CN221041062U - 进出料装置及固晶设备 - Google Patents

Abstract

本申请属于半导体固晶设备技术领域，本申请提供了一种进出料装置及固晶设备，进出料装置包括传送机构、上料机构和下料机构，传送机构的两侧分别设有上料工位和下料工位；上料机构与上料工位对应设置，上料机构包括有第一料叉组件和第一驱动组件，第一驱动组件与第一连接架传动连接；下料机构与下料工位对应设置，下料机构包括有第二料叉组件和第二驱动组件，第二料叉组件包括有第二连接架和多个第二料叉块，第二驱动组件与第二连接架传动连接。本申请还提供一种固晶设备。本申请提供的进出料装置通过设有上料机构和下料机构，从而带动物料完成全自动化的上料和下料工序，提高加工效率和提高产品的质量。

Description

进出料装置及固晶设备

技术领域

本申请属于半导体固晶设备技术领域，更具体地说，是涉及一种进出料装置及固晶设备。

背景技术

固晶基板上料方式一般分为两种，一种是将基板放入料盒上料，一种是基板叠放上料。其中，尺寸较大的基板难以直接从皮带传动机构直接平稳地传输到上料工位上，并且也难以平稳地直接从下料工位放置到流动的皮带传动机构上，所以在上下料的过程中基本需要采用皮带传动配合手动搬运的方式，从而导致整个加工工序自动化程度不高，导致整体加工效率低。同时，由于人工上下料的过程中会对物料取放位置的判断出现细微偏差，从而在将物料从皮带传动机构手动搬运到上料工位或者从下料工位手动搬运到皮带传动机构的过程中，上料和下料工序的稳定性不高，导致生产的产品质量差。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于提供一种进出料装置，以解决现有技术中固晶设备的进出料装置由于需要皮带传动机构配合手动搬运的方式完成上料和下料工序，导致整个加工工序的加工效率低和生产的产品质量差。

为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种进出料装置，包括：传送机构，所述传送机构的两侧分别设有上料工位和下料工位；上料机构，所述上料机构与所述上料工位对应设置，所述上料机构包括有第一料叉组件和第一驱动组件，所述第一料叉组件包括有第一连接架和多个第一料叉块，多个所述第一料叉块可相互靠近或远离地滑动连接在所述第一连接架上，所述第一驱动组件与所述第一连接架传动连接；下料机构，所述下料机构与所述下料工位对应设置，所述下料机构包括有第二料叉组件和第二驱动组件，所述第二料叉组件包括有第二连接架和多个第二料叉块，多个所述第二料叉块可相互靠近或远离地滑动连接在所述第二连接架上，所述第二驱动组件与所述第二连接架传动连接。

本申请提供的进出料装置的有益效果在于：与现有技术相比，本申请的进出料装置通过将上料机构和下料机构分别与上料工位和下料工位对应设置，并且将第一驱动组件与第一料叉组件传动连接，将第二驱动组件与第二料叉组件相互传动连接，从而第一驱动组件能够带动第一料叉组件将皮带传动机构中的物料传输到上料工位中，当物料加工完成后，第二驱动组件带动第二料叉组件将下料工位中的产品传输到另一个皮带传动机构中完成下料，从而实现全自动化的上料和下料工序，使得整个加工工序的加工效率提高，并且提高上料工序和下料工序时的稳定性，从而提高产品的质量。

进一步地，通过将多个第一料叉块可相互靠近或远离地滑动连接在第一连接架上，并且将第二料叉块可靠近或远离地滑动连接在第二连接架上，从而可以调节个各个第一料叉块和各个第二料叉块之间的距离来适配不同尺寸的物料，提高进出料装置整体的适配性。

在其中一个实施例中，所述第一料叉块上设有用于辅助所述第一料叉块取料的第一吸盘，所述第二料叉块上设有用于辅助所述第二料叉块取料的第二吸盘。

在其中一个实施例中，各所述第一料叉块上的所述第一吸盘的数量为多个，多个所述第一吸盘沿所述第一料叉块长度沿伸方向排列设置；各所述第二料叉块上的所述第二吸盘的数量为多个，多个所述第二吸盘沿所述第二料叉块长度沿伸方向排列设置。

