CS231558B1 - Method of ionisation of stream of particles and device to perform the method - Google Patents

Method of ionisation of stream of particles and device to perform the method Download PDF

Info

Publication number
CS231558B1
CS231558B1 CS850579A CS850579A CS231558B1 CS 231558 B1 CS231558 B1 CS 231558B1 CS 850579 A CS850579 A CS 850579A CS 850579 A CS850579 A CS 850579A CS 231558 B1 CS231558 B1 CS 231558B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
stream
cathode
pole pieces
hollow cathode
gas
Prior art date
Application number
CS850579A
Other languages
English (en)
Inventor
Guenter Reisse
Manfred Rost
Hans-Joerg Erler
Friedrich Henny
Original Assignee
Guenter Reisse
Manfred Rost
Erler Hans Joerg
Friedrich Henny
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Guenter Reisse, Manfred Rost, Erler Hans Joerg, Friedrich Henny filed Critical Guenter Reisse
Publication of CS231558B1 publication Critical patent/CS231558B1/cs

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/46—Sputtering by ion beam produced by an external ion source
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/221—Ion beam deposition
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
    • C23C8/38—Treatment of ferrous surfaces
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/08—Ion sources; Ion guns
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/26—Plasma torches
    • H05H1/32—Plasma torches using an arc
    • H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
    • H05H1/38—Guiding or centering of electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/26—Plasma torches
    • H05H1/32—Plasma torches using an arc
    • H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
    • H05H1/40—Details, e.g. electrodes, nozzles using applied magnetic fields, e.g. for focusing or rotating the arc
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/26—Plasma torches
    • H05H1/32—Plasma torches using an arc
    • H05H1/42—Plasma torches using an arc with provisions for introducing materials into the plasma, e.g. powder, liquid

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
  • Thiazole And Isothizaole Compounds (AREA)

