CS196840B1 - Boat and holder of the substrate of the facility for preparation at least two epitaxial layers by the growth from the liquid phase in a single working operation - Google Patents
Boat and holder of the substrate of the facility for preparation at least two epitaxial layers by the growth from the liquid phase in a single working operation Download PDFInfo
- Publication number
- CS196840B1 CS196840B1 CS748877A CS748877A CS196840B1 CS 196840 B1 CS196840 B1 CS 196840B1 CS 748877 A CS748877 A CS 748877A CS 748877 A CS748877 A CS 748877A CS 196840 B1 CS196840 B1 CS 196840B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- boat
- substrate
- holder
- liquid phase
- preparation
- Prior art date
Links
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
POPIS VYNÁLEZU K AUTORSKÉMU OSVĚDČENÍ (51) Int. Cl.’ H Ol L 21/36 (11) CB1> ČESKOSLOVENSKÁSOCIALISTICKÁREPUBLIKA( 19 )
ÚŘAD PRO VYNÁLEZY
A OBJEVY (bl) (23) Výstavní priorita (22) Přihlášeno 15.11.77 (2i) (PV 7488 - 77) (40) Zveřejněno 31.07.79(45) Vydáno 31.03.82
Autor vynálezu S r n á n e k Rudolf ing. a Hóbovčík Peter doc. ing, CSc., Bratislava (54) LODIČKA A DRŽIAK SUBSTRÁTU ZARIADENIA NA PŘÍPRAVUNAJMENEJ DVOCH EPITAXIÁLNYCH VRSTIEV RASTOM Z KVA-
PALNEJ FÁZY V JEDNOM PRACOVNOU PROCESE
Vynález ea týká lodičky a držiaku substrátu zariadenia na přípravu naj-menej dvoch epitaxiálnych vrstiev rastom z kvapalnéj fázy, v jednom pracovno·procese. RieSi sa přitom konštrukcia lodičky a držiaku substrátu.
Existuje niekoTko metod na přípravu mnohovrstvovýeh epitaxiálnych Střede**túr. NajčastejSie sa používá posúvacia metoda. Pri tejto metóde sa lodičkovýsystém skládá z najmenej dvoch dlhých posúvacích častí doskovitého tvaru.
Dolná část je držiakom substrátu, ktorý leží na nej horizontálně. V hornéjčasti sú otvory pre taveniny. Posúvaním dielov lodičky sa dostávajú rOzne ta-veniny na substrát, a tým narastajú na ňom pri chladnutí postupné vrstvys rfiznym zložením a vlastnosťami. Pri inéj podobnéj metóde sanamiesto dosko-vitých častí používá lodička a držiak substrátu válcovitého tvaru, které súpoložené na sebe. Substrát je umiestnený v držiaku tak, že je na ňom opfiť po-ložený horizontálně. V hornéj časti, lodičke, sú otvory pre taveniny, usporia-dané do kruhu. Otáčaním lodičky sa rdzne taveniny dostávajú na substrát.
Nevýhodou spomínaných metod je, že substrát je počas homogenizácie tave-niny v blízkosti taveniny, a preto aj na rovnakej teplote. Homogenizácie sarealizuje pri teplotách, pri ktorých dochádza k nežiadúcemu úletu prchavýchzložiek zo substrátu. Substrát je v horizontálněj polohe, a preto sa taveninapo skončení epitaxiálneho rastu zle odtrha od substrátu. Na urýchlenie hoao-
Claims (2)
196840 - 2 - genizácie taveniny aa a lodičkou mdle vibrovat. U apomínaných metod to nieje možné, přetože jednotlivé diely lodičkového systému sú na sebe iba voTnepoložené. Uvedené nedostatky odstraňuje lodička a držiak substrátu zariadenia poedTa vynálezu, kterého podstaita spočívá v tom, že lodička je vytvořená z val-čeka, v ktorého čele sú vytvořené otvory tak, že v střede je otvor pre zasu-nut i e tyčky držiaka substrátu. Okolo otvoru sa nachádza jú diery pre zasunutievodiaceho kolíka a po okraji sú urobené otvory pre taveniny. Držiak substrá-tu je tvořený tyčkou s vodiaoim kolíkom a doskou, na ktorej je upevňovacoudoskou a skrutkou s maticou upevněný substrát. Pokrok vynálezu je predov&etkým v tom, že lodička a držiak substrátuzariadenia umožňujú přípravu najmenej dvoeh epitaxiálnych vrstiev v jednompraeovnom procese, pričom sa nevyskytujú uvedené nedostatky. Na připojených výkresoch je znázorněná lodička a držiak substrátu zaria-denia podlá vynálezu. Na obr. 1 je bočný pohled na lodičku a držiak substrá-tu v polohe před epitaxiálnym rastom. Na obr.