在其中一个实施例中，所述第一料叉块靠近所述传送机构的一端设有第一倒角结构；所述第二料叉块靠近所述传送机构的一端设有第二倒角结构。

在其中一个实施例中，所述传送机构包括有传送组件和传送台，所述传送台可活动地设置在所述传送组件上，所述传送组件用于带动所述传送台沿第一方向和第二方向来回移动。

在其中一个实施例中，所述传送台为真空吸附平台，所述传送台能够通过真空吸附的方式对物料进行吸附定位。

在其中一个实施例中，所述第一驱动组件包括与所述第一料叉组件连接的第一驱动器和第二驱动器，所述第一驱动器用于带动所述第一料叉组件沿第一方向来回移动，所述第二驱动器用于带动所述第一料叉组件沿第三方向来回移动；所述第二驱动组件包括与所述第二料叉组件连接的第三驱动器和第四驱动器，所述第三驱动器用于带动所述第二料叉组件沿第一方向来回移动，所述第四驱动器用于带动所述第二料叉组件沿第三方向来回移动。

在其中一个实施例中，所述上料机构还包括沿第一方向沿伸设置的上料传输组件，所述上料传输组件靠近所述传送机构的一侧与所述上料工位对应设置，所述第一料叉组件可活动地设置在所述上料传输组件与所述传送机构之间，所述上料传输组件用于将物料沿第一方向传输至靠近所述上料工位的位置。

在其中一个实施例中，所述下料机构还包括沿第一方向沿伸设置的下料传输组件，所述下料传输组件靠近所述传送机构的一侧与所述下料工位对应设置，所述第二料叉组件可活动地设置在所述下料传输组件与所述传送机构之间，所述下料传输组件用于将物料沿第一方向传输至靠近所述下料工位的位置。

本申请的第二技术方案，提供一种固晶设备，所述固晶设备包括上述任一实施例所述的进出料装置。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的进出料装置的立体结构示意图；

图2为图1所示的上料机构或下料机构的局部立体示意图；

图3为图1所示的第一驱动器或第三驱动器的立体示意图；

图4为图1所示的第一料叉组件或第二料叉组件的立体示意图；

图5为图1所示的上料传输组件或下料传输组件的立体示意图。

其中，图中各附图标记：

10、传送机构；101、上料工位；102、下料工位；11、传送组件；12、传送台；

20、上料机构；21、第一料叉组件；211、第一连接架；212、第一料叉块；213、第一吸盘；214、第一倒角结构；22、第一驱动组件；221、第一驱动器；222、第二驱动器；23、上料传输组件；

30、下料机构；31、第二料叉组件；311、第二连接架；312、第二料叉块；313、第二吸盘；314、第二倒角结构；32、第二驱动组件；321、第三驱动器；322、第四驱动器；33、下料传输组件；

X、第一方向；Y、第二方向；Z、第三方向。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。

请一并参阅图1及图2，现对本申请实施例提供的进出料装置进行说明。所述进出料装置，包括传送机构10、上料机构20和下料机构30。

传送机构10的两侧分别设有上料工位101和下料工位102；上料机构20与上料工位101对应设置，上料机构20包括有第一料叉组件21和第一驱动组件22，第一料叉组件21包括有第一连接架211和多个第一料叉块212，多个第一料叉块212可相互靠近或远离地滑动连接在第一连接架211上，第一驱动组件22与第一连接架211传动连接；下料机构30与下料工位102对应设置，下料机构30包括有第二料叉组件31和第二驱动组件32，第二料叉组件31包括有第二连接架311和多个第二料叉块312，多个第二料叉块312可相互靠近或远离地滑动连接在第二连接架311上，第二驱动组件32与第二连接架311传动连接。