Description

HASBAHffi ffiOEPETEHHH
1,3 PRO VYNÁLEZY A OBJEVY i < σ
O ω> r~
o
CJ I
UTVAŘ I REF [VYRIZ oo
IYJ
Cnocoó E yCTpOMCTBO jyiHΡΟΟΤΗΟΓΟ HanEUieHHH í H0HH3aiwr nynna nacTEE e bkcokocko- r
OÓJiaCTH ΠρΕΜΘΗβΗΕΗ H3O(5p8T6HHS ΙΐΞΟόρθΤΘΗΗΘ ΠρΕΜΘΗΗΘΜΟ B OÓJiaCTHX ΤβΧΗΕΚΕ, ΙΡΙΗ ΚΟΤΟρΗΧ Ηθ-ΟόΧΟΙξΗΜΗ CJIOH CO cnenE&amp;HHeCKHMH CBOSCTBaMH, KaK HanpiíMep,HaHecemie cjiosb e BKecenne ολοθβ ΒΜΕκρο3Ε8κτροΗπκ8, οπτο-ojigktpohhkg e οπτηκθ, mw ynyHineHira cboectb noBepxHocTE, .UJIH 3aiHHTH OT K0PP03EE E .EJIH yM8HLIH6HHH E3H0Ca.
XapaKTepHCTEKa E3BecTHHX τθχηεηθοκεχ pemeHEE
Yke H3BeCTHH ΜβΤΟΣξΗ .w C03.HaHHH E0HE3Hp0BaHHHX HyEKOBEacTHu; π ex OTEOsenEe Ha nocETejie. K 3Ťowy MeTO.ný npEHax- -jie&amp;aT pacnHJieHEe hohhhm nyHKOM, BHizejieHHe cjioeB nocpescT-BOMJbn- plating BH.HezeHHe TOHKEX CJIOeB HOHHHM HyHKOM, HETpoBaHEe HOBepxHocTsS τΒθρ.ΠΗΧ Ten hohhhm nyHKOM. OÓflJEH HpH3HaK 3Τ0Γ0 ΜβΤΟ.ΗΘ COCTOET B TOM, HTQ XOTH ÓH H3CT3sjíeweHTOB hjih coe.EEHeHEE, ynacTBywíx b co3.naHHH ceoh,nocTaBjraeTCH b KazecTBe eohob, npz stom aseprzH, ra em-nyjiBC noToza nacTEn, nonaíawro Ha ηοοετθεβ cjioh, paccMaT-pEBaiOTCH KaK IipHHHHa IUIH Β03ΞΗΚΗ0Β8ΗΕΗ ΟΗΘΙίΕφΗΗΘΟΚΕΧCBOECTB CJIOeB EJIE ΟΟβ.ΙξΗΗθΗΕΕ Η ΒΗΣξθΗβΗΗθ ΟΕΟβΒ ΜΟΗβΤ ΠρΟ-ECXO.EETL Β BHCOKOM. B3KyyM8, κροΜθ CJiyHaH - Ion-platingC ΙΜ33ΜΘΗΗ0Η 3aHíET0E. Πρπ pacmraeHEE hohhhm nyHKOM ( dd-wp 76 283) hcxo.ehheMaTepzaz, npHHEMaeMKE 3a μειιιθηβ, pacnturaeTCH hohhhm nyHKOM,C03.HaBaeMHM B ECTOHHHKe EOHOB. ΟτΗΗΕΘΗΗΗΓι HOTOK HaCTEH,KO-τορΗΕ odpa3yeT cjioh Ha οοοτβθτοτβθηηο pacnoHOseHHOM ηοοετθ-jie, cojxepKHT tojilko He3HaHET8JiLHyio nacTL eohob; cpemranSHeprEH HacTEE cocTaBjraeT ot 5 .no ΙΟ sjíeKTpon-BOJiLT. UpnpacuwieHEE EByi.ra nyHKaMH eohob ( dd-wp « 130 157) o.hho-
BpeweHHO c οτπηηθηηημ ποτοκομ HacTEií HanpaBJraeTCH Ha hoce-T8JIL nyHOK EOHOB E3 ΟΤΑβΖΒΗΟΓΟ ECTOHHEKa EOHOB, T3K HTO mzieeT μθοτο ηοποληητθλβηοθ η3μθηηθμοθ πο.πβθπθηηθ sHeprHH,HMnyjiLca z nacTim b pacTynyaS cjioh. Oth cnocodu πρημθηηληοβ,no CHX πορ B OCHOBHOM ΠρΗ φ^ΠΘΜΘΗΤΘΛΒΗΗΧ HCG^e.HOBaHHHXH3-3a He3aBHCHM0 Η3ΜΘΗΗβΜΗΧ ΠθρθΜβΤρΟΒ ΗΟΠΗΤΘΗΗΗ. JOlH ΠρΟ-MLnmieHHoro ηηηθοθηηη ολοθβ nocTHraeMan οτθπθηβ HapacTaHiiHΟΛΟΘΒ H nOBepXHOCTH ΠΟΚρΗΤΗΗ ene cmikom ηθξηθηητθλβηη; ΠΟΛΗ HOHOB B ΟΤΠΗΛΘΗΗΟΜ ΠρίΚΘ ΗΘΟΤΗΓξ OÓyCJIORJieHa φΗ3ΙΓΗΘ0ΚΗΗ Ηθ ΜΟΗβΤ ÓHTL Η3ΜΘΗΘΗ3. lípu cnocode Ion-plating ( DE-AS 152 1561) H0HH3Hpy-stoh πόλη waTepnaJia, HcnapeHHoro ,ηλη ηθηθοθηηη ολοθβ, ηληπθρθβθποηηογο b φορκ^ napa, ηλη HMesanerocn b κθηθοτβθ ra-sa h HanpaBJíHeTcn Ha ηοοητθλβ nocpe.HCTBOM θλθκτρηηθοκογοΠΟΛΗ, ΠρΕΛΟΖΘΗΗΟΓΟ Mexny ΗΟΟΗΤΘΛβΜ ΟΛΟΘΒ H ΒΟΠΟΜΟΓΘΤΘΛΒΗΗΜΘΛΘΚΤρΟ.ΗΟΜ. ra30pa3pH.]XHHe φθρΜΗ, ΠρΗΜΘΗΗΘΜΗΘ £0 CHX ΠΟρ.ΗΛΗ 3THX ΜΘΤΟ.ΗΟΒ, ΗΘ ΠΟ3ΒΟΛΗΙ0Τ, HTOÓH ΟΟΟΤΗΟΙΠΘΗΗΘ HOHOB CSHeprHBMH .HO ΗβΟΚΟΛΒΚΗΧ 100 OB K ΗθίίτρθΛΒΗΗΜ HaCTHUaM Bnynne nacTHu, nonanawM Ha ηοοητθλέ», dmio tskhm, htoóh dn-na ΒΟ3ΜΟ5ΚΗ3 BHCOKaH HÓ3a ΒΗΠθΛΘΗΗΗ ΟΛΟΗ npH- Ο,ΠΗΟΒρβΜΘΗΗΟΜ—nonBeneHHH SHeprnn no HecKOHLKHX 10 sB.Ha HaHecHHyio nacTH-uy ολοη. Bojiee βηοοκηθ snepniE hphbo.w κ odpasoBasiso πθ-φβκτοΒ cTpyKTypH b HapainnsaeMOM ολοθ η k οτπηλθηηιο Hacnan-BaeMoro MaTepnana. ΚροΜβ τογο, ΒΗΠβΛθΗΗβ ολοθβ οοθ.πηηθηηη,cmíaBa h npHMecHHX ολοθβ c πομοηβιο θτογο weTO.ua y.naBanocLΤΟΛΒΚΟ C dOHLIHHM Tpy.HOM.
HpH HQHeceHHH ΟΛΟΘΒ HOHHHM HyHKOM ( DE-0S2II 3375) ΒΘΟΒwaTepnan, npnr.ieHHeírf ποοτόοθηηη ολοθβ, H0HH3npyeTC,H bHOHHOM Η0Τ0ΉΗΗΚΘ· Η Η3Πρ3ΒΛΗΘΤ0.Η Ha HOKpHBSewyiO ·ΟΛΟΗΜΠ ΠΟ-BepxHOCTL. 3τοτ μθτοπ οηθηβ TpynoeMKHH h ποθβοληθτ npeHwy-·ΗθΟΤΒΘΗΞΟ HaHOCHTB 0Λ0Η H3 ΧΗΜΗΉΘΟΚΗΧ 3ΛΘΜΘΗΤ0Β. HOCTHTHy-ΤΗΘ HO CHX πορ ΗΗΤΘΗΟΗΒΗΟΟΤΗ HapaiHHBaHHH ΟΛΟΘΒ ηβληιοτοηΗΘ3Η3ΗΗΤΘΛΒΗΗΜΗ.
ΠρΗ HHTOOBaHHH HOHHHM HyHKOM ( DD-WP 130 157) HeHCTByiOT hohh a30Ta Ha TBepnoe τθλο, βκλκηθηηοθ κθκ μηιπθηβ, πρπ θτομ
TewnepaTypa ποβθρχηοοτη TBepnoro τθλθ, Hanpwep, ποοόθ,ηοτβομ pa.HHaiíHOHHoro HarpeBa ycTaHaBHHBaeTcn na 3ηθπθηηθ, npHro.n-
Hoe TBep.wejiLHoS .χχφφγ3ΠΞ nacTim a3OTa π odpasoBaHHB C06.HEH6HHH. . JUH θφφβΚΤΗΒΗΟΓΟ ΠρΗΜΘΗΘΗΙΙΗ 3Τ0Γ0 MeTO.Ba ΙξΟΟΤΠΓ^ΤΗΘ flOCEX nop UJIOTHOCTH ΗΟΗΗΗΧ HyHKOB Έ OdpadaTHBaeMHe ΠΟΒθρΧΗΟ-CTH BBJIBIOTCH CJBUUKOM ΗΘ3Η3ΗΗΤ6ΛΒΗΗΜΗ.
Cpe.HH ÓOJIBinorO HHCJia pa3JIBHHHX yCTaHOBOK JUH BHCOKOCKOpOCT-ΗΟΓΟ HanHJieHHH C ΠΟΜΟΠξΒΙΟ ρθΟΠΗΛΘΗΗΒ Μ3ΓΗβτρ0Η0Μ Η3Β60ΤΘΗo.hhh BapHaHT ( dd-wp 123952), πρπ κοτοροΜ pacmuiHeMHSKaTO.H ΒΚΠΟΛΗΘΗ B ΒΗ£β ΠΟΛΟΓΟ DJUIHHSpa Η 3T0T KaTO.H ΟΧΒΘΗΘΗb φορΜθ KOJiBiía ycTpoScTBOM, odpa3ywiM μβγηητηοθ noxe, aTaKse othocbiuhmhch κ HeMy nojnocHnw daiuMaKaw. HanHXBeMHŽaHo.n b bw TpydKH ra βθλβηογο MaTepnaxa κοηβθητρηηηοΒΟΤρΟΘΗ B ΜΗΠΙΘΗΒ φορΜΗ ΠΟΛΟΓΟ ΣΧΠΛΠΗ.ΧΡ3. Πο.ΠΒΟΛ 3ΗθρΓΠΠ Kano.UHOiio.HKJiio^eHHOMy ηοοητθλιο ολοβ β £θηηομ cnynae nponcxo-ΊξΗΤ C ΠΟΜΟΕξΒΙΟ ΟΤΠΗΛΘΗΗΗΧ, dHCTpHX HaGTHIÍ 2 ΘΛΘΚΤρΟΗΟΒ3MHTTBpoBaHHHX na KaTO.ne h pa3roHHeMux κ aHo.ny. Ha stoh: yc-TaHOBKe C KaTO.HOM, ΒΗΠΟΛΗΘΗΞΗΜ Β φΟΌΜΘ ΠΟΛΟΓΟ ΐχΗΛΠΗΙφθ ΠΘΗΟ.ΙξΗΟΠΟ.ΙΠυΠΟΒθΗΗΟΓΟ ΗΟΟΗΤΘΛΒ ΟΛΟΒ ΗβρΟΟΤΘΗΠΘ ΟΛΟΒ ΠρΟΗΟΧΟ-,ΖξΗΤ de3 33ΜΘΤΗ0Τ0 ΒΛΗΗΗΠΒ ΗΟΗΟΒ.
