CN2593370Y - 氮化镓基ⅲ-ⅴ族化合物半导体发光装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种氮化镓基III-V族化合物半导体发光装置,主要系在一基板上成长一多层磊晶结构,藉由一可形成于Ni/Au层上的可透光金属氧化层作为光取出层,并利用Ni/Au层作为光取出层与多层磊晶结构间的欧姆接触层,以构成一LED的发光装置;该发光装置,包括一基板、一多层磊晶结构、一Ni/Au欧姆接触层、一光取出层、一n型金属电极及一p型金属电极等构成。
Description
所属技术领域:
本实用新型涉及一种氮化镓基III-V族化合物半导体发光装置,尤指一种适用于氮化镓基(GaN-based)III-V族材料的发光二极管者(light-emitting diode,简称LED),主要系在一基板上(substrate)成长一多层磊晶结构(multi-layered epitaxial structure),藉由一可形成于Ni/Au层上的可透光金属氧化层(metal oxide layer,例如ZnO)作为光取出层(light extraction layer),并利用Ni/Au层作为光取出层与多层磊晶结构间的欧姆接触(Ohmic Contact)层,以构成一LED的发光装置。
该发光装置,包括一基板、一多层磊晶结构、一Ni/Au欧姆接触层、一光取出层、一n型金属电极(n-type metal contact)及一p型金属电极(p-type metal contact)等构成;其中,该多层磊晶结构又包括缓冲层(buffer layer)、第一半导体层、光产生层(light generating layer)、及第二半导体层等;该Ni/Au层,系形成于第二半导体层上;且该光取出层,系形成于Ni/Au层上,厚度至少在1μm,并具有粗糙表面(RoughSurface)或压花纹路,故有较高的光取出率(light extractionefficiency)。
背景技术:
目前,公知的氮化镓基发光装置,系以Ni/Au结构作为透明电极于P型半导体层表面,而藉以改善发光装置的发光效率;惟,Ni/Au结构本身即具有透光性较为不佳的材质特性,因此,结构特征上,Ni/Au结构的成形厚度极薄,仅可在0.005至0.2μm的间;又,根据临界角度θC(CriticalAngle)原则,透明电极应具有适当厚度(即适度的厚膜化),方可利于光的逃脱放出,则Ni/Au结构在厚度特征的限制下,其对于透光性的增益,恐仍有未尽理想的处。
再者,以Ni/Au结构作为透明电极的氮化镓基发光装置,因前述的结构特征使然,难以在0.005至0.2μm间的成形厚度上,再施予表面处理而形成更多的侧边,故无法进一步增加光的逃脱放出,而有所缺憾。
实用新型内容:
本实用新型的主要目的,即为提供一种氮化镓基III-V族化合物半导体发光装置;系在Ni/Au层上形成一可透光的金属氧化层作为光取出层,并利用Ni/Au层作为光取出层与多层磊晶结构间的欧姆接触层,以增益透光性,且该光取出层具有适当厚度(即适度的厚膜化),因此,可施予表面处理,而进一步增加光的逃脱放出。
本实用新型所采取的技术方案为:
一种氮化镓基III-V族化合物半导体发光装置,包括一基板、一多层磊晶结构、一Ni/Au欧姆接触层、一光取出层、一n型金属电极及一p型金属电极等构成,该多层磊晶结构又包括缓冲层、第一半导体层、光产生层、及第二半导体层等;其中:
该基板,系以蓝宝石或碳化硅(SiC)制成;
该缓冲层,系于基板的上表面所形成的LT-GaN/HT-GaN的缓冲层,LT-GaN系为先成长在基板上的低温缓冲层,HT-GaN系为成长在LT-GaN上的高温缓冲层;
该第一半导体层,系成长于缓冲层上的n型GaN基III-V族化合物半导体层;
该光产生层,系成长于第一半导体层上的GaN基III-V族化合物半导体层,或称为活性层,可为GaN多量子井(MQW);
该第二半导体层,系成长于光产生层上的p型GaN基III-V族化合物半导体层;
该Ni/Au欧姆接触层,系形成于第二半导体层表面;
该光取出层,系形成于Ni/Au层上可透光的金属氧化层,可为ZnO材质,厚度至少在1μm,且具有粗糙表面或压花纹路,并由Ni/Au层作为光取出层与第二半导体层间的欧姆接触层;
该n型金属电极,系设置在第一半导体层的露出面上;
该p型金属电极,系设置在光取出层上;由此,可经由后续的晶粒加工、设置、接线、及树脂灌膜封装,而构成一氮化镓基(GaN-based)的发光二极管。
