CS212355B1 - Spósob určenia miesta merania pri meraní profilu motívov integrovaných obvodov pevnej fáze dotykovým profilografom - Google Patents
Spósob určenia miesta merania pri meraní profilu motívov integrovaných obvodov pevnej fáze dotykovým profilografom Download PDFInfo
- Publication number
- CS212355B1 CS212355B1 CS894678A CS894678A CS212355B1 CS 212355 B1 CS212355 B1 CS 212355B1 CS 894678 A CS894678 A CS 894678A CS 894678 A CS894678 A CS 894678A CS 212355 B1 CS212355 B1 CS 212355B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- measurement
- profilograph
- profile
- solid phase
- measured
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
ČESKOSLOVENSKA SOCIALISTICKÁ
REPUBLIKA ( 1» )
POPIS VYNALEZU
K AUTORSKÉMU OSVEDČENIU 212355 (II) (Bl)
(22) Přihlášené 27 12 1978(21) (PV 8946-78) (51) Im. <;i.3G 0, B 7/28 (40) Zveřejněné 31 03 81
ÚŘAD PRO VYNÁLEZY (45) Vydané 15 07 84
A OBJEVY (75)
Autor vynálezu SKÁKALA LEONARD ing. CSc., KRENN JÁN, MATES PAVOL ing. , BRATISLAVA (54)Spósob určenia miesta merania pri meraní profilu motívov integrovanýchobvodov pevnej fáze dotykovým profilografom
Vynález sa týká elektrotechnickéhopriemvslu. Učelom vynálezu je možnost! přesnéhourčenia miesta merania profilu motívov in-tegrovaných obvodov pevnej fáze dotykovýmprofilografom.
Uvedeného účelu sa dosiahng použitímpomocnej nástavnej doštičky s měkkým povr-chom na přesné zistenie dráhy snímaciehohrotu. Dráha hrotu profilografu sa najskčrvyznačí v makkom povrchu pomocnej nástavnejdoštičky. Potom záměrný kříž mikroskopu sastotožní se stopou snímacieho hrotu na po-mocnej nástavnej doštičke. Záměnou pomocnejnástavnej doštičky za meraný objekt mčžemepreene nastavit požadované miesto meraniaprofilu jeho stotožnením so záměrným krí-žom mikroskopu.
Vynález je možné využit i v žalšíchodboroch nérodného hospodárstva. A to vša-de tam, kde sa používajú dotykové profilo-grafy.
212355
Claims (4)
1 212355 Vynález sa týká spísobu určenia miesta merania pri merani profilu motívov integrova-ných obvodov pevnej fáze dotykovým profilografom. Doteraz známe spísoby merania spočivajú najma vo využiti běžných mikroskópov, ktorýchnevýhodou je obmedzená rozlišovacia schopnost daná aparatúrou objektivu, interferenčnýchmikroskopov, s ktorými pie je možné merať řízne svetlocitlivé vrstvy, ktoré vytvárajd pa-razitně obrazce a élipsometrický spísob, ktorý u nás dosahuje rozlišenie detailov len asi3 x 50 yum. Tieto nevýhody odstraňuje navrhovaný spÍ30b merania profilu. Spísob určenia miestamerania pri merani profilu motivov integrovaných obvodov pevnej fáze dotykovým profilogra-fom spočívá v tom, že dráha hrotu profilografu sa najskír vyznačí v makkom povrchu pomocnéjnástavnej doštičky a stotožní so záměrným krížom mikroskopu, do ktorého sa po záměně pomoc-nej nástavnej doštičky za meraný objekt, nastaví požadované miesto merania profilu motivuintegrovaného obvodu pevnej fáze. Makký povrch pomocnej nástavnej doštičky je možné získatnapříklad začadením skla. Použitím pomocnej nástavnej doštičky je možné velmi presne nastavit požadované miestómerania a možnost odčítania profilu zvoleného miesta s rozlišovaciou schopnostou až do0,01yum, áalej v možnosti merania jak tvrdých, tak aj makkýeh vrstiev například svetloeit-livých roztokov, ktoré sa vyskytujú pri technologii výroby integrovaných obvodov pevnejfáze. lnou výhodou je prakticky neobmedzeriý merací rozsah daný volbou vertikélneho zvačše-nia dotykového profilografu. Příklad navrhovaného spísobu je zobrazený na priloženom výkrese, kde značí obr. 1dotykový profilograf doplněný mikroskopom; obr.
2 detail predmetu, ktorý sa bude merať,obr.
3 rez meraným predmetom, obr, 4 pídorys nástavné doštičky s vyznačenou stopou po sníma-com hrote. Podlá obr. 1 je meraný predmet 2 položený na mikrometrickom meracom stolíku 4, kterýje umiestnený na predmetovom stole 2 dotykového profilografu 12. Na špeciálnom výklopnomstojane 6 s nastavitelným dorazom 2 je umiestnený běžný mikroskop Snímací hrot 2 přejde po nástavnej doštičke 8 (obr. 3) a zanechá na jej makkom povr-chu úzku stopu 15 (obr.
