CN2613756Y - 薄膜力学性能测试鼓泡仪 - Google Patents

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周根树
任风章
郑茂盛
赵文轸
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Abstract

一种薄膜力学性能测试鼓泡仪，包括设置在试样台上的试样夹，试样台为一空腔结构，试样夹设置在试样台的空腔之上，且在试样夹上设置有压盖，在试样台上还设置有与试样台的空腔相联通的加压泵，压力传感器的一端与压力泵相联接，压力传感器的另一端和位移传感器与计算机的数据采集卡相联接。由于本实用新型通过与计算机相联接的压力传感器和激光位移传感器将薄膜的压力和挠度值经过A/D转换由计算机采集处理，即可得到压力与挠度的关系，具有实验灵敏度高、精确度高，测试数据可靠，操作方便，灵活的特点。

Description

薄膜力学性能测试鼓泡仪
一、技术领域
本实用新型属于力学性能测试装置，特别涉及一种薄膜的力学性能测试鼓泡仪。
二、背景技术
薄膜力学性能的测试，对于薄膜器件的生产和正常使用具有非常重要的意义，对于薄膜材料的理论和应用研究以及发展新的表面技术也非常重要。但由于薄膜自身的特点薄，而且往往粘附于基底上，薄膜力学性能的测试和表征与大块材料的相差很远。虽然已经出现许多薄膜力学性能测试技术，但在适用范围，科学性等方面都存在这样或那样的问题。如，划痕法的使用受到薄膜硬度的影响；X-射线残余应力测试装置受薄膜晶粒尺寸的制约；静拉伸法受薄膜致密性的影响较大。因此，发明或发展薄膜力学性能测试技术一直受到重视。
三、发明内容
本实用新型的目的在于提供一种可准确、方便地测试薄膜力学性能的鼓泡仪。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：包括设置在试样台上的试样夹，其特点是，试样台为一空腔结构，试样夹设置在试样台的空腔之上，且在试样夹上设置有压盖，在试样台上还设置有与试样台的空腔相联通的加压泵，压力传感器的一端与压力泵相联接，压力传感器的另一端和位移传感器与计算机的数据采集卡相联接。
本实用新型的另一特点是：位移传感器为激光位移传感器。
由于本实用新型通过与计算机相联接的压力传感器和激光位移传感器将薄膜的压力和挠度值经过A/D转换由计算机采集处理，即可得到压力与挠度的关系，具有实验灵敏度高、精确度高，测试数据可靠，操作方便，灵活的特点。
四、附图说明
图1是本实用新型的整体结构示意图；
图2是本实用新型试样夹2的结构示意图。
五、具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的结构原理和工作原理作进一步详细说明。
参见图1，2，本实用新型包括设置在试样台1上的试样夹2，试样台1为一空腔结构，试样夹2设置在试样台1的空腔之上，且在试样夹2上设置有压盖7，需要测试的薄膜样品通过压盖7设置在试样夹2上，在试样台1上还设置有与试样台1的空腔相联通的加压泵4，通过加压泵4逐渐增加气体压力，压力传感器5的一端与压力泵4相联接，压力的大小通过压力传感器5测量，压力传感器5的另一端和激光位移传感器3与计算机6的数据采集卡相联接。薄膜样品8在压力泵4的压力作用下发生挠曲，测量膜中心的挠度由激光位移传感器5测量，压力和挠度值经过A/D转换由计算机6采集处理，即可得到压力与挠度的关系，结合理论力学模型，最终可获得相关力学性能数据。
本实用新型是利用薄膜在气压(或液压)作用下发生变形或断裂的现象，测量形变与压力之间的关系，再通过公式计算出膜基结合强度、薄膜弹性膜量、断裂强度、薄膜残余应力等力学参量。

Claims (2)

