CS225713B1 - Zařízení pro měření měrného odporu na povrchu monokrystalů křemíku - Google Patents

Abstract

Vynález ae týká zařízení pro měřeni měrného odporu na povrchu monokrystalů křemíku pro provozní poloautomatické měřeni monokrystalů křemíku s průměrem větíím než 37 mm. Na základové desce jsou uchyceny bočnice, na kterých jsou upevněny horní vodici lišty s koncovým vypínačem, dorazové lišty, dorazová ploška a vodicí lišta, na které jsou valivě uložený stavitelné dvojčinné pneumatické válce. Pístnice dvojčinných pneumatických válců, opatřené vyměnitelnými nástavci, jsou připojený na zdroj stlačeného vzduchu přes ovládací ventily, rozváděč a škrticí zpětný ventil. Ha horních vodicích lištách spojených, s aretační lištou se západkou a podáva.cí lištou je valivě uložen jezdec, na. kterém je v držáku kluzně uchycena měřici hlavice, připojená na zdroj stlačeného vzduchu. Součásti zařízení je ovládací jednotka která je elektricky spojená s ovládacími ventily přes tlačítko"upínáni", se solenoidovým ventilem a ventilem přes tlačítko "start" a se zápisovou jednotkou.

Description

Vynález se týká zařízení pro míření měrného odporu na povrchu Si monokrystalů pro provozní poloautomatické měření Si monokrystalů s průměrem větáím než 37 mm.

Měření měrného odporu na povrchu Si monokrystalů se provádí dvoubodovou metodou tak, že se měří napětí mezi dvěma břity měřicí hlavice při konstantním proudu procházejícím monokrystalem a měrný odpor se vypočítá z údajů o proudu, napětí, rozteči břitů a průměru monokrystalu. Výpočet měrného odporu je sice jednoduchý, značně však prodlužuje dobu měření a zabraňuje použití tiskárny. Automatizace dvoubodové metody je značně komplikovaná a nevyhovuje pro průměry monokrystalů větší než 50 mm.

Uvedené nevýhody odstraňuje zařízení pro měření měrného odporu na povrchu Si monokrystalů dle vynálezu, jehož podstatou je, že na základové desce jsou uchyceny bočnice, na kterých jsou upevněny horní vodicí lišty s koncovým vypínačem, dorazové lišty, dorazová ploška a vodicí lišta, na níž jsou valivě uloženy stavitelné dvojčinné pneumatické válce. Pístnice dvojčinných pneumatických válců, opatřené vyměnitelnými nástavci, jsou připojeny na zdroj stlačeného vzduchu přes ovládací ventily, rozváděč a škrticí zpětný ventil. Na horních vodicích lištách spojených s aretační lištou se západkou a podávači lištou, která je připojena na zdroj stlačeného vzduchu.přes solenoidový ventil, škrticí ventil a pneumatický válec, je valivě uložen jezdec, na němž je v držáku kluzně uchycena měřicí hlavice, připojená na zdroj stlačeného vzduchu přes ventil, zpětný ventil a jednočinný pneumatický válec.‘Součásti zařízení pro měření měrného odporu na povrchu Si monokrystalů je ovládací jednotka, která je elektricky propojena s ovládacími ventily přes tlačítko upínání, se solenoidovým ventilem a ventilem přes tlačítko start a se zápisovou jednotkou.

Příklad provedení zařízení a jeho funkce je vysvětlena pomocí výkresů. Obr. 1 znázorňuje nárys zařízení, obr. 2 upínací část zařízení a obr. 3 schematicky znázorňuje ovládací prvky zařízení.

Na základové desce χ jsou uchyceny bočnice 2_, na nichž jsou upevněny horní vodicí lišty i ³ koncovým vypínačem 29. dorazové lišty χ a dorazová ploška 28. Na spodní části základové desky je ukotvena vodicí lišta 6., na niž jsou valivě uloženy stavitelné dvojčinné pneumatické válce X s vyměnitelnými nástavci 8. Pístnice dvojčinných pneumatických válců X je připojena na zdroj stlačeného vzduchu £ přes ovládací ventil 1 0. rozváděč XX a škrticí zpětné vnetily 12. Na horních vodicích lištách χ suvně spojených s podávači lištou 17 a aretační lištou 19 se západkou 18 je valivě uložen jezdec 1 3. Podávači lišta je připojena na zdroj stlačeného vzduchu £ přes solenoidový ventil 1 5. škrticí ventil 1 6 a pneumatický válec 24. Na jezdci 13 je v držáku kluzně uchycena měřicí hlavice 21 . připojená na zdroj stlačeného vzduchu £ přes ventil 23. zpětný ventil 22 a jednočinný pneumatický válec 20. Součástí zeřízení je ovládací jednotka 25. která je elektricky spojená s ovládacími ventily 10 přes tlačítko upínání X, se solenoidovým ventilem 15 a ventilem 23 přes tlačítko start i4 se zápisovou jednotkou 27.

Monokrystal 26 se vloží na vyměnitelné nástavce 8 tak, že se začátek krystalu dotlačí na dorazovou plošku 28. Zmáčknutím tlačítka upínání χ vyměnitelné nástavce X přitisknou monokrystal 26 na dorazové lišty χ. Jezdec 13 s měřicí hlavicí 21 se posune do bodu měření. Po zmáčknutí tlačítka start 14 se měřicí hlavice 21 přitlačí na monokrystal 26. Současně se uvede v činnost ovládací jednotka 25. která zajistí postupně měření měrného odporu v bodě měření, záznam naměřených hodnot zápisovou jednotkou 27. zvednutí hlavice XX, přesun jezdce 13 do dalšího bodu měření a vydá povel k opakování pracovního cyklu. Cyklus měření je ukončen vypnutím tlačítka start 14 nebo nastavitelným koncovým vypínačem 29. Opětovným zmáčknutím tlačítka upínání χ se monokrystal 26 uvolní a ručně vyjme ze zařízení.

Zařízení lze využít pro měření měrného odporu polovodičových monokrystalů, zejména Si monokrystalů.

Claims (2)

1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU

   1. Zařízení pro měření měrného odporu na povrchu monokrystalů křemíku, vyznačené tím, že na základové desce (1) jsou uchyceny bočnice (2), na kterých jsou upevněny horní vodicí lišty (3) s koncovým vypínačem (29), dorazové lišty (5), dorazová ploška (28) a vodicí'lišta (6), na které jsou velivě uloženy stavitelné dvojčinné válce (7), jejichž pístnice, opatřené vyměnitelnými nástavci (8), jsou připojeny na zdroj stlačeného vzduchu (4) přes ovládací ventily (10), rozváděč (11) a škrticí zpětný ventil (12), přičemž na horních vodicích lištách (3) spojených s aretační lištou (19) se západkou (18) a podávači lištou (17), které je připojena na zdroj stlačeného vzduchu (4) přes solenoidový ventil (15), škrticí ventil (16) a pneumatický válec (24), je valivě uložen jezdec (13), na kterém je v držáku kluzně uchycena měřicí hlavice (21), připojená na zdroj stlačeného vzduchu (4) přes ventil (23), zpětný ventil (22) a jednočinný pneumatický válec (20).
2. 2, Zařízení pro měření měrného odporu na povrchu monokrystalů křemíku podle bodu 1, vyznačené tím, že ovládací ventily (10) jsou elektricky propojeny s tlačítkem upínání (9) ovládací jednotky (25) a solenoidový ventil (15) a ventil (23) je spojen s tlačítkem start (14), přičemž ovládací jednotka (25) je propojena se zápisovou jednotkou (27).