CN221298899U - 一种三向可调真空室门铰链结构 - Google Patents
一种三向可调真空室门铰链结构Info
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Abstract
本实用新型公开了一种三向可调真空室门铰链结构，包括真空室、密封门板和铰链结构，所述铰链结构为上下两组关节组件中间由回转轴联接，所述关节组件包括固定在真空室上的固定端、连接密封门板的Z轴调整端、XY调整件和Z轴调整件，所述XY调整件一段通过长螺杆与固定端连接，另一端与Z轴调整件套设连接，Z轴调整件套设在回转轴上，所述固定端上开设长螺杆连接孔，长螺杆连接孔与长螺杆之间设计成有较大间隙的活动空间，所述固定端和XY调整件之间对应X轴方向和Y轴方向分别设有X轴固定板和Y轴固定板。本实用在关节连接孔中设计了较大的活动间隙，通过调整关节的相对位置从而实现矫正门板下垂和提高平行度的目的，同时实现三向调节。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空设备领域，尤其涉及一种三向可调真空室门铰链结构。
背景技术
在真空领域中由于密封门板会受到负压，为了不让门板变形一般情况下门板会别设计的特别厚重，受力面越大门板一般也会越重，另外门板既要能灵活转动，又要满足关腔后能与腔体形成良好的密封效果，这就对铰链提出了较高的要求，除了要保证在重载使用条件下的安全性，还要保证关腔后门板与腔体密封面之间的平行度，确保门板内部携载的部件位置精度；另外，由于加工误差和装配间隙，安装后的门板多数情况下密封面的平行度不高且门板会下垂，不仅无法满足密封要求，门板内部携载的部件位置精度，还影响外观；已有的重载铰链中也有类似的结构，但是不具备关节可调性，通过加工精度保证门板安装要求，大大提高了加工成本，同时现场调试难度非常高，长期使用往复多次高低压形变后造成门板位置变化及密封性能下降后现场基本无法修复。
在现有技术中，门板铰链设计结构一般有两种形式，一种为多个独立铰链组合使用的形式，此方式各铰链回转轴不同轴，在重载工况下使用不易调整，容易造成门板旋转不顺畅情况。另一种就是使用大型的单体铰链结构，如上下两个关节共用一根回转轴的这种结构，此结构能够保证上下两个关节的同轴度，避免了门板活动不顺畅的问题，但是，其关节不具备可调性；针对加工误差和装配间隙造成的门板下垂平行度不够问题，因此需要一种调整关节的相对位置从而实现矫正门板下垂和提高平行度的真空室门板铰链结构。
实用新型内容
针对上述由于加工误差和装配间隙造成的门板下垂平行度不够的问题，本实用新型提供了一种三向可调真空室门铰链结构。
为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种三向可调真空室门铰链结构，包括真空室、密封门板和铰链结构，所述铰链结构为上下两组关节组件中间由回转轴联接，所述关节组件包括固定在真空室上的固定端、连接密封门板的Z轴调整端、XY调整件和Z轴调整件，所述XY调整件一段通过长螺杆与固定端连接，另一端与Z轴调整件套设连接，所述Z轴调整件套设在回转轴上，所述固定端上开设长螺杆连接孔，长螺杆连接孔与长螺杆之间设计成有较大间隙的活动空间，所述固定端和XY调整件之间对应X轴方向和Y轴方向分别设有X轴固定板和Y轴固定板，所述X轴固定板和Y轴固定板通过固定板连接螺丝与固定端连接，通过止动螺丝和固定螺丝与XY调整件连接，所述Z轴调整件与XY调整件之间为丝杆螺母副连接方式。
进一步的，所述固定端的长螺杆连接孔上设有垫板，长螺杆通过螺母固锁在垫板上。
进一步的，所述XY调整件和Z轴调整件抵住Z轴调整端，XY调整件和Z轴调整件与Z轴调整端之间设有垫片。
进一步的，所述Z轴调整件上设有Z轴锁紧圆螺母。
进一步的，Z轴调整件与回转轴靠近Z轴调整端连接处设有深沟球轴承、衬套、角接触球轴承。
由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：
本实用在关节连接孔中设计了较大的活动间隙，通过调整关节的相对位置从而实现矫正门板下垂和提高平行度的目的，同时实现三向调节，确保密封圈压缩量可控，能够保证密封面之间形成良好的密封效果，适合在重载条件下使用。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1为本实用新型的正面立体结构示意图；
图2为本实用新型的侧面立体结构示意图；
图3为本实用新型的局部放大结构剖视图；
图4为本实用新型的局部放大结构透视图；
