CN221041087U - 一种方便定位的晶圆盘夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种方便定位的晶圆盘夹具，包括工作台，所述工作台下端左部和下端右部均安装有支撑脚，所述工作台前端中部安装有接料装置，所述工作台上端左部和上端右部均开有滑槽两个所述滑槽上端均安装有固定座，两个所述固定座后端共同安装有调节装置，两个所述固定座对应的一端共同安装有夹持装置。本实用新型所述的一种方便定位的晶圆盘夹具，通过夹持装置上的一号液压缸带动夹持架进行活动调节，进而使晶圆盘固定在两个夹持架内，而且夹持架内壁上的若干个橡胶凸点对晶圆盘进行夹持，不仅进一步提高了装置的夹持效果，同时橡胶凸点具有一定的弹性，避免刚性的夹持架与晶圆盘直接接触而导致其损伤。

Description

一种方便定位的晶圆盘夹具

技术领域

本实用新型涉及夹具技术领域，特别涉及一种方便定位的晶圆盘夹具。

背景技术

在对晶圆的制造过程中，首先需要进行拉单晶，而后依次进行切片、磨片、抛光、增层、光刻、掺杂、热处理、针测以及划片处理。其中，在进行批量式的光刻处理时需要使用到夹具，从而完成对晶圆盘的定位夹持作用，因此，晶圆盘夹具就显得尤为重要。

现有的晶圆盘夹具大多是根据晶圆盘的型号进行设计的，因此夹具难以根据需要进行调节，导致夹具难以对不同的晶圆盘进行较好的夹持固定，导致装置在使用时存在一定的局限性；另外，夹具在进行夹持过后，晶圆盘的位置也难以进行较好的调节，尤其是晶圆盘在进行加工过后，没有很好的输送，人工拿取较为的不便。综上所述，现有的晶圆盘夹具还存在下列的问题：

1、夹具难以对不同的晶圆盘进行较好的夹持固定，导致装置在使用时存在一定的局限性；2、晶圆盘在进行加工过后，没有很好的输送，人工拿取较为的不便。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种方便定位的晶圆盘夹具，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种方便定位的晶圆盘夹具，包括工作台，所述工作台下端左部和下端右部均安装有支撑脚，所述工作台前端中部安装有接料装置，所述工作台上端左部和上端右部均开有滑槽两个所述滑槽上端均安装有固定座，两个所述固定座后端共同安装有调节装置，两个所述固定座对应的一端共同安装有夹持装置。

优选的，所述夹持装置包括一号液压缸，所述一号液压缸设置有两个，两个所述一号液压缸对应的一端均安装有夹持架，两个所述夹持架上端均开有夹持槽，两个所述夹持架内壁上均安装有若干个橡胶凸点，两个所述一号液压缸分别安装在在固定座上。通过一号液压缸带动夹持架进行活动调节，进而使晶圆盘固定在两个夹持架内，而且夹持架内壁上的若干个橡胶凸点对晶圆盘进行夹持，不仅进一步提高了装置的夹持效果，同时橡胶凸点具有一定的弹性，避免刚性的夹持架与晶圆盘直接接触而导致其损伤。

优选的，所述接料装置包括安装架，所述安装架设置有两个，两个所述安装架对应的一端共同安装有若干个活动轴，两个所述安装架下端共同安装有接料台，两个所述安装架均安装在工作台前端中部。通过二号液压缸将固定座推至接料装置的活动轴上方，此时一号液压缸松动对晶圆盘的夹持，晶圆盘进而通过活动轴至接料台处，进而方便晶圆盘的拿取。

优选的，所述调节装置包括二号液压缸，所述二号液压缸设置有两个，两个所述二号液压缸分别安装在两个固定座的后端，两个所述固定座对应的一端均开有安装槽，两个所述固定座下端均安装有滑块。通过二号液压缸推动固定座，固定座进而能够带动一号液压缸以及其上夹持的晶圆盘哥继续需要进行前后调节，进一步提高了装置的实用性。

优选的，若干个所述橡胶凸点呈环形阵列分布在夹持架上。

优选的，所述接料台形状呈L形。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、首先通过将所需夹持的晶圆盘放置在夹持装置上的两个夹持架上的夹持槽内，此时通过一号液压缸带动夹持架进行活动调节，进而使晶圆盘固定在两个夹持架内，而且夹持架内壁上的若干个橡胶凸点对晶圆盘进行夹持，不仅进一步提高了装置的夹持效果，同时橡胶凸点具有一定的弹性，避免刚性的夹持架与晶圆盘直接接触而导致其损伤，另外通过一号液压缸能够带动夹持架根据晶圆盘的型号进行适当调节，进而提高了装置的适用性。

2、在晶圆盘夹持过后，通过调节装置上的二号液压缸推动固定座，固定座进而能够带动一号液压缸以及其上夹持的晶圆盘哥继续需要进行前后调节，进一步提高了装置的实用性，而且晶圆盘加固过后，通过二号液压缸将固定座推至接料装置的活动轴上方，此时一号液压缸松动对晶圆盘的夹持，晶圆盘进而通过活动轴至接料台处，进而方便晶圆盘的拿取。

附图说明

图1为本实用新型一种方便定位的晶圆盘夹具的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种方便定位的晶圆盘夹具的夹持装置的整体结构示意图；

