CN2644434Y - 刻蚀机自动传片机构 - Google Patents
刻蚀机自动传片机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN2644434Y CN2644434Y CN 03270508 CN03270508U CN2644434Y CN 2644434 Y CN2644434 Y CN 2644434Y CN 03270508 CN03270508 CN 03270508 CN 03270508 U CN03270508 U CN 03270508U CN 2644434 Y CN2644434 Y CN 2644434Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- corrasion
- organization
- machine automatic
- phototube
- optical disc
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Media Introduction/Drainage Providing Device (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种刻蚀机自动传片机构，它包括步进电机、长轴、下臂和托片手，长轴外套有长套筒，长轴上端装有下臂，下臂壳体内一端装有主转盘，下臂壳体的另一端内部装有从动轴，从动轴轴端部分从下臂壳体伸出，伸出端与托片手连接。下臂和托片手可完成转臂和伸臂的动作。本实用新型利用电机驱动，光电控制来完成传片的动作，取片送片全部自动完成，避免了手动操作引起的污染，提高了反应室的洁净度，提高了刻蚀的质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种自动传片机构，特别涉及一种用于全自动刻蚀机的自动送取基片的机构。
背景技术
随着微电子技术的不断发展，集成度要求越来越高，基片上图形的线条要求越来越细，对刻蚀工艺设备的要求就越高。为了减少对反应室的污染，提高刻蚀质量，提出了对基片刻蚀工艺过程的全自动化，以及提高洁净度的更高要求。在全自动刻蚀机中，自动传片机构是必不可少的。目前，大多数厂家还使用手动的方式取片、送片，这会对刻蚀工艺造成二次污染，使反应室的洁净度达不到要求，刻蚀质量下降。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种刻蚀机自动传片机构，它可自动进出于反应室及大气环境中，完成运送基片的任务。
为解决上述技术问题，本实用新型包括包括步进电机一、步进电机二、长轴、下臂和托片手，长轴外套有长套筒，长轴上端装有下臂，步进电机一与谐波齿轮减速器相连，谐波齿轮减速器与基座相连，长轴和长套筒与基座固定连接，步进电机二与带轮相连，带轮与长套筒相连，长轴上端固定有主转盘，主转盘装在下臂壳体内一端，下臂壳体的另一端内部装有从动轴，主转盘与从动轴用一钢丝绳套接，从动轴轴端部分从下臂壳体伸出，伸出端与托片手连接。
所述长套筒外装有固定法兰与连接罩，固定法兰与连接罩固定连接，其内有长轴，可相对转动，也可同步转动。
固定法兰上面装有上密封板，上密封板上装有密封上盖，上密封板以上部分，装在真空锁内，上密封板以下的各部分，装在真空锁外，将相互运动地金属件密封在真空环境外。
所述长套筒外装有向心球轴承和推力球轴承，轴承间装有套筒或垫片，可自由灵活转动，保证受力良好。
所述主转盘与从动轴的转速比为1∶2，保证伸臂时的正确位置。
所述主动盘外侧固定装有两个小球，钢丝绳的两端分别交叉固定在两个小球上，钢丝绳绕在主动盘与从动轴上，用于实现准确传动保证传动比1∶2无误差。
所述从动轴中间装有一个固定轴，保证从动轴转动灵活可靠。
所述主转盘上装有一小节弹簧，保证钢丝绳始终处于收紧状态。
在基座上固定有支盘，支盘上固定有光电管支架一，光电管支架一上有一缺口，缺口上下面分别装有发光管和光电管，光电盘二固定在连接罩上，连接罩固定在真空锁底面，光电盘二上圆周边缘处有数个设定的小孔，光电盘二的边缘伸入光电管支架一的缺口中，实现转臂动作信号传递。
在基座上固定有底板，底板上固定有光电管支架二，光电管支架二上有一缺口，缺口上下面分别装有发光管和光电管，光电盘一与带轮相连，与带轮同步转动，光电盘一上圆周边缘处有数个设定的小孔，光电盘一的边缘伸入光电管支架二的缺口中，光电管支架二不动，光电盘一转动，实现伸臂动作的信号传递。
刻蚀机采用本实用新型后，取片送片全部自动完成，由于同时考虑了密封问题，避免了运动产生的金属颗粒及大气中的灰尘颗粒对反应室及真空锁内真空洁净环境的污染，也避免了手动操作引起的污染，提高了反应室的洁净度，提高了刻蚀的质量。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。
图1为本实用新型的托片手伸出时的结构示意图。
图2为图1中A-A剖视图。
图3为图1中D-D旋转结构示意图。
图4为图1中下臂及托片手的放大结构示意图。
图5为图4的俯视图。
图6为图4中B-B剖视图。
图7为下臂及托片手传片伸臂的动作示意图。
具体实施方式
