CS202675B1 - Křemíkový tenzometr - Google Patents

Křemíkový tenzometr Download PDF

Info

Publication number
CS202675B1
CS202675B1 CS848576A CS848576A CS202675B1 CS 202675 B1 CS202675 B1 CS 202675B1 CS 848576 A CS848576 A CS 848576A CS 848576 A CS848576 A CS 848576A CS 202675 B1 CS202675 B1 CS 202675B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
electrically conductive
silicon
strain gauge
active
sealed
Prior art date
Application number
CS848576A
Other languages
English (en)
Inventor
Jiri Cernohorsky
Karel Krenek
Zdenek Havlicek
Cyril Logner
Original Assignee
Jiri Cernohorsky
Karel Krenek
Zdenek Havlicek
Cyril Logner
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiri Cernohorsky, Karel Krenek, Zdenek Havlicek, Cyril Logner filed Critical Jiri Cernohorsky
Priority to CS848576A priority Critical patent/CS202675B1/cs
Publication of CS202675B1 publication Critical patent/CS202675B1/cs

Links

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

Vynález se týká křemíkového tenzometru, tvořeného nejméně jednou křemíkovou tyčinkou.
Je znám odporový tenzometr, vytvořený z drátu ze speciální kovové slitiny, kupříkladu konstantou. Tento drát je plošně složen na tenkou papírovou podložku a ke každému z jeho konců je připojen silnější elektricky vodivý vývod. Drát je přelepen silnějším papírem. Odporový tenzometr se přilepí tenkou papírovou podložkou pomocí tmelu k místu, v němž je požadováno měření deformace. Drát může být nanesen na tenkou papírovou podložku ' výrobním postupem, používaným při zhotovování tištěných spojů.
Dále je znám pro měření deformace křemíkový tenzometr, který využívá pro měření piezorezistentního jevu. Křemíkový tenzometr má obvykle tvar protáhlé tyčinky o konstantním průřezu. K jeho koncům jsou pevně přitaveny elektricky vodivé vývody. Křemíkový tenzometr se rovněž přilepí tmelem po celé své délce k místu, v němž je požadováno měření deformace. Nevýhoda tohoto tenzometru spočívá v tom, že plocha křemíkové tyčinky je malá, takže přilepení trpí při deformaci značným prokluzem. Kromě toho přitavování elektricky vodivých vývodů přímo ke koncům křemíkové tyčinky je obtížné a elektricky vodivé vývody v místech jejich spojení s křemíkovou-tyčinkou dosti často pevně nedrží.
202 675
202 075 ,
Tyto nevýhody odstraňuje křemíkový tenzometr podle vynálezu, tvořený nejméně jednou křemíkovou tyčinkou, která představuje jeho činnou část, přičemž křemíkový tenzometr je opatřen elektricky vodivými vývody, například ze zlata.
Jeho podstata spočívá v tom, že činná část křemíkové tyčinky je na každém ze svých konců rozěířená v kontaktní plošku, zatavenou do elektricky vodivé vrstvy, například ze zlata, k níž je připevněn elektricky vodivý vývod. Přitom kontaktní plošky leží ve stejné rovině.
Je-li zapotřebí použít křemíkový tenzometr, tvořený nejméně dvěma křemíkovými tyčinkami, představujícími jeho činné části, potom je výhodné, když kontaktní plošky dvou vedle sebe umístěných konců činných částí jaou zataveny do společné elektricky vodivé vrstvy, vytvářející spojovací můstek, a elektricky vodivé vývody jsou připevněny k samostatným elektricky vodivým vrstvám opačných konců činných částí. Přitom všechny kontaktní plošky obou činných částí leží ve stejné rovině.
Výhody křemíkového tenzometru podle vynálezu spočívají v tom, že jeho přitmelení k měřenému místu se provádí převážně na kontaktních ploškách, takže spoj při namáhání neprokluzuje, protože přitmelení je provedeno po větší ploše. Přenos deformace z měrného členu na činnou část tenzometru se zlepší i při malé plasticitě tmelu, takže lze zvýšit teplotu prostředí, v němž se měření provádí, o 15 až 20 °C při použití stejného tmelu,
M *
Vytvoření spojovacího můstku umožňuje dodržení rovnoběžnosti, popřípadě i jiného předem daného úhlu, který svírají podélné osy obou činných částí křemíkového tenzometru. Jelikož vodivé vrstvy elektricky propojují celé kontaktní plošky, neprojevuje se při jejich příPd;:é deformaci v nich piezorezistentní jev, který se uplatňuje jen v činné části křemíko vého tenzometru, takže při měření deformace se měří pouze odpor, který vzniká jen v činné části. Elektrické vývody se snadněji připojují k elektricky vodivým vrstvám, protože se jedná o připojení kovu ke kovu.
Příklad konkrétního provedeni křemíkového tenzometru podle vynálezu je znázorněn na připojeném výkresu, kde obr. 1 představuje křemíkový tenzometr, tvořený jednou křemíkovou tyčinkou, a obr. 2 představuje křemíkový tenzometr, tvořený dvěma křemíkovými tyčinkami.
Křemíkový tenzometr podle obr. 1 je tvořen křemíkovou tyčinkou, představující činnou část 1. Konce činné části 1 jsou rozšířeny v kontaktní ploiky £, například čtvercového tvaru. Každá kontaktní ploška £ je zatavena do elektricky vodivé vrstvy £, například ze zlata, která má přitavený elektricky vodivý vývod £, například rovněž ze zlata. Elektricky vodivá vratva £ vodivě propojuje celou kontaktní plošku až k jejímu přechodu v činnou část χ.
Křemíkový tenzometr podle obr. 2 je tvořen dvěma křemíkovými tyčinkami, představující činné části 1, jejichž podélné osy jaou rovnoběžné. Vedle aebe místěné konce činných částí 1, rozšířených v kontaktní plošky 2, jsou každá z nich samostatně zatavena do své elektricky vodivé vrstvy £. Vedle aebe místěné opačné konce činných částí 1, rozšířených
202 073 v kontaktní plošky 2, jsou zataveny do společné elektricky vodivé vrstvy, tvořící spojovací můstek £.
Obě kontaktní plošky 2 křemíkového tenzometrů z obr, 1, jakož i všechny čtyři kontaktní plošky 2 křemíkového tenzometrů z obr. 2, leží ve stejné rovině, tvořené na výkresu rovinou papíru, na níž jsou jak obr. 1, tak i obr. 2 znázorněny.
Křemíkový tenzometr podle obou příkladů provedení se připojí na měrný, popřípadě pří o na měřený člen, běžně používaným tmelem, přičemž přitmelení se provede převážně v místech kontaktních plošek g., popřípadě v místě spojovacího můstku £. Při siření* to je při deformaci činných částí χ, se projevuje piesoroziatentní jev jen v činných částech χ, při čemž přechod mezi činnou části X a kontaktní ploškou 2 je tak malý, Se piezoreziatentní jev v tomto přechodu neovlivní jeho hodnotu v činné částí χ.
Vynález lze využít při výrobě křemíkových tenzometrů, určených pro přesná statická měření ve snímačích sil, snímačích specifického a diferenciálního tlaku a ve snímačích kroutícího momentu.

