CN221261161U - 一种用于晶圆针测的恒温控制装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶圆针测的恒温控制装置，涉及晶圆针测技术领域。包括恒温恒湿实验箱，所述恒温恒湿实验箱内部的底部固定连接有推送组件，所述恒温恒湿实验箱内部的顶部设置有检测组件，所述推送组件包括安装架，所述安装架和恒温恒湿实验箱的第一端相固定，所述安装架的第一端固定连接有电机。本实用新型通过启动安装架上的电机带动丝杆转动，丝杆带动移动块沿着限位框进行移动，同时移动块通过推杆带动顶部的放置盒移动，同步的，推杆带动滑动杆在滑动槽的内部进行移动，滑动杆在移动的时候，会借助滑动槽将推杆逐渐顶起，推杆带动放置盒内的晶圆同在完成移动的同时，完成上移检测，耗能较少，降低了装置的使用成本。

Description

一种用于晶圆针测的恒温控制装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆针测技术领域，具体为一种用于晶圆针测的恒温控制装置。

背景技术

恒温恒湿实验箱是一种用于晶圆针测的恒温控制装置，包括WECAN系列实验箱、ESPEC系列实验箱、Weiss系列实验箱、Binder系列实验箱等。现有的一种晶圆针测机(公开号：CN206756992U)在使用中至少暴露出以下缺陷：

1、由于该装置的晶圆传输装置和针测机主体单独运行，所以在对晶圆进行检测过程中，需要先等待晶圆传输装置将晶圆传输至指定位置后，再启动针测机主体对晶圆进行检测，此过程中需要为晶圆传输装置和针测机主体单独提供动能，提高了装置的使用成本，因此急需一种传输检测同步的恒温控制装置。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种用于晶圆针测的恒温控制装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种用于晶圆针测的恒温控制装置，包括恒温恒湿实验箱，所述恒温恒湿实验箱内部的底部固定连接有推送组件，所述恒温恒湿实验箱内部的顶部设置有检测组件，所述推送组件包括安装架，所述安装架和恒温恒湿实验箱的第一端相固定，所述安装架的第一端固定连接有电机，所述电机第二端的输出端贯穿安装架且固定连接有丝杆，所述恒温恒湿实验箱内部的底部固定连接有限位框，所述丝杆的第二端贯穿恒温恒湿实验箱、限位框，所述丝杆外壁的第二端螺纹连接有移动块，所述移动块的顶部设置有放置盒，所述放置盒底部的两侧固定连接有推杆，所述推杆底部贯穿移动块且固定连接有滑动杆，所述限位框的两侧开设有倾斜向上的滑动槽，所述滑动杆设置在滑动槽的内部。

优选的，所述丝杆外壁的第一端固定连接有驱动轮，所述驱动轮设置在安装架的内部，所述检测组件设置在驱动轮的顶部。

优选的，所述检测组件包括从动轮，所述从动轮设置在驱动轮的顶部。

优选的，所述从动轮、驱动轮之间传动连接有传动带，所述从动轮的中心贯穿且固定连接有螺纹杆。

优选的，所述螺纹杆的第二端贯穿恒温恒湿实验箱，所述螺纹杆外壁的第二端螺纹连接有检测块，所述检测块的顶部和恒温恒湿实验箱内部的顶部滑动连接。

优选的，所述检测块的底部固定连接有检测头，所述检测头设置在放置盒的正上方。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型通过启动安装架上的电机带动丝杆转动，丝杆带动移动块沿着限位框进行移动，同时移动块通过推杆带动顶部的放置盒移动，同步的，推杆带动滑动杆在滑动槽的内部进行移动，滑动杆在移动的时候，会借助滑动槽将推杆逐渐顶起，推杆带动放置盒内的晶圆同在完成移动的同时，完成上移检测，耗能较少，降低了装置的使用成本。

附图说明

图1为本实用新型的轴视图；

图2为本实用新型的剖视图；

图3为本实用新型的推送组件剖视图；

图4为本实用新型的检测组件轴视图。

图中：1、恒温恒湿实验箱；2、推送组件；201、安装架；202、电机；203、丝杆；204、限位框；205、移动块；206、放置盒；207、推杆；208、滑动杆；209、滑动槽；210、驱动轮；3、检测组件；301、从动轮；302、传动带；303、螺纹杆；304、检测块；305、检测头。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在晶圆针测的过程中，需要使用到恒温恒湿实验箱1，本实用新型提供的一种用于晶圆针测的恒温控制装置，专门用于晶圆的针测作业，相较于公开号为CN206756992U的一种晶圆针测机，本装置通过推送组件2、检测组件3之间的联动，使晶圆在完成移动的同时，完成上移检测，耗能较少，降低了装置的使用成本。

其中恒温恒湿实验箱1优选WECAN系列实验箱中，型号为WECAN-TH250的设备，该实验箱具有较高的温度和湿度控制精度，并配备了多种安全保护功能，适用于晶圆针测等应用。

