CS213034B1 - Způsob přípravy fotocitlivých tenkých vrstev CdS^e-j^ - Google Patents
Způsob přípravy fotocitlivých tenkých vrstev CdS^e-j^ Download PDFInfo
- Publication number
- CS213034B1 CS213034B1 CS604880A CS604880A CS213034B1 CS 213034 B1 CS213034 B1 CS 213034B1 CS 604880 A CS604880 A CS 604880A CS 604880 A CS604880 A CS 604880A CS 213034 B1 CS213034 B1 CS 213034B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- layer
- chloride
- cds
- periodic table
- preparation
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 6
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 229910021380 Manganese Chloride Inorganic materials 0.000 claims description 3
- GLFNIEUTAYBVOC-UHFFFAOYSA-L Manganese chloride Chemical group Cl[Mn]Cl GLFNIEUTAYBVOC-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- 229940099607 manganese chloride Drugs 0.000 claims description 3
- 235000002867 manganese chloride Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000011565 manganese chloride Substances 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 claims description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 2
- -1 silver ions Chemical class 0.000 claims description 2
- 229910021381 transition metal chloride Inorganic materials 0.000 claims description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 6
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- 229910021591 Copper(I) chloride Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M copper(I) chloride Chemical compound [Cu]Cl OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 101710134784 Agnoprotein Proteins 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 240000005979 Hordeum vulgare Species 0.000 description 1
- 235000007340 Hordeum vulgare Nutrition 0.000 description 1
- AVXURJPOCDRRFD-UHFFFAOYSA-N Hydroxylamine Chemical compound ON AVXURJPOCDRRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003081 coactivator Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229940045803 cuprous chloride Drugs 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 230000009969 flowable effect Effects 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 150000003346 selenoethers Chemical class 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000005496 tempering Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
Description
Vynález se týká způsobu přípravy fotocitlivých tenkých vrstev CdSxSe^_x, kde 0 x 1, při němž se vrstvy na podložkách ponořují do nejméne jednoho rozteku, obsahujícího ionty kovů, na definovanou dobu při definované teplotě a zpracovávají v kvasiuzavřeném prostoru.
Vynález sleduje dosaženi žádané závislosti průběhu odporu vrsty na intenzitě osvětlení v širokém oboru intenzit, při současném splnění dalších požadavků na rychlou relaxaci fotoproudu, malou závislost na předchozím průběhu osvětlení, slabou závislost odporu ns změně teploty a dlouhodobou stabilitu všech vlastností fotocitlivých vrstev, což jsou podmínky nutné například pro činnost lineárního fotoodporu ve fotografickém přístroji s expoziční automatikou.
Jsou známy různé způsoby přípravy fotocitlivých vrstev 0ά3χΗβ^_χ. Všechny tyto způsoby jsou založeny na zavedení aktivátoru, což je prvek z podskupiny Ib periodické tabulky prvků do vrstvy CdSxSe^_x za spoluúčasti koaktivátoru, což je prvek .ze VII hlavní skupiny periodické tabulky prvků. Některá známá řešení doporučují přidání dalších přechodných kovů za uče lem zlepšení parametrů fotocitlivých vrstev. Aktivátor a koaktivátor jsou zavedeny do vrstvy CdSxSe^ χ bu3 přímo při tvorbě vrstvy napařováním, sintrací, vysrážením či nastříkáním, nebo přiložením již hotové vrstvy na aktivační směs například složenou z CdS, CdCl^, a CuClg s následující temperaíí v peci.
213 034
Dosud používané způsoby mají řadu nevýhod, jako je nízká reprodukovetelnast v hromadné výrobě, zavádí-li se příměs současně s tvorbou vrstvy, případné při druhém způsobu je obtížně kontrolovatelný vliv podložky, na níž je rozprostřena aktivní směs, nebo je nutno použít silnou vrstvu aktivační srresi, což je neekonomické, nebol obvykle potřebná hmotnost směsi je více než stonásobné vyšší než hmotnost fotocitlivé vrstvy. Známý způsob neodstraňuje všechny nevýhody, používá ještě poměrně značné množství aktivační směsi a fotocitlivé vrstvy nesplňují ještě všechny nároky kladené na čidlo do expoziční automatiky fotografického přístroje, především ještě vykazují značnou závislost na předcházejícím osvětlení.