Claims (2)

1. Křemíkový tenzometr, tvořený nejméně jednou křemíkovou tyčinkou, představující jeho činnou část, a opatřený elektricky vodivými vývody, například ze zlata, vyznačený tím, že činná část (1) křemíkové tyčinky je na každém ze svých konců rozšířena v kontaktní plošku (2), zatavenou do elektricky vodivé vrstvy (3), například ze zlata, k níž je připevněn elektricky vodivý vývod (4), přičemž kontaktní plošky (2) leží ve stejné rovině.
2. Křemíkový tenzometr podle bodu 1, vyznačený tím, že kontaktní plošky (2) dvou vedle se be umístěných konců činných částí (1) jsou zataveny do společné elektricky vodivé vrst vy (3), vytvářející spojovací můstek (5), přičemž elektricky vodivé přívody (4) jsou připevněny k samostatným elektricky vodivým vrstvám (3) opačných konců činných částí (1) a kontaktní plošky (2) obou činných částí (1) leží ve stejné rovině.
CS848576A 1976-12-22 1976-12-22 Křemíkový tenzometr CS202675B1 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS848576A CS202675B1 (cs) 1976-12-22 1976-12-22 Křemíkový tenzometr

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS848576A CS202675B1 (cs) 1976-12-22 1976-12-22 Křemíkový tenzometr

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CS202675B1 true CS202675B1 (cs) 1981-01-30

Family

ID=5435410

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS848576A CS202675B1 (cs) 1976-12-22 1976-12-22 Křemíkový tenzometr

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS202675B1 (cs)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7114706B2 (ja) 分割ブリッジ回路力センサ
US5652395A (en) Bending sensor
US4299130A (en) Thin film strain gage apparatus with unstrained temperature compensation resistances
US4311980A (en) Device for pressure measurement using a resistor strain gauge
US8042413B2 (en) Transverse force measurement
EP1069418A1 (en) Load cell and weighing apparatus using the same
US20100141291A1 (en) Device including a contact detector
JP7396731B2 (ja) 多軸触覚センサ
EP3025129B1 (en) Flex circuit interface for strain gauges
US3559467A (en) Strain measuring device
JPS5844323A (ja) 圧力センサ
CS202675B1 (cs) Křemíkový tenzometr
US3913391A (en) Strain gage configurations employing high di-electric strength and efficient strain transmission
JP3040684U (ja) ひずみゲージ
JP6540397B2 (ja) 圧脈波センサの検査方法及び圧脈波センサの製造方法
JPH0252972B2 (cs)
KR102036536B1 (ko) 4개의 저항체로 2개의 독립된 풀휘트스톤브리지를 형성하는 반도체 압력센서
JPS5856424B2 (ja) 力変換器
JPH03202777A (ja) 加速度センサ
EP2101181A1 (en) Device including a contact detector
JPS6212458B2 (cs)
RU2082125C1 (ru) Датчик давления
EP0269759A1 (en) Semiconductor strain gauge
JPH0558675B2 (cs)
JP2000230868A (ja) 圧力計測センサー