图5为本实用新型的工作原理示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例
参考图1-图4，一种三向可调真空室门铰链结构，包括真空室20、密封门板19和铰链结构，所述铰链结构为上下两组关节组件中间由回转轴7联接，所述关节组件包括固定在真空室上的固定端1、连接密封门板的Z轴调整端2、XY调整件4和Z轴调整件6，所述XY调整件4一段通过长螺杆16与固定端1连接，另一端与Z轴调整件6套设连接，所述Z轴调整件6套设在回转轴7上，所述固定端1上开设长螺杆连接孔21，长螺杆连接孔21与长螺杆16之间设计成有较大间隙的活动空间，所述固定端1和XY调整件4之间对应X轴方向和Y轴方向分别设有X轴固定板14和Y轴固定板15，所述X轴固定板14和Y轴固定板15通过固定板连接螺丝13与固定端1连接，通过止动螺丝11和固定螺丝12与XY调整件4连接，所述Z轴调整件6与XY调整件4之间为丝杆螺母副连接方式。
所述固定端的长螺杆连接孔21上设有垫板17，长螺杆16通过螺母18固锁在垫板17上。
所述XY调整件4和Z轴调整件6抵住Z轴调整端2，XY调整件4和Z轴调整件6与Z轴调整端2之间设有垫片3。
所述Z轴调整件6上设有Z轴锁紧圆螺母5，Z轴调整件6与回转轴7靠近Z轴调整端2连接处设有深沟球轴承8、衬套9、角接触球轴承10。
调整原理：X、Y轴向调整，固定端长螺杆连接孔21与长螺杆16之间设计成有较大的间隙的活动空间，通过对应轴向上的止动螺丝11和固定螺丝12分别调整上下两组关节固定板和调整件端面之间的间隙X1＝X2，Y1＝Y2，实现门板沿X轴、Y轴轴向上的移动；当X1≠X2时，密封门板19能够沿Y轴进行微角度摆动，从而实现调整铰链远端门板下垂的目的；当Y1≠Y2时，密封门板19能够沿X轴进行微角度摆动，从而实现调整门板密封面与腔体密封面平行度不高的目的；Z轴调整，Z轴调整件6与XY调整件4之间是丝杆螺母副连接方式，通过旋转丝杆端Z轴调整件，将旋转运动转换成直线移动，实现Z轴尺寸的调整。
本实用在关节连接孔中设计了较大的活动间隙，通过调整关节的相对位置从而实现矫正门板下垂和提高平行度的目的，同时实现三向调节，确保密封圈压缩量可控，能够保证密封面之间形成良好的密封效果，适合在重载条件下使用。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种三向可调真空室门铰链结构，包括真空室(20)、密封门板(19)和铰链结构，其特征在于：所述铰链结构为上下两组关节组件中间由回转轴(7)联接，所述关节组件包括固定在真空室上的固定端(1)、连接密封门板的Z轴调整端(2)、XY调整件(4)和Z轴调整件(6)，所述XY调整件(4)一段通过长螺杆(16)与固定端(1)连接，另一端与Z轴调整件(6)套设连接，所述Z轴调整件(6)套设在回转轴(7)上，所述固定端(1)上开设长螺杆连接孔(21)，长螺杆连接孔(21)与长螺杆(16)之间设计成有较大间隙的活动空间，所述固定端(1)和XY调整件(4)之间对应X轴方向和Y轴方向分别设有X轴固定板(14)和Y轴固定板(15)，所述X轴固定板(14)和Y轴固定板(15)通过固定板连接螺丝(13)与固定端(1)连接，通过止动螺丝(11)和固定螺丝(12)与XY调整件(4)连接，所述Z轴调整件(6)与XY调整件(4)之间为丝杆螺母副连接方式。
2.根据权利要求1所述一种三向可调真空室门铰链结构，其特征在于：所述固定端的长螺杆连接孔(21)上设有垫板(17)，长螺杆(16)通过螺母(18)固锁在垫板(17)上。
3.根据权利要求1所述一种三向可调真空室门铰链结构，其特征在于：所述XY调整件(4)和Z轴调整件(6)抵住Z轴调整端(2)，XY调整件(4)和Z轴调整件(6)与Z轴调整端(2)之间设有垫片(3)。
4.根据权利要求1所述一种三向可调真空室门铰链结构，其特征在于：所述Z轴调整件(6)上设有Z轴锁紧圆螺母(5)。
5.根据权利要求1所述一种三向可调真空室门铰链结构，其特征在于：Z轴调整件(6)与回转轴(7)靠近Z轴调整端连接处设有深沟球轴承(8)、衬套(9)、角接触球轴承(10)。
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN221298899U true CN221298899U (zh) | 2024-07-09 |
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