HSJIL B3OdpST6HHH ΠθΛΒΙΟ H30dpeT6HBB BBJIB6TCB HOXyHHTB BHCOKyS) £ΟΛΗ) HOHOB Bnynne nacTBií π ποβηοητβ οκοροοτΒ HapanjHBaHHB HaHocnwxΟΛΟΘΒ.
Μβλοκθηηθ cymHOCTH H3odpeTeHHB B ocHOBy E3odpeTeHBB πολόβθηθ 3a.nana, pa3padoTaTB cnocod hycTpoficTBO, odpa3ywie ηοηη3Ηροβ3ηηη6 nynxn HacTHH π hx na-ηθοθηξθ ηβ’ηοοητθλβ, πρπ stom ,ηοληηο nponcxo.wB bhcoko-CKOpOCTHOe OCaXJíeHXe ΟΙζΗΟΚΟΜΠΟΗΘΗΤΗΗΧ ΟΛΟΘΒ, ΟΛΟθΒ ΟΟΘ.ΒΠΗΘ—ΗΒΗ Η ΠρϊίΜΘΟΗΗΧ ΟΛΟΘΒ BHdopOHHO T3KHQ Ha dOBBIHHX ΠΟΒΘΌΧΗΟ-ctbx. He.nocTaTKii Η3βθοτηηχ pemeHHH 33κλιοη3ιοτοβ β tom·, htoπρπ pacntuieHEH hohhhm nywoM π πρπ pacnBxeHHH .BByMH nyHKaMHHOHOB OTIHUieHHHfí OT ΜΗΠΙΘΗΗ, nonaBIUHH Ha ΗΟΟΗΤΘΛΒ nyHOK Ha- cthií onpeflejineTCfl ny^KOM hohob Ha MmneHH h £0300 pacmuie-hhh. £o3a pacnHJieHHH hs μοηθτ npsBHUiaTL npe#ejn>Hoe 3Hane-ηηθ, 3aBHCHiqee ot BH#a hohob, OHeprnu hohob h MaTepnaJia mh-ΠΙΘΗΗ; UJIOTHOCTL ΗΟΗΗΟΓΟ nyTKa Η3ΒΘ0ΤΗΗΧ HCTOHHHKOB HOHOBO dOJILHIOIÍ HOBepXHOCTLIO COCTaBJEHST MaKCHMaJILHO HeCKOJILKOmA/cM^, T3K HTO CKOPOCTL HapanjHBaHHH OJIOeB, HaHHJISHHLIXHOHHHM HyHKOM Ηθ ΠρθΒΗΠΙΘΘΤ npe#ejILHOe 3Η3ΗΘΗΗ6, ΚΟΤΟρΟΘjyiH MeTajuiOB JiejKHT πρπ 50 hm/mhh. H3-3a orpaHHHeHHoS ιυιοτ-HOCTH ΗΟΗΗΟΓΟ nyHKa H3BSCTHHX HCTOHHHKOB HOHOB C dOJILmoS ΠΟ·ΒθρχΗΟοτΒίο Taiose orpaHHHeHa οκοροοτπ HapamHBaHHH cjioh npnΗ3Η80ΘΗΗΗ ΗΟΗΗΟΓΟ IiyHKa Η ΗΗΤρθΒ3ΗΗΗ ΗΟΗΗΟΓΟ HyHKa.
Upn H3BSCTHOM ClIOCOde Ion-plating IMOTHOCTL ΗΟΗΗΟΓΟ HyH-Ka, nonaBmero Ha hochtsjil choh, H3-3a hh3koh hjiothocthIDia3MH ΙφΗΜΘΗΗΘΜΗΧ Γ83ΟΒΗΧ pa3pH.#OB ΚΗ3Κ0Γ0 #3ΒΛΘΗΗΗ HBJIH—STCH HS3HaHHT8JILHOÍí; ΘΗθρΓΗΗ HOHOB HS .HOJDÍCHH npSBíffliaTL ΠΟ-ρΟΓΟΒΟθ 3Η3ΗΘΗΗθ, πρθΒΗΙΠθΞΗΘ ΚΟΤΟρΟΓΟ ΠρΗΒΘΠΟ 6u Κ 0dpa30-BaHHio ne^eKTa b Hapanwaewx cjiohx. Ητθκ, #ocTaTOHHoe no#-ΒΘΙζθΗΗΘ ΘΗβρΓΗΗ H HMIiyHLCa B HapaiUHBaeMHfi CJIOfi MOSeT dHTL,ΠΟΟΤΗΓΗΥΤΟ TOJILKO HpH ΟΓρθΗΗΗβΗΗΗΧ CKOpOCTHX Η3ρ3ΠξΠΒ3ΗΗΗΟΗΟΘΒ. HOBH3HSHH6 CKOpOCTH HapaUJHBaHHH CJIOH HpH y#OBneTBOpHTSJILHOMπο.#β6#θηηη 3HeprHH h HMnyjiLca b HapamHBaeMHfi cjiofi TpedyeTyBejnrqeHHH hjiothocth nyHKa hohob hjih hscth nyHKa hohob,HOnaBIUHX Ha HOCHTSJIB ΟΗΟΘΒ.
CornacHO H3odpsTSHHio 3a#aHa pemaeTCH τθκημ odpa3OM, htoHefíTpaJiLHHe hjih ηοοτηηηο ηοηη3ηροβ8ηηηθ ra3oodpa3HHe h/hjihnapoodpasHHe nyHHH ηθοτπη hpobo#htch nepe3 nojmfi KaTo#, ko-TOpHH OKpyHSK 3aMKHyTHMH HOJHOCHHMH Η3Κ0ΗΘΗΗΗΚ3ΜΗ Ο.ΗΗΟΓΟ HJIHHSCKOJILKHX ΠΟΟΤΟΗΗΗΗΧ Μ3ΓΗΗΤ0Β HJIH SJíeKTpOMarHHTOB, T3K HTOB 3OHS #eHCTBHH HapH HOJTOCHHX Η3Κ0ΗΘΗΗΗΚ0Β Ha# HOBepXHOCTLEnojioro KaTO#a odpa3yeTCH Heo#Hopo#Hoe, TyHHejieodpa3Hoe,3a;.iKHyToe μθγηητηοθ nojie, κοτοροθ #eficTByeT ksk sjisktpoh- hsh JiOBymKa. ΠρΗ npHKJia.HHBaHHH COOTBSTCTByKíUSrO HanpHSeHHH Mew IIOJIHMΚ3Τ0#0Μ H ΘΗΟ#ΟΜ, pacnOJIOHeHHHM BdJIH3H CTOPOHH BXO#a HOTOKa - 5 -
HacTHH,B03HHKaK3HK&amp; pa3pan πολογο KaTO.ua, npenMyníOCTBeHHO b30ΗΘ nOJHOCHHX Η3Κ0ΗΘΠΗΗΚ0Β, ΠθρθΚρΗΒΒΘΤΟΠ C pa3ptH£0M ΚΟΛΒ-ΠΘΒογο 3a3opa. B ra3qpa3ps£H0&amp; iwa3Me, πλοίήοοτβ κοτοροδ βpa3pH#e πολογο KaTO^a - κολβπθβογο 3a3opa λοοτηγθθτ bhco-KHX 3HaneHHá, H0HH3HpyeTCH 3Η3ΗΠΤΘΛΒΗ3Π HaOTB nyHKa HSCTim.ΚρΟΜΘ ΒΒΘ^ΘΗΗΗΧ HaCTHU, Pa30pa3pH£HaS IL7ia3Ma COflepjKHT HeÉ-Tpajn>HHe H HOHH3HpOBaHHHe naCTWt'nOB©pXHOCTH ΠΟΛΟΓΟ KaTO-£a, κοτορΗθ OTnwmBaEyrcff b pe3yjn>TaTe οπθπηθλβηογο pa3pn#-ΗΟΓΟ MexaHH3Ma nOCpeflCTBOM HOHHOĚ ÓOMÓapAHpOBKH. lípu £0C-TarOHHO ΕΗΤΘΗΟΕΒΗΟΜ ρθΟΠΗΛΘΗΠΗ ΠΟΒθρΧΗΟΟΤΠ ΠΟΛΟΓΟ XaTO£apa3pH# μο&amp;θτ nojmepKEBaTLcn Tanze ποολθ ΟΤΚΛΕΗΘΗΗΗ BBO£HMO-ro nynna nacTHij. Βκοτρδκιχππ HOHH3npoBaHHHX nacTím Π3 raso-'pa3pfflXKofi unasMH π hx HanpaBJíeHHe Ha ηοοητθλβ ολοθβ προπο-ΧΟ£ΠΤ C HOMOniLD COOTBeTCTByXE(et CHCTSMH £ΛΗ 3K0TpaKUHH HO—HOB ΗΛΗ ΠρΗΛΟΚΘΗΞΘΜ yCKOpHMÍierO ΗΒΠρΛΚΘΗΗΗ MQXJJJ ΠΟΛΗΜ K31-TOflOM H ΗΟΟΠΤΘΛΘΜ ΟΛΟΘΒ ΗΛΠ Π00ρθ£0ΤΒ0Μ CaMOyCTaHaBJIHBaeMOΓΟ 0ΤρΗΠ£ΤΘΛΒΗ0Γ0 ΠΟρΟΓΟΒΟΓΟ Π0ΤΘΗΖζΠ8Λ3 ΘΛΘΚΤρΠΗΘΟΚΗ Η30- 'ΛΗρ0Β8ΗΞ0Γ0, OJÍHaKO, ' HaXOAnmerOCH Β Κ0ΗΤ3ΚΤΘ C, pa3paSH0SΠΛ33Μ0Ζ ΗΟΟΗΤΘΛΗ. Ha ΘΗθρΚΠΟ Γ330ΚΗΗΘΤΗΗΘΟΚΟΓΟ ίςΠΚβ,·, ΠΟ-na#awiO Ha’ ηοοπτθλβ, ηθζτρβλβηηχ η β ΠΛβ3Μθ -B03dysšeHBHxnaOTHH MOJKHO ΠΟΒΛΗΗΤΒ φορΜΟΒβΗΗΘΜ ΠΟΛΟΓΟ KaTO^a, ΗΘΠΌΗΜβρ,β φορωθ. coiuia; nyrew coy^apeEHH o ποηθμη .nponóxo&amp;HT λθλβ-ηθ&amp;πθθ ποβιειθηηθ 3Heprnn. nyroM pá3ÍHHHoro φορΜΟΒθίπΐΗ pas-ΡΦ(ηογο npocTpaHCTBa η μβγηπτηογο πόλη npoHcxoiprr λ8λϊ>βθ®~maa πολγοηκθ ycTponoTBa κ reοΜθτρππ ηοοητθλη ολοθβ. £ολλΟΤΠΗΛΘΞΗΗΧ ΗΘΟΤΗΠ ΟΤ1 ΠΟΒβρΧΞΟΟΤΗ KaTC^a Β ΠΟΤΟΚΘ ΠΘΟΤΠΠ ΚΗΟΟΠΤΘΛΙΟ -ΟΛΟΘΒ Η3ΜΘΗΗ8Μ3 Β ρθ3γΛΈΤ3Τ8'XapaKTeOECTHKH paC-ΙΐρθΛΘΛΘΕΗΕ 0ΤΠΗΛΘΗΗ0Γ0 .'Μ3Τ8ρΗ3Λ3,:· a Τ3Κ&amp;Θ' ΠΟΟ£ΘΛΟΤΒΟΜ φθρ~ΜΟΒΘΗΗΠ pa3pH£H0r0 IipOCTpaHCTBa. 0θΓΛ3ΟΚΟ Ε3θύρθΤ8ΗΞ50 pa3-pHAHoe npocTpaHCTBO pa3pana πολογο κβτο.