CN2721214Y - 水吸收型废气处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种水吸收型废气处理装置，包括有一级吸收处理室和与一级吸收处理室顶端呈可分离装联的二级吸收处理室，一级吸收处理室内腔中部的喷淋柱上从上到下装设有半圆锥弧形襟板，使该内腔形成气体上升的盘旋通道，襟板下端与一级吸收处理室的柱壳内壁间工作时形成水封，该柱壳的下部设计有进气口、排渣口，装有排水管，二级吸收处理室的柱壳下部内装有孔板，顶端上装有可分离的盖板，紧靠盖板下面装有环形喷淋管，内腔中装有多孔填料和电动搅动机构，盖板上设计有出气口。因此，该装置可使水吸收型废气被水充分吸收，处理十分理想，可广泛用于水吸收型废气的吸收处理，特别适于对半导体外延工艺中产生的尾气的吸收处理。
Description
(一)技术领域
本实用新型涉及一种废气处理装置，特别是涉及一种半导体外延工艺中水吸收型废气处理装置，适用于半导体微电子生产中外延工艺产生的水吸收型废气的吸收处理，也可用于其他水吸收型废气的吸收处理。
(二)背景技术
在半导体微电子生产的外延工艺中产生多种水吸收型废气，包括有SiHCl3、HCl、PH3等有毒气体，必须经过严格处理达到排放标准后才能排入大气中。这些废气中，有的能与H2O反应，生成SiO2粉末和HCl气体等，而HCl等气体和废气中的其他成份可以被水有效吸收，从而达到有效处理。目前，美国、俄罗斯、日本等国生产的水吸收型废气处理糸统，采用水柱淋洗废气和多孔填料吸收，大多吸收处理不理想，处理后排出的气体中带有大量水汽，产生的粉渣易堵塞管道，需要经常维护，且设备价格昂贵。
(三)实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题在于设计一种对半导体外延工艺中水吸收型废气进行吸收处理的水吸收型废气处理装置，以达到：其一，使废气被水吸收更充分，处理效果更理想；其二，使装置结构更合理，降低气阻，减少对装置的维护。
本实用新型解决上述技术问题的技术方案在于该装置包括有一级吸收处理室和与一级吸收处理室顶端呈可分离装联的二级吸收处理室，一级吸收处理室内腔中部的喷淋柱上从上到下装设有半圆锥弧形襟板，使该内腔形成气体上升的盘旋通道，襟板下端与一级吸收处理室的柱壳内壁间工作时形成水封，该柱壳的下部设计有进气口、排渣口，装有排水管，二级吸收处理室的柱壳的下部内装有孔板，顶端上装有可分离的盖板，紧靠盖板下面装设有环形喷淋管，内腔中装有多孔填料和电动搅动机构，盖板上设计有出气口。
本实用新型襟板的母线与喷淋柱的轴线间的夹角为40°-50°，襟板从上到下在其水平投影圆周上呈120°间隔排布。喷淋柱为底端封闭的圆柱管，其管壁上从上到下设计有喷水孔，其下端装于一级吸收处理室斜面底板中部的定位柱中，进水端装有伸出一级吸收处理室的柱壳外的进水咀。一级吸收处理室的柱壳下部上设计有辅助进气口。所述的电动搅动机构的搅动轴上装有搅动杆，搅动轴通过轴承结构支承于盖板和孔板上，一端通过联轴器与电动机的轴相联，电动机通过支承架装于盖板上。环形喷淋管下半部上设计有喷水孔，其进水咀伸出盖板外。排水管的进口位于一级吸收处理室的斜面底板的低位处，出口高于进口低于进气口和辅助进气口。
有益效果。由于本实用新型具有上述的技术方案，设计有半圆锥弧形襟板，使一级吸收处理室形成气体上升的盘旋通道，襟板下端与一级吸收处理室的柱壳内壁间呈水封，工作时，由该襟板上方来的水封住该襟板下端和该柱壳内壁间的间隙，迫使被吸收处理的废气沿形成的盘旋通道上升，吸收路程加长；从喷淋柱中射出的大量微细水线与襟板内弧面碰撞并被折射下落，与从喷淋柱中喷出的其他水线碰撞，从而使喷淋水变成雾状，水气接触机会增大，化学反应和吸收更充分；经一级吸收处理室处理后的废气通过孔板进入二级吸收处理室内，该室采用多孔填料搅动喷淋方法对废气进行再次吸收处理，在搅动下水气混合更均匀，吸收更充分，且产生的粉渣易被水带走，不堵塞多孔填料，并同时除去水雾。因此，其一，该装置对水吸收型废气的吸收处理效果十分理想，吸收和反应很充分，处理后排出的气体中水汽大大减少，无粉末。环保部门按国家规定方法从出气口进行取样和检测分析，经吸收处理后排出的气体中HCl、PH3以及其他有害气体均低于国家标准。
其二，由于该装置技术方案合理，喷淋水被雾化，对上升废气的气阻很小，粉渣易被水带走，无堵塞现象，维护次数大大减少，且装置本身结构简单，制造容易，成本低。
第三，两级吸收处理室为可分离装联，可根据实际吸收处理的需要，只用一级吸收处理室，降低处理成本，且使用方便灵活。
(四)附图说明
图1是本实用新型总体结构剖视示意图；
图2是本实用新型的A-A剖视图；
图3是本实用新型襟板的结构示意图，其中，(a)是其主视图，(b)是其俯视图。
(五)具体实施方式
本实用新型的具体实施方式不仅限于以下的描述。
