CS196840B1 - Lodička a držiak substrátu zariadenia na přípravu najmenej dvoch epitaxiálnych vrstiev rastom z kvapalnej fázy v jednom pracovnom procese - Google Patents

Description

Vynález sa týká lodičky a držiaku substrátu zariadenia na přípravu najmenej dvoch epitaxiálnych vrstiev raatom z kvapalnej fázy, v jednom pracovno* procese. RieSi sa přitom konštrukcia lodičky a držiaku substrátu.

Existuje niekoTko metod na přípravu mnohovrstvovýeh epitaxiálnych štruktúr. Najčastejšie sa používá posúvacia metoda. Pri tejto metóde sa lodičkový systém skládá z najmenej dvoch dlhých posúvacich častí doskovitého tvaru.

Dolná časť je držiakom substrátu, ktorý leží na nej horizontálně. V hornej časti sú otvory pre taveniny. Posúvaním dielov lodičky ea dostávájú rdzne taveniny na substrát, a tým narastajú na ňom pri chladnutí postupné vrstvy 8 rdznym zložením a vlastnosťami. Pri inéj podobnéj metóde ea.namieato doskovitých častí používá lodička a držiak substrátu válcovitého tvaru, ktoré sú položené na sebe. Substrát je umiestnený v držiaku tak, že je na ňom opfiť položený horizontálně. V hornej časti, lodičke, sú otvory pre taveniny, usporiadané do kruhu. Otáčaním lodičky sa rdzne taveniny dostávájú na substrát.

Nevýhodou spomínaných metod je, že substrát je počas homogenizácie taveniny v blízkosti taveniny, a preto aj na rovnakej teplote. Homogenizácie sa realizuje pri teplotách, pri ktorých dochádza k nežiadúcemu úletu prchavých zložiek zo substrátu. Substrát je v horizontálněj polohe, a preto sa tavenina po skončení epitaxiélneho rastu zle odtřha od substrátu. Na urýchlenie hoao196840 - 2 genizácie taveniny ea s lodičkou mfiže vibrovat. U apomínaných metod to nie je možné, pretože jednotlivé diely lodičkového systému sú na sebe iba volné položené.

Uvedené nedostatky odstraňuje lodička a držiak substrátu zariadenia poidla vynálezu, ktorého podstaita spočívá v tom, že lodička je vytvořená z valčeka, v ktorého čele sú vytvořené otvory tak, že v střede je otvor pre zasunutie tyčky držiaka substrátu. Okolo otvoru sa nachádza jú diery pre zašunutie vodiaceho kolíka a po okraji sú urobené otvory pre taveniny. Držiak substrátu je tvořený tyčkou s vodiacim kolíkom a doskou, na ktorej je upevňovacou doskou a skrutkou s maticou upevněný substrát.

Pokrok vynálezu je predovšetkým v tom, že lodička a držiak substrátu zariadenia umožňujú přípravu najmenej dvoch epitaziálnych vrstiev v jednom praoovnom procese, pričom sa nevyskytujú uvedené nedostatky.

Na připojených výkresoch je znázorněná lodička a držiak substrátu zariadenia podía vynálezu. Na obr. 1 je bočný pohlaď na lodičku a držiak substrátu v polohe před epitaxiálnym rastem. Na obr. 2 je pOdorys lodičky.

Lodičku g tvoří valček,v ktorého čele eú vyrobené otvory g pre taveniny· Otvory eú usporiadané do kruhu a lob počet sa dá zhotovit podía velkosti valčeka. V střede valčeka je otvor g pre zaaunutie tyčky 10 držiaku £ substrátu. Ďalej eú vo valčeku diery g pre zaaunutie vodiaceho kolíka £· Držiak 2. substrátu sa skládá z tyčky 10. na ktorej je pritavený vodiaci kolík £ a doska J. Substrát 11 je pridržiavaný v zvislej polohe doskou 2 a upevňovacou doskou £ a skrutkou a maticou g.

Možnost využitie vynálezu je pri príprave anohovrstvových polovodičových štruktúr.

Claims (2)

1. Lodička a držiak substrátu zariadenia na přípravu najmenej dvoeh epitaxiálnyehvrstiev raston z kvapalnej fázy v jednom praoovnom procese, vyznaču júoe sa tým, že lodička (1) je vytvořená z valčeka, v ktorého čele je vytvořený otvor (4) pre zašunutie tyčky (10) držiaka (2) substrátu, diery (5) pre sasunutie vodiaceho kolíka (6) a otvory (3) pre taveniny, pričom držiak (2) substrátu ea skládá z tyčky (10), na ktorej je vodiaci kolík (6) a doska (7), na ktorú je upevňovacou doskou (8) a skrutkou β maticou (9) upevněný substrát (11).