CS219227B1 - Vibrační způsob čištění povrchu výrobků - Google Patents

Abstract

Vynález se týká vibračního způsobu čištění povrchu výrobků, zejména polovodičových destiček po různém stupni opracování a zařízení pro provádění způsobu čistění. Účelem vynálezu je zvýšení kapacity čisticího* zařízení a. zlepšení kvality povrchu čištěného výrobku. Uvedeného účelu se dosáhne použitím vibračního způsobu čištění povrchu výrobků, jehož podstatou je vložení výrobků v prostředí čisticího média na jednu nebo* mezi dvě pracoivní plochy tvořené potahem z vhodného* měkkého materiálu a vibrujícími frekvencí menší než 1000 Hz.

Description

Vynález se týká vibračního způsobu čištění povrchu výrobků, zejména polovodičových destiček po různém stupni opracování a zařízení pro provádění způsobu čistění.

Účelem vynálezu je zvýšení kapacity čisticího* zařízení a. zlepšení kvality povrchu čištěného výrobku.

Uvedeného účelu se dosáhne použitím vibračního způsobu čištění povrchu výrobků, jehož podstatou je vložení výrobků v prostředí čisticího média na jednu nebo* mezi dvě pracoivní plochy tvořené potahem z vhodného* měkkého materiálu a vibrujícími frekvencí menší než 1000 Hz.

Vynález se týká vibračního způsobu čištění povrchu výrobků, zejména póvrchu polovodičových destiček po různém stupni opracování broušením, řezáním a leštěním.

Pro čištění povrchu výrobků jsou používány metody, jež používají ultrazvukové pole šířené pomocí měničů do kapalného popřípadě plynného prostředí vhodného média, Výrobky případně polotovary jsou vkládány do nosníků, se kterými jso-u přenášeny do nádoby, kde je umístěn buď čisticí roztok nebo páry čisticího roztoku. Ultrazvukové pole je šířeno¹ do objemu nádoby ze dna nebo z některé ze stěn nádoby, kde je umístěn jeden nebo- více měničů. Během čisticího procesu v závislosti na fyzikálních podmínkách dochází k odstraňování části nečistot s povrchu výrobků nebo* polotovarů. Vzhledem k tomu, že ultrazvukové pole je v nádobě značně nehomogenní, je nutno s noisníky pohybovat — i toto však je nedostačující a proto se přešlo k jednotlivě volně loženým výrobkům na dně čisticí nádoby, v některých případech podložených jemným sítem. Touto úpravou byla sice zlepšena kvalita povrchu čištěných výrobků, ale zároveň došlo- ke značnému snížení kapacity zařízení. Sítko, popřípadě jiný vhodný přípravek, musí být voleno tak, aby nenarušovalo nežádoucím způsobem čištěný poýrch. Výrobky se musí vystavovat působení ultrazvukového po-le ze všech čištěných stran, čímž je značně snížena kapacita zařízení. V některých případech se na čištění hrubých nečistot používalo ruční omývání tamponem nebo kartáčem v tekoucí čisticí látce.

Výše uvedené nedostatky jsou odstraněny vibračními způsobem čištění povrchu výrobků podle vynálezu, jehož podstatou je, že se výrobky v prostředí čisticího média přitlačují na jednu nebo- mezi dvě pracovní plochy, které vibrují složeným pohybem frekvencí menší než lOiOíO Hz. Přítlak na čištěný výrobek je možno definovaně měnit. Pracovní plochy jsou tvořeny potahem z měkkého materiálu například sametu. Výrobky je možno- též vkládat do oddělovacího přípravku s otvory, který zamezuje bočnímu styku výrobků.

Vibračním způsobem čištění se dosáhne dokonalejšího odstranění nečistot s poVrchu výrobků. Čisticí proces je zvýrazněn použitím vhodného potahu vibrujících pracovních' ploch, který změkčuje vibrace a s pomocí čisticího roztoku vyplachuje členitý po-vrch výrobků nebo polotovarů po různém stupni opracování. Na rozdíl od ultrazvukového¹ pole dochází k mechanickému vymývání nečistot s povrchu výrobků.

Na výkresu je znázorněn příklad způsobu uspořádání při čištění a zařízení v řezu. Příklad konkrétního provedení

Generátor kmitů 1, na kterém je umístěna nádoba pro čisticí roztok 6, má kmitočet odvožen od sítového napětí 220 V 50 Hz. Polovodičové destičky jsou vkládány vedle sebe nebo do- oddělovacího- přípravku 9 na dolní pracovní plochu 3 tvořenou potahem ze sametu, upevněným na vibračním kotouči 2 tak, aby zaplnily celou pracovní plochu

3. Po narovnání se destičky 8 přelijí 101% vodným roztokem saponátu tak, aby výškahladiny byla nad destičkami 8 cca 10 mm. Na narovnané a zalité delstičky 8 je vložena horní přítlačná pracovní plocha 5, tvořená potahem ze sametu a upevíněná na přítlačném kotouči 7. Spuštěním generátoru 1, který je uspořádán tak, že vystupující polej je točivé,, dochází pak ke směrovaným vibracím pracovní plochy 3, frekvencí 1GQ Hz. Přes tyto- prvky dochází k pohybu polovodičových destiček 8 po pracóvní ploše 3 a k přenosu vibrací a točivého pohybu na horní přítlačnou pracovní plochu S. Přítlakem 7 g/ /cm² horní přítlačné pracovní plochy 5 á nastavením generátoru kmitů 1 na 501% až 60 procent výkonu je daná čisticí intenzita. Vlastní čisticí proces je nastaven na dobu 3 min.

Claims (4)

1. pRedmEt

   1. Vibrační způsob čištění povrchu výrobků, zejména polovodičových deštiček v prostředí čisticího- média, vyznačený tím, že se výrobky (8) přitlačují na pracovní plochu (3) vibrující složeným pohybem frekvencí menší.. než 1000 Hz.
2. 2. Vibrační způsob čištění povrchu výrobků podle b-odu 1 vyznačený tím, že se výrobky (8] vkládali mezi dvě vibrující pracovní plochy (3, 5), jejichž přítlak na čištěný výrobek (8] je definovaně měněn v rolzmezí 1 až 100 ig/cm²;

   vynalezu
3. 3. Zařízení ip.ro provádění -vibračního způsobu čištění podle bodů 1 a 2, složené z generátoru kmitů, přítlačného zařízení a pracovních ploch, vyznačené tím, že pracovní plochy (3, 5). jsou tvořeny potahem z měkkého materiálu, např. sametu.
4. 4. Zařízení pro provádění vibračního způsobu čištění podle bodu 3 vyznačené tím, že je opatřeno oddělovacím přípravkem (9) pro vkládání výrobků (8).