Λέ-κοΛ&amp;ΐίθΒΟΓΟ 3a3opaΒΗΠΟΛΗΘΗΘ Ha BHÓOp Β φθρΜΘ WT2H£pa, Β φθρΜΘ ΠΟΛΟΓΟ ΠΗΛΗΗΛ”pa, β φορΜΘ ycenennoro KOHyca, ροτθηηοηηο-θλλξπτηηθοκη ηληnpn3MaTznecK2, π nynoK naoTnu npoxo.w nepe3 ηθγο β οοθβομΗΘΠρβΒΛΘΗΠΠ ΠΛΗ pa3pH£H0e ΠρΟΟΤρθΗΟΤΒΟ ΗΜΘΘΤ ΚΟΛΒΠΘΒρΟ φθρ-My C npH3MaTHHeCKHM, 3ΛΛΗΠΤΠΗΘ0ΚΗΜ ΗΛΕ τρβΠΘΠΘΗΛΒΛΒΗΗΜ ΠΟ-ΠΘρβΠΗΗΜ ΟΘΠΘΗΠΘΜ, ΠΟΤΟΚ ΠΘΟΤΗΠ Ηθρθ3 ΚΟΤΟρΟΘ ΠρΟΧΟβΗΤ ΒρΟΛΗδΛϊ,ΗΟΜ Η3ΠΡ3ΒΛΘΗΠΞ. HtOÓH yBenHHHTB ΠΟΒΘρΧΗΟΟΤΒ ΠΟΚρΗ- - 6 - THH CJIOHMH Η 3ΤΗΜ Πρ0Η3Β0ΑΗΤθ JH>HOCTL, Β JiaJILHeSnieM OCymeCT-bjishhh Η3θύρθΤ6ΗΗΗ pacnojiaraKTca napajuiejiLHo Apyr fflpyryHeCKOJEbKO HOJIHX KaTOflOB, KOTOpHO OKpyjROHH ΠβρθΜΗ 3aMKHyTHXnOJUDCHffiC HaKOHSHHHXOB Ο,ΖξΗΟΓΟ HeOKOJT&amp;KHX HOCTOHHHHX HJIH3JI6XTpOMarHHTOB. B xaaecTBe ny^xa aacTHij πρπΜθΗΗθτοΗ aneajiLHHfi ra3 h/hjihra3, kotophě coflepm? no xpatofi Mepe ojíhh χομποηθητ MaTe-pnajia h/hjih jierapywž hjih npHMeoHhdí MaTepnaJi cjioh, Ha-CJiaHBaeMoro Ha HOCHTejn, mm βχηεηθθμογο β ξθγο. Η3Γ0Τ0βλθηηθ ο^χηοκομποηθητηηχ cjioeB Óe3 3arpH3HeHHž cjioeBcoejciHeHaa, cjioeB cimaBOB hjih πρημθοηηχ cjioeB bo3mojkho ÓJia-roflapa TOMy, ητο οτθηθ nojioro xaTojia coctoht H3 MaTepnaJiaCJIOH OH H3 O.UHOS K0MH0H6HTH OH HO 0ΘΚΤ0ρ3Μ 23 ΘΓΟ χομπο-ηθητ h/hjih 23 MaTepnaJia, npejEHasHaneHHoro jijih ciuiaBa hjihnpHMecH cjioa ra, οοοτβθτοτβθηηο, ποκρκτβ hmh. Οτίθ^ΒΗΗβοθχτορκ, κροΜθ τογο, OKpyaeHH bhóopohho οοοτβθτοτβθηηο na-poS 3aMKHyTHX hojhochlix ηθχοηθηηηκοβ h co^epzaT ο,χηηθχοβηθhjih pa3jEHHHHe, OT,nejiBHO peryjnipyeMHe sjrexTpHHecxHe ποτθξ-nnajiH,. djiaro^apa aeMy jiojia pa3JiHHHHX χομποηθητ MaTepnaJia bCJIOe ΜΟΗΘΤ Η3ΜΘΗΗΤΒ0Η. IÍ3 ΤΘΧ ΗΘ ΠρΗΗΗΗ ΜΘΓΗΗΤΗΚΗ ΠΟΤΟΚ BΗΜΘΚΠ£ΗΧΟΗ napax nOJTOCHHX ΗΘΚΟΗΘΗΗΗΚΟΒ BHÓOpOHHO OTřCeJE&amp;HOperyjiHpyeTCH h yoTaHaBJíHBaeTCH Ha pa3JiHHHHe 3HaneHHH.
Htoóh jíocthhl BHcoKoro cpoxa cjiyxóH nojioro xaTOfla, μθοτοOHJILHOrO CHOCa ΟΤΘΗΗ ΠΟΛΟΓΟ KaTOJia CjUBHTaeTCH ΟΜΘΠξθΗΗΘΜnojnocHoro HaxoHSHHHKa hjih MaTepnaa xaToxa AonojmaeTca npncooTBeTCTByícqeÉ φορΜθ nojioro xaTO.ua nocpejiCTBOM nojcxoJvnuHXycTpoScTB noícsejieHHH. 3aj£nraHHe h nosnepaaHHe paapasa πολογο xaTo^a - xojr&amp;neBoro3a30pa npn HH3XHX HanpHHeHHHX Η ΠΟΒΗΕΘΗΗΘ IUIOTHOCTH ΠΛ33ΜΗΜΟΗΘΤ ÓHTL JXOCTHTHyTO ΠΟΟρθβΟΤΒΟΜ OÓJiyHeHHÍI .HOHOJIHHTejr&amp;HH-mh 3JiexTpouaMH hjih βηθοθηηθμ πλθθμθηήογο Jiyna HJIH npeffBapH-T6JIBH0 Η0ΗΗ3Ηρ0Β3ΗΗ0Γ0 HyHXa HaCTHH Β ρ33ρΗΊξΗ0θ UpOCTpaHCT-BO. B xo#e flajiBHeáinero coBepmeHCTBOBaHHH HSoópeTeHHH X ycT-poácTBy nosTOMy nojnunonaeTCH πρποποοοόΛθΗΗθ axH co3#aHHHsjíexTpoHHoro nyaxa, mia3MeHHoro Jiyna hjih npejiBapHTejiLHo HOH23iípoBaHHoro nynxa nacTHn, πρπ 9T0M ΘΛθκτρο#, nexanpížH6H0Cpe,HCTB8HH0 ΠΟΟΛβ ΠΟΛΟΓΟ KSTO^a, 3Τ0Γ0 ΠρΗΟΠΟΟΟώίθΗΗΗno οτηοιπθηπμ κ nonoMy naTO.ny nojiynaeT πολομτθλβηηπ ποτθη-ΙξΗβΛ Η 3ΤΠΜ ΟβΗΟΒρθΜΘΗΗΟ ΠρβΙζΟΤΘΒΛΗΘΤ COÓOĚ aHOfl pa3pH.uaπολογο KaTo^a - κολβπθβογο 3a3opa. ϊοτροποτΒΟ μο^θτ noiptmo-naTLCH, HanpHMep, κ ηοτοπηηκομ hohob Tuna Pinkeistein ,πρπ3T0M ΘΛΘΚΤρΟΛ SKCTpaKIW ΠΟΗΗΟΓΟ HCTOHHHKa ΠΟ ΟρΒΒΗθΗΠΒ COMHCCHOHHNM 3Λ6ΚΤρ0.Λ0Μ HOJiynaeT ΠΟΛΟΚΠΤΘΛΒΗΗίί ΠΟΤΘΗΙίΗΘΛ ΗBKJnonaeTCH ο^ηοβρθμθηηο κηκ aHO# pa3pn£a πολογο KaTo.ua -ΚΟΛΒΠΘΒΟΓΟ 3a30pa. ΠρΠΜΘρ OCyHíeCTBHSHHH Η300ρθΤΘΗΗΗ
HffiKe Η300ρθΤΘΗΗΘ ΠΟΗΟΗΗΘΤΟΗ 0ΟΛθβ Π0£ρ00Η0 Ha ΤρθΧ ΠρΠΜΘ-pax. Ha ΟΛβ^οπαοΗχ nepTesax noKa3aHO: ΦΗΓ. I: yCTpO^CTBO C pa3pH£HHM npOCTpaHCTBOM ΙζΗΛΠΗΛρΗ-ΠβΟΚΟΗ φορΜΗ, ΦΠΓ. 2: yCTpoáCTBO O pa3pH£HHM npOCTpaHCTBOM b φορΜθΠΟΛΟΓΟ IWIHHJZpa, ΦΗΓ. 3: yCTpOĚOTBO C pa3pHflHHM npOCTpaHCTBOM Κ0ΛΒΠΘ00ρ33-HOft φορΜΗ. B nepBOM npHMepe ocymecTBHeHHH (φπτ. I) ποληπ κητολ 3 bh-ΠΟΛΗΘΗ Β φορΜθ TpyÓH, Τ3Κ HTO ΠΟΛ^ΉΘΘΤΟΗ pa3pH£H0e ΠρΟΟΤρβΗ-CTBO 4 ΗΗΛΚΗΛρίΓΊΘΟΚΟίϊ φορΜΗ. ΠθΛΗ3 KSTOS KOHLpeodpa3HO ΟΚ-py&amp;eK napofi πολβοηηχ ηηκοηθήηπκοβ 5 θλθκτρομηγηπτθ πλη πο-ΟΤΟΗΗΗΟΓΟ MarHHTa 6.
Upn BnycKe nynna nacTzn I nepe3 otbqpcthh £HCKOoópa3HoroaH0£a 2 Η ΠρΠΛΟ&amp;ΘΗΗΗ HanpHSOHHH υΑ B ffi0ana3OHe ΛθΒΛΘΗΗδ0,1 ... I na 3a&amp;nraeTCH π noAflepsHBaeTCH pa3pnn πολογο Karo-sa, KOTOpuS B OCHOBHOM, B Λ^δΠθδΟΗΘ MarHHTHOrO ΠΟΛΗ, ΟΠΛΟ-BUe ΛΗΗΠΠ KOTOpOrO npOXOflHT B 0&amp;iaCTH napH ΠΟΛΚΟΗΗΧ HaKOHen-ΗΠΚΟΒ 5 Π3ρ3ΛΛΘΛΒΗ0 Κ ΠΟΒθρΧΗΟΟΤΗ ΠΟΛΟΓΟ KaTOfta, Η ΘΛΘΚΤρΠ-necKoro πόλη, κοτοροθ, hcxobh 03 pa3pH£Hož ΠΛ83ΜΗ HanpaBHe- - 8 - ho nepneHjmKyjiHpHO κ ποβθρχηοοτη πολογο κθτολθ, nepezpHBa-ΘΤΟΗ C pa3pH.H0M H3 ΚΟΛΈΖΘΒΟΓΟ 3a30pa. ΟΤΘΠΘΗΈ H0HZ33IÍHHZ ΠΛΟΤΗΟΟΤΒ HOCHTejieá 3apH£OB £OCTZraDT B ΠΛ33Μ6 0Ópa30-BaBmerocH pa3pnsa κολέζθβογο 3a3opa z πολογο zaTOza οζθηέBHOOKHX 3HaneHZfi, T3K ZTO 3Η3ΖΗΤΘΛΈΗ3Η Ζ30ΤΈ ΒΒΘβθΗΉΟΓΟnyzza zacTzn; H0HH3zpyeTCH. Ha ochobo HMennerocH pa3pH£H0-ro MexaHH3Ma pacnujweTCH ποβθρχηοοτέ πολογο KaTo.ua 3 bOOHOBHOM Β 00Λ30ΤΖ HapH ΠΟΛ30ΟΗΗΧ ΗΘΚΟΗΘΖΗΗΚΟΒ 5 ΠΟΟρθβΟΤΒΟΜHOHHOg dOMdapflZpOBKZ, ΟΤΠΗΛΘΗΗΗΘ ZaOTHUJI ΠρΗ pa3pHZe TaKSe ZaCTZZHO H0HZ3HpyKTCHz cMemHBaiOTOH c ββθζθηηημ nyzzoM zacTzn I. ΙΪ3ΜΘηθηηθμ Han-pwKeHza pa3ps®a uA z μβγηζτηογο πόλη MoryT ^γπρθβλητβοηKak ΠΛΟΤΗΟΟΤΒ Z SHeprza ZOHOB, Η3Πρ3ΒΛ6ΗΗΗΧ Z3 ΠΛ33ΜΘΗΗ0Γ0rpaHZHHOrO ΟΛΟΗ Κ ΠΟΒθρΧΗΟΟΤΗ ΠΟΛΟΓΟ KaTO£a, Z 3TZM ΚΟΛΖ- ,Z6CTB0 ΟΤΠΗΛΘΗΗΟΓΟ ΜΘΤθρΗΘΛΘ, T3K Z ΟΤΘΠΘΗΈ ΗΟΗΗ33Ι3ΖΗ HΠΛΟΤΗΟΟΤΒ ΗΟΟΖΤΟΛββ 3apHZ0B Β ΠΛ83ΜΘ., TBK ZTO B pS3pHZH0fimia3Me ημθθτοη οπρθ#θλθηηοθ cooTHomeHze ββθλθηηηχ κ οτπη-ΛΘΗΗΗΜ ZaCTZUaM Z ZOHOB K Ηθίίτρ3ΛΈΗΗΜ Ζ30ΤΖΠ3Μ. Θκοτρθκπζπ ζοΗΖ3ζροΒ3ΗΗΗΧ zacTzn z ζχ. ycKopeHze Ha ΗΟΟΗΤΘΛΈΟΛΟΘΒ 9, 3aKpenzeHHHÉ y ΛθρΧΘΤΘΛΗ ΙΟ, ΟΟ^ΘΟΤΒΛΗΘΤΟΗ Β ΑθΗ-ηομ npzMepe ο πομοπγ&amp;ιο ,π^α^Λθκτρο,ίζΗοζ 3KCTpaKiízoHHofi οζοτθ-ΜΗ C ΗβΟΚΟΛΒΚΖΜΖ ΟΤΒβρΟΤΖΗΜΖ ZCnyCKaHHH, ΠρΖ 3Τ0Μ θΜΖΤΤθρ 7nozyzaeT ποτθΗπζθΛ πολογο KaToza 3 z yczopswfi θΛθκτροζ 8HanpnxeHze υβ πο οτηοεθηκκ) κ πολοϊ^ zaTozy 3. Ο^ξΗΟΒρβΜΘΗΗΟ Γ330ΚΗΗΘΤΖΖΘ0ΚΖΖ ΠΟΤΟΚ ΗΘΖΤρθΛΈΗΗΧ ZaOTZIÍ ΛΟ-CTzraeT ηοοζτθλη.