CN221248393U - 一种半导体设备用精密零件加工装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体设备用精密零件加工装置，包括底座，所述底座上方设有第一固定台和第二固定台，所述第一固定台与第二固定台呈垂直分布，所述底座上设有安装架，所述安装架上设有安装座，所述第一固定台与第二固定台均与安装座固定连接，所述安装座上设有安装轴，所述安装座通过安装轴与安装架转动连接，所述安装架上设有第一电机，通过设置第一固定台、第二固定台与安装座，在第一固定台上工件进行加工的同时在第二固定台上固定下一组待加工的工件，上一组工件加工完毕后即可快速进入下一组工件的加工，随后在下一组工件加工同时对于上一组加工完成的工件进行拆卸，从而节省工件拆装的时间加快工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体零件加工技术领域，具体为一种半导体设备用精密零件加工装置。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，半导体在生产过程中需要使用到很多机械设备，由于半导体应用领域的高要求，对于半导体零件的加工精度与质量也有较高的要求。
现有的半导体设备用精密零件加工过程中会产生较多的粉尘，加工后的零件需要进行清洁后使用，而零件加工装置上所粘附的粉尘则容易被忽略，装置上所附着的粉尘在后续零件加工过程中可能会影响零件的加工精度；且现有的零件加工装置对零件的加工需要逐一进行，加工完成后需要再次进行零件的拆装，影响加工效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体设备用精密零件加工装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体设备用精密零件加工装置，包括底座，所述底座上方设有第一固定台和第二固定台，所述第一固定台与第二固定台呈垂直分布，所述底座上设有安装架，所述安装架上设有安装座，所述第一固定台与第二固定台均与安装座固定连接，所述安装座上设有安装轴，所述安装座通过安装轴与安装架转动连接，所述安装架上设有第一电机，所述安装座通过转轴与第一电机的输出端连接。
作为本技术方案的进一步优选的，所述第一固定台内设有驱动链，所述第一固定台内设有驱动轮，所述驱动轮的数量设置有两组，所述第一固定台内设有第二电机，所述第一固定台上开设有滑槽，所述驱动链上设有夹块，所述夹块通过滑槽与第一固定台滑动连接，所述夹块的数量设置有两组，两组所述夹块呈对称分布。
作为本技术方案的进一步优选的，两组所述驱动轮呈对称分布，所述驱动链与两组驱动轮传动连接，所述驱动轮通过转轴与第一固定台转动连接，所述驱动轮通过转轴与第二电机的输出端连接。
作为本技术方案的进一步优选的，所述底座两侧设有吸尘器，所述吸尘器的数量设置有两组，两组所述吸尘器呈对称分布，所述底座内设有安装框，所述底座上设有气缸，所述安装框与气缸的活塞杆输出端连接，所述安装框的数量设置有两组，两组所述安装框与吸尘器对应设置，所述安装框上设有吸尘口，所述吸尘口通过连接管与吸尘器连接，所述吸尘口两侧设有滑块，所述安装框内设有丝杆，所述安装框内设有第三电机，所述吸尘口下方设有固定座。
作为本技术方案的进一步优选的，所述吸尘口通过滑块与安装框滑动连接，所述丝杆的两端分别贯穿安装框并与安装框转动连接，所述丝杆上端与第三电机的输出端连接，所述丝杆贯穿滑块并与滑块螺纹连接。
作为本技术方案的进一步优选的，所述固定座内设有转块，所述转块的数量设置有多组，多组所述转块呈等距分布，所述转块上设有毛刷，所述转块与固定座转动连接，所述转块上套接有同步轮，所述固定座内设有同步带，所述同步带与多组同步轮传动连接，所述固定座内设有第四电机，右侧所述转块与第四电机的输出端连接。
本实用新型提供了一种半导体设备用精密零件加工装置，具备以下有益效果：
(1)本实用新型通过设置第一固定台、第二固定台与安装座，在第一固定台上工件进行加工的同时在第二固定台上固定下一组待加工的工件，上一组工件加工完毕后即可快速进入下一组工件的加工，随后在下一组工件加工同时对于上一组加工完成的工件进行拆卸，从而节省工件拆装的时间加快工作效率；通过第一电机带动驱动轮转动，两组驱动轮配合使得驱动链传动，从而带动驱动链上两组夹块向内移动，四组夹块配合下将工件固定在第一固定台或第二固定台中心位置，方便对其进行加工，在一组工件加工同时对另一组工件进行固定，上一组工件加工完成后启动第一电机的带动安装座转动九十度，完成第一固定台与第二固定台之间的转换，节省工件安装和拆卸的时间，加快工作效率。
