CN2788892Y - 化学气相沉积方法制备硒化锌系统中剧毒尾气的处理装置 - Google Patents

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CN2788892Y CN 200520018056 CN200520018056U CN2788892Y CN 2788892 Y CN2788892 Y CN 2788892Y CN 200520018056 CN200520018056 CN 200520018056 CN 200520018056 U CN200520018056 U CN 200520018056U CN 2788892 Y CN2788892 Y CN 2788892Y
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苏小平
杨海
余怀之
鲁泥藕
霍承松
石红春
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Beijing Guojing Infrared Optical Technology Co., Ltd.
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BEIJING GUOJING INFRARED OPTICAL TECHNOLOGY Co Ltd
Beijing General Research Institute for Non Ferrous Metals
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一种化学气相沉积方法制备硒化锌系统中剧毒尾气的处理装置，它包括有：洗涤塔、填料、喷淋头，喷淋头设置在填料的上部，在洗涤塔的上端设有排气管，在洗涤塔的下端连接有排液管，在洗涤塔侧壁设有尾气进气管；所述的排液管与一废液处理箱连接，该废液处理箱内设置有过滤网，该废液处理箱的出液管与循环泵连接，该循环泵再与喷淋头循环管连接。所述的废液处理箱内纵向设置有第一、第二两层过滤网，该两层过滤网将废液处理箱内分成三个区域，废液处理箱内的进液端一侧为第一区域、中部为第二区域、另一侧为第三区域。本实用新型的优点是：结构简单、使用方便、经过逆流填料塔处理后的尾气中H2Se气体的含量＜0.02ppm，符合安全排放要求，而且也更经济实用。