图3为本实用新型一种方便定位的晶圆盘夹具的接料装置的整体结构示意图；

图4为本实用新型一种方便定位的晶圆盘夹具的调节装置的整体结构示意图。

图中：1、工作台；2、夹持装置；3、接料装置；4、调节装置；5、支撑脚；6、滑槽；7、固定座；20、一号液压缸；21、夹持架；22、夹持槽；23、橡胶凸点；30、安装架；31、活动轴；32、接料台；40、二号液压缸；41、滑块；42、安装槽。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-4所示，一种方便定位的晶圆盘夹具，包括工作台1，工作台1下端左部和下端右部均安装有支撑脚5，工作台1前端中部安装有接料装置3，工作台1上端左部和上端右部均开有滑槽6两个滑槽6上端均安装有固定座7，两个固定座7后端共同安装有调节装置4，两个固定座7对应的一端共同安装有夹持装置2。

夹持装置2包括一号液压缸20，一号液压缸20设置有两个，两个一号液压缸20对应的一端均安装有夹持架21，两个夹持架21上端均开有夹持槽22，两个夹持架21内壁上均安装有若干个橡胶凸点23，两个一号液压缸20分别安装在在固定座7上；若干个橡胶凸点23呈环形阵列分布在夹持架21上。通过一号液压缸20带动夹持架21进行活动调节，进而使晶圆盘固定在两个夹持架21内，而且夹持架21内壁上的若干个橡胶凸点23对晶圆盘进行夹持，不仅进一步提高了装置的夹持效果，同时橡胶凸点23具有一定的弹性，避免刚性的夹持架21与晶圆盘直接接触而导致其损伤。

接料装置3包括安装架30，安装架30设置有两个，两个安装架30对应的一端共同安装有若干个活动轴31，两个安装架30下端共同安装有接料台32，两个安装架30均安装在工作台1前端中部；接料台32形状呈L形。通过二号液压缸40将固定座7推至接料装置3的活动轴31上方，此时一号液压缸20松动对晶圆盘的夹持，晶圆盘进而通过活动轴31至接料台32处，进而方便晶圆盘的拿取。

调节装置4包括二号液压缸40，二号液压缸40设置有两个，两个二号液压缸40分别安装在两个固定座7的后端，两个固定座7对应的一端均开有安装槽42，两个固定座7下端均安装有滑块41。通过二号液压缸40推动固定座7，固定座7进而能够带动一号液压缸20以及其上夹持的晶圆盘哥继续需要进行前后调节，进一步提高了装置的实用性。

需要说明的是，本实用新型为一种方便定位的晶圆盘夹具，首先通过将所需夹持的晶圆盘放置在夹持装置2上的两个夹持架21上的夹持槽22内，此时通过一号液压缸20带动夹持架21进行活动调节，进而使晶圆盘固定在两个夹持架21内，而且夹持架21内壁上的若干个橡胶凸点23对晶圆盘进行夹持，不仅进一步提高了装置的夹持效果，同时橡胶凸点23具有一定的弹性，避免刚性的夹持架21与晶圆盘直接接触而导致其损伤，另外通过一号液压缸20能够带动夹持架21根据晶圆盘的型号进行适当调节，进而提高了装置的适用性，接着通过调节装置4上的二号液压缸40推动固定座7，固定座7进而能够带动一号液压缸20以及其上夹持的晶圆盘哥继续需要进行前后调节，进一步提高了装置的实用性，而且晶圆盘加固过后，通过二号液压缸40将固定座7推至接料装置3的活动轴31上方，此时一号液压缸20松动对晶圆盘的夹持，晶圆盘进而通过活动轴31至接料台32处，进而方便晶圆盘的拿取。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种方便定位的晶圆盘夹具，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)下端左部和下端右部均安装有支撑脚(5)，所述工作台(1)前端中部安装有接料装置(3)，所述工作台(1)上端左部和上端右部均开有滑槽(6)两个所述滑槽(6)上端均安装有固定座(7)，两个所述固定座(7)后端共同安装有调节装置(4)，两个所述固定座(7)对应的一端共同安装有夹持装置(2)。

2.根据权利要求1所述的一种方便定位的晶圆盘夹具，其特征在于：所述夹持装置(2)包括一号液压缸(20)，所述一号液压缸(20)设置有两个，两个所述一号液压缸(20)对应的一端均安装有夹持架(21)，两个所述夹持架(21)上端均开有夹持槽(22)，两个所述夹持架(21)内壁上均安装有若干个橡胶凸点(23)，两个所述一号液压缸(20)分别安装在固定座(7)上。

3.根据权利要求1所述的一种方便定位的晶圆盘夹具，其特征在于：所述接料装置(3)包括安装架(30)，所述安装架(30)设置有两个，两个所述安装架(30)对应的一端共同安装有若干个活动轴(31)，两个所述安装架(30)下端共同安装有接料台(32)，两个所述安装架(30)均安装在工作台(1)前端中部。

4.根据权利要求1所述的一种方便定位的晶圆盘夹具，其特征在于：所述调节装置(4)包括二号液压缸(40)，所述二号液压缸(40)设置有两个，两个所述二号液压缸(40)分别安装在两个固定座(7)的后端，两个所述固定座(7)对应的一端均开有安装槽(42)，两个所述固定座(7)下端均安装有滑块(41)。

5.根据权利要求2所述的一种方便定位的晶圆盘夹具，其特征在于：若干个所述橡胶凸点(23)呈环形阵列分布在夹持架(21)上。

6.根据权利要求3所述的一种方便定位的晶圆盘夹具，其特征在于：所述接料台(32)形状呈L形。