(2)本实用新型通过设置安装框以及吸尘器和毛刷等实现对于加工完后的第一固定台或第二固定台的清洁，避免第一固定台与第二固定台上所粘接的粉尘影响后续工件的精密加工；在一组工件加工完成并完成第一固定台与第二固定台之间的转换后逆行另外一组工件的加工，此时第一固定台处于竖直状态，随后开启气缸将安装框推动至接近第一固定台表面，开启第四电机带动转块转动在同步带与同步轮作用下使得多组转块带动毛刷同步转动，对于第一固定台表面进行刷洗，同时开启第三电机带动丝杆转动在安装框的限位作用下使得吸尘口与固定座在安装框中匀速下移，同时开启吸尘器通过吸尘口对于第一固定台上毛刷清理完成后的部分进行吸尘操作，完成对于第一固定台上工件加工完成后残留粉尘的清洁，清洁过程中不影响第二固定台上工件的加工。
附图说明
图1为本实用新型的整体的结构示意图；
图2为本实用新型的安装座的结构示意图；
图3为本实用新型的夹块的结构示意图；
图4为本实用新型的安装框的结构示意图；
图5为本实用新型的固定座的结构示意图；
图6为本实用新型的图5-A处的结构放大图；
图中：1、底座；2、第一固定台；3、第二固定台；4、安装座；5、安装轴；6、安装架；7、第一电机；8、驱动链；9、驱动轮；10、第二电机；11、夹块；12、滑槽；13、安装框；14、吸尘器；15、气缸；16、吸尘口；17、滑块；18、丝杆；19、第三电机；20、固定座；21、转块；22、毛刷；23、同步轮；24、同步带；25、第四电机。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
本实用新型提供技术方案：如图1、图2和图3所示，本实施例中，一种半导体设备用精密零件加工装置，包括底座1，底座1上方设有第一固定台2和第二固定台3，第一固定台2与第二固定台3呈垂直分布，底座1上设有安装架6，安装架6上设有安装座4，第一固定台2与第二固定台3均与安装座4固定连接，安装座4上设有安装轴5，安装座4通过安装轴5与安装架6转动连接，安装架6上设有第一电机7，安装座4通过转轴与第一电机7的输出端连接，第一固定台2内设有驱动链8，第一固定台2内设有驱动轮9，驱动轮9的数量设置有两组，第一固定台2内设有第二电机10，第一固定台2上开设有滑槽12，驱动链8上设有夹块11，夹块11通过滑槽12与第一固定台2滑动连接，夹块11的数量设置有两组，两组夹块11呈对称分布，两组驱动轮9呈对称分布，驱动链8与两组驱动轮9传动连接，驱动轮9通过转轴与第一固定台2转动连接，驱动轮9通过转轴与第二电机10的输出端连接。
通过设置第一固定台2、第二固定台3与安装座4，在第一固定台2上工件进行加工的同时在第二固定台3上固定下一组待加工的工件，上一组工件加工完毕后即可快速进入下一组工件的加工，随后在下一组工件加工同时对于上一组加工完成的工件进行拆卸，从而节省工件拆装的时间加快工作效率；通过第一电机7带动驱动轮9转动，两组驱动轮9配合使得驱动链8传动，从而带动驱动链8上两组夹块11向内移动，四组夹块11配合下将工件固定在第一固定台2或第二固定台3中心位置，方便对其进行加工，在一组工件加工同时对另一组工件进行固定，上一组工件加工完成后启动第一电机7的带动安装座4转动九十度，完成第一固定台2与第二固定台3之间的转换，节省工件安装和拆卸的时间，加快工作效率。
如图4、图5和图6所示，底座1两侧设有吸尘器14，吸尘器14的数量设置有两组，两组吸尘器14呈对称分布，底座1内设有安装框13，底座1上设有气缸15，安装框13与气缸15的活塞杆输出端连接，安装框13的数量设置有两组，两组安装框13与吸尘器14对应设置，安装框13上设有吸尘口16，吸尘口16通过连接管与吸尘器14连接，吸尘口16两侧设有滑块17，安装框13内设有丝杆18，安装框13内设有第三电机19，吸尘口16下方设有固定座20，吸尘口16通过滑块17与安装框13滑动连接，丝杆18的两端分别贯穿安装框13并与安装框13转动连接，丝杆18上端与第三电机19的输出端连接，丝杆18贯穿滑块17并与滑块17螺纹连接，固定座20内设有转块21，转块21的数量设置有多组，多组转块21呈等距分布，转块21上设有毛刷22，转块21与固定座20转动连接，转块21上套接有同步轮23，固定座20内设有同步带24，同步带24与多组同步轮23传动连接，固定座20内设有第四电机25，右侧转块21与第四电机25的输出端连接。
通过设置安装框13以及吸尘器14和毛刷22等实现对于加工完后的第一固定台2或第二固定台3的清洁，避免第一固定台2与第二固定台3上所粘接的粉尘影响后续工件的精密加工；在一组工件加工完成并完成第一固定台2与第二固定台3之间的转换后逆行另外一组工件的加工，此时第一固定台2处于竖直状态，随后开启气缸15将安装框13推动至接近第一固定台2表面，开启第四电机25带动转块21转动在同步带24与同步轮23作用下使得多组转块21带动毛刷22同步转动，对于第一固定台2表面进行刷洗，同时开启第三电机19带动丝杆18转动在安装框13的限位作用下使得吸尘口16与固定座20在安装框13中匀速下移，同时开启吸尘器14通过吸尘口16对于第一固定台2上毛刷22清理完成后的部分进行吸尘操作，完成对于第一固定台2上工件加工完成后残留粉尘的清洁，清洁过程中不影响第二固定台3上工件的加工。
