CN2526839Y - 真空箱氦检漏装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型为真空箱氦检漏装置。真空室(5)内有被检件(16)，氦质谱检漏仪(8)与抽空装置(9)连接，真空室(5)与抽空装置(10)连接，电控装置(11)与抽空装置(10)、氦质谱检漏仪(8)的输出、真空室(5)的行程开关、电磁阀(3)、(4)、(6)、真空室的真空计(7)连接，氦质谱检漏仪(8)通过电磁阀(6)与真空室(5)连接，电磁阀(3)位于连接真空室(5)与抽空装置(10)的管道上，电磁阀(4)位于连接真空室(5)与充氦装置的管道上。结构简单，使用方便，检漏效率高。

Description

真空箱氦检漏装置

技术领域：

本实用新型与用氦质谱检漏仪检测器件漏孔的装置有关。

技术背景：

现有的氦气检漏装置结构复杂，生产效率低，检漏成本高，操作使用不便。

实用新型的内容：

本实用新型的目的是提供一种结构简单，功耗低，检测效率高，最低可检漏率低，使用方便的真空箱氦检漏装置。

本实用新型是这样实现的：

本实用新型真空箱氦检漏装置。真空室5内有被检件16，氦质谱检漏仪8与抽空装置9连接，真空室5与抽空装置10连接，电控装置11与抽空装置10、氦质谱检漏仪8的输出、真空室5的行程开关、电磁阀3、4、6、真空室的真空计7连接，氦质谱检漏仪8通过电磁阀6与真空室5连接，电磁阀3位于连接真空室5与抽空装置10的管道上，电磁阀4位于连接真空室5与充氮装置的管道上。

本实用新型真空室抽空装置10有抽空泵2通过管道12与真空箱5连接，管道12上连接有电磁阀3和真空计7，管道12与管道013连接，管道13上有电磁阀4，检漏仪抽空装置9有检漏仪抽空泵1通过管道14与氦质谱检漏仪8连接，氦质谱检漏仪8通过管道15与真空室5和电磁阀4连接，电磁阀4与充氦装置连接，管道15上有电磁阀6。

本实用新型电控装置11为可编程控制器S200型，其输出端与电磁阀，控制灯，打印机连接，其输入端与真空箱5的行程开关和真空计7的模拟信号输入端连接。

本实用新型电控装置11通过双向通讯接口与触摸显示屏连接。

本实用新型当真空箱盖板合上时，位于真空室上的行程开关被闭合，输出开关信号到电控装置11，电控装置11输出控制信号到电磁阀3，使其打开并使真空泵2工作。

真空计7输出模拟信号到电控装置11，当达到设定置时，电控装置11输出控制信号使电磁阀6开启。

本实用新型当漏率超过设定置时，氦质谱检漏仪8输出开关信号到电控装置11，电控装置11输出控制灯信号。

本实用新型当检漏过程结束时，电控装置11输出控制信号到电磁阀4使其打开，氮气充入真空室5，电控装置11输出打印数据到打印机。

本实用新型结构简单，功能多样，使用方便。检漏效率高，检漏效果好。

附图说明：

图1为本实用新型的框图。

图2为本实用新型的结构图。

图3为本实用新型的电控原理图。

具体实施方式：

一、本实用新型的工作原理：

本实用新型是为可移动式检漏装置，适用于电子元器件、半导体器件、光电器件、继电器、传感器、开关、连接器、阀门、真空零部件、医疗食品器件等检漏。其作用过程为：首先将电子器件进行渗氦处理。如果电子元件密封部分存在漏孔，则氦气将渗入漏孔。然后将电子元器件放入真空室，抽真空，此时电子元器件漏孔中的氦气将扩散至真空室。并被与真空室连接的检漏仪检测到，设备根据其漏率的大小，给出合格与不合格提示。

二、本实用新型的主要构成：

主要由真空室5、氦质谱检漏仪8、真空室抽空泵2、检漏仪抽空泵1、电磁阀3、电磁阀6、电磁阀4、真空计7、PLC控制系统、触摸屏、指示灯、微型打印机组成。该装置为可移动台式操作氦检漏装置，正面为操作面板和不锈钢操作平台，在操作平台上有真空室5，手动翻转式真空室盖，手动翻转式真空室盖到位开关；操作面板右下手动翻转式真空室盖，手动翻转式真空室盖到位开关；操作面板右下角有装置启动电源开关按钮，电源开关按钮正上方是微型打印机，中部为触摸式显示屏，在触摸式显示屏左边是漏率显示，左上角为本装置名称，左下角为装置检测指示灯，绿色为合格指示灯，红色为不合格指示灯，黄色为运行指示灯，机柜内两台真空泵分别为真空室抽空泵2、检测仪抽空泵1，机柜内有氦质谱检漏仪8，真空计7，电磁阀3，电磁阀6，电磁阀4，电控系统11。

