CN221443510U - 一种单晶炉翻板阀轴的动密封结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于单晶炉技术领域，涉及一种翻板阀轴动密封结构，在翻板阀轴上由内至外依次套设有翻板阀轴承、密封座和压盖；在密封座的中心加工有贯穿孔，贯穿孔与翻板阀轴的安装间隙作为动密封槽，在动密封槽中设有第一密封圈；密封座和压盖可拆卸连接；当密封座与翻板阀轴的垂直度达不到安装精度要求时，在密封座与翻板阀轴承的偶合端面之间设有垫片。在翻板阀轴的径向，让第一密封圈受到的压力自由释放达到平衡状态；在翻板阀轴的轴向，用垫片调整密封座对阀轴中心线的垂直度，有效保证密封座相对阀轴的位置精度；动密封槽中的密封圈受力均匀后，没有过大的压力，最大摩擦力减小，减轻了密封圈的磨损，提高了使用寿命。

Description

一种单晶炉翻板阀轴的动密封结构

技术领域

本实用新型属于单晶炉技术领域，具体涉及一种单晶炉翻板阀轴的动密封结构。

背景技术

由于晶体生长工艺的要求，很多单晶炉的炉室分为上下两部分，上面为副室，下面为主室，在主副室之间必须设置翻板阀控制两者开通或隔断，两种动作都需要翻板阀轴旋转，带动阀板开启或关闭，在此过程中阀轴与炉壁接口的密封性能对晶体生长质量影响很大。

如图1所示，炉壁接口处设有翻板阀轴承3和与其焊接熔合的内壁2及外壁1，内外壁之间有水夹层。现有密封结构多在翻板阀轴承3上开密封槽，加工时以轴承端面找正，也就是说密封槽中心线与轴承端面垂直可以保证，缺点是翻板阀轴4装配后与两侧轴承端面的垂直度超差，原因在于，阀体两侧的轴承内孔跨度大距离远，无法一刀完成加工，需要在两侧分别找正加工，由于找正基准变动，两侧轴承内圆的位置公差很难保证，同轴度超差导致阀轴装配精度超差即与两侧轴承端面的垂直度超差。如此情况使密封圈与翻板阀轴4的偶合面受力极不均匀，压力大的地方，密封圈易磨损，压力小的地方，容易泄漏，该位置密封性能低下，是真空系统的薄弱环节，有时，甚至一周换一次密封圈。

同时，翻板阀轴承3是阀体焊接件的一部分，由于密封槽加工达不到精度要求，使阀体焊接件整体报废，会造成巨大损失。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶炉翻板阀轴的动密封结构，解决了原有密封设计密封性能低下且容易磨损密封圈的问题。

本实用新型是通过以下技术方案来实现：

本实用新型公开了一种翻板阀轴动密封结构，在翻板阀轴上由内至外依次套设有翻板阀轴承、密封座和压盖；

在密封座的中心加工有贯穿孔，在压盖的中心加工有通孔；翻板阀轴贯穿在贯穿孔和通孔中；

贯穿孔与翻板阀轴的安装间隙作为动密封槽，在动密封槽中设有第一密封圈；

密封座和压盖可拆卸连接；

当密封座与翻板阀轴的垂直度达不到安装精度要求时，在密封座与翻板阀轴承的偶合端面之间设有垫片。

进一步，在密封座与翻板阀轴承接触的端面上预制有静密封槽，静密封槽中安装有第二密封圈。

进一步，贯穿孔为阶梯孔，阶梯孔包括第一孔和第二孔，第一孔的直径小于第二孔；

压盖的内表面上预制有凸起的圆环，圆环的外圆嵌入在第二孔中；

圆环的高度小于第二孔的深度；

第一密封圈安装在第二孔中。

进一步，在密封座上预制有多个螺钉孔，压盖上预制有多个光孔和沉孔，密封座和压盖通过螺钉连接。

进一步，第二密封圈采用O型密封圈。

进一步，第一密封圈采用O型密封圈或唇形密封圈。

进一步，安装精度要求为密封座与翻板阀轴的垂直度在0.05以内。

进一步，在压盖的外端面上预制有凹槽，凹槽内安装有轴用弹簧挡圈。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益的技术效果：