本实用新型提供一种半导体设备用精密零件加工装置，具体工作原理如下：通过第一电机7带动驱动轮9转动，两组驱动轮9配合使得驱动链8传动，从而带动驱动链8上两组夹块11向内移动，四组夹块11配合下将工件固定在第一固定台2或第二固定台3中心位置，方便对其进行加工，在一组工件加工同时对另一组工件进行固定，上一组工件加工完成后启动第一电机7的带动安装座4转动九十度，完成第一固定台2与第二固定台3之间的转换，节省工件安装和拆卸的时间，加快工作效率，在一组工件加工完成并完成第一固定台2与第二固定台3之间的转换后逆行另外一组工件的加工，此时第一固定台2处于竖直状态，随后开启气缸15将安装框13推动至接近第一固定台2表面，开启第四电机25带动转块21转动在同步带24与同步轮23作用下使得多组转块21带动毛刷22同步转动，对于第一固定台2表面进行刷洗，同时开启第三电机19带动丝杆18转动在安装框13的限位作用下使得吸尘口16与固定座20在安装框13中匀速下移，同时开启吸尘器14通过吸尘口16对于第一固定台2上毛刷22清理完成后的部分进行吸尘操作，完成对于第一固定台2上工件加工完成后残留粉尘的清洁，清洁过程中不影响第二固定台3上工件的加工。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种半导体设备用精密零件加工装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上方设有第一固定台(2)和第二固定台(3)，所述第一固定台(2)与第二固定台(3)呈垂直分布，所述底座(1)上设有安装架(6)，所述安装架(6)上设有安装座(4)，所述第一固定台(2)与第二固定台(3)均与安装座(4)固定连接，所述安装座(4)上设有安装轴(5)，所述安装座(4)通过安装轴(5)与安装架(6)转动连接，所述安装架(6)上设有第一电机(7)，所述安装座(4)通过转轴与第一电机(7)的输出端连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体设备用精密零件加工装置，其特征在于：所述第一固定台(2)内设有驱动链(8)，所述第一固定台(2)内设有驱动轮(9)，所述驱动轮(9)的数量设置有两组，所述第一固定台(2)内设有第二电机(10)，所述第一固定台(2)上开设有滑槽(12)，所述驱动链(8)上设有夹块(11)，所述夹块(11)通过滑槽(12)与第一固定台(2)滑动连接，所述夹块(11)的数量设置有两组，两组所述夹块(11)呈对称分布。
3.根据权利要求2所述的一种半导体设备用精密零件加工装置，其特征在于：两组所述驱动轮(9)呈对称分布，所述驱动链(8)与两组驱动轮(9)传动连接，所述驱动轮(9)通过转轴与第一固定台(2)转动连接，所述驱动轮(9)通过转轴与第二电机(10)的输出端连接。
4.根据权利要求1所述的一种半导体设备用精密零件加工装置，其特征在于：所述底座(1)两侧设有吸尘器(14)，所述吸尘器(14)的数量设置有两组，两组所述吸尘器(14)呈对称分布，所述底座(1)内设有安装框(13)，所述底座(1)上设有气缸(15)，所述安装框(13)与气缸(15)的活塞杆输出端连接，所述安装框(13)的数量设置有两组，两组所述安装框(13)与吸尘器(14)对应设置，所述安装框(13)上设有吸尘口(16)，所述吸尘口(16)通过连接管与吸尘器(14)连接，所述吸尘口(16)两侧设有滑块(17)，所述安装框(13)内设有丝杆(18)，所述安装框(13)内设有第三电机(19)，所述吸尘口(16)下方设有固定座(20)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体设备用精密零件加工装置，其特征在于：所述吸尘口(16)通过滑块(17)与安装框(13)滑动连接，所述丝杆(18)的两端分别贯穿安装框(13)并与安装框(13)转动连接，所述丝杆(18)上端与第三电机(19)的输出端连接，所述丝杆(18)贯穿滑块(17)并与滑块(17)螺纹连接。
6.根据权利要求4所述的一种半导体设备用精密零件加工装置，其特征在于：所述固定座(20)内设有转块(21)，所述转块(21)的数量设置有多组，多组所述转块(21)呈等距分布，所述转块(21)上设有毛刷(22)，所述转块(21)与固定座(20)转动连接，所述转块(21)上套接有同步轮(23)，所述固定座(20)内设有同步带(24)，所述同步带(24)与多组同步轮(23)传动连接，所述固定座(20)内设有第四电机(25)，右侧所述转块(21)与第四电机(25)的输出端连接。
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN221248393U true CN221248393U (zh) | 2024-07-02 |
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