例如，如图1和图2所示，上料工位101和下料工位102分别设置在传送机构10的相对两侧。上料机构20和下料机构30分别设置在传送机构10的侧旁，具体在上料机构20中，第一料叉组件21在第一驱动组件22的带动下，可活动地靠近或远离传送机构10中的上料工位101，以完成物料的上料工序，在下料机构30中，第二料叉组件31在第二驱动组件32的带动下，可活动地靠近或远离传送机构10中的下料工位102，以完成物料的下料工序。同时，多个第一料叉块212可活动地设置在第一连接架211上，第一连接架211上具有一沿直线沿伸的滑轨，多个第一料叉块212沿滑轨的沿伸方向排列设置在滑轨上，多个第二料叉块312可活动地设置在第二连接架311上，第二连接架311上具有一沿直线沿伸的滑轨，多个第二料叉块312沿滑轨的沿伸方向排列设置在滑轨上，可分别通过调节各个第一料叉块212和各个第二料叉块312之间的间隔，以适配不同尺寸的物料。

本申请提供的进出料装置，与现有技术相比，本申请的进出料装置通过将上料机构20和下料机构30分别与上料工位101和下料工位102对应设置，并且将第一驱动组件22与第一料叉组件21传动连接，将第二驱动组件32与第二料叉组件31相互传动连接，从而第一驱动组件22能够带动第一料叉组件21将皮带传动机构中的物料传输到上料工位101中，当物料加工完成后，第二驱动组件32带动第二料叉组件31将下料工位102中的产品传输到另一个皮带传动机构中完成下料，从而实现全自动化的上料和下料工序，使得整个加工工序的加工效率提高，并且提高上料工序和下料工序时的稳定性，从而提高产品的质量。

在本申请的一个实施例中，请一并参阅图2和图4，第一料叉块212上设有用于辅助第一料叉块212取料的第一吸盘213，第二料叉块312上设有用于辅助第二料叉块312取料的第二吸盘313。

具体地，由于固晶设备中加工的物料一般为平板状结构，通过在第一料叉块212和第二料叉块312上分别设有第一吸盘213和第二吸盘313，能够在第一料叉块212和第二料叉块312靠近并与物料接触的时候，第一吸盘213和第二吸盘313分别将物料吸附在第一料叉块212和第二料叉块312上，防止第一料叉组件21和第二料叉组件31在传送物料的过程中与物料发生脱离，提高对物料传输的稳定性。

进一步地，第一吸盘213和第二吸盘313可以为手动吸盘器、气动吸盘器及磁吸吸盘器。

在本申请的一个实施例中，请一并参阅图2和图4，各第一料叉块212上的第一吸盘213的数量为多个，多个第一吸盘213沿第一料叉块212长度沿伸方向排列设置；各第二料叉块312上的第二吸盘313的数量为多个，多个第二吸盘313沿第二料叉块312长度沿伸方向排列设置。

具体地，多个第一料叉块212之间相互平行，并且多个第一料叉块212之间排列方向与各个第一料叉块212自身的长度沿伸方向相互垂直，同时，多个第二料叉块312之间也相互平行，并且多个第二料叉块312之间的排列方向与各个第二料叉块312自身的长度沿伸方向也相互垂直。通过在各个第一料叉块212上设有多个第一吸盘213，使得所有第一吸盘213呈方形阵列的结构，能够更稳固地将物料吸附在第一料叉块212，通过在在各个第二料叉块312上设有多个第二吸盘313，使得所有第二吸盘313能够排列呈方形阵列的结构，能够更稳固地将物料吸附在第二料叉块312上。

在本申请的一个实施例中，请一并参阅图2和图4，第一料叉块212靠近传送机构10的一端设有第一倒角结构214；第二料叉块312靠近传送机构10的一端设有第二倒角结构314。

具体地，当第一料叉组件21和第二料叉组件31取料的时候，需要移动到靠近物料的位置，接着继续带动第一料叉块212和第二料叉块312水平移动至物料的正下方，最后通过第一驱动组件22和第二驱动组件32分别带动第一料叉块212和第二料叉块312上升，以带动物料脱离皮带传动机构。通过在第一料叉块212上设有第一倒角结构214，在第二料叉块312上设有第二倒角结构314，能够在第一料叉块212和第二料叉块312水平移动至物料的正下方的时候，降低第一料叉块212和第二料叉块312与物料之间出现干涉的概率，提升物料传输过程的流畅性。