本实用新型公开了一种单晶炉翻板阀轴的动密封结构，在阀体外部设置了密封座，在密封座上预制密封槽，由于本实用新型的密封槽在活动的密封座上加工，减少了翻板阀体的加工难度，大焊接件合格率有很大提高，同时也提高了经济效益；在翻板阀轴的径向，让第一密封圈受到的压力自由释放达到平衡状态；在翻板阀轴的轴向，用垫片调整密封座对阀轴中心线的垂直度，由此能有效保证密封座相对阀轴的位置精度；密封性能良好，完全满足单晶炉翻板阀轴的密封要求；动密封槽中的密封圈受力均匀后，没有过大的压力，最大摩擦力减小，减轻了密封圈的磨损，提高了使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型实施例1的结构示意图；

图2为密封座一的结构示意图；

图3为图2的剖面图；

图4为压盖一的结构示意图；

图5为图4的剖视图；

图6为本实用新型实施例2的结构示意图。

图7为密封座二的结构示意图

图8为图7的剖面图；

图9为压盖二的结构示意图；

图10为图9的剖视图；

其中，1、外壁；2、内壁；3、翻板阀轴承；4、翻板阀轴；5、静密封槽；6、内六角圆柱头螺钉；7、密封座一；8、压盖一；9、动密封槽；10、沉头螺钉；11、第二密封圈；12、唇形密封圈；13、轴用弹簧挡圈；14、压盖二；15、密封座二；

71、第一孔；72、第二孔；73、螺钉孔；

81、通孔。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明了，以下结合附图及实施例进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型，即所描述的实施例仅仅为本实用新型一部分实施例，而不是全部实施例。

本实用新型附图及实施例描述和示出的组件可以以各种不同的配置来布置和设计，因此，以下附图中提供的本实用新型实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而仅仅是表示本实用新型选定的一种实施例。基于本实用新型的附图及实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护范围。

需要说明的是：术语“包含”、“包括”或者其他任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，使得包括一系列要素的过程、元素、方法、物品或者设备不仅仅只包括那些要素，还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括该其过程、元素、方法、物品或者设备所固有的要素。

以下结合实施例对本实用新型的特征和性能进一步详细说明。

实施例1

如图1所示，本实用新型公开了一种单晶炉翻板阀轴的动密封结构，在翻板阀轴4上由内至外依次套设有翻板阀轴承3、密封座一7和压盖一8；

在密封座一7的中心加工有贯穿孔，在压盖一8的中心加工有通孔81；

翻板阀轴4贯穿在贯穿孔和通孔81中；

贯穿孔与翻板阀轴4的安装间隙作为动密封槽9，在动密封槽9中设有第一密封圈；密封座一7和压盖一8可拆卸连接。

翻板阀轴4与翻板阀轴承3配合安装，密封座一7根据翻板阀轴4实际位置灵活调整装配精度；压盖一8将第一密封圈压紧。

更优地，在密封座一7与翻板阀轴承3接触的端面上预制有静密封槽5，静密封槽5中安装有第二密封圈11。

如图2和图3所示，贯穿孔为阶梯孔，阶梯孔包括第一孔71和第二孔72，第一孔71的直径小于第二孔72。

压盖一8的内表面上预制有凸起的圆环，起定位作用，圆环的外圆嵌入在第二孔72中，可以保证压盖一8与密封座一7连接牢固，圆环的端面压紧密封圈，调节密封副之间的压力。

圆环的高度小于第二孔72的高度，第一密封圈安装在第二孔72中，这样就能预留出第一密封圈的安装空间。

具体地，如图2-图5所示，在密封座一7上预制有多个螺钉孔73，在压盖一8上预制有多个光孔和沉孔，密封座一7和压盖一8通过沉头螺钉10连接，密封座一7通过内六角圆柱头螺钉6固连在翻板阀轴承3的端面上。