2 je pddorys lodičky. Lodičku 1 tvoří valček,v ktorého čele sú vyrobené otvory J pre tave-niny· Otvory sú uaporiadané do kruhu a ich počet sa dá zhotovit podl’a velkos-ti valčeka. V střede válčeka je otvor ± pre zasunutie tyčky 10 držiáku£ substrátu, Ďalej aú vo valčeku diery £ pre zasunutie vodiaceho kolíkaDržiak 2. substrátu aa akladá z tyčky 10. na ktorej je pritavený vodiacikolík £ a doska 2· Substrát 11 je pridržiavaný v zvislej polohe doskou2 a upevňovacou doskou £ a skrutkou s maticou £· Možnost využitia vynálezu je pri príprave mnohovrstvových polovodičovýchStruktúr. Predaet vynálezu Lodička a držiak substrátu zariadenia na přípravu najmenej dvoch epita-xiálnyeh vrstiev rastom z kvapalnej fázy v jednom praeovnom procese, vyzná-čů júce sa tým, že Lodička (1) je vytvořená z valčeka, v ktorého čele je vytvo-řený otvor (4) pre zasunutie tyčky (10) držiaka (2) substrátu, diery (5) prezasunutie vodiaceho kolíka (6) a otvory (3) pre taveniny, pričom držiak (2)substrátu sa skládá z tyčky (10), na ktorej je vodiaci kolík (6) a doska (7),na ktorú je upevňovacou doskou (8) a skrutkou s maticou (9) upevněný substrát (11).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS748877A CS196840B1 (en) | 1977-11-15 | 1977-11-15 | Boat and holder of the substrate of the facility for preparation at least two epitaxial layers by the growth from the liquid phase in a single working operation |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS748877A CS196840B1 (en) | 1977-11-15 | 1977-11-15 | Boat and holder of the substrate of the facility for preparation at least two epitaxial layers by the growth from the liquid phase in a single working operation |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS196840B1 true CS196840B1 (en) | 1980-04-30 |
Family
ID=5424096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS748877A CS196840B1 (en) | 1977-11-15 | 1977-11-15 | Boat and holder of the substrate of the facility for preparation at least two epitaxial layers by the growth from the liquid phase in a single working operation |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS196840B1 (cs) |
-
1977
- 1977-11-15 CS CS748877A patent/CS196840B1/cs unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2847963A1 (de) | Konvektionsofen | |
| EP0881950B1 (de) | Temperierblock mit temperiereinrichtungen | |
| EP0936945B1 (de) | Temperierblock mit aufnahmen | |
| EP0618035B1 (de) | Löt-/Entlötvorrichtung, insbesondere für integrierte Schaltungen | |
| DE3433522C2 (cs) | ||
| DE102008025828B4 (de) | Kristallzüchtungsofen mit Schmelzedrainagekanalstruktur | |
| DE3825519A1 (de) | Vorrichtung zum schmelzen von lot an einer verbindungsstelle zwischen anschlussklemmen eines elektronischen bauelements und kontaktelementen eines substrats | |
| CS196840B1 (en) | Boat and holder of the substrate of the facility for preparation at least two epitaxial layers by the growth from the liquid phase in a single working operation | |
| DE60309420T2 (de) | Vorrichtung zum Ausrichten und Verteilen von Lötmittelsäulen in einer Matrix | |
| DE60312929T2 (de) | Apparat zur Befestigung von Halbleiterchips und eine Methode zur Befestigung | |
| DE1498929C3 (de) | Bearbeitungsvorrichtung für röhren- oder zylinderförmige Gefäße | |
| DE68903625T2 (de) | Einzelschermessermechanismus zum abtrennen von tropfen. | |
| DE20122579U1 (de) | Vorrichtung zum Montieren von elektronischen Schaltungen | |
| US4979662A (en) | Desoldering vat | |
| DE10297102T5 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer dünnen Platte sowie Solarzelle | |
| DE2227433C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur schlagartigen Vakuumverdampfung von pulverförmigem Material | |
| DE3933423A1 (de) | Tempervorrichtung, insbesondere fuer lcd-substratplatten | |
| DE2458203A1 (de) | Automatische loetanlage | |
| EP0034283B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum zonenweisen Erwärmen bzw. Abkühlen länglicher Behandlungskörper | |
| DE3612390C2 (cs) | ||
| DE69103375T2 (de) | Element, das durch einen Umschmelzofen Hybridschaltkreise trägt. | |
| DE590613C (de) | Foerdervorrichtung fuer Schokoladenwerkstuecke | |
| DE1758115A1 (de) | Vibrierender feuerfester Ofen | |
| DE3839396A1 (de) | Verfahren und einrichtung zum verloeten von auf einer leiterplatte aufliegenden elektrischen bauelementen mit der leiterplatte | |
| DE401733C (de) | Vorrichtung zum Schmelzen von Fetten |