在本申请的一个实施例中，请一并参阅图1，传送机构10包括有传送组件11和传送台12，传送台12可活动地设置在传送组件11上，传送组件11用于带动传送台12沿第一方向和第二方向来回移动。

具体地，传送台12主要用于为物料在加工过程中提供放置位置，传送台12与传送组件11连接，传送组件11能够带动传送台12在同一平面上沿第一方向和第二方向移动。通过传送台12的底部设置有传送组件11，能够带动传送台12在上料工位101和下料工位102之间来回移动，同时，传送组件11还能够在对物料加工的过程中带动传送台12上物料移动，以调整物料的加工位置。

进一步地，第一方向和第二方向相互垂直。

在本申请的一个实施例中，请一并参阅图1，传送台12为真空吸附平台，传送台12能够通过真空吸附的方式对物料进行吸附定位。

具体地，通过将传送台12设置为真空吸附平台，能够在外部大气压强的作用下将物料与传送台12相互定位在一起，同时，物料与传送台12之间没有采用其他的配件实现相互限位，从而传送台12与物料之间能够实现无痕迹的相互限位，不会对物料造成损坏。

在本申请的一个实施例中，请一并参阅图1至图3，第一驱动组件22包括与第一料叉组件21连接的第一驱动器221和第二驱动器222，第一驱动器221用于带动第一料叉组件21沿第一方向来回移动，第二驱动器222用于带动第一料叉组件21沿第三方向来回移动；第二驱动组件32包括与第二料叉组件31连接的第三驱动器321和第四驱动器322，第三驱动器321用于带动第二料叉组件31沿第一方向来回移动，第四驱动器322用于带动第二料叉组件31沿第三方向来回移动。

具体地，第二驱动器222与第一连接架211相互连接，第一驱动器221与第二驱动器222相互连接，从而第一驱动器221能够带动第二驱动器222和第一连接架211一起移动，第四驱动器322与第二连接架311相互连接，第三驱动器321与第四驱动器322相互连接，从而第三驱动器321能够带动第四驱动器322和第二连接架311相互连接。第一驱动器221和第二驱动器222能够带动第一料叉组件21在同一平面中移动，第三驱动器321和第四驱动器322能够带动第二料叉组件31在另一平面中移动，两活动平面相互平行，并且两活动平面与传送台12的活动平面相互垂直。

进一步地，第一方向、第二方向和第三方向两两之间相互垂直。

进一步地，第一驱动器221和第三驱动器321均为丝杆传动器，丝杆传动器相对于气缸传动器能够为第一料叉组件21和第二料叉组件31提供精确性更高驱动。

在本申请的一个实施例中，请一并参阅图1和图5，上料机构20还包括沿第一方向沿伸设置的上料传输组件23，上料传输组件23靠近传送机构10的一侧与上料工位101对应设置，上料传输组件23用于将物料沿第一方向传输至靠近上料工位101的位置。

具体地，上料机构20带动物料沿直线移动。由于待加工物料的存储机构的体积较大，一般会放置在距离加工机构较远的位置处，通过在上料机构20中设有上料传输组件23，能够快速地将储存机构中的待加工物料快速地传输到靠近加工机构的位置处。

进一步地，上料传输组件23为皮带传输机构，通过采用皮带传输机构传输待加工的物料，能够避免传输过程中对待加工的物料造成损坏。

在本申请的一个实施例中，请一并参阅图1和图5，下料机构30还包括沿第一方向沿伸设置的下料传输组件33，下料传输组件33靠近传送机构10的一侧与下料工位102对应设置，下料传输组件33用于将物料沿第一方向传输至靠近下料工位102的位置。

具体地，下料机构30带动物料沿直线移动。由于存放加工完成物料的存储机构的体积野比较大，一般会放置在距离加工机构较远的位置处，通过在下料机构30中设有下料传输组件33，能够快速地将加工完成的物料传输到储存机构的位置处。

进一步地，下料传输组件33为皮带传输机构，通过采用皮带传输机构传输加工完成的物料，能够避免传输过程中对加工完成的物料造成损坏。

本申请还提供一种固晶设备，所述固晶设备包括上述任一实施例所述的进出料装置。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，仅具体描述了本实用新型的技术原理，这些描述只是为了解释本实用新型的原理，不能以任何方式解释为对本实用新型保护范围的限制。基于此处解释，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进，及本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本实用新型的其他具体实施方式，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种进出料装置，其特征在于，包括：

传送机构，所述传送机构的两侧分别设有上料工位和下料工位；

上料机构，所述上料机构与所述上料工位对应设置，所述上料机构包括有第一料叉组件和第一驱动组件，所述第一料叉组件包括有第一连接架和多个第一料叉块，多个所述第一料叉块可相互靠近或远离地滑动连接在所述第一连接架上，所述第一驱动组件与所述第一连接架传动连接；

下料机构，所述下料机构与所述下料工位对应设置，所述下料机构包括有第二料叉组件和第二驱动组件，所述第二料叉组件包括有第二连接架和多个第二料叉块，多个所述第二料叉块可相互靠近或远离地滑动连接在所述第二连接架上，所述第二驱动组件与所述第二连接架传动连接。

2.如权利要求1所述的进出料装置，其特征在于：所述第一料叉块上设有用于辅助所述第一料叉块取料的第一吸盘，所述第二料叉块上设有用于辅助所述第二料叉块取料的第二吸盘。

3.如权利要求2所述的进出料装置，其特征在于：各所述第一料叉块上的所述第一吸盘的数量为多个，多个所述第一吸盘沿所述第一料叉块长度沿伸方向排列设置；各所述第二料叉块上的所述第二吸盘的数量为多个，多个所述第二吸盘沿所述第二料叉块长度沿伸方向排列设置。

4.如权利要求3所述的进出料装置，其特征在于：所述第一料叉块靠近所述传送机构的一端设有第一倒角结构；所述第二料叉块靠近所述传送机构的一端设有第二倒角结构。

5.如权利要求1所述的进出料装置，其特征在于：所述传送机构包括有传送组件和传送台，所述传送台可活动地设置在所述传送组件上，所述传送组件用于带动所述传送台沿第一方向和第二方向来回移动。

6.如权利要求5所述的进出料装置，其特征在于：所述传送台为真空吸附平台，所述传送台能够通过真空吸附的方式对物料进行吸附定位。

7.如权利要求1所述的进出料装置，其特征在于：所述第一驱动组件包括与所述第一料叉组件连接的第一驱动器和第二驱动器，所述第一驱动器用于带动所述第一料叉组件沿第一方向来回移动，所述第二驱动器用于带动所述第一料叉组件沿第三方向来回移动；所述第二驱动组件包括与所述第二料叉组件连接的第三驱动器和第四驱动器，所述第三驱动器用于带动所述第二料叉组件沿第一方向来回移动，所述第四驱动器用于带动所述第二料叉组件沿第三方向来回移动。

8.如权利要求1所述的进出料装置，其特征在于：所述上料机构还包括沿第一方向沿伸设置的上料传输组件，所述上料传输组件靠近所述传送机构的一侧与所述上料工位对应设置，所述第一料叉组件可活动地设置在所述上料传输组件与所述传送机构之间，所述上料传输组件用于将物料沿第一方向传输至靠近所述上料工位的位置。

9.如权利要求1所述的进出料装置，其特征在于：所述下料机构还包括沿第一方向沿伸设置的下料传输组件，所述第二料叉组件可活动地设置在所述下料传输组件与所述传送机构之间，所述下料传输组件靠近所述传送机构的一侧与所述下料工位对应设置，所述下料传输组件用于将物料沿第一方向传输至靠近所述下料工位的位置。

10.一种固晶设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的进出料装置。