CN221079935U - 一种晶圆扎针效果检测机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，它涉及一种晶圆扎针效果检测机构，包括扎针机构和拍照机构；所述扎针机构和拍照机构均用于设置在安装座上；其中，所述拍照机构用于对晶圆放置位处的晶圆进行拍照；所述扎针机构用于对晶圆放置位处的晶圆扎针检测；所述扎针机构可相对安装座拆卸，以从安装座上拆离时从拍照机构对晶圆的拍照路径上移开。根据本实用新型提供的技术方案，扎针机构从安装座上拆卸后，扎针机构从拍照机构对晶圆的拍照路径上移开，以使扎针机构可以对扎针后的晶圆进行拍照。由于扎针测试后不需要卸载晶圆，扎针测试完成即可进行扎针效果的检测，降低了移动晶圆造成划伤的风险。

Description

一种晶圆扎针效果检测机构

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，特别是涉及一种晶圆扎针效果检测机构。

背景技术

晶圆的扎针测试是芯片生产过程中必不可少的部分，通过扎针测试可以检测到该芯片是否合格，不合格的就淘汰掉，合格的将会进入后续的封测流程。在扎针过程中，由于操作不当、机台误差等原因导致针没有准确的扎在Pad上，导致偏差太多，甚至扎出保护线或者扎的太深，露出氧化物等，都会导致该芯片不合格，若不及时检测流入到下一阶段将会导致不良品的出现。因此，在对晶圆扎针后及时进行针痕检测是非常有必要的。

现有的扎针效果检测方式是在扎针完成后将晶圆从探针台上取下放到光学显微镜下用眼睛观察。其中，在扎针完成后取下晶圆移动到光学显微镜的过程存在划伤晶圆的风险，并且使用人工观察的方式效率较低，长时间工作易出错，故急需针对这种情况进行解决。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种晶圆扎针效果检测机构，主要所要解决的技术问题是：如何降低晶圆在扎针后搬运过程中划伤的风险。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型的实施例提供一种晶圆扎针效果检测机构，其包括扎针机构和拍照机构；

所述扎针机构和拍照机构均用于设置在安装座上；

其中，所述拍照机构用于对晶圆放置位处的晶圆进行拍照；

所述扎针机构用于对晶圆放置位处的晶圆扎针检测；所述扎针机构可相对安装座拆卸，以从安装座上拆离时从拍照机构对晶圆的拍照路径上移开。

在一些实施方式中，所述扎针机构包括探针卡，以通过探针卡对晶圆放置位处的晶圆扎针检测；

其中，所述安装座上设有供探针卡放入的安装通孔，所述安装通孔的内侧设有用于对探针卡的电路板提供支撑的支撑台；所述安装座上还设有活动块，所述活动块用于运动至第一位置将电路板抵固在所述支撑台上；所述活动块用于运动至第二位置时松开所述电路板，使探针卡可从所述安装通孔退出。

在一些实施方式中，所述活动块通过转轴与安装座转动连接，且活动块可沿安装通孔的中心线方向升降。

在一些实施方式中，所述安装座上设有条形孔，所述条形孔沿所述安装通孔的中心线方向延伸，所述转轴与活动块连接，转轴与条形孔转动配合，且转轴可沿条形孔运动，以带动活动块沿安装通孔的中心线方向升降。

在一些实施方式中，所述支撑台的数量为两个，一个支撑台用于对电路板的第一端提供支撑，另一个支撑台用于对电路板的第二端提供支撑，所述第一端和第二端为电路板的相对的两端；

其中，所述活动块的数量为两个，一个活动块用于抵压电路板的第一端，另一个活动块用于抵压电路板的第二端。

在一些实施方式中，所述的晶圆扎针效果检测机构还包括锁固机构，所述锁固机构用于在活动块运动至所述第一位置时对活动块上锁。

在一些实施方式中，所述锁固机构包括锁紧螺丝，在活动块运动至所述第一位置时，所述锁固机构通过锁紧螺丝将活动块锁固在安装座上。

在一些实施方式中，所述活动块具有压臂，所述活动块通过压臂的自由端抵压电路板；其中，所述锁紧螺丝在锁固活动块时通过压臂对电路板施加压力，且当锁紧螺丝相对安装座旋拧到不同的位置时使压臂对电路板施加大小不同的压力；

其中，锁紧螺丝的数量为两个以上，且在活动块上间隔分布。

在一些实施方式中，所述拍照机构包括相机，以通过相机对晶圆放置位处的晶圆进行拍照；其中，所述相机可升降。

在一些实施方式中，所述安装座上设有滑轨，所述相机通过滑轨相对安装座升降。

借由上述技术方案，本实用新型晶圆扎针效果检测机构至少具有以下有益效果：

1、在本实用新型提供的技术方案中，扎针机构对晶圆放置位处的晶圆扎针检测时位于拍照机构对晶圆的拍照路径上，此时扎针机构对拍照机构对晶圆的拍照形成阻碍，扎针机构从安装座上拆卸后，扎针机构从拍照机构对晶圆的拍照路径上移开，以使扎针机构可以对扎针后的晶圆进行拍照。由于扎针测试后不需要卸载晶圆，扎针测试完成即可进行扎针效果的检测，降低了移动晶圆造成划伤的风险；

2、使用算法进行检测可保证长时间工作准确性不出现下降，极大的提高针痕检测的效率和准确性。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1是本实用新型的一实施例提供的一种晶圆扎针效果检测机构的结构示意图；

图2是晶圆扎针效果检测机构的部分结构示意图；

图3是图2的剖面示意图；

图4是反映探针卡安装在安装座上的示意图；

图5是图4的剖面示意图；

图6是图5中A处的放大示意图。

附图标记：1、安装座；2、活动块；3、锁紧螺丝；4、支撑件；5、拍照机构；10、探针卡；11、螺纹孔；21、压臂；22、连接臂；31、转轴；41、支撑台；100、晶圆；101、安装通孔；102、条形孔；103、电路板；221、间隔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

如图1所示，本实用新型的一个实施例提出的一种晶圆扎针效果检测机构，其包括扎针机构和拍照机构5。扎针机构和拍照机构5均用于设置在安装座1上。其中，拍照机构5用于对晶圆放置位处的晶圆100进行拍照。扎针机构用于对晶圆放置位处的晶圆100扎针检测。扎针机构可相对安装座1拆卸，以从安装座1上拆离时从拍照机构5对晶圆100的拍照路径上移开。

在上述示例中，扎针机构位于拍照机构5与晶圆放置位之间，扎针机构对晶圆放置位处的晶圆100扎针检测时位于拍照机构5对晶圆100的拍照路径上，此时扎针机构对拍照机构5对晶圆100的拍照形成阻碍，扎针机构从安装座上拆卸后，扎针机构从拍照机构5对晶圆100的拍照路径上移开，以使扎针机构可以对扎针后的晶圆100进行拍照，控制模块可以通过算法对所拍摄照片上的针痕进行分析处理，判断扎针是否合格。

为了实现前述扎针机构可相对安装座拆卸的目的，如图4所示，前述的扎针机构可以包括探针卡10，扎针机构通过探针卡10对晶圆放置位处的晶圆100扎针检测。其中，如图2所示，安装座1上设有供探针卡10放入的安装通孔101，安装通孔101的内侧设有用于对探针卡10的电路板提供支撑的支撑台41。探针卡10的电路板103放置在该支撑台41上后，支撑台41可以通过电路板103对探针卡10提供支撑，并对探针卡10的下侧进行止挡限位。这里需要说明的是：当探针卡10放置在支撑台41上后，探针卡10上的探针伸出安装通孔101，以方便进行探测。

如图2所示，安装座1上还设有活动块2，活动块2可在安装座1上运动至第一位置和第二位置。活动块2用于运动至第一位置将电路板103抵固在支撑台41上（如图4和图5所示）。活动块2用于运动至第二位置时松开电路板103，使探针卡10可从安装通孔101退出。

在上述示例中，通过将活动块2移动至不同的位置，可以固定探针卡10或者对探针卡10解锁，使探针卡10可从安装座1上拆卸。

如图3所示，前述的活动块2可通过转轴31与安装座1转动连接，转轴31可固定在活动块2上。活动块2还可沿安装通孔101的中心线方向升降。具体来说，当需要对探针卡10的电路板103进行夹紧时，先将活动块2转动到安装通孔101的上方，然后再向下移动活动块2，使活动块2与探针卡10的电路板103相抵，以将探针卡10抵固在支撑台41上，如此设计使探针卡10可以抵固不同厚度的电路板103，以适应不同的探针卡10，通用性更高

为了实现前述活动块2既可转动，又可升降的功能，在一个具体的应用示例中，如图3所示，安装座1上可以设有条形孔102，该条形孔102沿安装通孔101的中心线方向延伸，转轴31与活动块2连接，转轴31可以固定在活动块2上。转轴31与条形孔102转动配合，且转轴31可沿条形孔102运动，以带动活动块2沿安装通孔101的中心线方向升降。

在上述示例中，转轴31与条形孔102既转动配合，也滑动配合，使转轴31既可相对条形孔102转动，又可沿条形孔102滑动。当转轴31相对条形孔102转动时可带动活动块2一起转动，当转轴31沿条形孔102滑动时可带动活动块2沿安装通孔101的中心线方向升降。