ολοθβ 9. SzcTpaziizoHHaH οζοτθμθ zežcTByer«nazee Kaz HanopnaH cTyneřis, raz ζτο HaHeceHze ολοη μοηθτnpozcxo.zzTL β ycHOBZHx βηοοκογο BazyyMa. jOpyran bo3mohhoctb zohhoS θκοτρβκιχκζ coctoht β tom, ztoóh
ΗΟΟΗΤΘΛΈ ΟΛΟΘΒ ΒΚΛΧΖΘΛΟΗ K3K yCKOpHíÓnZZfi 3ΛΘΚΤρθ.Λ. ΠρΖ 3T0M
BapzaHTe ion-pisting OTnazassT θμζττθρ 7 z yczopHioiizž 3Λβκτροζ 8; ηοοητθλέ ολοθβ 9 ycτaHaBΛZBaeτoH ΒΜΘΟΤΟ yCKOpn- KHierO ΘΛΘΚΤρΟβθ Z Π0ΛγΖ3ΘΤ ΠΟΤΘΗΠΖΘΛ UD ΠΟ ΟΤΗΟΠΘΗΗΚ ΚΒ
ΠΛ33ΜΘ. ΠΟΚΡΗΤΖΘ ΗΟΟΗΤΘΛΗ ΜΟΗΘΤ ΠρΟΖΟΧΟ^ΖΤΈ ΤΘΚΧΘ όΛΘΓΟΖΘ-ΡΗ TOMy, ΖΤΟ ΗΟΟΗΤΘΛΈ ΟΛΟΘΒ 9 Η βθρ&amp;ΘΤΘΛΈ ΙΟ yCTaHOBΛΘHH 3ΖΘΚΤρΖΖθΟΚΖ Z30JIZp0BaH0 Z ΠρΗ ynpa3£HeHZZ 3ΜΖΤΤθρ3 Z yCKO-pwro sjíeierpojia 7, 8 ycTaHaBJízBaioTcz βμθοτο 3MZTTspa 7.Hocpe£CTBOM HenocpejicTBeHHoro κοητβκτθ 3ζβκτρζζθοκζ Z3ojiz-pOBaHO ΒΜ0ΗΤΖρ0Β3ΗΗ0Γ0 ,ΗΟΟΖΤΘΛΗ ΟΛΟΘΒ 9 C pa3pH£H0&amp; ΠΛ33—moS ero noBepxHocTB 3apHzcaeTcz οτρζζθτθλβηο #o-noporoBoronoTeHzzajia z BH3HBaeT zoHHyio SKCTpaKizm Z3 mia3MH.
Bo ΒτοροΜ zpzMepe ocymecTBJíeHza (φζτ. 2) zojihé kaTÓ.z 8 coc- itozt Z3 BzyTpaHHsS Tpyda KaTO^a II z BHemHeS Tpyda KaTO.ua12, κοτορυθ, tíyzyzz βοτθβλθηηημζ zpyr b zpyra, odpa3yroTpa3pzflHoe npocTpascTBO 4 b φορΜθ πολογο zjmzHzpa. Ode za-τοληηθ Tpydu II, 12 KOjn>neoópa3HO οκρρκθζυ οοοτβθτοτβθηηοnapoĚ zojdochhx ηθκοηθζηζκοβ 5 βηθιιιηθγο z BHyTpeHHero3ΛΘΚΤρ0Μ3ΓΗΖΤ0Β ΖΛΖ HOCTOZHHUX MaPHZTOB 13, 14. AhO# 2,3MZTT6p 7 z ycKopHWTÉ Θζθκτρο# 8, a Taz&amp;e λθρ&amp;θτθλβ 10 jyizΗ00ΖΤΘΛΗ 0Λ0ΘΒ 9 ΖΜΘΙ0Τ ŽOpMy £ZCKOBHX ΚΟΛΘΕζ. B τρθτΒβΜ npzMepe ocyinecTBJíeHza (φζτ. 3) πολη2: ksto# odpa3y-θτοζ .UByMH KaTO.naMZ 15, 16 b φορΜθ zzckobhx κολθζ, τθκ ztoodpa3yeTcz KOJE>ueodpa3Hoe paspazpioe npocTpaHCTBO 4 c zpHMo-yrojiBHHM nonepezHUM οθζθηζθμ. Ha προτζβοπολοηηοζ pa3pH.ZH0-My npocTpaHCTBy 4 οτοροΗθ Kaxzoro KaTO.za 15,16 pacnozojseHaοοοτβθτοτβθηηο KOJCE,zeodpa3HaH napa nojnocmix ηθκοηθζηζκοβ 53Ji6KTpoMamzTa ζλζ ποοτοηηηογο μθγηζτθ 17, 18. Aho# 2,3mzt-Tep 7 z SKCTpaKzzoHHHÉ 3Λβκτροζ 8 βηπολξθηη b φορΜθ Tpydu;ΖθρπβτθΛΒ 10 jyix ηοοζτθλη ολοθβ 9 βηποληθή b φορΜθ Tpydu zZMeeT φopMy npz3MaTZzecK0Ě dozoBOž ηοΒθρχΗοοτζ.
BnycK nyzza zacTzz I, 3azzraHze z nojwepscaHze pa3pssa,zoHz-3azzH nyzza zacTzn I, pacnajiezze noBepxHOCTeS ποληχ KaTO-AOB, ZOHHan SKCTpaKIXHH Z ΠΟΚρΗΤΖΘ ΟΛΟΗΜΖ npozcxpw T3KZMne cnocodoM, zto z b nepsoM npzMepe ocymecTBHeHZH c τθμpaszzzzeM, zto ode κθτο.ληηθ Tpydzz II, 12 bo btopom npzMepeocymecTBJíeHZH z oda KaTO£a b φορ«θ zzckobux κολθζ 15, 16 bτρθτβθμ npzMepe οο^θοτβλθηζη MoryT coctohtl Z3 ρθθλζζηογοMaTepzaza z zto djiaro.zapz OTzejr&amp;HOMy peryHzpoBamro οζληΜ3Γηζτηηχ πολθζ b ρθθλζζηηχ MarazTax z nyTeM npziuiazuBaHZHΡΘ3λζζηηχ noTemzaJiOB uAI z uA^ κ KaTOfíaM οκοροοτΒ pac- - ΙΟ - HEUieHHH ΠΟΒΘΡΧΗΟΟΤΘΖ ΚΘΤΟΙξΟΒ Η 3ΤΗΜ JÍOJIH ΟΟΟΤΒΘΤΟΤΒγΚΒΙΘΓΟ 'KaTojíHoro MaTepnajta b nymce nacTim I κ HocHTejno ολοθβ 9MOI7T H3MSHHTBCH. ΠοορθβΟΤΒΟΜ Β3ρ23ΗΤ3 Ion-plating,onucaHHoro b nepBOM npHMepe ocymecTBJíeHHH, μογλεγ óhtl bh-jjejieHH, HanpHMep, TBepjwe, npospannae cjioh yrjiepo#a npncjiejiyKiHHX napaMeTpax:
MaTepnaji nojioro KaTojia: rpa$HT
ΒΒΘβθΗΗΗίί nynoK nacTHn: 90# μθτθη/ΙΟ# aproH ΛβΒΛβΗΗβ B npOOTpaHCTBe HaHeceHHScjioeB: p = 0,3 Ila'
pa3paflHoe HanpHseHHe: uA = 300 B
ycKopmcmee HanpHxeHHe: υβ = 100 B CKopocTL HapamHBaHHH cjioeB: 500 hm/mhh 11 ΦΟΡΜΥΤΙΑ Η30ΕΡΕΤΕΗΜΗ: 1. Cnocod £jih ηοηη33Ηηη nymca nacmi h bhcokogkopoct-ηοθ HamuieHHe npn πρημθηθηηη Η3βθοτηογο cpe^cTBa juih nojiy-ηθηηη BaxyyMa, BuycKa ra3a η/ηλη napa, jma nojiyneimaMarHHTHHX nojieS, a Tanze jma odecneneHHa Tona h Haapazeima,OTjmnaniiHSca: τθμ, ητο He&amp;Tpajn>HH&amp; ra naoTHHHo HOHH3HpoBaH—hhé ra3oodpasHHž b/™ napoodpa3HH33: nynoK nacran HanpaBJía-eTca nepe3 πολε± kstojí, b κοτοροΜ odpa3yeTca Heo^Hopojmoe,TyHHejieodpa3Hoe saMKHyToe μθγηητηοθ πολθ h H3 ra3opa3pa#-hoS ima3MH pa3pa#a πολογο KaTO.ua - κολβιχθβογο 3a3opa nacTLnynna HOHH3iapoBaHHHX nacTHn SKCTparnpyeTca h HanpaBJíaeTca
