CN221094277U - 一种气相沉积炉均匀加热装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种气相沉积炉均匀加热装置，包括内部腔室、气相沉积炉炉体和中间内炉体，所述气相沉积炉炉体的内部开设有内部腔室，所述内部腔室的内侧位于气相沉积炉炉体上设置有中间内炉体，所述中间内炉体的上端设置有定位放置罩，所述定位放置罩的上端内侧位于气相沉积炉炉体上设置有匀流分散罩，所述匀流分散罩的上方位于气相沉积炉炉体上设置有加热机体，所述加热机体的外端设置有加热电源线，所述加热机体的上端设置有匀流风扇，所述加热电源线和匀流风扇与外部控制器电性连接。本实用新型公开的气相沉积炉均匀加热装置具有将热量进行匀流分散，从而在加热时，可以匀流加热物体的技术效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及气相沉积炉领域，尤其涉及一种气相沉积炉均匀加热装置。
背景技术
气相沉积炉为沉积炉主体内有加热室、水冷电极、测温热电偶、是处理工件的核心部分，气相沉积炉的工作原理是利用热分解或化学反应将气体源中的原料分子在高温环境下转化为可沉积的材料薄膜。
现有的中国专利CN218465936U，在2023年2月10日公开了一种化学气相沉积炉的炉底加热装置，包括气相沉积炉，所述气相沉积炉的一侧内壁设置有通气外壳，且气相沉积炉的底端内壁固定连接有分流底盘，所述分流底盘的顶端外壁固定连接有第二导热隔板，且第二导热隔板的顶端外壁设置有加热器，所述第二导热隔板的顶端外壁同时固定连接有导热隔板，且导热隔板覆盖在加热器的上方，所述分流底盘的底端外壁固定连接有第三导热隔板，且第三导热隔板的底端外壁固定连接有底座，所述底座的底端内壁设置有第二加热器，所述气相沉积炉的顶端内壁固定连接有进气口。
但是，上述装置在进行送热的时候，整体热量不能有效均匀的分散，使得内部会出现热量集中的情况，这样使得物体在受热时，物体表面受热不是很均匀的情况，从而容易影响整体加热效率的问题。
实用新型内容
本实用新型公开一种气相沉积炉均匀加热装置，旨在解决上述装置在进行送热的时候，整体热量不能有效均匀的分散，使得内部会出现热量集中的情况，这样使得物体在受热时，物体表面受热不是很均匀的情况，从而容易影响整体加热效率的技术问题。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种气相沉积炉均匀加热装置，包括内部腔室、气相沉积炉炉体和中间内炉体，所述气相沉积炉炉体的内部开设有内部腔室，所述内部腔室的内侧位于气相沉积炉炉体上设置有中间内炉体，所述中间内炉体的上端设置有定位放置罩，所述定位放置罩的上端内侧位于气相沉积炉炉体上设置有匀流分散罩，所述匀流分散罩的上方位于气相沉积炉炉体上设置有加热机体，所述加热机体的外端设置有加热电源线，所述加热机体的上端设置有匀流风扇，所述加热电源线和匀流风扇与外部控制器电性连接。
通过设置有加热电源线结构，从而可以接收外部控制器输送的电源，加热机体通过加热电源线接收外部控制器输送的电流，而后加热机体产生热量，产生的热量经过加热机体上端的匀流风扇，使得可以输送到匀流分散罩中，而后经过匀流分散罩匀流分散到定位放置罩中，之后直接匀流分散到中间内炉体中，中间内炉体的热量在扩散到气相沉积炉炉体的内部腔室中时，从而形成一个温区，使得有效维持中间内炉体的温度，中间内炉体因匀流输入的温度，而且外部的温区，使得中间内炉体内部的热量更加均匀，这样物体在受热时更加均匀。
在一个优选的方案中，所述匀流分散罩包括底部匀流套板、匀流分散孔、回型框架和外侧固定耳板，所述回型框架的两端设置有外侧固定耳板，所述回型框架的下端设置有底部匀流套板，所述底部匀流套板的内侧开设有匀流分散孔，所述回型框架通过外侧固定耳板连接在气相沉积炉炉体上，所述底部匀流套板连接在定位放置罩上。
通过设置有匀流分散罩结构，从而可以匀流输送热风，这样有效匀流加热物料。
在一个优选的方案中，所述加热机体包括组装螺钉、耐热机壳、风扇气孔、内部加热元件和中空底板，所述耐热机壳的上端内侧设置有风扇气孔，所述耐热机壳的内部设置有内部加热元件，所述耐热机壳的下端设置有中空底板，所述中空底板的拐角处设置有组装螺钉，所述中空底板通过组装螺钉连接在气相沉积炉炉体上，所述内部加热元件连接在加热电源线上。
通过设置有加热机体结构，从而可以产生热量进行加热使用。
在一个优选的方案中，所述定位放置罩包括内部套腔、外侧框板和中间套框，所述中间套框的下端设置有外侧框板，所述中间套框和外侧框板的内侧开设有内部套腔，所述中间套框通过外侧框板连接在中间内炉体上。
通过设置有定位放置罩结构，这样可以定位放置使用。
在一个优选的方案中，所述匀流风扇包括安装底板和风扇机体，所述风扇机体的下端设置有安装底板，所述风扇机体通过安装底板连接在加热机体上。
通过设置有匀流风扇结构，这样可以产生风力进行热量的输送。
在一个优选的方案中，所述定位放置罩和中间内炉体的连接处设置有密封胶垫，且所述定位放置罩和中间内炉体的连接处贯通。
通过设置有定位放置罩结构，从而可以将匀流热量输送到中间内炉体中进行匀流加热使用。
在一个优选的方案中，所述匀流分散罩的下端套接在定位放置罩的上端套槽中，且所述匀流分散罩和定位放置罩的连接处设置有耐高温密封胶垫。
通过设置有匀流分散罩结构，从而可以将热量匀流分散到定位放置罩中进行输送。
由上可知，一种气相沉积炉均匀加热装置，包括内部腔室、气相沉积炉炉体和中间内炉体，所述气相沉积炉炉体的内部开设有内部腔室，所述内部腔室的内侧位于气相沉积炉炉体上设置有中间内炉体，所述中间内炉体的上端设置有定位放置罩，所述定位放置罩的上端内侧位于气相沉积炉炉体上设置有匀流分散罩，所述匀流分散罩的上方位于气相沉积炉炉体上设置有加热机体，所述加热机体的外端设置有加热电源线，所述加热机体的上端设置有匀流风扇，所述加热电源线和匀流风扇与外部控制器电性连接。本实用新型提供的气相沉积炉均匀加热装置具有将热量进行匀流分散，从而在加热时，可以匀流加热物体的技术效果。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种气相沉积炉均匀加热装置的侧面平面结构示意图。
图2为本实用新型提出的一种气相沉积炉均匀加热装置的匀流分散罩结构示意图。
图3为本实用新型提出的一种气相沉积炉均匀加热装置的加热机体结构示意图。
图4为本实用新型提出的一种气相沉积炉均匀加热装置的定位放置罩结构示意图。
图5为本实用新型提出的一种气相沉积炉均匀加热装置的匀流风扇结构示意图。
附图中：1、匀流分散罩；11、底部匀流套板；12、匀流分散孔；13、回型框架；14、外侧固定耳板；2、加热机体；21、组装螺钉；22、耐热机壳；23、风扇气孔；24、内部加热元件；25、中空底板；3、加热电源线；4、定位放置罩；41、内部套腔；42、外侧框板；43、中间套框；5、内部腔室；6、气相沉积炉炉体；7、中间内炉体；8、匀流风扇；81、安装底板；82、风扇机体。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
参照图1-图5，一种气相沉积炉均匀加热装置，包括内部腔室5、气相沉积炉炉体6和中间内炉体7，气相沉积炉炉体6的内部开设有内部腔室5，内部腔室5的内侧位于气相沉积炉炉体6上设置有中间内炉体7，中间内炉体7的上端设置有定位放置罩4，定位放置罩4的上端内侧位于气相沉积炉炉体6上设置有匀流分散罩1，匀流分散罩1的上方位于气相沉积炉炉体6上设置有加热机体2，加热机体2的外端设置有加热电源线3，加热机体2的上端设置有匀流风扇8，加热电源线3和匀流风扇8与外部控制器电性连接，在使用时，加热机体2通过加热电源线3接收外部控制器输送的电流，而后加热机体2产生热量，产生的热量经过加热机体2上端的匀流风扇8，使得可以输送到匀流分散罩1中，而后经过匀流分散罩1匀流分散到定位放置罩4中，之后直接匀流分散到中间内炉体7中，中间内炉体7的热量在扩散到气相沉积炉炉体6的内部腔室5中时，从而形成一个温区，使得有效维持中间内炉体7的温度，中间内炉体7因匀流输入的温度，而且外部的温区，使得中间内炉体7内部的热量更加均匀，这样物体在受热时更加均匀。
参照图1和图2，在一个优选的实施方式中，匀流分散罩1包括底部匀流套板11、匀流分散孔12、回型框架13和外侧固定耳板14，回型框架13的两端设置有外侧固定耳板14，回型框架13的下端设置有底部匀流套板11，底部匀流套板11的内侧开设有匀流分散孔12，回型框架13通过外侧固定耳板14连接在气相沉积炉炉体6上，底部匀流套板11连接在定位放置罩4上，匀流分散罩1的回型框架13通过外侧固定耳板14中的螺钉，从而可以固定连接在气相沉积炉炉体6上，从而回型框架13可以稳定放置，回型框架13可以接收加热机体2输入的热量，而后热风因底部匀流套板11内部的匀流分散孔12，从而可以匀流分散到下端的定位放置罩4中，这样将热量匀流分散，使得物体在加热的时候更加均匀。
参照图1和图3，在一个优选的实施方式中，加热机体2包括组装螺钉21、耐热机壳22、风扇气孔23、内部加热元件24和中空底板25，耐热机壳22的上端内侧设置有风扇气孔23，耐热机壳22的内部设置有内部加热元件24，耐热机壳22的下端设置有中空底板25，中空底板25的拐角处设置有组装螺钉21，中空底板25通过组装螺钉21连接在气相沉积炉炉体6上，内部加热元件24连接在加热电源线3上，加热机体2的中空底板25通过组装螺钉21固定连接在气相沉积炉炉体6上，从而中空底板25便于稳定安装，使得中空底板25上端的耐热机壳22可以稳定放置，耐热机壳22因上端的风扇气孔23，从而可以接收外部的风力，而后可以吹送内部加热元件24接收加热电源线3电流所产生的温度热量，这样便于输送热量进行加热使用。
参照图1和图4，在一个优选的实施方式中，定位放置罩4包括内部套腔41、外侧框板42和中间套框43，中间套框43的下端设置有外侧框板42，中间套框43和外侧框板42的内侧开设有内部套腔41，中间套框43通过外侧框板42连接在中间内炉体7上，定位放置罩4的中间套框43通过外侧框板42的螺钉，从而固定连接在中间内炉体7上，使得中间套框43可以稳定放置，因中间套框43和外侧框板42内部的内部套腔41，从而热风可以输送。
参照图1和图5，在一个优选的实施方式中，匀流风扇8包括安装底板81和风扇机体82，风扇机体82的下端设置有安装底板81，风扇机体82通过安装底板81连接在加热机体2上，匀流风扇8的风扇机体82通过安装底板81的螺钉，从而可以固定连接在加热机体2上，这样风扇机体82可以稳定放置，风扇机体82的风扇可以吹送下方加热机体2内部产生的热量，从而可以输送热量进行使用。
参照图1，在一个优选的实施方式中，定位放置罩4和中间内炉体7的连接处设置有密封胶垫，且定位放置罩4和中间内炉体7的连接处贯通，从而固定时更加紧密牢固，而连接贯通，这样热量在输送时不会发生阻碍。
参照图1，在一个优选的实施方式中，匀流分散罩1的下端套接在定位放置罩4的上端套槽中，且匀流分散罩1和定位放置罩4的连接处设置有耐高温密封胶垫，从而可以定位安装放置，而且在闭合时更加紧密牢固，有效避免热量的丢失。