在一个具体的应用示例中，如图5所示，前述支撑台41的数量可以为两个，一个支撑台41用于对电路板103的第一端提供支撑，另一个支撑台41用于对电路板103的第二端提供支撑，第一端和第二端为电路板103的相对的两端。其中，活动块2的数量也为两个，一个活动块2用于抵压电路板103的第一端，另一个活动块2用于抵压电路板103的第二端。

在上述示例中，两个活动块2与两个支撑台41配合，可以将探针卡10的电路板103紧紧地夹固在安装座1上，相对于单个活动块2，更多数量的活动块2可以进一步提高探针卡10的夹固稳定性。

这里需要说明的是：上述两个支撑台41的台面在同一平面上，如此两个支撑台41配合可以对电路板103提供稳定支撑。

如图6所示，前述的晶圆扎针效果检测机构还可以包括支撑件4，支撑件4可拆卸地安装在安装座1上，前述的支撑台41形成在支撑件4上。其中，支撑件4可以通过螺丝等固定在安装座1上。

在上述示例中，为保证探针卡10上探针的平面度，使得对支撑台41的平面度要求较高。而通过将支撑台41单独设置在支撑件4上，如此方便对支撑台41进行加工，可保证支撑台41的平面度。在支撑台41加工完成后再将支撑件4安装到安装座1上。

前述的晶圆扎针效果检测机构还包括锁固机构，锁固机构用于在活动块运动至第一位置时对活动块上锁，以将活动块2锁固在安装座1上。

在上述示例中，活动块2可将探针卡10抵固在支撑台41上，然后活动块2可被锁固机构上锁，使活动块2与安装座1保持相对固定，从而探针卡10也被抵固在支撑台41上无法移动，如此可提高探针卡10夹紧的稳定性，防止探针卡10被夹后发生松动。

为了实现前述锁固机构的功能，使锁固机构可将活动块2锁固到安装座1上，如图5和图6所示，锁固机构可以包括锁紧螺丝3，在活动块2运动至第一位置时，锁固机构通过锁紧螺丝3将活动块2锁固在安装座1上。其中，活动块2上可设有螺丝过孔，安装座1上设有螺纹孔11。当活动块2运动至第一位置时，锁紧螺丝3可穿过螺丝过孔螺接在螺纹孔11内。

在一个具体的应用示例中，如图6所示，活动块2可以具有压臂21，活动块2通过该压臂21的自由端抵压电路板103。其中，锁紧螺丝3在锁固活动块2时通过压臂21对电路板103施加压力，且当锁紧螺丝3相对安装座1旋拧到不同的位置时使压臂21对电路板103施加大小不同的压力。其中，锁紧螺丝3的数量为两个以上，且在活动块2上间隔221分布。

在上述示例中，压臂21对电路板103施加大小不同的压力时，可以对电路板103上的被抵压区域进行不同程度的预紧，使电路板103的被抵压区域发生不同程度的形变。多个锁紧螺丝3配合对电路板103的不同区域进行不同程度的压紧，可对电路板103各处的形变量进行调节，以对电路板103上的探针进行调平。

其中，上述的锁紧螺丝3既具有对活动块2进行固定的功能，还具有对电路板103上的探针进行调平的功能。

在一个具体的应用示例中，前述的活动块2可以呈条状，每个活动块2均设置两个锁紧螺丝3，且两个锁紧螺丝3分布在活动块2的两端。

如图6所示，前述的活动块2还具有与压臂21相连的连接臂22，压臂21与连接臂22两者呈L形设置。活动块2通过连接臂22与安装座1连接。其中，当活动块2运动至第一位置时，连接臂22与安装座之间具有间隔221，锁紧螺丝3穿过连接臂22与安装座螺纹连接，且锁紧螺丝3的螺帽与连接臂22的背离安装座的一侧相抵，以通过连接臂22带动压臂21对电路板103施加压力。

在上述示例中，连接臂22与安装座之间的间隔221为连接臂22的下行提供了足够的空间。旋拧锁紧螺丝3时，锁紧螺丝3通过螺帽推动连接臂22，使连接臂22带动压臂21向下运动，以抵压电路板103。当锁紧螺丝3被旋拧到不同的位置时，可通过压臂21对电路板103施加不同的预紧力。

如图4所示，当活动块2通过转轴31与安装座1转动连接时，前述的转轴31设置在连接臂22上，转轴31可以固定在连接臂22上。其中，当活动块2运动至前述的第一位置时，压臂21与支撑台41垂直，如此使压臂21可沿垂直于电路板103的方向对其进行压紧，压紧效果更佳。

为了实现前述拍照机构5的功能，使拍照机构5可以对晶圆放置位处的晶圆进行拍照。拍照机构5可以包括相机，以通过相机对晶圆放置位处的晶圆进行拍照。其中，相机可升降，以上升时可以对扎针机构的拆卸进行避让。并且相机通过升降，可以对扎针后的晶圆准确对焦。

在一个具体的应用示例中，安装座1上可以设有滑轨，相机通过滑轨相对安装座1升降。

在本实用新型提供的技术方案中，在通过扎针机构对晶圆完成扎针测试后，需要检查针痕是否扎偏，是否偏出保护线，是否露出氧化物等情况时。此时可以直接从安装座1上取下探针卡10，然后移动相机到合适位置，使相机对扎针后的晶圆100进行拍照，控制机构通过算法对照片进行分析处理。其中，由于扎针测试后不需要卸载晶圆100，扎针测试完成即可进行扎针效果的检测，降低移动晶圆100造成划伤的风险，使用算法进行检测可保证长时间工作准确性不出现下降，极大的提高针痕检测的效率和准确性。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的实用新型构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种晶圆扎针效果检测机构，其特征在于，包括扎针机构和拍照机构(5)；

所述扎针机构和拍照机构(5)均用于设置在安装座(1)上；

其中，所述拍照机构(5)用于对晶圆放置位处的晶圆(100)进行拍照；

所述扎针机构用于对晶圆放置位处的晶圆(100)扎针检测；所述扎针机构可相对安装座(1)拆卸，以从安装座(1)上拆离时从拍照机构(5)对晶圆(100)的拍照路径上移开。

2.如权利要求1所述的晶圆扎针效果检测机构，其特征在于，

所述扎针机构包括探针卡(10)，以通过探针卡(10)对晶圆放置位处的晶圆(100)扎针检测；

其中，所述安装座(1)上设有供探针卡(10)放入的安装通孔(101)，所述安装通孔(101)的内侧设有用于对探针卡(10)的电路板(103)提供支撑的支撑台(41)；所述安装座(1)上还设有活动块(2)，所述活动块(2)用于运动至第一位置将电路板(103)抵固在所述支撑台(41)上；所述活动块(2)用于运动至第二位置时松开所述电路板(103)，使探针卡(10)可从所述安装通孔(101)退出。

3.如权利要求2所述的晶圆扎针效果检测机构，其特征在于，

所述活动块(2)通过转轴(31)与安装座(1)转动连接，且活动块(2)可沿安装通孔(101)的中心线方向升降。

4.如权利要求3所述的晶圆扎针效果检测机构，其特征在于，

所述安装座(1)上设有条形孔(102)，所述条形孔(102)沿所述安装通孔(101)的中心线方向延伸，所述转轴(31)与活动块(2)连接，转轴(31)与条形孔(102)转动配合，且转轴(31)可沿条形孔(102)运动，以带动活动块(2)沿安装通孔(101)的中心线方向升降。

5.如权利要求2至4中任一项所述的晶圆扎针效果检测机构，其特征在于，

所述支撑台(41)的数量为两个，一个支撑台(41)用于对电路板(103)的第一端提供支撑，另一个支撑台(41)用于对电路板(103)的第二端提供支撑，所述第一端和第二端为电路板(103)的相对的两端；

其中，所述活动块(2)的数量为两个，一个活动块(2)用于抵压电路板(103)的第一端，另一个活动块(2)用于抵压电路板(103)的第二端。

6.如权利要求2至4中任一项所述的晶圆扎针效果检测机构，其特征在于，还包括锁固机构，所述锁固机构用于在活动块(2)运动至所述第一位置时对活动块(2)上锁。

7.如权利要求6所述的晶圆扎针效果检测机构，其特征在于，

所述锁固机构包括锁紧螺丝(3)，在活动块(2)运动至所述第一位置时，所述锁固机构通过锁紧螺丝(3)将活动块(2)锁固在安装座(1)上。

8.如权利要求7所述的晶圆扎针效果检测机构，其特征在于，

所述活动块(2)具有压臂(21)，所述活动块(2)通过压臂(21)的自由端抵压电路板(103)；其中，所述锁紧螺丝(3)在锁固活动块(2)时通过压臂(21)对电路板(103)施加压力，且当锁紧螺丝(3)相对安装座(1)旋拧到不同的位置时使压臂(21)对电路板(103)施加大小不同的压力；

其中，锁紧螺丝(3)的数量为两个以上，且在活动块(2)上间隔(221)分布。

9.如权利要求1所述的晶圆扎针效果检测机构，其特征在于，

所述拍照机构(5)包括相机，以通过相机对晶圆放置位处的晶圆(100)进行拍照；其中，所述相机可升降。

10.如权利要求9所述的晶圆扎针效果检测机构，其特征在于，

所述安装座(1)上设有滑轨，所述相机通过滑轨相对安装座(1)升降。