Ha ΗΟΟΗΤΘΛΒ. 2. Cnocod no nyHKTy I, OTjmnaiaiinSca τθΜ, ητο b nanecT-Be nynta πΑητττττ ηρΗΜβΗΗθτοΗ HHepTHHt ras η/ηλη ra3, κοτορκϋCO.HepKHT K3K MHHHMyM O.HHH ΚΟΜΠΟΗΘΗΤ Μ3ΤΘρΗ3Λ3 η/κΛΗ Μ3ΤΘρΗ8ΛnpnMecn mm ^empyramaž MaTepnaJi HaHocHMoro Ha ηοοητθλβ mmΒΚΛΒΤΊΟΘΜΟΓΟ B Hero ΟΛΟΗ. 3. Cnocod no nyHKTaM I h 2, oTjmnaziwacH τθμ, hto no-jmě naTO# coctoht hs μθτθρηβλθ cjioh mm hs κομποηθητη,ηληno ceKTopaM H3 ero κομποηθητ η/ηλη H3 MaTepnajia, npe£Ha3-HaneHHoro jyia cmraBa mm nempoBamia mm nonpHBaeTca hm. 4. Cnocod no nyHKTaM I #o 3, OTjmHaKnm&amp;cH τθμ, htoποληζ KaTO£ coctoht H3 ywiepona.H b nanecTBe nynna nacTHnπρημθηηθτοη ομθοβ MeTáš/aproH η/ηλη ποληπηκληπθοκηθ yrneBO-sopojm. 5. Cnocod no nyHKTaM I χο 4, oT^rnnanunScH τθμ, htonojma k3toa coctoht H3 ηηοτογο mm πρημθοηογο κρθμηηη h bKanecTBe ra3a πρημθηηθτοη cmíaH. 6. Cnocod no nyHKTaM I #o 5, OTHHnawfflca τθμ, hto yMecTa caMoro cmr&amp;Horo CHoca ποοτοηηηο ποΟθβληθτοη κβτοπΗΗΖ
MaTepnaji. 7. ycTpoňcTBO ,λλη H0HH3anHH nynKa naCTHU H BHCOKOCKOpOCT- 12- ΗΟΓΟ Η3ΠΗΛθΗΗΗ πρπ ΠρΠΜΘΗβΗΗΗ 'ρ83ΛΗΗΗΗΧ 3ΛθΚΤρ0Π0Β Η ΟρββΟΤΒΛλη πολτηθηηη μθγηητηογο πόλη β κολέήθβομ aasope, οτληηθβ-meecn τθμ, hto pa3pH£Hoe npocTpaacTBO (4) orpamrceHO πολημKaTO£OM (3), JCByXMepHHM aHO£OM (2), BHtíopOHHO CHCTeMOftSKCTpaKUHOHHHX ΘΛβΚΤρΟβΟΒ, ΟΟΟΤΟΗΠξβΖ H3 SMETTSpa (7) H yC-ΚΟρΗΧϋξθΓΟ ΘΛβΚΤρΟββ (8),ΗΤΟ nyHOK H3CTHH ΒΧΟ,ΖζΗΤ 0ΛΗΧΘ κOTyxMepHOMy aHO^y (2), hto θκοτρβκφίοΗΗΟθ HanpHxeHHe (υθ )ΠρΗΛΟΧβΗΟ Ha BHdopOHHO ρθΟΠΟΛΟΧΘΗΗΟΜ γΟΚΟρΗΚ^βΜ ΘΛβΚΤρΟΛΘ (8) ΗΛΗ ΗΘΠΟΟρβΛΟΤΒβΗΗΟ Ha ΗΟΟΗΤΘΛβ CJIOH (9) Η ΗΤΟ ΠΟΛΗ&amp;KaTO# (3) Tax oxpyseH πολεοηημη HaKOHeHHHKaMH (5) ojuioroΗΛΗ ΗβΟΚΟΛΒΚΗΧ ΜΘΓΗΗΤΟΒ, HTO ΠΟΒβρΧΗΟΟΤΒ KaTO^a ΠρθΗΗ3ΗΒ3-βτ caMO πο cede 33κρϋτοβ μβγξηίήοθ πολθ κολβπθβογο 3a3opa. 8. 7οτρο3οτΒθ corjiacHO nyHKTy 2, ‘óTJiHHaíoiijeecH τθΜ,hto pa3pHSHoe npocTpaHCTBO (4) pa3pana κολβπθβογο 3a3opa-ΠΟΛΟΓΟ KaTO.ua ΗΜΘΘΤ BHdopOHHO ΠΗΛΗΗΠρΗΗΘΟΚ^ φθρΜ7, φθρΜ7ΠΟΛΟΓΟ njimwpa, φορΜΥ ΥΟΘΗΘΗΗΟΓΟ KOHyCa, pOTaHnOHHO—3ΛΛΗΠ—THHecKyio ra npH3MaTHHecKyio, π ποτοκ nacTHU (I) προχο.ππτΗβρβ3 ΗβΓΟ Β ΟΟβΒΟΜ Η3Πρ3ΒΛβΗΗΗ, ΗΛΗ ΒΗΠΟΛΗβΗΟ Κ0ΛΒΙζβ00ρ83-ΗΟ C ΠρΗ3Μ3ΤΗΗβΟΚΗΜ, 3ΛΛΗΠΤΗΗβΟΚΗΜ ΗΛΗ ΤρβΠβΙζβΗΛΘΛΒΗΗΜ ΠΟ-ΠθρθΗΗΗΜ ΟβΗβΗΗβΜ Η nyHOK ΗΗΟΤΠΙξ (I) HpOXOflHT βΓΟ Β paflHa-ΛΒΗΟΜ ΗΘΠΡΘΒΛΘΗΗΗ. 9. 7οτρο3οτΒθ οογλβοηο nyHKTaM 7 2 8, ΟΤΛΗΗβΙΟΙΙΙββΟΗΤβΜ, ΗΤΟ ΗβΟΚΟΛΒΚΟ ΠΟΛΗΧ ΚβΤΟβΟΒ (3)·, ΚΟΤΟρΗβ OKpyseHH3aMKHyTHMH Π0ΛΗΧ3ΗΗΜΗ Η3Κ0ΗβΗΗΗΚ3ΜΗ (5) Ο£ΗΟΓΟ ΗΛΗ ΗβΟΚΟΛΒ—ΚΗΧ ΠΟΟΤΟΗΗΗΗΧ Μ3ΓΗΗΤ0Β ΗΛΗ 3ΛβΚΤρ0Μ3ΓΗΗΤ0Β (6), ρβΟΠΟΛΟΧβ-ηη napajLHejE&amp;Ho jipyr .npyry. ΙΟ. 7οτρο2οτΒθ no nyHKTaM 7 λο 9, οτΛΗΗβκχίζββοΗ τβΜ, htoΠΟΛΗβ KaTOflH (3) ΟΟΟΤΒΒΛβΗΗ H3 ΠΟΟΛβΛΟΒΘΤβΛΒΗΟ ρβΟΠΟΛΟΧβΗ-ΗΗΧ ΟΘΚΤΟρΟΒ, ΟβΚΤΟρΗ OKpyseHH BHdopOHHO ΠΟΛΕΟΗΗΜΗ ΗβΚΟΗβΗ-HHKaMH (5) ΟΟΟΤΒβΤΟΤΒΘΗΗΟ Ο£ΗΟΓΟ ΠΟΟΤΟΗΗΗΟΓ.Ο Μ3ΓΗΗΤ3 ΕΛΗ -9ΛβΚΤρθΜ3ΓΗΗΤ3 (6) Η BHdopOHHO ΠΟΛΓΙΘΒΤ ΟΛΗΗΘΚΟΒΗβ ΕΛΗ ρβ3-ΛΗΗΗΗβ, ΟΤΛβΛΒΗΟ ρθΓγΛΗργδΜΗΘ ΘΛβΚΤρΗΗβΟΚΗβ Π0ΤβΗΠΗ8ΛΗ. - υ- 11. ycTpoÉcTBO no nyHKTaM 7 χο 10, OTjmnanqeecH τθμ,HTO MarHHTHHfi ΠΟΤΟΚ B HOJIBCHHX ΗΘΚΟΗΘΗΗΗΚΘΧ (5) Κ8Η£0Γ0ΠΟΟΤΟΗΗΗΟΓΟ Μ3Π£ΗΤ3 1OT 97ΓΘΚΤρθΜ3ΓΗΗΤ3 (6) ΟΤ^ΘΛΒΗΟ peryjfflpyeM h ycTanaBJíHBaeM Ha paaraHHHe 3HaneHHH. 12. ϊοτροίίοτΒΟ no nyHKTaM 7 £0 II, OT^Eraarareecn τθμ,hto nojnocHHe ηηκοηθήηηκη (5) pacnojioxeHH c bosmojkhoctldnepeMemeraiH. 13. ycTpoScTBO no nyHKTaM 7 £0 12, OTjmnanneecji τθμ,ητο κ ycTpoficTBy ποακλβηθθτοη npncnocodJieHHe jyra nojiyneHHHajieKTpoHHoro nymca, njia3MeHHoro jjyna ran npe£BapnTejn>Ho0ΟΗ232ΌΟΒ3ΗΗΟΓΟ nyHKS BaCTHH JT ΗΤΟ 3,ΗΘΚΤρθ£ 3ΤΟΓΟ ΠρΗΟΠΟ-coÓJieHHH, JiesamnĚ bójih3h πολογο KaTO#a (3), npe£CTaBJiHeTCOdOÉ ΟΑΗΟΒρβΜΘΗΗΟ 3Η0Ίξ (2) pa3pHJ£ ΠΟΛΟΓΟ KaTO^a -KOJL&amp;neBoro 3a3opa. 14
AHH0TA1W ΙΪ3θόρθΤθΗΗθ KacaeTGH cnocoóa 2 ycTpoficTBa jvih ποη3γηθηζηΖ0ΗΖ3Ζρ0Β3ΗΗΗΧ ZyZKOB HaCTZH Z Η3ΗΘ0ΘΗΖΗ IIOCJie^íHHX Haηοοζτθπβ. Iíejn», a TaK&amp;e nojuiexamaH pemeHHE 3a;gaza z30Ópe-ΤΘΗΗΗ, 3aKjmraai0TCH b co3£aHZZ cnocoóa z ycTpo&amp;CTBa, koto-pue SaET B03M0HH0CTL HaHOCZTL CJIOZ C ÓOHLUIOfi CKOpOCTLIOBHdopozHO TaKse Ha óojiLinze noBepxHOCTZ z πο3βοηηιοτ yBejiz-HZTL EZOTHOCTL ΖΟΗΗΟΓΟ nyTKa ZHZ HaCTZ ΖΟΗΗΟΓΟ nyHKa, ΠΟ-na^aiccízx. Ha ηοοζτθηβ cjiosb.
ComiaCHO Ζ3Ο0ρθΤΘΗΖΕ HeSTpajEBHHB ZJIZ HaCTZHHO ZOHZ3ZpOBaH-HHe ra3Oodpa3Hne z/zzz napooÓpa3HHe nyzKZ nacTzn; npoBojyiT-ch zepe3 nojrnS KaTO£, κοτορκζ ozpyseH 3aMKHyTHMZ hojtochhmhHaKOHezHZKaMZ ο^ηογο khz ηθοκοηβκζχ ποοτοηηηηχ MarazroBZJLZ 3ΛΘΚΤρ0Μ3ΓΗΖΤ0Β. ΠρΖ ΠρΖΠΟΗΘΗΗΗ COOTBeTCTByKqerO Hanpz-ΗθΗΖΗ MeJKJQr ΠΟΠΗΜ KSTOHOM Z aHO£OM 3HaZHTeJILHaH ZSCTB nymcazaoTZix H0HZ3zpyeTCH b B03HHKaimeM paspsse nonoro KaTO.ua -KOJT&amp;neBoro 3a3opa. θκοτρβκΐίΖΗ zoHZszppBaHHHX zaoTzn ooymeoTBJíHeTCH c homoušeZOHHOŽ SKCTpaKHZOHHOS CZCŤéMLt ZOCpe^CTBOM ZpZJIOJKeHZH ycz.0-psimero HanpzseHHH Me&amp;sy ποπημ κητο^ομ z ηοοζτθηθμ οηοθβhjiz zocpejíCTBOM OTpzqaTezBHoro noporoBoro noTeHuzana 3JieK-ΤΡΖΉΘΟΚΖ Z30JIHp0BaHH0r0, ΜΟΗΤΖρΟΒΘΗΗΟΓΟ B KOHTaKTe C pa3-PHSHOÉ mia3M0S HOCHTeJIH CJIOeB. ΙΪ30<5ρθτθΗΖθ ιιρζμθηηθμο: ΜΗκροθζθκτροΗΖΚθ, yjyHmeHze CBOHCTBnoBspxHocTZ, yMeHLDieHze - zsHoca z 3amzTa οτ κορροβζζ.