本实用新型所具有的有益效果为:
1、本实用新型系以一可形成于Ni/Au层上的可透光金属氧化层(例如ZnO)作为光取出层,因此,远比以Ni/Au结构作为透明电极的氮化镓基发光装置更具有较高的光取出率。
2、本实用新型因利用Ni/Au层作为光取出层与多层磊晶结构间的欧姆接触层,因此,Ni/Au结构的成形厚度极薄亦不致影响光的逃脱放出。
3、本实用新型系以可透光金属氧化层(例如ZnO)作为光取出层,而取代原有的透明电极(Ni/Au结构),因此,可突破原有透明电极(Ni/Au结构)的厚度限制,使得该光取出层厚度至少在1μm,故可在光取出层上进一步施予表面处理,以形成更多的侧边,而大幅增进光的逃脱放出
本实用新型的特征、技术手段、具体功能、以及具体的实施例,继以图式、图号详细说明如后。
附图说明:
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1为本实用新型较佳实施例的立体示意图;
图2为本实用新型较佳实施例的结构示意图;
图3为本实用新型内光的逃脱放出示意图;
图4至图5为光取出层的表面处理示意图;
图6至图7为压花纹路的另一实施例示意图;
图8为本实用新型第二实施例的结构示意图;
图9为本实用新型第三实施例的结构示意图;
图10为本实用新型第四实施例的结构示意图。
具体实施方式:
请参阅图1至图2所示,在较佳实施例中,本实用新型的发光装置,包括一基板10、一多层磊晶结构20、一Ni/Au欧姆接触层29、一光取出层30、一n型金属电极40及一p型金属电极50等构成,该多层磊晶结构20又包括缓冲层22、第一半导体层24、光产生层26、及第二半导体层28等;其中:
该基板10,系以蓝宝石(sapphire)或碳化硅(SiC)制成,基板厚度可在300至450μm;
该缓冲层22,系于基板10的上表面11所形成的LT-GaN/HT-GaN的缓冲层,LT-GaN系为先成长在基板10上的低温缓冲层,厚度可在30至500,HT-GaN系为成长在LT-GaN上的高温缓冲层,厚度可在0.5至6μm;
该第一半导体层24,系成长于缓冲层22上的n型GaN基III-V族化合物半导体层(n-type gallium nitride-based III-V group compoundsemiconductor),厚度可在2至6μm,成长温度Tg约在980至1080℃间;
该光产生层26,系成长于第一半导体层24上的GaN基III-V族化合物半导体层(gallium nitride-based III-V group compound semiconductor),或称为活性层,可为GaN多量子井(Multi-Quantum Well,简称MQW)或InGaN多量子井(MQW);
该第二半导体层28,系成长于光产生层26上的p型GaN基III-V族化合物半导体层(p-type gallium nitride-based III-V group compoundsemiconductor),例如:p-GaN、p-InGaN、p-AlInGaN的磊晶沉积层,厚度可在0.2至0.5μm,成长温度Tg约在950至1000℃间;
该Ni/Au欧姆接触层29,系形成于第二半导体层28表面,厚度可在0.005至0.2μm;
该光取出层30,系形成于Ni/Au层29上可透光的金属氧化层(light-transmitting oxide-metallic material),可为ZnO材质,厚度至少在1μm,且具有粗糙表面301,并由Ni/Au层29作为光取出层30与第二半导体层28间的欧姆接触层;
该n型金属电极40,系设置在第一半导体层24的露出面24a上;
该p型金属电极50,系设置在光取出层30上;
由此,即可构成一具有光取出层30的发光装置,且光取出层30可使从活性区(active region)所散发的光更易于穿透光取出层30的侧边及表面,而增加光(emitted light)的逃脱量,以提升发光装置的光取出率。