1、一种薄膜力学性能测试鼓泡仪，包括设置在试样台【1】上的试样夹【2】，其特征在于：试样台【1】为一空腔结构，试样夹【2】设置在试样台【1】的空腔之上，且在试样夹【2】上设置有压盖【7】，在试样台【1】上还设置有与试样台【1】的空腔相联通的加压泵【4】，压力传感器【5】的一端与压力泵【4】相联接，压力传感器【5】的另一端和位移传感器【3】与计算机【6】的数据采集卡相联接。
2、根据权利要求1所述的薄膜力学性能测试鼓泡仪，其特征在于：所说的位移传感器【3】为激光位移传感器。
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Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101122561B (zh) * 2007-08-02 2010-06-30 上海交通大学 膜基结合性能的背面穿透式的测量方法
CN101672750B (zh) * 2009-09-27 2011-02-02 重庆大学 薄膜材料泊松比及杨氏弹性模量的几何测量法
CN101788427B (zh) * 2010-01-29 2012-08-29 湘潭大学 一种多功能薄膜力学性能检测装置
CN102053037B (zh) * 2009-10-27 2014-08-27 中国石油化工股份有限公司 一种多轴拉伸仪及其使用方法
CN104359835A (zh) * 2014-11-24 2015-02-18 湘潭大学 一种柔性薄膜界面结合强度的测量方法
CN104677748A (zh) * 2015-02-09 2015-06-03 清华大学 一种用于测量薄膜性能的鼓膜装置
CN106198206A (zh) * 2016-09-12 2016-12-07 湘潭大学 一种薄膜高温力学性能测量装置及方法
CN106323871A (zh) * 2016-08-18 2017-01-11 温州市大荣纺织仪器有限公司 织物覆膜牢度测试方法
CN106644683A (zh) * 2017-01-16 2017-05-10 重庆大学 最大挠度受限制状态下圆形薄膜挠度的确定方法
CN106769504A (zh) * 2016-12-06 2017-05-31 天津商业大学 一种柔性复合薄膜曲面形变的检测装置与方法
CN106769503A (zh) * 2016-12-06 2017-05-31 天津商业大学 一种柔性传感器的变形检测装置及方法
CN107389459A (zh) * 2017-07-12 2017-11-24 东北大学 一种薄膜力学性能实时测试装置
CN107991174A (zh) * 2018-01-05 2018-05-04 北京科技大学 一种薄膜应力梯度原位演化的测试样品装置及测试方法
CN108061683A (zh) * 2017-12-10 2018-05-22 北京工业大学 一种用于激光位移传感器测圆形窗口中心挠度的快速定位装置
CN109374419A (zh) * 2018-09-26 2019-02-22 北京工业大学 一种用于可加热鼓泡法测试样力学性能的密封装置
CN110208099A (zh) * 2019-06-05 2019-09-06 重庆大学 一种液体作用下预应力圆形薄膜的弹性能的确定方法
CN110231215A (zh) * 2019-06-05 2019-09-13 重庆大学 挠度受弹性限制的预应力圆形薄膜的最大挠度的确定方法
CN110286040A (zh) * 2019-06-05 2019-09-27 重庆大学 一种液体作用下预应力圆形薄膜的最大应力的确定方法
CN110286031A (zh) * 2019-06-05 2019-09-27 重庆大学 挠度受弹性限制的预应力圆形薄膜的最大应力的确定方法
CN110320101A (zh) * 2019-06-05 2019-10-11 重庆大学 一种液体作用下预应力圆形薄膜的最大挠度的确定方法

Cited By (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101122561B (zh) * 2007-08-02 2010-06-30 上海交通大学 膜基结合性能的背面穿透式的测量方法
CN101672750B (zh) * 2009-09-27 2011-02-02 重庆大学 薄膜材料泊松比及杨氏弹性模量的几何测量法
CN102053037B (zh) * 2009-10-27 2014-08-27 中国石油化工股份有限公司 一种多轴拉伸仪及其使用方法
CN101788427B (zh) * 2010-01-29 2012-08-29 湘潭大学 一种多功能薄膜力学性能检测装置
CN104359835A (zh) * 2014-11-24 2015-02-18 湘潭大学 一种柔性薄膜界面结合强度的测量方法
CN104677748A (zh) * 2015-02-09 2015-06-03 清华大学 一种用于测量薄膜性能的鼓膜装置
CN106323871A (zh) * 2016-08-18 2017-01-11 温州市大荣纺织仪器有限公司 织物覆膜牢度测试方法
CN106198206A (zh) * 2016-09-12 2016-12-07 湘潭大学 一种薄膜高温力学性能测量装置及方法
CN106769504A (zh) * 2016-12-06 2017-05-31 天津商业大学 一种柔性复合薄膜曲面形变的检测装置与方法
CN106769503A (zh) * 2016-12-06 2017-05-31 天津商业大学 一种柔性传感器的变形检测装置及方法
CN106644683A (zh) * 2017-01-16 2017-05-10 重庆大学 最大挠度受限制状态下圆形薄膜挠度的确定方法
CN106644683B (zh) * 2017-01-16 2019-01-15 重庆大学 最大挠度受限制状态下圆形薄膜挠度的确定方法
CN107389459A (zh) * 2017-07-12 2017-11-24 东北大学 一种薄膜力学性能实时测试装置
CN108061683A (zh) * 2017-12-10 2018-05-22 北京工业大学 一种用于激光位移传感器测圆形窗口中心挠度的快速定位装置
CN107991174A (zh) * 2018-01-05 2018-05-04 北京科技大学 一种薄膜应力梯度原位演化的测试样品装置及测试方法
CN109374419A (zh) * 2018-09-26 2019-02-22 北京工业大学 一种用于可加热鼓泡法测试样力学性能的密封装置
CN110208099A (zh) * 2019-06-05 2019-09-06 重庆大学 一种液体作用下预应力圆形薄膜的弹性能的确定方法
CN110231215A (zh) * 2019-06-05 2019-09-13 重庆大学 挠度受弹性限制的预应力圆形薄膜的最大挠度的确定方法
CN110286040A (zh) * 2019-06-05 2019-09-27 重庆大学 一种液体作用下预应力圆形薄膜的最大应力的确定方法
CN110286031A (zh) * 2019-06-05 2019-09-27 重庆大学 挠度受弹性限制的预应力圆形薄膜的最大应力的确定方法
CN110320101A (zh) * 2019-06-05 2019-10-11 重庆大学 一种液体作用下预应力圆形薄膜的最大挠度的确定方法
CN110231215B (zh) * 2019-06-05 2021-06-08 重庆大学 挠度受弹性限制的预应力圆形薄膜的最大挠度的确定方法
CN110286040B (zh) * 2019-06-05 2021-06-25 重庆大学 一种液体作用下预应力圆形薄膜的最大应力的确定方法
CN110286031B (zh) * 2019-06-05 2021-06-29 重庆大学 挠度受弹性限制的预应力圆形薄膜的最大应力的确定方法
CN110320101B (zh) * 2019-06-05 2021-06-29 重庆大学 一种液体作用下预应力圆形薄膜的最大挠度的确定方法

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