Uvedené nedostatky odstraňuje způsob přípravy fotocitlivých tenkých vrstev CdS^^_x, kde 0 χ 1, při němž se vrstvy na podložkách ponořují do nejméně jednoho roztoku, obsahujícího ionty kovů, na definovanou dobu při definované teplotě a zpracovávají v kvasiuzavreném prostoru, podle vynálezu.
Jeho podstata spočívá v tom, že se použije roztek, obsahující ionty mědi nebo stříbra a zpracování v kvasiuzevřeném prostoru se provádí za přítomnosti chloridu přechodného kovu skupiny železa a/nebo halogenidů II.b podskupiny periodické tebulky s následnou temperaci ve vzniklých parách.
Podle dalšího význaku vynálezu se jako halogen použije chlorid manganu.
Podstata zařízení podle vynálezu spočívá v tom, že kvasiuzavřený prostor je tvořen dvojicemi podložek s nanesenými vrstvami, předem spečenými v rozteku chloridu přechodného kovu skupiny železa e/nebo halogenidů II.b podskupiny periodické tabulky, přiloženými aktivní vrstvou směrem k sobě.
Vynález umožňuje velmi přesné zavedeni definovaného množství aktivátoru, nebol zde dochází k definované chemické reakci a vytvoření vrstvy sirníku nebo selenidu příslušného kovu na povrchu každého fotoodporu. Způsob déle umožňuje velmi jednoduché zavedení koaktivátoru do vrstvy β spučasně rozdifundování aktivátoru ve vrstvě a rekrystalizaci vrstvy. Způsob je technologicky velmi jednoduchý, zamezuje nežádoucí znečištění vrstvy difúzí nevhodných příměsí například z podložní destičky pro umístění aktivační směsi, nebol fotocitlivé vrstvy (fotoodpory) nepřicházejí aktivní vrstvou polovodiče 063χΰβ^_χ do styku s podložní keramikou či jiným materiálem, na n=mž jsou vsunovány do temperační pece. Způsob odstraňuje nutnost použít podsypové směsi, což představuje značnou úsporu drahého materiálu, přičemž parametry fotoodporů zůstávají velmi dobře reprodukovatelné.
Způsobem a zařízením podle vynálezu je zjednodušen technologický proces, dosažena úsporo materiálu, zlepšeny fyzikální vlastnosti fotocitlivých vrstpv, především je zvýšena rychlost relaxace fotoproudu, snížena závislost na předcházejícím osvětlení a zvýšena reprodukovatelnost fyzikálních parametrů vrstev. Praktické použití navrhovaného technologického postupu je zřejmé z následujícího příkladu
213 034
Příklad
Na zabroušených keramických podložkách z ječné strany napařené vrstvy CdSQ g5^eymo5 síly l,4yum byly ponořeny na 30 sekund do 75 °C teplého roztoku chloridu měSného CuCl a hydrexylsminhydrochloridu v destilované vodě, koncentrace roztoku 5,2 mg CuCl a 0,25 g hydrexylaminhydroehleridu na jden litr roztoku. Po oplachu byly vrstvy ponořeny na 1 minutu de 75 ®G teplého roztoku dusičnanu stříbrného AgNO^ v destilované vodě, koncentrace roztoku 0,15 mg AgNO^ na jden litr reztoku.
Pe osušení vrstev následoval ponor napařených vrstev cdsxSei_x do roztoku chloridu manganatéhe v destilované vodě, koncentrace roztoku byla 400 g tónCl2.4 H20 na jeden litr roztoku. Po zhruba jedné minutě jsou vrstvy vyjmuty z roztoku, osušeny volným přiložením na filtrační papír a naskládány na křemennou podložku vždy dva a dva na sebe, napařenou vrstvou k sobě tak, že se vrstvy CdSQ napařené na keramických podložkách dotýkají po celé ploše jedna druhé. Následuje temperace 30 minut při 530 °C. Tímto je proces přípravy fotocitlivých tenkých vrstev ukončen a na vrstvu se napaří indiové elektrody. 1ři použití uvedeného postupu a uvedených koncentrací roztoků se dostanou fotoodpory s přibližně lineární závislostí odporu na osvětlení v rozsahu 0,1 až 100 lux, s rychlou relaxací fotoproudu a malou závislostí odporu na předcházejícím osvite s nízkou závislostí odporu na teplotě.
Změnou úrovně koncentrace jednotlivých roztoků a výběrem vhodných koaktivátorů lze dosáhnout různé požadované závislosti odporu na osvětlení a optimalizovat ostatní fyzikální parametry fotocitlivých vrstev podle potřeb dané aplikace.