Claims (13)

15 Předmět vynálezu Způsob ionizace proudu částic a velmi rychlého naprášeníza použití známého prostředku pro vytvoření vakua, propřívod plynu a/nebo páry, pro vytvoření magnetických polía rovněž pro zajištění proudu a napětí, vyznačující se tím,že se neutrální a/nebo parní proud částie vede dutou katodou,ve které se tvoří nehomogenní, tunelovité uzavřené magnet?.cképole a s plazmy plynného výboje duté katody-kruhové štěrbinyse část proudu ionizovaných částic extrahuje a vede na nosič.
2. Způsob podle bodu 1, vyznačující se tím, že se jako proudčástic použije inertní plyn a/nebo plyn, který obsahuje ales-poň jednu složku materiálu a/nebo příměsového materiálu nebolegovacího materiálu nanášeného na nosič nabo do něj uzavíra-ného.
3. Způsob podle bodů 1 a 2. vyznačující se tím, že dutákatoda sestává z materiálu vrstvy nebo složky, nebo sektorů ze složek materiálu a/nebo z materiálu určeného pro infudovánínebo legování nebo pokrytí.
4. Způsob podle bodů 1 až 3, vyznačující se tím, že dutákatoda sestává z uhlíku a jako proud částic se používá směsmethan/argon a/nebo polycyklické uhlovodíky.
5. Způsob podle bodů 1 až 4, vyznačující se tím, že dutákatoda sestává z čistého křemíku obsahujícího příměsi ajako plyn se používá sílán. 16
6. Způsob podle bodů 1 až 5, vyznačující se tím, že se namísto největšího snosu plynule přidává materiál katody.
7. Zařízení pro ionizací proudu částic a velmi rychlé naprá-šení za použití různých elektrod a prostředků pro vytvořenímagnetického pole v kruhové štěrbině, k provádění způsobupodle bodů 1 až 6, vyznačující se tím, že výbojový prostor /4/je ohraničen dutou katodou /3/, dvojité anody /2/, podlepotřeby soustavou extrakčních elektrod, sestávající z emitoru/7/ a urychlovací elektrody /8/, že proud částic se zavádíblíže k dvojité anodě /2/, že extrakční napětí /U-g/ je vloženona popřípadě přítomnou urychlovací elektrodu /8/ nebo přímo na nosíš vrstev /9/ a že dutá katoda /3/ je tak obklopenapólovými nástavci /5/ jednoho nebo několika magnetů, žeplochou katody proniká uzavřené magnetické pole kruhovéštěrbiny.
8. Zařízení podle bodu 2, vyznačující se tím, že výbojovýprostor /4/ výboje kruhové štěrbiny duté katody má válcovitýtvář, tvář dutého válce, komole kužele, rotačně-eliptickýnebo prizmatický a proud částic /1/ jím prochází ve směru osy,nebo je proveden prstencovitě s prizmatickým, eliptickým nebolichoběžníkovým průřezem a proud částic /1/ jím prochází v radiálním směru.
9. Zařízení podle bodů 7 a 8, vyznačující se tím, že vícedutých katod /3/ je obklopeno uzavřenými pólovými nástavci /5/jednoho nebo více permanentních magnetů nebo elektromagnetů /6/vzájemně paralelně umístěných. 17
10. Zařízení podle bodů 7 až 9, vyznačující se tím, že dutékatody /3/ jsou sestaveny ze za sebou jdoucích sektorů,sektory jsou obklopeny pólovými nástavci /3/ jednoho permanentního magnetu nebo elektromagnetu /6/ a získávají bud stejnénebo rozdílné, odděleně regulovatelné elektrické potenciály.
11. Zařízení podle bodů 7 až 10, vyznačující se tím, žemagnetický proud v pólových nástavcích /3/ každého permanent-ního magnetu nebo elektromagnetu /6/ je odděleně regulovatelnýa nastavitelný na různé hodnoty.
12. Zařízení podle bodů ? až 11, vyznačující se tím, žepólové nástavce /3/ jsou přemístitelné.
13. Zařízení podle bodů 7 až 32, vyznačující se tím, že kzařízení se připojuje zařízení pro získání elektronovéhopaprsku, plazmového paprsku nebo predionizovaného proudučástic a že elektroda tohoto zařízení ležící v blízkostiduté katody /3/ je současně anodou /2/ výboje duté katody-kruhové štěrbiny. 3 výkresy Uznáno vynálezem na základě výsledků expertizy, provedenéÚřadem pro vynálezectví a patentnictví, Berlín, DD
CS850579A 1978-12-18 1979-12-06 Method of ionisation of stream of particles and device to perform the method CS231558B1 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD20984678A DD141932B1 (de) 1978-12-18 1978-12-18 Verfahren und vorrichtung zur teilchenstromionisierung und hochratebeschichtung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CS231558B1 true CS231558B1 (en) 1984-12-14

