CN221170047U - 一种可拆卸静子及分子泵 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种可拆卸静子及分子泵，包括：静子环和涡轮盘，所述静子环做轴向直线排布，所述涡轮盘位于相邻的两个静子环之间，所述涡轮盘轴向相邻的两个静子环过盈配合且压紧固定涡轮盘。本实用新型通过将静子分为多层，每层包括涡轮盘和静子，涡轮盘和静子可拆卸，便于更换和维护，解决了无法实现精确更换损伤的部分静子部件的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及分子泵领域，尤其是一种可拆卸静子及分子泵。
背景技术
分子真空泵(分子泵)因其工作稳定可靠，在分子流态下具有很好的抽气效率，已经成为清洁高真空、超高真空应用领域的主流获得设备，在科学仪器、工业生产设备中得到广泛应用。
当分子泵应用在半导体领域的加工时，会产生气体凝结在静子表面的现象，造成静子部分损坏。目前的静子结构复杂，无法实现精确更换损伤的部分静子部件。
实用新型内容
本实用新型旨在解决上述问题，提供了一种可拆卸静子及分子泵，解决了无法实现精确更换损伤的部分静子部件的问题。
一种可拆卸静子，包括：静子环和涡轮盘，所述静子环做轴向直线排布，所述涡轮盘位于相邻的两个静子环之间，所述涡轮盘轴向相邻的两个静子环过盈配合且压紧固定涡轮盘。
在上述技术方案基础上，所述涡轮盘包括两个半涡轮盘和固定销，所述半涡轮盘包括半圆环和第二涡轮片，所述固定销两端分别插入同一层的两个半涡轮盘的半圆环将两个半涡轮盘固定，同一层的第二涡轮片做圆周均匀排布。
在上述技术方案基础上，两个静子环压紧固定第二涡轮片的外端。
在上述技术方案基础上，所述静子环上端外侧形成有第一环形槽，所述静子环下端内侧形成有第二环形槽，相邻的两个静子环中上方的静子环插入下方的静子环的第一环形槽中，下方的静子环插入上方的静子环的第二环形槽中。
在上述技术方案基础上，所述半涡轮盘为一体成型。
一种分子泵，使用上述任意一项的静子。
在上述技术方案基础上，还包括外壳、马达壳体、转轴、转子和定子，所述外壳内部与静子固定连接，所述转子位于静子内部，所述转子与其内部的转轴固定连接，所述马达壳体位于转轴和转子之间并与外壳位置固定，所述马达壳体内部与定子固定连接，所述定子驱动转轴转动。
在上述技术方案基础上，还包括底座，所述底座位于外壳下方并与外壳固定连接，所述底座内部分别与排气口和外壳内部相连通，所述马达壳体与底座固定连接。
在上述技术方案基础上，所述转子包括主体部和第一涡轮片，所述主体部上部形成有多层第一涡轮片，每层第一涡轮片的第一涡轮片做圆周均匀排布，多层涡轮盘和多层第一涡轮片做轴向交替排布。
在上述技术方案基础上，还包括导气环，所述导气环套装在主体部外侧并位于第一涡轮片下方，所述导气环与底座固定连接，所述导气环内部形成有螺纹板。
本实用新型具有如下优点：通过将静子分为多层，每层包括涡轮盘和静子，涡轮盘和静子可拆卸，便于更换和维护，解决了无法实现精确更换损伤的部分静子部件的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。
图1：静子的立体结构示意图；
图2：一层静子和一层涡轮盘的立体结构示意图；
图3：一层静子和一层涡轮盘的俯视剖视结构示意图；
图4：静子的主视剖视结构示意图；
图5：分子泵的俯视结构示意图；
图6：分子泵的立体结构示意图；
图7：图5中A-A处的剖视结构示意图；
图8：转子的立体结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实例对本实用新型作进一步说明：
下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
实施例一：
如图1到图4所示，本实施例提供了一种可拆卸静子，包括：静子环601和涡轮盘，所述静子环601做轴向直线排布，所述涡轮盘位于相邻的两个静子环601之间，所述涡轮盘轴向相邻的两个静子环601过盈配合且压紧固定涡轮盘。
在上述技术方案基础上，所述涡轮盘包括两个半涡轮盘和固定销604，所述半涡轮盘包括半圆环602和第二涡轮片603，所述固定销604两端分别插入同一层的两个半涡轮盘的半圆环602将两个半涡轮盘固定，同一层的第二涡轮片603做圆周均匀排布。
在上述技术方案基础上，两个静子环601压紧固定第二涡轮片603的外端。
在上述技术方案基础上，所述静子环601上端外侧形成有第一环形槽6011，所述静子环601下端内侧形成有第二环形槽6012，相邻的两个静子环601中上方的静子环601插入下方的静子环601的第一环形槽6011中，下方的静子环601插入上方的静子环601的第二环形槽6012中。
