CN2276676Y - 一种可变形反射镜 - Google Patents
一种可变形反射镜 Download PDFInfo
- Publication number
- CN2276676Y CN2276676Y CN 96210472 CN96210472U CN2276676Y CN 2276676 Y CN2276676 Y CN 2276676Y CN 96210472 CN96210472 CN 96210472 CN 96210472 U CN96210472 U CN 96210472U CN 2276676 Y CN2276676 Y CN 2276676Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pzt
- model
- micro
- utility
- displacement actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种光学技术,特别适用于高效二氧化碳激光谐振腔场合。这是一种三自由度波前模式可变形反射镜,它由三个压电陶瓷构成分离致动双层整体式结构,上下层之间用螺钉联接,它们中间为变形反射镜,在微位移致动器与变形反射镜之间设有圆柱顶头,在圆柱顶头的一端设有微调装置。
Description
本实用新型涉及一种光学技术,特别适用于高效二氧化碳激光谐振腔场合。
由于目前二氧化碳激光器均采用固定面形的谐振腔反射镜,特别是高能二氧化碳激光器在运行过程中,谐振腔反射镜受热发生变形和腔内激活介质折射率变化造成输出功率降低和光束质量蜕化。通过人工干预和机械微调只能校正谐振腔的二维倾斜象差,无法消除高于二阶(含二阶)的象差,且人工干预不能进行实时校正。虽然目前已有9单元可变形反射镜用于二氧化碳激光器谐振腔,但其结构复杂,响应速度慢,控制系统复杂。
针对上述现有技术存在的缺点,本实用新型的目的是提供一种三自由度模式可变形反射镜。
本实用新型通过以下技术措施实施,它由三个压电陶瓷PZT1(1)(微位移致动器)、PZT2(2)和PZT3(3)构成分离致动双层整体式结构,其中PZT2(2)和PZT3(3)的端面通过螺钉(4)固定在机座上,所述上层(5)与PZT1(1)螺钉联接,用于改变变形反射镜(9)的曲率,下层(6)与上层(5)螺钉联接,用于改变变形反射镜(9)直径两端点的位移,在微位移致动器(1)与变形反射镜(9)之间设置圆柱顶头(8),(7)为离焦调整装置,它为微调装置。
本实用新型的优点为:变形反射镜三个自由度相互正交,彼此不耦合;微调焦变形反射镜调整精度高,调节方便,微位移致动器与变形镜之间的球头传力机构能将力始终作用在反射镜中心;镜片中心与边缘厚薄不均匀,使加载变形后的反射镜面仍接近于球面;增大变形镜的实际尺寸避开了边缘区域的面形误差影响。本实用新型离焦校正量为曲率半径从0.3m~∞~-12m的范围内连续变化,倾斜象差校正量为1.36mrad,所用的致动器数目最少,象差较正量大,象差模式拟合度高。
图1为三自由度波前模式可变形反射镜结构原理图
图2为图1的A-A剖视图
结合附图对本实用新型进一步说明如下:
本结构为三自由度波前模式可变形反射镜,它由三个压电陶瓷(1)、(2)和(3)构成分离致动双层整体式结构,其中PZT2(2)和PZT3(3)的端面通过螺钉(4)固定在机座上,所述上层(5)与PZT1(1)为螺钉联接,下层(6)与上层(5)为螺钉联接,(9)为变形反射镜,在微位移致动器(1)与变形反射镜(9)之间设置圆柱顶头(8),(7)离焦调整装置,它为微调装置。
Claims (1)
1.一种可变形反射镜,其特征为它由三个压电陶瓷PZT1(1)(微位移致动器)、PZT2(2)和PZT3(3)构成分离致动双层整体式结构,其中PZT2(2)和PZT3(3)的端面通过螺钉(4)固定在机座上,所述上层(5)与PZT1(1)为螺钉联接,下层(6)与上层(5)为螺钉联接,(9)为变形反射镜,在微位移致动器(1)与变形反射镜(9)之间设置圆柱顶头(8),(7)为离焦调整装置,它为微调装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 96210472 CN2276676Y (zh) | 1996-05-02 | 1996-05-02 | 一种可变形反射镜 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 96210472 CN2276676Y (zh) | 1996-05-02 | 1996-05-02 | 一种可变形反射镜 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN2276676Y true CN2276676Y (zh) | 1998-03-18 |
Family
ID=33893749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 96210472 Expired - Fee Related CN2276676Y (zh) | 1996-05-02 | 1996-05-02 | 一种可变形反射镜 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN2276676Y (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100454080C (zh) * | 2006-12-09 | 2009-01-21 | 中国科学技术大学 | 一种压电厚膜驱动的微变形镜及其制备方法 |
CN102147524A (zh) * | 2010-02-10 | 2011-08-10 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种可变曲率反射镜装置 |
CN102822720A (zh) * | 2010-03-30 | 2012-12-12 | 奥林巴斯株式会社 | 可变分光元件 |
CN106104360A (zh) * | 2014-03-10 | 2016-11-09 | 业纳光学系统有限公司 | 用于补偿射束的不规则性的可调整可变形反射镜 |
-
1996
- 1996-05-02 CN CN 96210472 patent/CN2276676Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100454080C (zh) * | 2006-12-09 | 2009-01-21 | 中国科学技术大学 | 一种压电厚膜驱动的微变形镜及其制备方法 |
CN102147524A (zh) * | 2010-02-10 | 2011-08-10 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种可变曲率反射镜装置 |
CN102822720A (zh) * | 2010-03-30 | 2012-12-12 | 奥林巴斯株式会社 | 可变分光元件 |
CN102822720B (zh) * | 2010-03-30 | 2014-11-26 | 奥林巴斯株式会社 | 可变分光元件 |
CN106104360A (zh) * | 2014-03-10 | 2016-11-09 | 业纳光学系统有限公司 | 用于补偿射束的不规则性的可调整可变形反射镜 |
CN106104360B (zh) * | 2014-03-10 | 2019-01-22 | 业纳光学系统有限公司 | 用于补偿射束的不规则性的可调整可变形反射镜 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5033806A (en) | Optical scanner | |
US6133935A (en) | Optical scanning apparatus | |
JPH10232346A (ja) | 走査光学装置 | |
CN101504487A (zh) | 大口径可拆卸压电变形反射镜 | |
CN2276676Y (zh) | 一种可变形反射镜 | |
US4818046A (en) | Light beam scanning device | |
CN101772696A (zh) | 波面像差测量装置及方法、以及波面像差调整方法 | |
CN102522685A (zh) | 激光器热透镜效应的补偿装置 | |
JP2006294185A (ja) | ビーム整形素子の製造方法、該方法により得られるビーム整形素子 | |
CN102354050B (zh) | 柔性辅助臂跟随超高角灵敏度高频响微角摆控制反射镜 | |
CN105068213B (zh) | 变曲率反射镜装置 | |
CN102684042B (zh) | 一种板条激光器热透镜效应的补偿装置 | |
CN101021616A (zh) | 基于共轭成像的多变形镜串连组合式波前校正器 | |
US5134511A (en) | Optical unit for use in laser beam printer or the like | |
JP3267098B2 (ja) | 走査光学装置及びそのレンズ保持部 | |
CN110346929A (zh) | 一种基于串联放大机构的超大角行程倾斜镜 | |
CN111352233B (zh) | 一种高抗热扰动能力非球面变形反射镜及其研制方法 | |
CN117930473B (zh) | 一种宽焦深制版光学镜头 | |
JP2002189185A (ja) | 光走査装置及びそれを用いた画像形成装置 | |
CN206431362U (zh) | 一种波长可调的标准具 | |
CN1138990C (zh) | 小型高速压电倾斜反射镜 | |
JP3100761B2 (ja) | 温度補償された走査光学系 | |
CN2276674Y (zh) | 激光器谐振腔装置 | |
JPH0328818A (ja) | 走査光学装置 | |
JP2000002848A (ja) | 走査光学装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |