CN221246199U - 一种掩模板清洗设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种掩模板清洗设备，包括设置在清洁腔室内的旋转部、大面清洗部、侧面清洗部和避让组件；旋转部上设有多个定位PIN，用以装载掩模板并带动掩模板旋转；大面清洗部可转动的设置在旋转部的上方；侧面清洗部设置在旋转部的上方，用以在旋转部带动掩模板旋转时对掩模板的四个侧边进行清洗；避让组件设置在旋转部的内部，用以当旋转部带动定位PIN转动至侧面清洗部处时，避让组件带动定位PIN位给侧面清洗部，本实用新型在一个清洁腔室内通过大面清洗部、侧面清洗部以及避让组件相互配合通过实现对掩模板大面及四个侧边侧面同步清洗，设备占有空间小，清洗效率高，并且避免掩模板在多个工站转移时出现二次污染，清洁效果好。

Description

一种掩模板清洗设备

技术领域

本实用新型涉及一种清洗设备，尤其涉及一种用于掩模板的高效清洗设备。

背景技术

在掩模板生产过程中，清洗是必不可少的工序，常见掩模板为方形带一定厚度的产品，与晶圆清洗有所不同，大面清洗和四个侧面必不可少，目前的清洗设备在清洗过程中优先大面清洗，然后更换新的清洗工位多次旋转来清洁掩模板的四个侧边。

但是这样的清洗模式在实际的生产后发现，存在如下的问题：首先存在由于工站较多，整体的清洗效率不高；其次，同工站清洗大面及侧面时，存在机构设计复杂，腔室内部需要预留开口，无法保证内部洁净环境，容易多次搬运掩摸板出现二次污染的问题。

实用新型内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种掩模板清洗设备，能在一个清洁腔室内完成大面和四个侧边的清洗，清洗效率高，同时清洗效果好，设备占用空间小。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种掩模板清洗设备，包括设置在清洁腔室内的：

旋转部，所述旋转部上设有多个用以承载掩模板的定位PIN，所述旋转部用以带动装载在定位PIN上的掩模板进行旋转；

大面清洗部，可转动的设置在所述旋转部的上方，用以对位于所述旋转部上的掩模板进行大面清洗；

侧面清洗部，设置在所述旋转部的上方，用以在所述旋转部带动掩模板旋转时对掩模板的四个侧边进行清洗；

避让组件，设置在所述旋转部的内部，用以当所述旋转部带动所述定位PIN转动至所述侧面清洗部处时，所述避让组件带动定位PIN位给所述侧面清洗部。

进一步的，所述旋转部包括底板，所述底板上设有经由第三驱动电机驱动旋转的旋转台，在所述旋转台的四个侧边还设有防水护罩。

进一步的，所述旋转台上沿着掩模板的四个侧边设有第一导向槽，所述侧边毛刷的底部设有与所述第一导向槽适配的滚珠轴承，所述侧边毛刷通过滚珠轴承在旋转部旋转时沿着所述第一导向槽对掩模板的四个侧边进行清洗。

进一步的，所述避让组件包括设于所述旋转台下方的导向座；所述导向座的上表面开有第二导向槽，所述第二导向槽呈斜面状；所述定位PIN通过弹簧与连接杆相连，所述连接杆设置在所述旋转台内，所述连接杆的底部设有转珠，所述转珠可滑动的设置在所述第二导向槽内；其中，当所述转珠跟随旋转部旋转至第二导向槽时，所述转珠朝第二导向槽的高位内移动，此时弹簧被压缩，然后与弹簧相连的定位PIN下降。

进一步的，所述大面清洗部包括通过第一驱动电机可转动的大面清洗臂，所述大面清洗臂上设有通过第一驱动气缸可上下移动的大面毛刷，所述大面毛刷经由第二驱动电机驱动旋转。

进一步的，所述侧面清洗部包括侧面支架，所述侧面支架上设有可前后移动的导向机构，所述导向机构上设有通过第二驱动气缸可上下升降的侧边毛刷，所述侧边毛刷经由第四驱动电机驱动旋转。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型方案的掩模板的高效清洗设备，在一个清洁腔室内通过大面清洗部、侧面清洗部以及避让组件相互配合实现对掩模板大面及四个侧边的同步清洗，无需多个工站配合，设备占有空间小，清洗效率高，并且避免掩模板在多个工站内移动时出现的二次污染风险，清洁效果好。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：

图1为本实用新型一实施例的立体结构示意图；

图2为本实用新型一实施例中旋转部、定位PIN和避让组件装配时的IT结构示意图；

图3为附图2的主视图；

图4为附图3的内部剖视图；

图5为本实用新型一实施例中定位PIN的结构示意图；

图6为本实用新型一实施例中大面清洗部的立体结构示意图；

图7为本实用新型一实施例中侧面清洗部的立体结构示意图；

图8为本实用新型一实施例在实际清洗时的状态示意图；

附图9为附图8中的A部放大图；

其中：清洁腔室1、旋转部2、定位PIN3、大面清洗部4、侧面清洗部5、离子风机7、掩模板8、常闭维护门9、底板20、第三驱动电机21、旋转台22、防水护罩23、第一导向槽24、滚珠轴承25、第一驱动电机40、大面清洗臂41、第一驱动气缸42、大面毛刷43、第二驱动电机44、侧面支架50、导向机构51、第二驱动气缸52、侧边毛刷53、第四驱动电机54、导向座60、第二导向槽61、弹簧62、连接杆63、转珠64。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

本实用新型提供了一种掩模板清洗设备，以解决现有技术中的清洗工站较多，清洗效率低，机构设计复杂，腔室内部需要预留开口，无法保证内部洁净环境，容易出现二次污染的问题。

为了便于理解，下面对本申请实施例中的具体流程进行描述，请参阅图1至图2，本申请实施例中的一种掩模板清洗设备，包括设置在密闭清洁腔室1内的旋转部2、大面清洗部4、侧面清洗部5和避让组件；所述旋转部2上设有多个用以承载掩模板8的定位PIN3，所述旋转部2用以带动位于定位PIN3上的掩模板旋转；大面清洗部4可转动的设置在所述旋转部2的上方，用以对位于所述旋转部2上的掩模板进行大面清洗；侧面清洗部5设置在所述旋转部2的上方，用以在所述旋转部2带动掩模板旋转时对掩模板8的四个侧边进行清洗。

避让组件设置在所述旋转部2的内部，用以当所述旋转部2带动所述定位PIN3转动至所述侧面清洗部5处时，所述避让组件6带动PIN3让位给所述侧面清洗部5，从而使得侧面清洗部5能有效的对掩模板8的四个侧边均进行有效清洗。

本实用新型的掩模板高效清洗设置，在一个清洁腔室1内一边利用大面清洗部5对掩模板的大面进行清洗，另一边利用侧面清洗部5和避为组件6的配合对由旋转部2带动旋转的掩模板8进行四个侧边的清洗，从而能对掩模板的大面和四个侧边进行有效清洗，无需多个工站的切换，清洗的效率高，避免二次污染，设备的占用空间小，并且清洁腔室1内无需预留清洁口，内部的清洁环境好，清洗效果佳。

基于图2至图4，本实施例中，所述旋转部2包括底板20，所述底板20上设有经由第三驱动电机21驱动旋转的旋转台22，多个所述定位PIN3设置在旋转台22上；具体的，本实施例中包含八个定位PIN3，每两个所述定位PIN3设置在旋转台22的一边上，这样在定位PIN3支撑掩模板8时，掩模板8的每个角上均设有两个定位PIN3，从而可以较稳定的对掩模板8起到支撑限位作用。

另外，在所述旋转台22的四个侧边还设有防水护罩23，这样可以保证清洁腔室1的内部洁净空间，防止药液浸入其它机构位置中去。

基于图2至图5，本实施例中，所述避让组件包括设于所述旋转台22下方的导向座60；所述导向座60的上表面开有第二导向槽61，所述第二导向槽61呈斜面状，即第二导向槽具有高位和地位；所述定位PIN3通过弹簧62与连接杆63相连，所述连接杆63竖向设置在所述旋转台22内，所述连接杆63的底部设有转珠64，所述转珠64可滑动的设置在所述第二导向槽61内。

工作时，定位PIN3跟随旋转台22进行旋转，当旋转到一定位置时，所述转珠64跟随旋转台22旋转至第二导向槽61内，当转珠64在第二导向槽61上进行移动时，由于第二导向槽呈斜面状，并且转珠是由第二导向槽的低位向高位移动，当转珠移动到高位时，与转珠64相连的弹簧62被压缩，这样与弹簧相连的定位PIN3就会下降，定位PIN3下降后给侧面清洗部5让位，避免两者之间发生干涩，从而便于侧面清洗部5对掩模板的四个侧边进行清洗。

基于图6，本实施例中，所述大面清洗部4包括通过第一驱动电机40可转动的大面清洗臂41，所述大面清洗臂41上设有通过第一驱动气缸42可上下移动的大面毛刷43，所述大面毛刷43经由第二驱动电机44驱动旋转。

工作时，第一驱动电机40驱动大面毛刷43在掩模板的上表面旋转后进行大面的清洗，并能通过第一驱动气缸42来控制大面毛刷43在掩模板上方的高度，用以适配不同厚度的掩摸板，适配性好。

基于图7，本实施例中，所述侧面清洗部5包括侧面支架50，所述侧面支架50上设有可前后移动的导向机构51，所述导向机构51上设有通过第二驱动气缸52可上下升降的侧边毛刷53，所述侧边毛刷53经由第四驱动电机54驱动旋转，运行时，利用导向机构51调整好侧边毛刷的横向位置，利用第二驱动气缸52调整侧边毛刷的上下高度，两者相互配合后使得侧边毛刷的位置正好在掩模板的四个侧边，从而能便于对掩模板的四个侧边进行清洗。

作为一个优选实施例，所述旋转台22上沿着掩模板的四个侧边设有第一导向槽24，所述侧边毛刷53的底部设有与所述第一导向槽24适配的滚珠轴承25，所述侧边毛刷53通过滚珠轴承25在旋转部旋转时沿着所述第一导向槽24对掩模板8的四个侧边进行清洗，此处的第一导向槽24对侧边毛刷53的清洗起到导向作用，这样的清洗效果更加精准有效。

另外，在所述清洁腔室1的上方还设有离子风机7，起到过滤空气中的杂质，向腔室内部吹洁净气体的作用；同时在清洁腔室1的顶部还设有排风口8，实现清洁腔室1内部离子风快速排出，保证清洁过程中的洁净效果。

同时，在清洁腔室1上还设有常闭维护门9，用于方便对本设置进行相关的维修。

基于图8至图9，本设备的清洗流程如下所述：

1.机械手放入待清洗的掩模板至清洁腔室1内，并通过多个定位PIN3对掩模板8进行支撑；

2.进出料口自动封闭，保证清洁腔室1的内部环境；

3.第一驱动电机40旋转带动大面毛刷43移动至掩模板的上表面，第一驱动气缸42下压，大面毛刷43接触掩模板，第二驱动电机44驱动大面毛刷43开始旋转清洁大面，清洁的时候，第一驱动电机40带动大面毛刷来回往返旋转，保证掩模板的上表面完全清洁；

4.第二驱动气缸52上升，从而使侧边毛刷53接触到掩模板8的一个侧边，第四驱动电机54驱动侧边毛刷53旋转开始掩模板清洁的侧边，此时的旋转台22带动掩模板进行旋转，这样侧边毛刷53就实现了对掩模板四个侧边的清洗，其中，当定位PIN3旋转到侧边毛刷53的位置时，避让组件中的转珠正好处于第二导向槽的高位上，这样就通过弹簧的压缩，使得定位PIN3的位置下降，从而让定位PIN3起到对侧边毛刷53避让的作用；

5.清洁过程中同时对掩模板8、大面毛刷43以及侧边毛刷53进行药液喷淋，提高本设备的清洁能力。

以上所述，以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (6)

1.一种掩模板清洗设备，其特征在于，包括设置在清洁腔室内的：

旋转部，所述旋转部上设有多个用以承载掩模板的定位PIN，所述旋转部用以带动装载在定位PIN上的掩模板进行旋转；

大面清洗部，可转动的设置在所述旋转部的上方，用以对位于所述旋转部上的掩模板进行大面清洗；

侧面清洗部，设置在所述旋转部的上方，用以在所述旋转部带动掩模板旋转时对掩模板的四个侧边进行清洗；

避让组件，设置在所述旋转部的内部，用以当所述旋转部带动所述定位PIN转动至所述侧面清洗部处时，所述避让组件带动定位PIN让位给所述侧面清洗部。

2.如权利要求1所述的掩模板清洗设备，其特征在于：所述旋转部包括底板，所述底板上设有经由第三驱动电机驱动旋转的旋转台，在所述旋转台的四个侧边还设有防水护罩。

3.如权利要求2所述的掩模板清洗设备，其特征在于：所述旋转台上沿着掩模板的四个侧边设有第一导向槽，侧边毛刷的底部设有与所述第一导向槽适配的滚珠轴承，所述侧边毛刷通过滚珠轴承在旋转部旋转时沿着所述第一导向槽对掩模板的四个侧边进行清洗。

4.如权利要求2所述的掩模板清洗设备，其特征在于：所述避让组件包括设于所述旋转台下方的导向座；所述导向座的上表面开有第二导向槽，所述第二导向槽呈斜面状；所述定位PIN通过弹簧与连接杆相连，所述连接杆设置在所述旋转台内，所述连接杆的底部设有转珠，所述转珠可滑动的设置在所述第二导向槽内；其中，当所述转珠跟随旋转部旋转至第二导向槽时，所述转珠朝第二导向槽的高位内移动，此时弹簧被压缩，然后与弹簧相连的定位PIN下降。

5.如权利要求1所述的掩模板清洗设备，其特征在于：所述大面清洗部包括通过第一驱动电机可转动的大面清洗臂，所述大面清洗臂上设有通过第一驱动气缸可上下移动的大面毛刷，所述大面毛刷经由第二驱动电机驱动旋转。

6.如权利要求1所述的掩模板清洗设备，其特征在于：所述侧面清洗部包括侧面支架，所述侧面支架上设有可前后移动的导向机构，所述导向机构上设有通过第二驱动气缸可上下升降的侧边毛刷，所述侧边毛刷经由第四驱动电机驱动旋转。