在上述技术方案基础上，所述半涡轮盘为一体成型。
更换时，使用温度差将过盈固定的静子环601依次拆下，清洗或更换新的静子环601或半涡轮盘。更换完成后，重新在转子5外侧安装静子环601和半涡轮盘。
如图1到图8所示，一种分子泵，使用上述任意一项的静子6。
在上述技术方案基础上，还包括外壳2、马达壳体3、转轴4、转子5和定子7，所述外壳2内部与静子6固定连接，所述转子5位于静子6内部，所述转子5与其内部的转轴4固定连接，所述马达壳体3位于转轴4和转子5之间并与外壳2位置固定，所述马达壳体3内部与定子7固定连接，所述定子7驱动转轴4转动。
在上述技术方案基础上，还包括底座1，所述底座1位于外壳2下方并与外壳2固定连接，所述底座1内部分别与排气口18和外壳2内部相连通，所述马达壳体3与底座1固定连接。
在上述技术方案基础上，所述转子5包括主体部501和第一涡轮片502，所述主体部501上部形成有多层第一涡轮片502，每层第一涡轮片502的第一涡轮片502做圆周均匀排布，多层涡轮盘和多层第一涡轮片502做轴向交替排布。
在上述技术方案基础上，还包括导气环17，所述导气环17套装在主体部501外侧并位于第一涡轮片502下方，所述导气环17与底座1固定连接，所述导气环17内部形成有螺纹板171。
工作时，外壳2上部的法兰与被抽真空的容器固定连接且相连通，排气口18与前级泵相连通。定子7通过磁力驱动转轴4转动(原理与电机相同)，进而驱动转子5转动。
第一涡轮片502相对第二涡轮片603高速转动，将气体分子吸入。气体分子经过涡轮段后向下进入螺纹板171之间的螺旋沟槽中，在其牵引作用下，最后从排气口18排出至前级泵。
上面以举例方式对本实用新型进行了说明，但本实用新型不限于上述具体实施例，凡基于本实用新型所做的任何改动或变型均属于本实用新型要求保护的范围。
Claims (10)
1.一种可拆卸静子，其特征在于，包括：静子环(601)和涡轮盘，所述静子环(601)做轴向直线排布，所述涡轮盘位于相邻的两个静子环(601)之间，所述涡轮盘轴向相邻的两个静子环(601)过盈配合且压紧固定涡轮盘。
2.根据权利要求1所述的一种可拆卸静子，其特征在于：所述涡轮盘包括两个半涡轮盘和固定销(604)，所述半涡轮盘包括半圆环(602)和第二涡轮片(603)，所述固定销(604)两端分别插入同一层的两个半涡轮盘的半圆环(602)将两个半涡轮盘固定，同一层的第二涡轮片(603)做圆周均匀排布。
3.根据权利要求2所述的一种可拆卸静子，其特征在于：两个静子环(601)压紧固定第二涡轮片(603)的外端。
4.根据权利要求2所述的一种可拆卸静子，其特征在于：所述静子环(601)上端外侧形成有第一环形槽(6011)，所述静子环(601)下端内侧形成有第二环形槽(6012)，相邻的两个静子环(601)中上方的静子环(601)插入下方的静子环(601)的第一环形槽(6011)中，下方的静子环(601)插入上方的静子环(601)的第二环形槽(6012)中。
5.根据权利要求2所述的一种可拆卸静子，其特征在于：所述半涡轮盘为一体成型。
6.一种分子泵，其特征在于：使用如权利要求1到4任意一项所述的静子(6)。
7.根据权利要求6所述的一种分子泵，其特征在于：还包括外壳(2)、马达壳体(3)、转轴(4)、转子(5)和定子(7)，所述外壳(2)内部与静子(6)固定连接，所述转子(5)位于静子(6)内部，所述转子(5)与其内部的转轴(4)固定连接，所述马达壳体(3)位于转轴(4)和转子(5)之间并与外壳(2)位置固定，所述马达壳体(3)内部与定子(7)固定连接，所述定子(7)驱动转轴(4)转动。
8.根据权利要求7所述的一种分子泵，其特征在于：还包括底座(1)，所述底座(1)位于外壳(2)下方并与外壳(2)固定连接，所述底座(1)内部分别与排气口(18)和外壳(2)内部相连通，所述马达壳体(3)与底座(1)固定连接。
9.根据权利要求7所述的一种分子泵，其特征在于：所述转子(5)包括主体部(501)和第一涡轮片(502)，所述主体部(501)上部形成有多层第一涡轮片(502)，每层第一涡轮片(502)的第一涡轮片(502)做圆周均匀排布，多层涡轮盘和多层第一涡轮片(502)做轴向交替排布。
10.根据权利要求9所述的一种分子泵，其特征在于：还包括导气环(17)，所述导气环(17)套装在主体部(501)外侧并位于第一涡轮片(502)下方，所述导气环(17)与底座(1)固定连接，所述导气环(17)内部形成有螺纹板(171)。
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