloridu germaničitého GeCl^. Z roztoku se dekantací oddělí sedimentovaný chlorid stříbrný, který se promyje vodou, vysuší a redukčním postupem při vyšších teplotách převede na kovovou formu.

Získané molybdenové elektrody lze po úpravě opět použít pro nové polovodičové součástky.

Claims (1)

1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU

   Způsob repase dilatačních elektrod polovodičových součástek s kontaktní slitinovou vrstvou AgGe, vyznačený tím, že slitiny AgGe s maximálním obsahem 10 % Ge se rozpustí v kyselině dusičné, zředěné v poměru 1 : 1 s destilovanou nebo deionizovanou vodou při teplotě maximálně 45 ^UC, potom se Ag obsažené v roztoku převede přídavkem nadstechio• metrického množství kyseliny solné na chlorid stříbrný, který se oddělí od chloridu germaničitého, dekantuje se a po promytí vodou se vysuší.