刻蚀机包括有反应室及真空锁，反应室应为真空状态。为保证反应室经常处于真空状态，真空锁需要经常处于真空环境与大气环境的交替状态。真空锁有两个，真空锁的壳体与反应室密封连接，在反应室与真空锁之间有一内门，真空锁与大气之间有一外门。本实用新型一部分安装在真空锁内，一部分安装在真空锁外，当外门打开时，自动将托片手11伸出真空锁外，从外部步进升降器内取出基片，再缩回真空锁。此时，外门关闭，锁内抽真空。当锁内的气压降低至接近反应室压力时，内门打开。托片手11自动伸进反应室内，卸下基片，再缩回真空锁，内门关闭。本实用新型的作用就是自动将托片手11伸出缩回。
参见图1、图2，它包括步进电机一18、步进电机二19，长轴10，下臂29和托片手11，长轴10外套有长套筒12，长轴10上端装有下臂29，步进电机一18驱动谐波齿轮减速器6，谐波齿轮减速器6与基座4相连，可带动基座4转动，长轴10和长套筒12与基座4固定连接，步进电机二19驱动带轮2，带轮2与长套筒12相连，可带动长套筒12转动，长轴10上端固定有主转盘21，主转盘21固定装在下臂壳体23内一端，见图4，下臂壳体23的另一端内部装有从动轴27，主转盘21与从动轴27用一钢丝绳25套接。具体做法是在主动盘外侧固定装有两个小球22，钢丝绳25的两端分别交叉固定在两个小球22上，钢丝绳25绕在主转盘21与从动轴27上。见图5。主转盘21上装有一小节弹簧26，随时收紧钢丝绳25。主转盘21与从动轴27的直径比为1.5～4。主转盘21旋转，由钢丝绳25带动从动轴27旋转。从动轴27轴端部分，即上轴端从下臂壳体23伸出，伸出端与托片手11连接。从动轴27中间装有一个固定轴28，支撑从动轴27灵活转动，见图6。
长套筒12外装有固定法兰(9)与连接罩15，固定法兰(9)与连接罩15固定连接。见图1。固定法兰(9)上面装有上密封板14，上密封板14上装有密封上盖(13)。上密封板14以上部分，包括固定法兰(9)上部分、长轴10和长套筒12的上部分及下臂29和托片手11等都装在真空锁内，上密封板14以下的各部分，包括固定法兰(9)下部分、长轴10及长套筒12的下部分及步进电机18、19，谐波齿轮减速器6及光电管支架16、17等在真空锁外。由于反应室与真空锁内都对洁净度提出了很高要求，所以本实用新型在许多位置做了相应的密封，由若干密封圈实现了所需的密封。下臂29是密封的，下臂壳体23与下臂盖24是密封的，从动轴27的上轴端从下臂盖24伸出，有轴封，托片手11就固定在它的轴端。上密封板14及固定法兰(9)与真空锁的壳体相互间密封。实际上，密封在下臂29内部的是大气环境，下臂29外部是真空锁内的低压环境，下臂29内部是通过长轴10与长套筒12之间的空隙与大气相通。
长套筒12外装有向心球轴承和推力球轴承，轴承间装有套筒或垫片，将轴承按一定距离隔开。
在基座4上固定有支盘7，支盘7上固定有光电管支架一16，光电管支架一16上有一缺口，缺口上下面分别装有发光管和光电管，光电盘二8固定在连接罩15上，连接罩15固定在真空锁底面，光电盘二8圆周边缘处有数个设定的小孔，光电盘二8的边缘有小孔部分伸入光电管支架一16的缺口中。
在基座4上固定有底板3，底板3上固定有光电管支架二17，光电管支架二17上有一缺口，缺口上下面分别装有发光管和光电管，光电盘一1与带轮2相连，与带轮2同步转动，光电盘一1上圆周边缘处有数个设定的小孔，光电盘一1的边缘有小孔部分伸入光电管支架二17的缺口中。
图3为图1中D-D旋转结构示意图。步进电机二19轴端有一小带轮20，小带轮20通过同步齿形带5与长套筒12外的带轮2相连。
本实用新型需要完成的动作有两种，转臂和伸臂。
转臂时，步进电机一18通过谐波齿轮减速器6带动基座4转动，步进电机二19不转动而处于锁紧状态。则长轴10及长套筒12随基座4同时转动，下臂29内的主转盘21相对下臂壳体23无转动。从动轴27无相对转动，则装在其轴端的托片手11相对下臂29无转动，即托片手11221与下臂29同步转动。
支盘7随基座4转动，在其上边的光电管支架一16同步转动。伸在光电管支架一16缺口内的光电盘二8的圆周边缘遮住了发光管射到光电管的光束，光电盘二8是固定不动的，其边缘上有数个设定的小孔。当基座4转动，同时光电管支架一16转动。光电盘二8的周边小孔就可间断的有光束通到光电管，就会有信号传到控制系统。这就是下臂29与托片手11旋转位置的信号，据此信号控制转臂动作的位置。
伸臂时，步进电机二19通过带轮2，带动长套筒12转动时，步进电机一18不转动而处于锁紧状态，此时，谐波齿轮减速器6锁紧，无减速功能，步进电机一18通过谐波齿轮减速器6将基座4和固定在它上边的长轴10锁住，它们与真空锁底面连为一体。长套筒12相对长轴10转动。下臂29随长套筒12转动，而主转盘21固定在长轴10上，则主转盘21相对下臂壳体23转动。主转盘21通过钢丝绳25带动从动轴27转动，传动比为1∶2。当下臂29转90°时，则与从动轴27伸出端连接的托片手11相对下臂29转-180°，见图7，转位过程逐渐伸直。当下臂29转-90°时，托片手11与下臂29转向相反，反向位置逐渐伸直。
光电盘一1与带轮2同步转动，光电管支架二17装在底板3上与基座4固定连接，则不动。光电盘一1边缘伸入光电管支架二17的缺口，遮断光电管的光束，光电管无信号。当转到光电盘一1周边的小孔能透过光束时，光电管发出信号，控制伸臂动作的位置。