如图中所示，本装置设计有一级吸收处理室和与一级吸收处理室顶端呈可分离装联的二级吸收处理室，一级吸收处理室内腔中部装有一喷淋柱18，该喷淋柱18上从上到下焊装有半圆锥弧形襟板19，襟板19的母线与喷淋柱18的轴线间的夹角为40°-50°，最好是45°，襟板19从上到下在其水平投影圆周上呈120°间隔排布，见图2，使该内腔中形成气体上升的盘旋通道，襟板19下端与一级吸收处理室的柱壳20内壁间工作时形成水封，即工作时，其间的间隙能被该襟板上方来的水封住，防止废气上窜而“短路”，迫使气体沿盘旋通道上升，水气接触反应和废气被吸收更充分。喷淋柱18为底端封闭的圆柱管，其管壁上从上到下设计有喷水孔18a，其下端装于一级吸收处理室斜面底板24中部的定位柱16中，进水端装有伸出一级吸收处理室的柱壳20外的进水咀17，该吸收处理室的柱壳20的下部设计有进气口21、排渣口23、作为小流量废气的辅助进气口15，装有排水管22，排水管22的进口位于一级吸收处理室斜面底板24的低位处，出口高于进口，低于进气口21和辅助进气口15，伸出柱壳20之外，当开启喷淋水后，排水管22的进口就被水封住，进入一级吸收处理室的废气就不会从排水管22出口逃逸。二级吸收处理室的柱壳7下部内装有孔板13，顶端上装有可分离的盖板6，紧靠盖板6下面装有环形喷淋管8，该内腔中装有多孔填料11和电动搅动机构，盖板6上设计有出气口5，所述电动搅动机构的搅动轴9上呈紧配合装有搅动杆10，搅动轴9通过轴承结构3支承于盖板6和孔板13上，一端通过联轴器2与电动机1的轴相装联，搅动轴9的转速为6-8RPM为宜，电动机1通过支承架4装于盖板6上，采用搅动多孔填料的结构，可使气体吸收更充分有效，可防止生成的各种粉渣堵塞多孔填料，有利于粉渣被水带走，所述环形喷淋管8下半部上设计有喷水孔8a，其进水咀12伸出盖板6外。盖板6和柱壳7间、一级吸收处理室和二级吸收处理室间的可分离装联可采用通用的法兰盘式结构装联，制造时应注意各零部件与柱壳装联部位的密封性，加装密封圈，防止被处理废气泄漏。当只用一级吸收处理室时，可拆下二级吸收处理室，拆去电动机1，将盖板6拆下，与一级吸收处理室的顶端相装联即可。
本实用新型的电动机1和轴承3为通用产品，可市场选购，其他零部件所用材料应为耐腐蚀的塑料。搅动杆10用软尼龙制造，以减小搅动时产生的震动。多孔填料从市场选购或用小软塑料管切割成与其外径相等的小段而制成。进水大于6kg/cm2，为了达到更好的吸收效果，进水中也可以加入适量碱性物质，如NaOH。
说明：本装置仅仅是对水吸收型废气的吸收处理，排放出的废水和废渣尚需另外处理，已不属本实用新型的范围。
Claims (7)
1、一种水吸收型废气处理装置，其特征在于：包括有一级吸收处理室和与一级吸收处理室顶端呈可分离装联的二级吸收处理室，一级吸收处理室内腔中部的喷淋柱(18)上从上到下装设有半圆锥弧形襟板(19)，使该内腔形成气体上升的盘旋通道，襟板(19)下端与一级吸收处理室的柱壳(20)内壁间工作时形成水封，该柱壳(20)的下部设计有进气口(21)、排渣口(23)，装有排水管(22)，二级吸收处理室的柱壳(7)的下部内装有孔板(13)，顶端上装有可分离的盖板(6)，紧靠盖板(6)下面装有环形喷淋管(8)，内腔中装有多孔填料(11)和电动搅动机构，盖板(6)上设计有出气口(5)。
2、根据权利要求1所述的水吸收型废气处理装置，其特征在于：襟板(19)的母线与喷淋柱(18)的轴线间的夹角为40°-50°，襟板(19)从上到下在其水平投影圆周上呈120°间隔排布。
3、根据权利要求1、2所述的水吸收型废气处理装置，其特征在于：喷淋柱(18)为底端封闭的圆柱管，其管壁上从上到下设计有喷水孔(18a)，其下端装于一级吸收处理室斜面底板(24)中部的定位柱(16)中，进水端装有伸出一级吸收处理室柱壳(20)外的进水咀(17)。
4、根据权利要求1所述的水吸收型废气处理装置，其特征在于：一级吸收处理室的柱壳(20)下部上设计有辅助进气口(15)。
5、根据权利要求1所述的水吸收型废气处理装置，其特征在于：电动搅动机构的搅动轴(9)上装有搅动杆(10)，搅动轴(9)通过轴承结构(3)支承于盖板(6)和孔板(13)上，一端通过联轴器(2)与电动机(1)的轴相联，电动机(1)通过支承架(4)装于盖板(6)上。
6、根据权利要求1所述的水吸收型废气处理装置，其特征在于：环形喷淋管(8)下半部上设计有喷水孔(8a)，其进水咀(12)伸出盖板(6)外。
7、根据权利要求1所述的水吸收型废气处理装置，其特征在于：排水管(22)的进口位于一级吸收处理室斜面底板(24)的低位处，出口高于进口低于进气口(21)和辅助进气口(15)。
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|---|---|---|---|---|
| CN110180373A (zh) * | 2019-06-03 | 2019-08-30 | 苏州仕净环保科技股份有限公司 | 一种脱除硫化物气体的工业净化系统 |
| CN112344319A (zh) * | 2019-08-09 | 2021-02-09 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种孔板式除氧器乏汽回收设备 |
| CN112957906A (zh) * | 2021-03-04 | 2021-06-15 | 北京实力伟业环保科技有限公司 | 一种废气生物净化系统 |
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2004
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