实施例

请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：

一种用于晶圆针测的恒温控制装置，包括恒温恒湿实验箱1，恒温恒湿实验箱1内部的底部固定连接有推送组件2，恒温恒湿实验箱1内部的顶部设置有检测组件3，推送组件2包括安装架201，安装架201和恒温恒湿实验箱1的第一端相固定，安装架201的第一端固定连接有电机202，电机202第二端的输出端贯穿安装架201且固定连接有丝杆203，恒温恒湿实验箱1内部的底部固定连接有限位框204，丝杆203的第二端贯穿恒温恒湿实验箱1、限位框204，丝杆203外壁的第二端螺纹连接有移动块205，移动块205的顶部设置有放置盒206，放置盒206底部的两侧固定连接有推杆207，推杆207底部贯穿移动块205且固定连接有滑动杆208，限位框204的两侧开设有倾斜向上的滑动槽209，滑动杆208设置在滑动槽209的内部。

本实施例中，当需要对晶圆进行移动上升时，首先将待检测的晶圆放置到放置盒206的内部，再启动安装架201上的电机202带动丝杆203转动，丝杆203带动移动块205沿着限位框204进行移动，同时移动块205通过推杆207带动顶部的放置盒206移动，同步的，推杆207带动滑动杆208在滑动槽209的内部进行移动，滑动杆208在移动的时候，会借助滑动槽209将推杆207逐渐顶起，推杆207带动放置盒206内的晶圆同步移动和上升，并逐渐与检测组件3接触，已完成检测作业。

其中参考图4可知，在本申请中，丝杆203外壁的第一端固定连接有驱动轮210，驱动轮210设置在安装架201的内部，检测组件3设置在驱动轮210的顶部，检测组件3包括从动轮301，从动轮301设置在驱动轮210的顶部，从动轮301、驱动轮210之间传动连接有传动带302，从动轮301的中心贯穿且固定连接有螺纹杆303，螺纹杆303的第二端贯穿恒温恒湿实验箱1，螺纹杆303外壁的第二端螺纹连接有检测块304，检测块304的顶部和恒温恒湿实验箱1内部的顶部滑动连接，检测块304的底部固定连接有检测头305，检测头305设置在放置盒206的正上方。

本实施例中，当需要对晶圆进行检测时，通过丝杆203带动驱动轮210转动，驱动轮210借助传动带302带动从动轮301转动，从动轮301带动螺纹杆303转动，螺纹杆303带动检测块304、检测头305跟随正下方的放置盒206同步移动并完成对放置盒206内部晶圆的检测作业。

需要说明的是，本实用新型作为一种用于晶圆针测的恒温控制装置，在使用时，首先将待检测的晶圆放置到放置盒206的内部，再启动安装架201上的电机202带动丝杆203转动，丝杆203带动移动块205沿着限位框204进行移动，同时移动块205通过推杆207带动顶部的放置盒206移动，同步的，推杆207带动滑动杆208在滑动槽209的内部进行移动，滑动杆208在移动的时候，会借助滑动槽209将推杆207逐渐顶起，推杆207带动放置盒206内的晶圆同步移动和上升，此时，丝杆203带动驱动轮210转动，驱动轮210借助传动带302带动从动轮301转动，从动轮301带动螺纹杆303转动，螺纹杆303带动检测块304、检测头305跟随正下方的放置盒206同步移动并完成对放置盒206内部晶圆的检测作业。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种用于晶圆针测的恒温控制装置，包括恒温恒湿实验箱(1)，其特征在于：所述恒温恒湿实验箱(1)内部的底部固定连接有推送组件(2)，所述恒温恒湿实验箱(1)内部的顶部设置有检测组件(3)，所述推送组件(2)包括安装架(201)，所述安装架(201)和恒温恒湿实验箱(1)的第一端相固定，所述安装架(201)的第一端固定连接有电机(202)，所述电机(202)第二端的输出端贯穿安装架(201)且固定连接有丝杆(203)，所述恒温恒湿实验箱(1)内部的底部固定连接有限位框(204)，所述丝杆(203)的第二端贯穿恒温恒湿实验箱(1)、限位框(204)，所述丝杆(203)外壁的第二端螺纹连接有移动块(205)，所述移动块(205)的顶部设置有放置盒(206)，所述放置盒(206)底部的两侧固定连接有推杆(207)，所述推杆(207)底部贯穿移动块(205)且固定连接有滑动杆(208)，所述限位框(204)的两侧开设有倾斜向上的滑动槽(209)，所述滑动杆(208)设置在滑动槽(209)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆针测的恒温控制装置，其特征在于：所述丝杆(203)外壁的第一端固定连接有驱动轮(210)，所述驱动轮(210)设置在安装架(201)的内部，所述检测组件(3)设置在驱动轮(210)的顶部。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆针测的恒温控制装置，其特征在于：所述检测组件(3)包括从动轮(301)，所述从动轮(301)设置在驱动轮(210)的顶部。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆针测的恒温控制装置，其特征在于：所述从动轮(301)、驱动轮(210)之间传动连接有传动带(302)，所述从动轮(301)的中心贯穿且固定连接有螺纹杆(303)。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆针测的恒温控制装置，其特征在于：所述螺纹杆(303)的第二端贯穿恒温恒湿实验箱(1)，所述螺纹杆(303)外壁的第二端螺纹连接有检测块(304)，所述检测块(304)的顶部和恒温恒湿实验箱(1)内部的顶部滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆针测的恒温控制装置，其特征在于：所述检测块(304)的底部固定连接有检测头(305)，所述检测头(305)设置在放置盒(206)的正上方。