第一密封圈采用O型密封圈。

如图1所示，第一密封圈采用的O型密封圈，对应的工作原理如下：

翻板阀轴4装在大跨度的翻板阀轴承3上后，由于工艺原因，翻板阀轴4与两侧翻板阀轴承3端面的垂直度超差。这可以通过自由活动的密封座一7来调整，在动密封槽9装上O型密封圈后，在轴的径向，让密封圈受到的压力自由释放达到平衡状态，然后贴紧翻板阀轴承3的端面，在两个垂直的方向上，用直角尺测量密封座一7的端面与翻板阀轴4的母线的垂直度是否达到0.05以内，未达到时，在密封座一7与翻板阀轴承3的偶合端面之间垫铜皮，重新测量，直到达标为止。然后拧紧内六角圆柱头螺钉6将密封座一7固连在翻板阀轴承3的端面上，最后用内六角圆柱头螺钉6和沉头螺钉10将压盖一8固定在密封座一7上，将预装的O型密封圈压紧。这样装配后，本身加工精度容易保证的密封座一7使动密封的O型密封圈受力均匀，磨损减缓，有效提升了密封效果。

实施例2

如图6所示，第一密封圈采用唇形密封圈12，密封座二15和压盖二14的尺寸做适配调整，密封座二15的结构图7和图8所示，结构与密封座一7相似，区别在于密封座二15的第二孔端面为平面，而密封座一7的第二孔端面为8゜的斜面；如图9和图10所示，在压盖二14的外端面上预制有凹槽，凹槽内安装有轴用弹簧挡圈13，压盖二14凸起圆环的端面为平面压紧唇形密封圈，而压盖一8凸起圆环的端面为8゜的斜面压紧O形密封圈。

最后应当说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其限制，尽管参照上述实施例对本实用新型进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解：依然可以对本实用新型的具体实施方式进行修改或者等同替换，而未脱离本实用新型精神和范围的任何修改或者等同替换，其均应涵盖在本实用新型的权利要求保护范围之内。

Claims (8)

1.一种翻板阀轴动密封结构，其特征在于，在翻板阀轴(4)上由内至外依次套设有翻板阀轴承(3)、密封座和压盖；

在密封座的中心加工有贯穿孔，在压盖的中心加工有通孔(81)；翻板阀轴(4)贯穿在贯穿孔和通孔(81)中；

贯穿孔与翻板阀轴(4)的安装间隙作为动密封槽(9)，在动密封槽(9)中设有第一密封圈；

密封座和压盖可拆卸连接；

当密封座与翻板阀轴(4)的垂直度达不到安装精度要求时，在密封座与翻板阀轴承(3)的偶合端面之间设有垫片。

2.根据权利要求1所述的一种翻板阀轴动密封结构，其特征在于，在密封座与翻板阀轴承(3)接触的端面上预制有静密封槽(5)，静密封槽(5)中安装有第二密封圈(11)。

3.根据权利要求2所述的一种翻板阀轴动密封结构，其特征在于，第二密封圈(11)采用O型密封圈。

4.根据权利要求1所述的一种翻板阀轴动密封结构，其特征在于，贯穿孔为阶梯孔，阶梯孔包括第一孔(71)和第二孔(72)，第一孔(71)的直径小于第二孔(72)；

压盖的内表面上预制有凸起的圆环，圆环的外圆嵌入在第二孔(72)中；

圆环的高度小于第二孔(72)的深度；

第一密封圈安装在第二孔(72)中。

5.根据权利要求1所述的一种翻板阀轴动密封结构，其特征在于，在密封座上预制有多个螺钉孔(73)，压盖上预制有多个光孔和沉孔，密封座和压盖通过螺钉连接。

6.根据权利要求1所述的一种翻板阀轴动密封结构，其特征在于，第一密封圈采用O型密封圈或唇形密封圈(12)。

7.根据权利要求1所述的一种翻板阀轴动密封结构，其特征在于，安装精度要求为密封座与翻板阀轴(4)的垂直度在0.05以内。

8.根据权利要求1所述的一种翻板阀轴动密封结构，其特征在于，在压盖的外端面上预制有凹槽，凹槽内安装有轴用弹簧挡圈(13)。