此间应予以说明者,乃在于:在较佳实施例中,该发光装置的制成方式如下:先在蓝宝石(sapphire)或碳化硅(SiC)基板10的上表面11形成一缓冲层后,再成长一n-GaN系的磊晶沉积层21;再于n-GaN系的磊晶沉积层21上形成一MQW的活性层23;再于MQW活性层23上形成一层p-GaN系(p-GaN-based,例如:p-GaN、p-InGaN、p-AlInGaN)的磊晶沉积层25,且以蚀刻法(Etching)将部份n-GaN层21表面、部份MQW活性层23、及部份p-GaN层25移除,使n-GaN层21具有一露出面21a,且可在蚀刻后剩余的p-GaN层25表面,镀上一层极薄的Ni/Au层27;再于Ni/Au层27表面镀上至少在1μm厚度的ZnO系窗口层31,并由Ni/Au层27作为ZnO系窗口层31与p-GaN层25间的欧姆接触层;再于在n-GaN层21的露出面21a上设置一n型金属电极40,并在ZnO系窗口层31上设置一p型金属电极50,且因ZnO系窗口层31具有至少1μm厚度,故可在ZnO系窗口层31的裸露表面(即ZnO系窗口层31表面不含与p型金属电极50接触的部份),进一步施予表面处理而使其粗糙化;由此,即可构成一LED的发光装置,且ZnO系窗口层31将具有适当的厚度及更多的侧边,而形成一较佳的光取出层,以增益光的逃脱放出。
此间应再予以说明者,乃在于:该光产生层26(即活性层),亦可仅包括一磊晶层(epitaxial layer),且该磊晶层,系由AlGaInN基III-V族化合物半导体层(aluminum-gallium-indium-nitride-based III-Vgroup compound semiconductor)所构成。
此间拟再予提出说明者,乃在于:前述的发光装置,经由晶粒加工后可设置在脚架(图未出示)上,且接线后可由树脂灌膜封装,而制成一完整的LED。
请参阅图3所示,该光取出层30,厚度实施的范围可在50至50μm,故可厚膜化;由于LED的发光装置内,只有在临界角度θC(CriticalAngle)以内的光才能逃脱放出,所以,具有适当厚度的光取出层,可提升发光装置的光取出率;如图所示,若该光取出层30的厚度至少在1μm,则从活性区所散发的光更易于穿透光取出层30,而具有较佳光取出率;再者,该光取出层30又具有粗糙表面301,因此,具有更多的侧边302,而可大幅增加光的逃脱放出。
请参阅图4至图5所示,承前所述,该光取出层30的表面,进一步亦可施予压花处理,而形成压花纹路,同样地,该压花纹路亦可使光取出层30具有更多的侧边,而大幅增加光的逃脱放出;如第5图所示,该压花纹路303,可为圆锥体或三角锥体者;如图5所示,该压花纹路305,可为四角锥体(金字塔体)等;且其它几何锥体的变化者亦为本实用新型压花纹路的可行方式。
请参阅图6至图7所示,系为压花纹路的另一实施例平面示意图及部份立体示意图;其中,该压花纹路,进一步亦可由多数个凹槽307所布设而成,且凹槽307的布设方式可排列呈三角形、矩形、菱形、及多边形等,凹槽307间并具有适当间隔距离,以供电流导通,且其它几何形状的排列变化者亦为本发明可行的方式。
请参阅图8所示,在第二实施例中,该光取出层30,进一步亦可为厚度至少在1μm的InxZn1-xO系窗口层32(0≤X≤1),且可在InxZn1-xO系窗口层32的裸露表面(即InxZn1-xO系窗口层32表面不含与p型金属电极50接触的部份),进一步施予表面处理,而具有粗糙表面321或压花纹路。
请参阅图9所示,在第三实施例中,该光取出层30,进一步亦可为厚度至少在1μm的SnxZn1-xO系窗口层33(0≤X≤1),且可在SnxZn1-xO系窗口层33的裸露表面(即SnxZn1-xO系窗口层33表面不含与p型金属电极50接触的部份),进一步施予表面处理,而具有粗糙表面331或压花纹路。
请参阅图10所示,在第四实施例中,该光取出层30,进一步亦可为厚度至少在1μm的InxSnyZn1-x-yO系窗口层34(0≤X≤1,且0≤Y≤1,且0≤X+Y≤1),并可在InxSnyZn1-x-yO系窗口层34的裸露表面(即InxSnyZn1-x-yO系窗口层34表面不含与p型金属电极50接触的部份),进一步施予表面处理,而具有粗糙表面341或压花纹路。
此间应再予以说明者,乃在于:该光取出层30,亦可为折射率(refractive index)至少在1.5的金属氧化层者;或可为n型传导(n-typeconduction)或p型传导(p-type conduction)的金属氧化层者;或可为掺杂有稀土元素(rare earth-doped)的金属氧化层者;或可为具有较佳的可见光透光性范围(transparency in visible range)的金属氧化层者,例如:范围约在400至700nm者;且以上所述,皆为本实用新型发光装置的可行方式。
此间拟提出说明者,乃在于:本实用新型发光装置的磊晶结构,系可由溅镀自我组织(self-texturing by sputtering)法所形成,或可由物理气相沉积(physical vapor deposition)法所形成,或可由离子电镀(ion plating)法所形成,或可由脉冲雷射蒸镀(pulsed laserevaporation)法所形成,或可由化学气相沉积(chemical vapordeposition)法所形成,或可由分子束磊晶成长(molecular beamepitaxy)法所形成。
Claims (12)
1.一种氮化镓基III-V族化合物半导体发光装置,包括一基板、一多层磊晶结构、一Ni/Au欧姆接触层、一光取出层、一n型金属电极及一p型金属电极等构成,该多层磊晶结构又包括缓冲层、第一半导体层、光产生层、及第二半导体层等;其特征在于:
该基板,系可为蓝宝石(sapphire)材质,且基板的上表面可成长一缓冲层;
该第一半导体层,系成长于缓冲层上的n型GaN基III-V族化合物半导体层;
该光产生层,系成长于第一半导体层上的GaN基III-V族化合物半导体层,或称为活性层,可为GaN多量子井(MQW);
该第二半导体层,系成长于光产生层上的p型GaN基III-V族化合物半导体层;
该Ni/Au欧姆接触层,系形成于第二半导体层表面;
该光取出层,系形成于Ni/Au层上可透光的金属氧化层,可为ZnO系材质,厚度至少在1μm,且具有粗糙表面或压花纹路,并由Ni/Au层作为光取出层与第二半导体层间的欧姆接触层;
该n型金属电极,系设置在第一半导体层的露出面上;
该p型金属电极,系设置在光取出层上;由此,可经由后续的晶粒加工、设置、接线、及树脂灌膜封装,而构成一氮化镓基III-V族化合物半导体发光装置。
2.根据权利要求1所述的氮化镓基III-V族化合物半导体发光装置,其特征在于:该基板,亦可为碳化硅(SiC)材质。
3.根据权利要求1所述的氮化镓基III-V族化合物半导体发光装置,其特征在于:该基板的厚度,可在300至450μm。
4.根据权利要求1所述的氮化镓基III-V族化合物半导体发光装置,其特征在于:该缓冲层,系于基板的上表面所形成的LT-GaN/HT-GaN的缓冲层,LT-GaN系为先成长在基板上的低温缓冲层,LT-GaN的厚度可在30至500,HT-GaN系为成长在LT-GaN上的高温缓冲层,HT-GaN的厚度可在0.5至6μm。
5.根据权利要求1所述的氮化镓基III-V族化合物半导体发光装置,其特征在于:该第一半导体层的厚度,可在2至6μm;该第二半导体层,可为p-GaN、p-InGaN、p-AlInGaN的磊晶沉积层,厚度可在0.2至0.5μm。
6.根据权利要求1所述的氮化镓基III-V族化合物半导体发光装置,其特征在于:该光产生层,亦可为InGaN多量子井(MQW)。
7.根据权利要求1所述的氮化镓基III-V族化合物半导体发光装置,其特征在于:该光产生层,进一步亦可仅包括一磊晶层,且该磊晶层,系由AlGaInN基III-V族化合物半导体层所构成。
8.根据权利要求1所述的氮化镓基III-V族化合物半导体发光装置,其特征在于:该光取出层,亦可InxZn1-xO、或SnxZn1-xO、或InxSnyZn1-x-yO等材质,且0≤X≤1,且0≤Y≤1,且0≤X+Y≤1。
9.根据权利要求1所述的氮化镓基III-V族化合物半导体发光装置,其特征在于:该光取出层,可为折射率至少在1.5的金属氧化层;或可为掺杂有稀土元素的金属氧化层;或可为具有较佳的可见光透光性范围约在400至700nm间的金属氧化层;或可为n型传导或p型传导的金属氧化层者。
10.根据权利要求1所述的氮化镓基III-V族化合物半导体发光装置,其特征在于:该压花纹路,系可由圆锥体所构成,或可由三角锥体所构成,或可由四角锥体所构成,或可由任一几何锥体所构成者者。
11.根据权利要求1所述的氮化镓基III-V族化合物半导体发光装置,其特征在于:该压花纹路,系可由多数个凹槽所布设而成,且凹槽的布设方式可排列呈三角形,或可排列呈矩形,或可排列呈菱形,或可排列呈多边形,或可排列呈任一几何形状,且凹槽间并具有适当间隔距离,以供电流导通。
12.根据权利要求1所述的氮化镓基III-V族化合物半导体发光装置,其特征在于:该发光装置的磊晶结构,系可由溅镀自我组织(self-texturing by sputtering)法所形成,或可由物理气相沉积(physical vapor deposition)法所形成,或可由离子电镀(ionplating)法所形成,或可由脉冲雷射蒸镀(pulsed laserevaporation)法所形成,或可由化学气相沉积(chemical vapordeposition)法所形成,或可由分子束磊晶成长(molecular beamepitaxy)法所形成。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100463235C (zh) * | 2004-02-27 | 2009-02-18 | 炬鑫科技股份有限公司 | 氮化镓系发光组件及其制造方法 |