Claims (10)
1.一种刻蚀机自动传片机构，其特征在于：它包括步进电机一(18)、步进电机二(19)、长轴(10)、下臂(29)和托片手(11)，长轴(10)外套有长套筒(12)，长轴(10)上端装有下臂(29)，步进电机一(18)与谐波齿轮减速器(6)相连，谐波齿轮减速器(6)与基座(4)相连，长轴(10)和长套筒(12)与基座(4)固定连接，步进电机二(19)与带轮(2)相连，带轮(2)与长套筒(12)相连，长轴(10)上端固定有主转盘(21)，主转盘(21)装在下臂壳体(23)内一端，下臂壳体(23)的另一端内部装有从动轴(27)，主转盘(21)与从动轴(27)用一钢丝绳(25)套接，从动轴(27)轴端部分从下臂壳体(23)伸出，伸出端与托片手(11)连接。
2.按照权利要求1所述的刻蚀机自动传片机构，其特征在于：所述长套筒(12)外装有固定法兰(9)与连接罩(15)，固定法兰(9)与连接罩(15)固定连接，其内有长轴(10)。
3.按照权利要求2所述的刻蚀机自动传片机构，其特征在于：固定法兰(9)上面装有上密封板(14)，上密封板(14)上装有密封上盖(13)，上密封板(14)以上部分，装在真空锁内，上密封板(14)以下的各部分，装在真空锁外。
4.按照权利要求1所述的刻蚀机自动传片机构，其特征在于：所述长套筒(12)外装有向心球轴承和推力球轴承，轴承间装有套筒或垫片。
5.按照权利要求1所述的刻蚀机自动传片机构，其特征在于：所述主转盘(21)与从动轴(27)的转速比为1∶2。
6.按照权利要求1所述的刻蚀机自动传片机构，其特征在于：所述主动盘外侧固定装有两个小球(22)，钢丝绳(25)的两端分别交叉固定在两个小球(22)上，钢丝绳(25)绕在主动盘与从动轴(27)上。
7.按照权利要求1所述的刻蚀机自动传片机构，其特征在于：所述从动轴(27)中间装有一个固定轴(28)。
8.按照权利要求1所述的刻蚀机自动传片机构，其特征在于：所述主转盘(21)上装有一小节弹簧(26)。
9.按照权利要求1所述的刻蚀机自动传片机构，其特征在于：在基座(4)上固定有支盘(7)，支盘(7)上固定有光电管支架一(16)，光电管支架一(16)上有一缺口，缺口上下面分别装有发光管和光电管，光电盘二(8)固定在连接罩(15)上，连接罩(15)固定在真空锁底面，光电盘二(8)上圆周边缘处有数个设定的小孔，光电盘二(8)的边缘伸入光电管支架一(16)的缺口中。
10.按照权利要求1所述的刻蚀机自动传片机构，其特征在于：在基座(4)上固定有底板(3)，底板(3)上固定有光电管支架二(17)，光电管支架二(17)上有一缺口，缺口上下面分别装有发光管和光电管，光电盘一(1)与带轮(2)相连，与带轮(2)同步转动，光电盘一(1)上圆周边缘处有数个设定的小孔，光电盘一(1)的边缘伸入光电管支架二(17)的缺口中。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 03270508 CN2644434Y (zh) | 2003-08-12 | 2003-08-12 | 刻蚀机自动传片机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 03270508 CN2644434Y (zh) | 2003-08-12 | 2003-08-12 | 刻蚀机自动传片机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2644434Y true CN2644434Y (zh) | 2004-09-29 |
Family
ID=34300319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 03270508 Expired - Fee Related CN2644434Y (zh) | 2003-08-12 | 2003-08-12 | 刻蚀机自动传片机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2644434Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104538328A (zh) * | 2014-11-26 | 2015-04-22 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 一种硅片真空吸附机械手 |
| CN105171775A (zh) * | 2015-09-18 | 2015-12-23 | 东莞市三润田自动化设备有限公司 | 机械手的校正机构 |
-
2003
- 2003-08-12 CN CN 03270508 patent/CN2644434Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104538328A (zh) * | 2014-11-26 | 2015-04-22 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 一种硅片真空吸附机械手 |