真空室抽空泵2为D16C型。检漏仪抽空泵1为D8C型。电磁阀3、真空电磁阀4、真空电磁阀6为Partial flow valve block型。氦质谱检漏仪8为LDS1000型。微型打印机为WH-A16-6型。真空计为TTR90-S型。触摸屏为TP070型。PLC可编程控制器为S200型。

三、本实用新型的工作过程：

1、打开电源，检漏仪抽空泵1对氦质谱检测漏仪8抽空，设备进入工作准备状态。

2、人工将被检工件放入真空室5后，合上真空室盖板，此时位于真空室上的行程开关被闭合，输出开关信号到PLC控制系统，PLC控制系统输出控制信号，使电磁阀3打开，真空室抽空泵2开始对真空室5抽空。

3、真空计7将真空室5内压力通过模拟信号输入到PLC控制系统，当真空室5达到设定的真空度(可通过触摸屏调整)后，PLC控制系统输出控制信号，使电磁阀6开启，被检工作泄漏出的氦气进入氦质谱检测8，进行检漏。

4、当漏率超过报警设定值后，氦质谱检漏仪8输出开关信号到PLC控制系统，PLC控制系统输出控制灯信号，通过指示灯组报警。

5、检漏过程结束后，PLC控制系统输出控制信号，打开电磁阀4向真空室5内充入N₂气体。同时，控制微型打印机打印检测漏率、时间、日期、合格或不合格标示。

6、人工打开真空室盖板，取出已检测器件。

四、主要技术参数

1、真空箱容积             250ml2、检测范围                    10^-1110^-2Pa·m³/s3、工作周期                    ≤6秒4、最低可检漏率                ≤4×10^-11Pa·m³/s5、功耗                        2000W

Claims (8)

1、一种真空箱氦检漏装置。真空室(5)内有被检件(16)，氦质谱检漏仪(8)与抽空装置(9)连接，真空室(5)与抽空装置(10)连接，电控装置(11)与抽空装置(10)、氦质谱检漏仪(8)的输出、真空室(5)的行程开关、电磁阀(3)、(4)、(6)、真空室的真空计(7)连接，氦质谱检漏仪(8)通过电磁阀(6)与真空室(5)连接，电磁阀(3)位于连接真空室(5)与抽空装置(10)的管道上，电磁阀(4)位于连接真空室(5)与充氦装置的管道上。

2、根据权利要求1所述的装置，其特征在于真空室抽空装置(10)有抽空泵(2)通过管道(12)与真空箱(5)连接，管道(12)上连接有电磁阀(3)和真空计(7)，管道(12)与管道(13)连接，管道(13)上有电磁阀(4)，检漏仪抽空装置(9)有检漏仪抽空泵(1)通过管道(14)与氦质谱检漏仪(8)连接，氦质谱检漏仪(8)通过管道(15)与真空室(5)和电磁阀(4)连接，电磁阀(4)与充氮装置连接，管道(15)上有电磁阀(6)。

3、根据权利要求2所述的装置，其特征在于电控装置(11)为可编程控制器S200型，其输出端与电磁阀，控制灯，打印机连接，其输入端与真空箱(5)的行程开关和真空计(7)的模拟信号输入端连接。

4、根据权利要求3所述的装置，其特征在于电控装置(11)通过双向通讯接口与触摸显示屏连接。

5、根据权利要求1或2或3所述的装置，其特征在于当真空箱盖板合上时，位于真空室上的行程开关被闭合，输出开关信号到电控装置(11)，电控装置(11)输出控制信号到电磁阀(3)，使其打开并使真空泵(2)工作。

6、根据权利要求1或2或3所述的装置，其特征在于真空计(7)输出模拟信号到电控装置(11)，当达到设定置时，电控装置(11)输出控制信号使电磁阀(6)开启。

7、根据权昨要求1或2或3所述的装置，其特征在于当漏率超过设定置时，氦质谱检漏仪(8)输出开关信号到电控装置(11)，电控装置(11)输出控制灯信号。

8、根据权利要求1或2或3所述的装置，其特征在于当检漏过程结束时，电控装置(11)输出控制信号到电磁阀(4)使其打开，氮气充入真空室(5)，电控装置(11)输出打印数据到打印机。

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