Výše uvedený technologický postup není omezen jen na přípravu fotoodporů pro fotografické účely, je možné jej a výhodou použít i na přípravu fotocitlivých vrstev na bázi CdSxSe1_x, kde 0 s x s 1 pro černobílou a barevnou xerografii, pro detektory a systémy detektorů ultrafialového, viditelného a infračerveného záření, pro optické snímací elektronky a sluneční fotovoltaické články.
Claims (3)
1. Způsob přípravy fotocitlivých tenkých vrstev CdSxSe-^_x>kde 0-x-l, při němž se vrstvy nanesené na podložkách ponořují do nejméně jednoho roztoku, obsahujícího ionty kovů, na definovanou dobu při definované teplotě a zpracovávají v kvasiuzavřeném prostoru, vyznačující se tím, že se použije roztok, obsahující ionty mědi nebo stříbra a zpracování v kvasiuzavřeném prostoru se provádí za přítomnosti chloridu přechodného kovu skupiny železa a/ nebo halogenidů II b podskupiny periodické tabulky s následnou temperaci ve vzniklých parách
2. Způsob podle bodu 1 vyznačující se tím,že se jako chlorid použije chlorid manganu.
3. Zařízení k provádění způsobů podle bodů 1 a 2 vyznačené tím, že kvasiuzavřený prostor je tvořen dvojicemi podložek s nanesenými vrstvami, předem smočenými v roztoku chloridu přeChadného kovu skupiny železa a/nebo halogenidů II b podskupiny periodické tabulky, přiloženými aktivní vrstvou směrem k sobě.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS604880A CS213034B1 (cs) | 1980-09-05 | 1980-09-05 | Způsob přípravy fotocitlivých tenkých vrstev CdS^e-j^ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS604880A CS213034B1 (cs) | 1980-09-05 | 1980-09-05 | Způsob přípravy fotocitlivých tenkých vrstev CdS^e-j^ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS213034B1 true CS213034B1 (cs) | 1982-03-26 |
Family
ID=5406645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS604880A CS213034B1 (cs) | 1980-09-05 | 1980-09-05 | Způsob přípravy fotocitlivých tenkých vrstev CdS^e-j^ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS213034B1 (cs) |
-
1980
- 1980-09-05 CS CS604880A patent/CS213034B1/cs unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB820547A (en) | Sintered photoconducting layers | |
| US3607388A (en) | Method of preparing photoconductive layers on substrates | |
| GB1407998A (en) | Method of producing an image in a layer of imaging material | |
| US2844493A (en) | High resistance photoconductor | |
| US2919212A (en) | Electrically conducting glass and method for producing same | |
| CS213034B1 (cs) | Způsob přípravy fotocitlivých tenkých vrstev CdS^e-j^ | |
| US2997408A (en) | Process for producing photoconductive cadmium sulfide | |
| US3636492A (en) | Sintered semiconductor film and method of manufacturing same | |
| DE2250184A1 (de) | Optisches relais, das ein photoleitendes element enthaelt | |
| GB1141944A (en) | Photoconductors | |
| US3357857A (en) | Method of passivating supports for semiconductor sulphides, selenides and tellurides | |
| JPS6149483A (ja) | 光導電性薄膜の製造方法 | |
| US3519480A (en) | Process for treating photoconductive cadmium sulfide layers | |
| SU370278A1 (ru) | Способ получения фоточувствительпых слоев | |
| SU567159A1 (ru) | Способ фотоочувствлени полупроводниковых пленок | |
| US2861903A (en) | Method of forming photoresistive coatings and composition | |
| CN109071326A (zh) | 包括利用温度控制形成的金属岛层的涂覆制品,和/或其制作方法 | |
| Garcia et al. | CdSe: In‐In2 O 3 Coatings with n‐Type Conductivity Produced by Air Annealing of CdSe‐In Thin Films | |
| JPH0719902B2 (ja) | 光センサの製造方法 | |
| US3431134A (en) | Method of activation of phosphor | |
| SU1093012A1 (ru) | Устройство дл нанесени покрытий в вакууме | |
| JPS5934672A (ja) | 光導電性薄膜の製造方法 | |
| JPS6050075B2 (ja) | 光導電性膜の活性化方法 | |
| JP2004083952A (ja) | 酸化スズ膜の製造方法 | |
| JPS54102998A (en) | Display unit and its manufacture |