4). Na túto stopu, vytvořená snímacím hrotom 2 sa nastaví záměrnýkříž 10. Po záměně meraného predmetu 2- za pomocná nástavná doštičku 8 sa pomocou mikromet-rického stolíku 4 nastaví zvolený motiv 2 na predmete 2 do záměrného kríža 10 (obr. 2). Pri spustení meřacieho cyklu, pri ktorom sa snímací hrot 2 pohybuje rovnoměrnou rýchlos-ťou po nastavenom mieste, sa meraný profil znázorní na grafickom zázname 1 i. Popísaný spísob nastavenia miesta merania je možné využit aj při merani profilu inýchpredmetov. PREDMET VYNÁLEZU Spísob určenia miesta merania při merani profilu motívov integrovaných obvodov pevnejfáze dotykovým profilogramom vyznačujúci sa tým, že dráha hrotu profilografu sa naskír vy-značí v makkom povrchu pomocnej nástavnej doštičky a stotožní so záměrným krížom mikrosko-pu, do ktorého sa po záměně pomocnej nástavnej doštičky za meraný objekt, nastaví požado-vané miesto merania profilu motivu integrovaného obvodu pevnej fáze. 1 list výkresov Severografia. n. p., závod 7, Most
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS894678A CS212355B1 (sk) | 1978-12-27 | 1978-12-27 | Spósob určenia miesta merania pri meraní profilu motívov integrovaných obvodov pevnej fáze dotykovým profilografom |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS894678A CS212355B1 (sk) | 1978-12-27 | 1978-12-27 | Spósob určenia miesta merania pri meraní profilu motívov integrovaných obvodov pevnej fáze dotykovým profilografom |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS212355B1 true CS212355B1 (sk) | 1982-03-26 |
Family
ID=5440727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS894678A CS212355B1 (sk) | 1978-12-27 | 1978-12-27 | Spósob určenia miesta merania pri meraní profilu motívov integrovaných obvodov pevnej fáze dotykovým profilografom |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS212355B1 (cs) |
-
1978
- 1978-12-27 CS CS894678A patent/CS212355B1/cs unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100395517C (zh) | 一种三维形状测量的传感装置及其测量方法 | |
| EP1407224B1 (de) | Verfahren zur messung von oberflächeneigenschaften sowie koordinatenmessgerät | |
| JP2000021766A5 (cs) | ||
| CN111207671A (zh) | 位置标定方法和位置标定装置 | |
| CN209147920U (zh) | 一种表面全场微观三维形貌自动检测仪 | |
| CN105865389A (zh) | 一种微纳米标准样板及其循迹方法 | |
| CS212355B1 (sk) | Spósob určenia miesta merania pri meraní profilu motívov integrovaných obvodov pevnej fáze dotykovým profilografom | |
| CN100527375C (zh) | 一种用于边缘球状物去除检测的测试晶圆及检测方法 | |
| KR940012479A (ko) | 회로 패턴의 치수 측정 방법 | |
| CN103438803A (zh) | 计算机视觉技术跨视场精确测量矩形零件尺寸的方法 | |
| CN109724493A (zh) | 一种三脚针型防火涂料湿膜厚度测量仪及其测量方法 | |
| TW201104213A (en) | Surface detection of shovel accessory and automatic quality detection apparatus | |
| DE102007036815B4 (de) | Verfahren zur Bestimmung des durch die Substrattopologie und eine Koordinaten-Messmaschine bedingten systematischen Fehlers bei der Vermesung von Positionen von Kanten von Strukturen eines Substrats | |
| JPS5661604A (en) | Range finder in scanning electronic microscope | |
| US3137942A (en) | Coordinated inspection device | |
| CN104792260A (zh) | 指示光栅精确调节与粘接装置 | |
| CN116295072A (zh) | 一种金属试件的曲面表面局部变形率的测量方法 | |
| DE102004022314A1 (de) | Koordinatenmessgerät sowie Verfahren zum Messen von Strukturen mittels eines Koordinatenmessgerätes | |
| CN223037067U (zh) | 一种裂缝变化量测量装置 | |
| CN214095841U (zh) | 一种电气工程用具有定位结构的电气工程用尺 | |
| CN201387316Y (zh) | 二维图形圆度测量装置 | |
| CN219179771U (zh) | 一种具有线宽在线检测功能的ldi设备 | |
| RU216529U1 (ru) | Регулируемая нивелирная стойка | |
| CN205175868U (zh) | 沥青针入度仪的校准装置 | |
| JP2506730Y2 (ja) | プレス型間距離測定器 |