工作原理：在使用时，加热机体2通过加热电源线3接收外部控制器输送的电流，而后加热机体2产生热量，产生的热量经过加热机体2上端的匀流风扇8，使得可以输送到匀流分散罩1中，而后经过匀流分散罩1匀流分散到定位放置罩4中，之后直接匀流分散到中间内炉体7中，中间内炉体7的热量在扩散到气相沉积炉炉体6的内部腔室5中时，从而形成一个温区，使得有效维持中间内炉体7的温度，中间内炉体7因匀流输入的温度，而且外部的温区，使得中间内炉体7内部的热量更加均匀，这样物体在受热时更加均匀。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此。所述替代可以是部分结构、器件、方法步骤的替代，也可以是完整的技术方案。根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种气相沉积炉均匀加热装置，包括内部腔室(5)、气相沉积炉炉体(6)和中间内炉体(7)，其特征在于，所述气相沉积炉炉体(6)的内部开设有内部腔室(5)，所述内部腔室(5)的内侧位于气相沉积炉炉体(6)上设置有中间内炉体(7)，所述中间内炉体(7)的上端设置有定位放置罩(4)，所述定位放置罩(4)的上端内侧位于气相沉积炉炉体(6)上设置有匀流分散罩(1)，所述匀流分散罩(1)的上方位于气相沉积炉炉体(6)上设置有加热机体(2)，所述加热机体(2)的外端设置有加热电源线(3)，所述加热机体(2)的上端设置有匀流风扇(8)，所述加热电源线(3)和匀流风扇(8)与外部控制器电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉均匀加热装置，其特征在于，所述匀流分散罩(1)包括底部匀流套板(11)、匀流分散孔(12)、回型框架(13)和外侧固定耳板(14)，所述回型框架(13)的两端设置有外侧固定耳板(14)，所述回型框架(13)的下端设置有底部匀流套板(11)，所述底部匀流套板(11)的内侧开设有匀流分散孔(12)，所述回型框架(13)通过外侧固定耳板(14)连接在气相沉积炉炉体(6)上，所述底部匀流套板(11)连接在定位放置罩(4)上。
3.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉均匀加热装置，其特征在于，所述加热机体(2)包括组装螺钉(21)、耐热机壳(22)、风扇气孔(23)、内部加热元件(24)和中空底板(25)，所述耐热机壳(22)的上端内侧设置有风扇气孔(23)，所述耐热机壳(22)的内部设置有内部加热元件(24)，所述耐热机壳(22)的下端设置有中空底板(25)，所述中空底板(25)的拐角处设置有组装螺钉(21)，所述中空底板(25)通过组装螺钉(21)连接在气相沉积炉炉体(6)上，所述内部加热元件(24)连接在加热电源线(3)上。
4.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉均匀加热装置，其特征在于，所述定位放置罩(4)包括内部套腔(41)、外侧框板(42)和中间套框(43)，所述中间套框(43)的下端设置有外侧框板(42)，所述中间套框(43)和外侧框板(42)的内侧开设有内部套腔(41)，所述中间套框(43)通过外侧框板(42)连接在中间内炉体(7)上。
5.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉均匀加热装置，其特征在于，所述匀流风扇(8)包括安装底板(81)和风扇机体(82)，所述风扇机体(82)的下端设置有安装底板(81)，所述风扇机体(82)通过安装底板(81)连接在加热机体(2)上。
6.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉均匀加热装置，其特征在于，所述定位放置罩(4)和中间内炉体(7)的连接处设置有密封胶垫，且所述定位放置罩(4)和中间内炉体(7)的连接处贯通。
7.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉均匀加热装置，其特征在于，所述匀流分散罩(1)的下端套接在定位放置罩(4)的上端套槽中，且所述匀流分散罩(1)和定位放置罩(4)的连接处设置有耐高温密封胶垫。
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