Family

ID=5515900

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS850579A CS231558B1 (en) 1978-12-18 1979-12-06 Method of ionisation of stream of particles and device to perform the method

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JPS55123124A (cs)
CS (1) CS231558B1 (cs)
DD (1) DD141932B1 (cs)
DE (1) DE2949121A1 (cs)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4407712A (en) * 1982-06-01 1983-10-04 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Hollow cathode discharge source of metal vapor
JPS59179152A (ja) * 1983-03-31 1984-10-11 Agency Of Ind Science & Technol アモルファスシリコン半導体薄膜の製造方法
IT1211938B (it) * 1987-11-27 1989-11-08 Siv Soc Italiana Vetro Apparecchiatura e procedimento per la deposizione di uno strato sottile su un substrato trasparente, particolarmente per la realizzazione di vetrature
DE10111515A1 (de) * 2001-02-19 2002-08-14 Fraunhofer Ges Forschung Plasma-Beschichtungsanlage, Plasma-Beschichtungsverfahren und Verwendung des Verfahrens
WO2012177900A1 (en) 2011-06-22 2012-12-27 Research Triangle Institute, International Bipolar microelectronic device

Also Published As

Publication number Publication date
DD141932B1 (de) 1982-06-30
DD141932A1 (de) 1980-05-28
DE2949121A1 (de) 1980-06-26
JPS55123124A (en) 1980-09-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20190237291A1 (en) ION MILLING DEVICE, lON SOURCE, AND ION MILLING METHOD
US6246059B1 (en) Ion-beam source with virtual anode
JP2005339812A5 (cs)
Zolotukhin et al. Generation of uniform electron beam plasma in a dielectric flask at fore-vacuum pressures
US2892114A (en) Continuous plasma generator
TW429661B (en) Self-balancing shielded bipolar air ionizer
CS231558B1 (en) Method of ionisation of stream of particles and device to perform the method
Gavrilov et al. High-current pulse sources of broad beams of gas and metal ions for surface treatment
JPWO2007066574A1 (ja) シートプラズマ成膜装置
WO2007023489A1 (en) A plasma emitter and methods utilizing the same
US3890535A (en) Ion sources
Burdovitsin et al. Plasma generation in a long, narrow, metal tube by electron beam injection
US8563924B2 (en) Windowless ionization device
Proskurovsky et al. Droplets evaporation in vacuum arc plasma
Yukimura et al. Electrical characteristics of arc-free high-power pulsed sputtering glow plasma
Dewald et al. Plasma development in the low-pressure channel spark for pulsed intense electron beam generation
GB862835A (en) A device for producing energetic ions
Sámel et al. Experimental characterisation of atmospheric pressure electron gun
JP2018022701A (ja) イオンガン及びイオンミリング装置、イオンミリング方法
Topală et al. Theoretical and experimental study of mechanisms governing the occurrence of electric discharges in gases
Weis et al. A nozzle beam source for the production of metastable rare gas atoms
US3067347A (en) Reduction in tandem loading
US3446959A (en) Method of and apparatus for producing particles in a metastable state
JP3417176B2 (ja) イオン照射装置
NIKOLAEV PLASMA BUBBLES ON LANGMUIR PROBE IN AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA