CS196015B1 - Způsob úpravy nádob,používaných při výrobě velmi čistých polovodičů - Google Patents
Způsob úpravy nádob,používaných při výrobě velmi čistých polovodičů Download PDFInfo
- Publication number
- CS196015B1 CS196015B1 CS597377A CS597377A CS196015B1 CS 196015 B1 CS196015 B1 CS 196015B1 CS 597377 A CS597377 A CS 597377A CS 597377 A CS597377 A CS 597377A CS 196015 B1 CS196015 B1 CS 196015B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- production
- nuclear
- vessels used
- manufacturing high
- pure semiconductors
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 4
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 3
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical group [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
Vynález se týká způsobu úpravy nádob používaných při výrobě velmi čistých polovodičů jako germania, křemíku apod. využitím jaderných reakcí vyvolaných polem jaderných Částic.
Při výrobě velmi Čistých polovodičů,ze jména germania,dochází k jeho znečištění zejména bórem,obsaženým v používaných nádobách, která jsou většinou křemenné nebo grafitové.
Dosavadní způsoby úpravy nádob jsou převážně chemické,např.vytváření nádob v silných kyselinách,s čisticími účinky pomalými a nedostatečnými,kde dochází ke zpětnému zněčišíování nádob precipitací nečistot z kyselin.
Nevýhody dosavadního způsobu úpravy nádob jsou odstraněny způsobem podle vynálezu, při kterém se nádoby vystaví působení pole jaderných Částic,např. v ozařovacím kanálu jaderného reaktoru se vyvolají z materiálu,ze kterého jsou nádoby zhotoveny jaderné reakce, např. typu /n^/a/nebo /n,^/a/nebó /p,<</a/nebo /p,n/a jaderné kompenzace. Přitom se např. atomy bóru,který je nežádoucí příměsí přemění na atomy lithia,které není na závadu.
Claims (1)
- Způsob úpravy nádob používaných při výrobě velmi čistých polovodičů,vyznačený tím,že nádoby se vystaví působení pole jaderných částic,například umístěním v ozařovacím kanálu jaderného reaktoru,čímž se vyvolají jaderné reakce typu /n,y»/a/nebo /n^c/a/nebo /p,«c/a/nebo /p,n/a jaderné kompenzace,přičemž se přemění nežádoucí směsitnapř.atomy bóru na atomy lithia.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS597377A CS196015B1 (cs) | 1977-09-14 | 1977-09-14 | Způsob úpravy nádob,používaných při výrobě velmi čistých polovodičů |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS597377A CS196015B1 (cs) | 1977-09-14 | 1977-09-14 | Způsob úpravy nádob,používaných při výrobě velmi čistých polovodičů |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS196015B1 true CS196015B1 (cs) | 1980-02-29 |
Family
ID=5405735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS597377A CS196015B1 (cs) | 1977-09-14 | 1977-09-14 | Způsob úpravy nádob,používaných při výrobě velmi čistých polovodičů |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS196015B1 (cs) |
-
1977
- 1977-09-14 CS CS597377A patent/CS196015B1/cs unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Beattie et al. | A new complex phase in a high-temperature alloy | |
| DE3068008D1 (en) | Process for the characterization of the oxygen content of silicon rods drawn by the czochralski method | |
| US2388302A (en) | Removal of iron from ceramic raw materials | |
| US3126248A (en) | Process for producing purified | |
| DE3332447A1 (de) | Verfahren zur befreiung von siliciumbruchstuecken von verunreinigungen | |
| CS196015B1 (cs) | Způsob úpravy nádob,používaných při výrobě velmi čistých polovodičů | |
| BG50727A3 (en) | Method for preparation of granules | |
| US3450496A (en) | Method of producing pure red lead monoxide | |
| US3226298A (en) | Process for making high purity radioactive iodine-131 | |
| DE3688190D1 (de) | Kristalline konglomerate aus synthetischen xonotlith und verfahren zu deren herstellung. | |
| RU2060935C1 (ru) | Способ очистки карбида кремния | |
| JPS58172219A (ja) | シリコンの製造方法 | |
| Berry et al. | Structure of Magnesium–Lithium β-Phase Alloys | |
| Hedvall | The reactivity of solids | |
| US3671330A (en) | Removal of acceptor impurities from high purity germanium | |
| Suwa et al. | Stability of synthetic andradite at atmospheric pressure | |
| US3573108A (en) | Purification of germanium | |
| Henry et al. | Preparation of pure anhydrous aluminum fluoride by vacuum sublimation | |
| US2768873A (en) | Method of purifying uranium | |
| US1001789A (en) | Process of rendering vitreous compounds turbid. | |
| US1036831A (en) | Process of purifying clay, &c. | |
| SU594059A1 (ru) | Способ производства кварцевого стекла | |
| Kotrbova et al. | Growth of crystals for synchrotron radiation Mössbauer investigation | |
| JPS54149000A (en) | Treating method of radioactive material containing solution | |
| Cand et al. | Research of the process of decomposition of dust of clinker reducing furnaces with nitric acid |