CN2639315Y - 镀膜设备用的基板承载座 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种镀膜设备用的基板承载座，其用以承载至少一基板，且包括一承载座主体以及数个夹持单元，其中，承载座主体具有数个接合部，其分别位于基板的周围；各夹持单元分别固设于相对应的接合部，以便夹持基板。

Description

镀膜设备用的基板承载座

技术领域

本实用新型涉及一种基板承载座，特别是一种在镀膜设备中用以承载待镀膜的基板的基板承载座。

背景技术

镀膜制程是一种在工业界应用相当广泛的技术，尤其是在近年来发展迅速的半导体产业与光电产业中，镀膜制程更是影响产品品质的重要制程之一。

现有的镀膜设备通常包括一马达、一基板承载机构、以及一镀膜源。其中，基板承载机构通常为伞具式基板承载机构，或是行星式基板承载机构，这些现有的基板承载机构包括数个基板承载座，其通常依据所欲加工的基板的尺寸及形状而设计。举例而言，请参照图1所示，现有的伞具式基板承载机构的基板承载座1为一圆弧曲面，并形成有数个开口11，其形状配合待加工的基板的尺寸及形状设置；另外，如图2所示，现有的行星式基板承载机构的基板承载座2为一圆盘，并具有数个开口21，其形状亦配合待加工的基板的尺寸及形状设置。

承上所述，在制作现有的基板承载座时，必须配合待加工的基板的尺寸及形状，于现有的基板承载座上形成数个开口，以便容置待加工的基板。然而，当制造商欲在另一尺寸或形状的基板上进行镀膜制程时，通常要另外制作新的基板承载座，以便形成符合另一尺寸或形状的基板的开口；如此一来，势必会大幅增加基板承载座的成本，而且还会浪费制作新的基板承载座的时间。

因此，如何提供一种能够适用于不同尺寸及形状的基板的基板承载座，以便降低基板承载座的成本，并节省制作基板承载座的时间，实是当前溅镀技术的重要课题之一。

发明内容

有鉴于上述现有技术的不足与缺陷，本实用新型的目的为提供一种能够适用于不同尺寸及形状的基板的镀膜设备用的基板承载座。

为达上述目的，依本实用新型的镀膜设备用的基板承载座，其用以承载至少一基板，且包括一承载座主体以及数个夹持单元。在本实用新型中，承载座主体具有数个接合部，其分别位于基板的周围；各夹持单元分别固设于相对应的接合部，以便夹持基板。其中，各接合部的位置分别设置在基板的周缘，而各夹持单元能够稳固地夹持基板，并避免基板在镀膜制程中有晃动、掉落的情形发生。

承上所述，由于本实用新型的镀膜设备用的基板承载座依据待镀膜的基板的尺寸及形状，于承载座主体上形成数个接合部，例如为螺孔，然后将夹持单元固设在接合部上以夹持基板，所以，可以在承载座主体上形成不同位置的接合部，以便配合不同尺寸或形状的基板，以便顺利进行镀膜制程；与现有技术相比，本实用新型的镀膜设备用的基板承载座能够应用于不同尺寸及形状的基板，而不需重制新的基板承载座，所以能够大幅降低基板承载座的成本，并节省制作基板承载座的时间。

附图说明

图1为显示现有的伞具式基板承载机构的基板承载座的示意图；

图2为显示现有的行星式基板承载机构的基板承载座的示意图；

图3为显示依本实用新型较佳实施例的镀膜设备用的基板承载座的示意图；

图4为显示利用本实用新型较佳实施例的镀膜设备用的基板承载座来夹持基板的示意图。

图中符号说明

1          基板承载座

11         开口

2          基板承载座

21         开口

3          基板承载座

31         承载座主体

311        接合部

312        旋转轴

32         夹持单元

321        固定座

322        第一接合件

323        夹持件

324        第二接合件

33         衬垫

4          基板

具体实施方式

以下将参照相关附图，说明依本实用新型较佳实施例的镀膜设备用的基板承载座，其中相同的组件将以相同的参照符号加以说明。

请参照图3所示，依本实用新型较佳实施例的镀膜设备用的基板承载座3包括一承载座主体31以及数个夹持单元32。需注意，基板承载座3为一行星式镀膜设备的基板承载座；此外，依本实用新型的镀膜设备用的基板承载座亦可以是一伞具式镀膜设备的基板承载座。

承载座主体31具有数个接合部311，而且各接合部311的位置依据待镀膜的基板(图中未显示)的尺寸及形状而定，其分别位于待镀膜的基板的周围；承载座主体31的中央设有一旋转轴312，故承载座主体31能够以旋转轴312为轴心而旋转。在本实施例中，接合部311为一螺孔结构，其利用现有的孔位加工制得。