Description

化学气相沉积方法制备硒化锌系统中剧毒尾气的处理装置
技术领域
本实用新型涉及一种化学气相沉积方法制备硒化锌系统中剧毒尾气的处理装置。
背景技术
化学气相沉积方法制备硒化锌时，因为反应不能完全进行，尾气中含有未反应的原料气H2Se。H2Se气体易燃，有剧毒，允许极限含量为0.05ppm。为减小尾气对人体及环境的危害，必须对有毒的尾气进行处理。
化学气相沉积方法制造工程中有毒尾气的处理方法一般用气体稀释法，热分解法和吸收法。气体稀释法是用大量无毒害的气体，如惰性气体或空气，把尾气中的有毒气体稀释到安全极限内，然后排放到大气中。这种方法不仅需要消耗大量的稀释气体，还会由于有毒气体的存在污染环境。热分解法是用加热的形式把尾气中的有毒气体H2Se分解为无毒的H2和单质硒。但由于其分解反应为逆反应，很难把H2Se气体降到0.05ppm的极限范围内，而且由于需要加热大量的携带气体，耗能很大。吸收法是将排气中的气态污染物同液体进行充分的接触，使气态污染物由气相转入液相，从而净化气体。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种化学气相沉积方法制备硒化锌系统中剧毒尾气的处理装置，其采用逆流填料塔吸收尾气的方式，不仅能把尾气中的H2Se气体降到0.02ppm以下，而且也更经济。
为实现上述目的，本实用新型采取以下设计方案：
一种化学气相沉积方法制备硒化锌系统中剧毒尾气的处理装置，它包括有：洗涤塔、填料、喷淋头，填料设置在洗涤塔内，喷淋头设置在洗涤塔内填料的上部，在洗涤塔的上端设有排气管，在洗涤塔的下端连接有排液管，在填料下部的洗涤塔侧壁设有尾气进气管；其特征在于：所述的排液管与一废液处理箱连接，该废液处理箱内设置有过滤网，该废液处理箱的出液管与循环泵连接，该循环泵再与喷淋头循环管连接。
所述的废液处理箱内纵向设置有第一、第二两层过滤网，该两层过滤网将废液处理箱内分成三个区域，废液处理箱内的进液端一侧为第一区域、中部为第二区域、另一侧为第三区域。
逆流填料塔内有抗腐蚀的填料在靠近塔底部的支撑板上，H2Se气体从底部被送入，在填料表面与吸收液接触而生成硒盐。H2Se气体随着上升不断地被吸收，其浓度不断下降，最后从塔顶被风机抽走。吸收液在塔顶经过分布器淋洒到填料层表面上，分散成薄膜，经填料问缝隙下流，最后到塔底进入废液处理箱。在处理箱第一区域与试剂反应，废液中的硒盐被还原为硒单质。废液经过第一层过滤网后，一部分固体颗粒被过滤，滤液进入第二区域，又经过第二两层过滤网进入第三区域，最后由循环泵经过循环管送入填料塔内。经过逆流填料塔处理后的尾气中，H2Se气体的含量＜0.02ppm。
本实用新型的优点是：结构简单、使用方便、经过逆流填料塔处理后的尾气中H2Se气体的含量＜0.02ppm，而且也更经济实用。
附图说明
图1为本实用新型的示意图
具体实施方式
参见图1所示：一种化学气相沉积方法制备硒化锌系统中剧毒尾气的处理装置，它包括有：洗涤塔1、填料5、喷淋头3，填料5设置在洗涤塔内，喷淋头3设置在洗涤塔内填料的上部，在洗涤塔1的上端设有排气管2，在洗涤塔的下端连接有排液管8，在填料下部的洗涤塔侧壁设有尾气进气管7；所述的排液管8与一废液处理箱17连接，该废液处理箱17内设置有过滤网，该废液处理箱17的出液管12与循环泵11连接，该循环泵12再与喷淋头循环管4连接。
所述的废液处理箱17内纵向设置有第一层过滤网9和第二层过滤网10，该两层过滤网将废液处理箱内分成三个区域，废液处理箱内的进液端一侧为第一区域16、中部为第二区域15、另一侧为第三区域14。在第三区域14的底部安装有排液管，用于废液排除时使用。
逆流填料塔内有抗腐蚀的填料5在靠近塔底部的支撑板6上，H2Se气体从底部尾气进气管7被送入，在填料表面与吸收液接触而生成硒盐。H2Se气体随着上升不断地被吸收，其浓度不断下降，最后从塔顶排气管2被风机抽走。吸收液在塔顶经过分布喷淋头3淋洒到填料层表面上，分散成薄膜，经填料间缝隙下流，最后到塔底进入废液处理箱17内。在处理箱第一区域16内与试剂反应，废液中的硒盐被还原为硒单质。废液经过第一层过滤网9后，一部分固体颗粒被过滤，滤液进入第二区域15，又经过第二两层过滤网10进入第三区域14，最后由循环泵11经过循环管4送回填料塔内在使用。经过逆流填料塔处理后的尾气中，H2Se气体的含量＜0.02ppm，符合安全排放要求。

Claims (2)

1、一种化学气相沉积方法制备硒化锌系统中剧毒尾气的处理装置，它包括有：洗涤塔、填料、喷淋头，填料设置在洗涤塔内，喷淋头设置在洗涤塔内填料的上部，在洗涤塔的上端设有排气管，在洗涤塔的下端连接有排液管，在填料下部的洗涤塔侧壁设有尾气进气管；其特征在于：所述的排液管与一废液处理箱连接，该废液处理箱内设置有过滤网，该废液处理箱的出液管与循环泵连接，该循环泵再与喷淋头循环管连接。
2、根据权利要求1所述的化学气相沉积方法制备硒化锌系统中剧毒尾气的处理装置，其特征在于：所述的废液处理箱内纵向设置有第一、第二两层过滤网，该两层过滤网将废液处理箱内分成三个区域，废液处理箱内的进液端一侧为第一区域、中部为第二区域、另一侧为第三区域。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102644587A (zh) * 2012-04-05 2012-08-22 苏州艾特斯环保设备有限公司 洗涤塔水泵入口的液体过滤装置
CN102961953A (zh) * 2012-03-09 2013-03-13 明峰 用“电离”技术治理工业锅炉烟气污染系统
CN104324592A (zh) * 2014-10-19 2015-02-04 镇江大成新能源有限公司 一种废气处理装置
CN109372620A (zh) * 2018-10-25 2019-02-22 肖江江 一种环保型车载尾气处理装置

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