| CN104538328B (zh) * | 2014-11-26 | 2018-01-02 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 一种硅片真空吸附机械手 |
| CN105171775A (zh) * | 2015-09-18 | 2015-12-23 | 东莞市三润田自动化设备有限公司 | 机械手的校正机构 |
| CN105171775B (zh) * | 2015-09-18 | 2019-01-25 | 东莞三润田智能科技股份有限公司 | 机械手的校正机构 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1046654C (zh) | 传送装置 | |
| US5772773A (en) | Co-axial motorized wafer lift | |
| CA2120211A1 (en) | Rotary Disk Valve | |
| CN2644434Y (zh) | 刻蚀机自动传片机构 | |
| CN104882402B (zh) | 一种基片承载装置 | |
| KR950035536A (ko) | 진공처리시시스템과 이에 사용되는 기판이송용 고정장치 및 진공게이트 밸브, 그리고 진공처리시스템에 사용되는 기판의 조작방법 | |
| US6910847B1 (en) | Precision polar coordinate stage | |
| JP2001210700A (ja) | 基板検出方法およびその装置 | |
| CN208922001U (zh) | 一种宏观检查机 | |
| US5921560A (en) | Direct drive rotational motor with axial vacuum | |
| US6779278B1 (en) | Compact rotating stage | |
| CN1198698A (zh) | 传送机械手 | |
| EP1373907B1 (en) | Rotary incubation station for immunoassay systems | |
| JPS5866681A (ja) | 組立用ロボツト | |
| US20020164232A1 (en) | Semiconductor wafer processing apparatus | |
| CN220926224U (zh) | 一种色素瓶瓶盖吸附安装装置 | |
| JPH085555Y2 (ja) | ウェ−ハ移載機 | |
| CN212265206U (zh) | 一种变矩器夹持装置及变矩器再造设备 | |
| CN219759546U (zh) | 一种应用于半导体行业的多手臂晶圆移载设备 | |
| CN212111097U (zh) | 一种口服液全自动灯检机的口服液瓶下压机构 | |
| JPH01224572A (ja) | 回転直線導入機 | |
| CN117593468B (zh) | 一种旋转扫描台 | |
| CN110045581B (zh) | 带有双工位旋转载片装置的光刻机 | |
| CN109061919A (zh) | 一种宏观检查机 | |
| JP2529837B2 (ja) | 磁気デイスク駆動装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Assignee: 718 friends of Beijing Sheng Electronics Co., Ltd. Assignor: Qixinghuachuang Electronic Co., Ltd., Beijing Contract fulfillment period: 2008.1.1 to 2013.2.1 Contract record no.: 2008110000032 Denomination of utility model: Automatic piece sending mechanism of etching machine Granted publication date: 20040929 License type: Exclusive license Record date: 20081006 |
|
| LIC | Patent licence contract for exploitation submitted for record |
Free format text: EXCLUSIVE LICENSE; TIME LIMIT OF IMPLEMENTING CONTACT: 2008.1.1 TO 2013.2.1; CHANGE OF CONTRACT Name of requester: BEIJING QIYIBA YOUSHENG ELECTRONIC CO.,LTD. Effective date: 20081006 |
|
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20040929 Termination date: 20090914 |