各夹持单元32分别固设于各接合部311上，用以夹持待镀膜的基板。在本实施例中，各夹持单元32分别由一固定座321、一第一接合件322、一夹持件323、以及一第二接合件324所构成。如图3所示，第一接合件322与各接合部311接合，其与接合部311配合的螺丝，以便将固定座321固设于承载座主体31上；而第二接合件324与固定座321接合，以便将夹持件323设置固定座321上；夹持件323为一弹簧片，其一端部固定于固定座321上，且夹持件323以此端部为轴心旋动，用以载/卸待镀膜的基板，并进一步固定待镀膜的基板。需注意，为有效夹持固定待镀膜的基板，各夹持单元更可以具有数个夹持件，以及数个其它配合的组件，如第一接合件、及第二接合件。

另外，基板承载座3更包括一衬垫33，其设置于待镀膜的基板与承载座主体31之间。在本实施例中，衬垫33可以是由电木所构成，因此，当利用夹持件323将待镀膜的基板固定时，能够利用衬垫33来保护待镀膜的基板，以避免待镀膜的基板面向承载座主体31的侧面受损。

以下将参照图4所示，说明依本实用新型较佳实施例的镀膜设备用的基板承载座3的设计及应用。

首先，依据待镀膜的基板4的尺寸及形状，于承载座主体31上进行孔位加工，以形成所需的接合部311。需注意，基板4可以是矩形、圆形、多边形或其它任意一种形状的玻璃基板，而且，承载座主体31上可以形成有数个接合部311，以便稳定地固定住基板4。

接着，将固定座321置于相对应的接合部311上，并利用第一接合件322将固定座321固定在承载座主体31上。

然后，将衬垫33摆设于各固定座321之间，并以第二接合件324将夹持件323固定于固定座321上。此时，各夹持件323转离各固定座321所构成的空间外，而第二接合件324并未完全紧锁。

最后，将基板4置于各固定座321之间并位于衬垫33上，再旋转各夹持件323，以便利用各夹持件323将基板4夹持于各固定座321之间。此时，更可以将第二接合件324完全锁紧，以便进一步固定住基板4。

在固定好基板4之后，便可以将基板承载座3设置于镀膜设备中，以进行镀膜制程；其相关技术及其细节为熟知该项技术者所悉，故此不再阐述。

需注意，承载座主体31仅需形成新的接合部便可以重复使用，所以能够更加节省成本。另外，依本实用新型较佳实施例的镀膜设备用的基板承载座3可以利用排列基板的方式，以有效利用基板承载座3的面积，从而以增加镀膜制程的产能；此外，基板承载座3的设计能够方便基板的载/卸，以节省制程时间。

综上所述，由于依本实用新型的镀膜设备用的基板承载座依据待镀膜的基板的尺寸及形状，于承载座主体上形成数个接合部，然后将夹持单元固设在接合部上以夹持基板，所以能够适用于不同尺寸或形状的基板以进行镀膜制程，而不需重制新的基板承载座，所以能够大幅降低基板承载座的成本，并节省制作基板承载座的时间。

以上所述仅为举例性，而非为限制性者。任何未脱离本实用新型的精神与范畴，而对其进行的等效修改或变更，均应包含于权利要求书的范围中。

Claims (6)

1.一种镀膜设备用的基板承载座，其用以承载至少一基板，其特征在于，包含：

一承载座主体，其具有数个接合部，该等接合部分别位于该基板的周围；以及

数个夹持单元，其分别固设于该等接合部以夹持该基板。

2.如权利要求1所述的镀膜设备用的基板承载座，其特征在于，各夹持单元包含：

一固定座，其固接于该等接合部之一；以及

一夹持件，其设置于该固定座上并固定该基板。

3.如权利要求2所述的镀膜设备用的基板承载座，其特征在于，各夹持单元更包含：

一第一接合件，其将该固定座固定于该等接合部之一；以及

一第二接合件，其将该夹持件固定于该固定座上。

4.如权利要求2所述的镀膜设备用的基板承载座，其特征在于，该夹持件为一弹簧片。

5.如权利要求4所述的镀膜设备用的基板承载座，其特征在于，该弹簧片的一端部固定于该固定座上，且该弹簧片以该端部为轴心旋动。

6.如权利要求2所述的镀膜设备用的基板承载座，其特征在于，更包含：

一衬垫，其设置于该基板与该承载座主体之间。

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