CN100576584C (zh) * | 2004-05-28 | 2009-12-30 | 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 | 用于在半导体层内制造具有降低了的电导率的区域的方法以及光电子半导体器件 |
WO2010111821A1 (en) * | 2009-03-30 | 2010-10-07 | Hong Kong Applied Science And Technology Research Institute Co., Ltd | Host substrate for intride based light emitting devices |
CN102214762A (zh) * | 2010-04-06 | 2011-10-12 | 尚安品有限公司 | 发光二极管芯片及其封装结构 |
CN102569587A (zh) * | 2007-04-09 | 2012-07-11 | 晶元光电股份有限公司 | 具有叠合透明电极的半导体发光装置 |
CN108417677A (zh) * | 2018-03-09 | 2018-08-17 | 扬州乾照光电有限公司 | 一种led芯片及其窗口层的粗化方法 |
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100463235C (zh) * | 2004-02-27 | 2009-02-18 | 炬鑫科技股份有限公司 | 氮化镓系发光组件及其制造方法 |
CN100576584C (zh) * | 2004-05-28 | 2009-12-30 | 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 | 用于在半导体层内制造具有降低了的电导率的区域的方法以及光电子半导体器件 |
US8293553B2 (en) | 2004-05-28 | 2012-10-23 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Method for producing an area having reduced electrical conductivity within a semiconductor layer and optoelectronic semiconductor element |
CN102569587A (zh) * | 2007-04-09 | 2012-07-11 | 晶元光电股份有限公司 | 具有叠合透明电极的半导体发光装置 |
CN102569587B (zh) * | 2007-04-09 | 2015-09-16 | 晶元光电股份有限公司 | 具有叠合透明电极的半导体发光装置 |
WO2010111821A1 (en) * | 2009-03-30 | 2010-10-07 | Hong Kong Applied Science And Technology Research Institute Co., Ltd | Host substrate for intride based light emitting devices |
CN102214762A (zh) * | 2010-04-06 | 2011-10-12 | 尚安品有限公司 | 发光二极管芯片及其封装结构 |
CN108417677A (zh) * | 2018-03-09 | 2018-08-17 | 扬州乾照光电有限公司 | 一种led芯片及其窗口层的粗化方法 |
CN108417677B (zh) * | 2018-03-09 | 2019-07-09 | 扬州乾照光电有限公司 | 一种led芯片及其窗口层的粗化方法 |
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GR01 | Patent grant | ||
C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |