CN221041022U - 灯丝辅助安装装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种灯丝辅助安装装置，包括第一定位柱组件、第二定位柱组件和底座；第一定位柱组件包括若干灯丝夹定位柱，灯丝夹定位柱与灯丝夹上的灯丝定位孔相适配，且灯丝夹定位柱的结构与灯丝的结构相同；第二定位柱组件包括若干陶瓷座定位柱，陶瓷座定位柱与陶瓷座上的定位槽相适配；底座设有第一定位部和第二定位部，第一定位部于底座的设置位置与灯丝定位孔于灯丝夹的设置位置相对应，第二定位部于底座的设置位置与定位槽于陶瓷座的设置位置相对应，若干灯丝夹定位柱设置于第一定位部，若干陶瓷座定位柱设置于第二定位部，使得解决了灯丝夹在与陶瓷座固定时可能存在的偏差，使灯丝安装精度低，导致灯丝本身受力的问题。

Description

灯丝辅助安装装置

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种灯丝辅助安装装置。

背景技术

灯丝是离子源设备中常用的消耗类部件,根据离子源设备的不同组件类型、材质以及工艺参数等，灯丝更换周期也会有些许差异,然而其中灯丝的安装要点之一为安装“零”受力，否则在通电运行过程中极易出现受力点熔断的现象，从而导致在定期机台维护周期时出现未通过的情况。目前行业内对于此类问题，采用的方式是根据经验，以肉眼观察为检测手段。但由于灯丝材质本身有一定的硬度承受力，有一定几率存在实际受力，然而肉眼无法察觉，等到灯丝异常熔断进行问题分析的时候发现根本原因是灯丝受力导致。

当前行业内灯丝安装图如图1所示，灯丝夹100与陶瓷座200通过固定螺丝300固定锁紧，而后灯丝400再插入灯丝夹100中固定，然而灯丝夹100在与陶瓷座200固定时可能存在偏差，使得灯丝400安装时出现安装精度低，从而导致灯丝400本身受力。

因此，有必要提供一种新型的灯丝辅助安装装置，以解决灯丝夹在与陶瓷座固定时可能存在的偏差，使灯丝安装精度低，导致灯丝本身受力的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种灯丝辅助安装装置，以解决灯丝夹在与陶瓷座固定时可能存在的偏差，使灯丝安装精度低，导致灯丝本身受力的问题。

为实现上述目的，本实用新型的所述灯丝辅助安装装置，包括第一定位柱组件、第二定位柱组件和底座；所述第一定位柱组件包括若干灯丝夹定位柱，所述灯丝夹定位柱与灯丝夹上的灯丝定位孔相适配，且所述灯丝夹定位柱的结构与灯丝的结构相同；所述第二定位柱组件包括若干陶瓷座定位柱，所述陶瓷座定位柱与陶瓷座上的定位槽相适配；所述底座设有第一定位部和第二定位部，所述第一定位部于所述底座的设置位置与所述灯丝定位孔于所述灯丝夹的设置位置相对应，所述第二定位部于所述底座的设置位置与所述定位槽于所述陶瓷座的设置位置相对应，所述若干灯丝夹定位柱设置于所述第一定位部，所述若干陶瓷座定位柱设置于所述第二定位部。

本实用新型的所述灯丝辅助安装装置的有益效果在于：通过所述陶瓷座定位柱插接于所述定位槽而使所述灯丝辅助安装装置与所述陶瓷座固定，再通过所述灯丝夹定位柱贯穿设置于所述灯丝定位孔而将所述灯丝辅助安装装置与所述灯丝夹固定，从而确定灯丝夹与陶瓷座固定时所需求的安装位姿，最后通过固定螺丝贯穿所述灯丝夹上的贯穿孔并固定于所述陶瓷座上的固定孔，即可使所述陶瓷座与所述灯丝夹就该安装位姿而夹锁紧固定，从而解决了灯丝夹在与陶瓷座固定时可能存在的偏差，提高了灯丝安装的精度，能有效避免灯丝本身受力，使灯丝安装实现“零”受力；而且通过设置与灯丝的结构相同的所述灯丝夹定位柱，即所述灯丝夹定位柱的尺寸与灯丝的尺寸完全相同，使得撤掉灯丝辅助安装装置后，可以确保灯丝的后续安装不会受力；从而避免在离子源设备组装中出现灯丝受力而发生提前熔断导致寿命缩短的情况，避免不必要的部件损坏和影响设备的正常运行时间；其中，所述陶瓷座通过其背面的定位槽与离子源本体固定，本实用新型利用陶瓷座背面本身具备的定位槽，使得灯丝辅助安装装置可直接投入使用，不必对离子源设备中各部件进行改动，避免不必要的成本消耗。

优选的，所述灯丝夹定位柱包括相连接的连接部和贯穿部，所述连接部与所述第一定位部相适配，所述贯穿部与所述灯丝夹上的灯丝定位孔相适配。其有益效果在于：使得可以设置不同尺寸的贯穿部以适配不同型号的离子源设备中灯丝夹的灯丝定位孔，而连接部和第一定位部的尺寸则不用随离子源设备的不同而改变，采用统一规格尺寸即可，通用性强，如此使得灯丝辅助安装装置可适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，降低了成本投入。

优选的，所述底座设有若干组所述第一定位部，若干组所述第一定位部分别对应于不同型号的离子源设备中灯丝夹上的灯丝定位孔，每组所述第一定位部包括若干第一定位孔，所述第一定位孔于所述底座的设置位置与所述灯丝定位孔于所述灯丝夹的设置位置相对应，若干所述灯丝夹定位柱分别设置于若干所述第一定位孔。其有益效果在于：采用第一定位孔设置灯丝夹定位柱能使灯丝夹定位柱更为稳定牢固，使得灯丝的安装精度更高，有利于避免灯丝本身受力，而且设置若干组所述第一定位部以分别对应于不同型号的离子源设备中灯丝夹上的灯丝定位孔，通用性强，如此使得灯丝辅助安装装置可适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，降低了成本投入。

优选的，所述第一定位部包括腰型孔，所述若干灯丝夹定位柱根据所述灯丝定位孔于所述灯丝夹的设置位置分别设置于所述腰型孔的对应位置。其有益效果在于：即无需在底座上开设多个设置灯丝夹定位柱的第一定位孔，一个腰型孔即可适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，根据不同型号的离子源设备中灯丝夹上灯丝定位孔的设置位置在腰型孔上选择合适的位置设置灯丝夹定位柱即可，使用方便，通用性强，如此使得灯丝辅助安装装置可适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，降低了成本投入。

优选的，所述灯丝夹定位柱与所述第一定位部可拆卸连接。其有益效果在于：便于更换不同尺寸的灯丝夹定位柱，以适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，通用性强，如此使得灯丝辅助安装装置可适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，降低了成本投入，而且在底座或灯丝夹定位柱损坏时，可单独更换底座或灯丝夹定位柱，节省了成本投入。

优选的，所述连接部设有第一外螺纹，所述第一定位部设有与所述第一外螺纹适配的第一内螺纹，所述连接部和所述第一定位部通过螺纹连接固定。其有益效果在于：螺纹连接，使用简单方便，且结构简单，成本投入低。

优选的，所述底座设有若干组所述第二定位部，若干组所述第二定位部分别对应于不同型号的离子源设备中陶瓷座上的定位槽，每组所述第二定位部包括若干第二定位孔，所述第二定位孔于所述底座的设置位置与所述定位槽于所述陶瓷座的设置位置相对应，若干所述陶瓷座定位柱分别设置于若干所述第二定位孔。其有益效果在于：采用第二定位孔设置陶瓷座定位柱能使陶瓷座定位柱更为稳定牢固，使得灯丝的安装精度更高，有利于避免灯丝本身受力，而且设置若干组所述第二定位部以分别对应于不同型号的离子源设备中陶瓷座上的定位槽，通用性强，如此使得灯丝辅助安装装置可适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，降低了成本投入。

优选的，所述陶瓷座定位柱与所述第二定位部可拆卸连接。其有益效果在于：便于更换不同尺寸的陶瓷座定位柱，以适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，通用性强，如此使得灯丝辅助安装装置可适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，降低了成本投入，而且在底座或陶瓷座定位柱损坏时，可单独更换底座或陶瓷座定位柱，节省了成本投入。

优选的，所述灯丝夹定位柱设有第一外螺纹，所述第一定位部设有与所述第一外螺纹适配的第一内螺纹，所述灯丝夹定位柱和所述第一定位部通过螺纹连接固定；所述陶瓷座定位柱设有第二外螺纹，所述第二定位部设有与所述第二外螺纹适配的第二内螺纹，所述陶瓷座定位柱和所述第二定位部通过螺纹连接固定。其有益效果在于：螺纹连接，使用简单方便，且结构简单，成本投入低。

优选的，所述灯丝辅助安装装置设有若干个，若干个所述灯丝辅助安装装置分别对应于不同型号的离子源设备，且所述第一定位部包括若干第一定位孔，所述第一定位孔于所述底座的设置位置与所述灯丝定位孔于所述灯丝夹的设置位置相对应，若干所述灯丝夹定位柱分别设置于若干所述第一定位孔；所述第二定位部包括若干第二定位孔，所述第二定位孔于所述底座的设置位置与所述定位槽于所述陶瓷座的设置位置相对应，若干所述陶瓷座定位柱分别设置于若干所述第二定位孔。其有益效果在于：就不同型号的离子源设备配备不同的灯丝辅助安装装置，灯丝辅助安装装置结构更为简单，适用于只有一种型号的离子源设备使用，有利于提高灯丝安装的精度，能有效避免灯丝本身受力，使灯丝安装实现“零”受力。

附图说明

图1为现在技术中灯丝与陶瓷座和灯丝夹的装配示意图；

图2为本实用新型实施例的灯丝辅助安装装置与陶瓷座和灯丝夹的装配示意图；

图3为本实用新型实施例中的第一种灯丝辅助安装装置的结构示意图；

图4为本实用新型实施例中的第二种灯丝辅助安装装置的结构示意图；

图5为本实用新型实施例中的第三种灯丝辅助安装装置的结构示意图；

图6为本实用新型实施例的灯丝辅助安装装置中的灯丝夹定位柱的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。

为克服现有技术中存在的问题，本实用新型实施例提供了提供一种灯丝辅助安装装置，以解决灯丝夹在与陶瓷座固定时可能存在的偏差，使灯丝安装精度低，导致灯丝本身受力的问题。

图2为本实用新型实施例的灯丝辅助安装装置与陶瓷座和灯丝夹的装配示意图；图3为本实用新型实施例中的第一种灯丝辅助安装装置的结构示意图。

为实现上述目的，参考图2和图3，所述灯丝辅助安装装置包括第一定位柱组件(图中未标示)、第二定位柱组件(图中未标示)和底座1；所述第一定位柱组件(图中未标示)包括若干灯丝夹定位柱2，所述灯丝夹定位柱2与灯丝夹100上的灯丝定位孔110相适配，且所述灯丝夹定位柱2的结构与灯丝的结构相同；所述第二定位柱组件(图中未标示)包括若干陶瓷座定位柱3，所述陶瓷座定位柱3与陶瓷座200上的定位槽210相适配；所述底座1设有第一定位部11和第二定位部12，所述第一定位部11于所述底座1的设置位置与所述灯丝定位孔110于所述灯丝夹100的设置位置相对应，所述第二定位部12于所述底座1的设置位置与所述定位槽210于所述陶瓷座200的设置位置相对应，所述若干灯丝夹定位柱2设置于所述第一定位部11，所述若干陶瓷座定位柱3设置于所述第二定位部12。

具体的，通过所述陶瓷座定位柱3插接于所述定位槽210而使所述灯丝辅助安装装置与所述陶瓷座200固定，再通过所述灯丝夹定位柱2贯穿设置于所述灯丝定位孔110而将所述灯丝辅助安装装置与所述灯丝夹100固定，从而确定灯丝夹100与陶瓷座200固定时所需求的安装位姿，最后通过固定螺丝300贯穿所述灯丝夹100上的贯穿孔120并固定于所述陶瓷座200上的固定孔220，即可使所述陶瓷座200与所述灯丝夹100就该安装位姿而夹锁紧固定，从而解决了灯丝夹100在与陶瓷座200固定时可能存在的偏差，提高了灯丝安装的精度，能有效避免灯丝本身受力，使灯丝安装实现“零”受力；而且通过设置与灯丝的结构相同的所述灯丝夹定位柱2，即所述灯丝夹定位柱2的尺寸与灯丝的尺寸完全相同，使得撤掉灯丝辅助安装装置后，可以确保灯丝的后续安装不会受力；从而避免在离子源设备组装中出现灯丝受力而发生提前熔断导致寿命缩短的情况，避免不必要的部件损坏和影响设备的正常运行时间；其中，所述陶瓷座200通过其背面的定位槽210与离子源本体固定，本实用新型利用陶瓷座200背面本身具备的定位槽210，使得灯丝辅助安装装置可直接投入使用，不必对离子源设备中各部件进行改动，避免不必要的成本消耗。

本实用新型一些实施例中，参考图2和图3，第一种灯丝辅助安装装置中，所述灯丝辅助安装装置设有若干个，若干个所述灯丝辅助安装装置分别对应于不同型号的离子源设备，且所述第一定位部11包括若干第一定位孔(图中未标示)，所述第一定位孔(图中未标示)于所述底座1的设置位置与所述灯丝定位孔110于所述灯丝夹100的设置位置相对应，若干所述灯丝夹定位柱2分别设置于若干所述第一定位孔(图中未标示)；所述第二定位部12包括若干第二定位孔(图中未标示)，所述第二定位孔(图中未标示)于所述底座1的设置位置与所述定位槽210于所述陶瓷座200的设置位置相对应，若干所述陶瓷座定位柱3分别设置于若干所述第二定位孔(图中未标示)。即就不同型号的离子源设备配备不同的灯丝辅助安装装置，灯丝辅助安装装置结构更为简单，适用于只有一种型号的离子源设备使用，有利于提高灯丝安装的精度，能有效避免灯丝本身受力，使灯丝安装实现“零”受力。

具体的，使用第一种灯丝辅助安装装置时，根据灯丝夹100上的灯丝定位孔110的设置位置和尺寸、陶瓷座200上的定位槽210的设置位置和尺寸、以及灯丝的结构和尺寸，选择合适的第一种灯丝辅助安装装置，即该第一种灯丝辅助安装装置中，灯丝夹定位柱2的结构和尺寸与该灯丝的结构和尺寸相同，第一定位孔于底座1的设置位置与该灯丝定位孔110于灯丝夹100的设置位置相对应，第二定位孔于底座1的设置位置与该陶瓷座200上的定位槽210的设置位置相对应；然后将第一种灯丝辅助安装装置、灯丝夹100与陶瓷座200固定；最后撤掉第一种灯丝辅助安装装置后，将灯丝安装于灯丝定位孔即可，如此即可使灯丝安装实现“零”受力。

本实用新型一些具体实施例中，参考图2-3，所述第一定位部11包括2个所述第一定位孔，分别为第一定位孔一101和第一定位孔二102。所述第二定位部12包括4个第二定位孔，分别为第二定位孔一103、第二定位孔二104、第二定位孔三105和第二定位孔四106。

图4为本实用新型实施例中的第二种灯丝辅助安装装置的结构示意图。

本实用新型一些实施例中，参考图4，第二种灯丝辅助安装装置中，所述底座1设有若干组所述第一定位部11，若干组所述第一定位部11分别对应于不同型号的离子源设备中灯丝夹100上的灯丝定位孔110，每组所述第一定位部11包括若干第一定位孔(图中未标示)，所述第一定位孔(图中未标示)于所述底座1的设置位置与所述灯丝定位孔于所述灯丝夹100的设置位置相对应，若干所述灯丝夹定位柱2分别设置于若干所述第一定位孔(图中未标示)。采用第一定位孔(图中未标示)设置灯丝夹定位柱2能使灯丝夹定位柱2更为稳定牢固，使得灯丝的安装精度更高，有利于避免灯丝本身受力，而且设置若干组所述第一定位部11以分别对应于不同型号的离子源设备中灯丝夹100上的灯丝定位孔110，通用性强，如此使得灯丝辅助安装装置可适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，降低了成本投入。

具体的，使用第二种灯丝辅助安装装置时，根据灯丝夹100上的灯丝定位孔110的设置位置和尺寸，以及灯丝的结构和尺寸，选择与该灯丝结构和尺寸相同的灯丝夹定位柱2，再将灯丝夹定位柱2固定于与该灯丝定位孔于灯丝夹100的设置位置相对应的第一定位孔；然后将第二灯丝辅助安装装置、灯丝夹100与陶瓷座200固定；最后撤掉第二灯丝辅助安装装置后，将灯丝安装于该灯丝定位孔即可，如此即可使灯丝安装实现“零”受力。

本实用新型一些具体实施例中，参考图4，所述第一定位部11包括第一组第一定位部1101、第二组第一定位部1102和第三组第一定位部1103。且所述第一组第一定位部1101、第二组第一定位部1102和第三组第一定位部1103均包括2个所述第一定位孔(图中未标示)。具体的，所述第一组第一定位部1101、第二组第一定位部1102和第三组第一定位部1103中任意一种的2个所述第一定位孔的尺寸、设置位置、以及2个所述第一定位孔之间的间距均与适用型号的离子源设备中灯丝夹100上的2个灯丝定位孔110的尺寸、设置位置、以及2个灯丝定位孔110之间的间距一一对应。

图5为本实用新型实施例中的第三种灯丝辅助安装装置的结构示意图。

本实用新型一些实施例中，参考图5，第三种灯丝辅助安装装置中，所述第一定位部11包括腰型孔111，所述若干灯丝夹定位柱2根据所述灯丝定位孔110于所述灯丝夹100的设置位置分别设置于所述腰型孔111的对应位置。即无需在底座1上开设多个设置灯丝夹定位柱2的第一定位孔，一个腰型孔111即可适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，根据不同型号的离子源设备中灯丝夹100上灯丝定位孔110的设置位置在腰型孔111上选择合适的位置设置灯丝夹定位柱2即可，使用方便，通用性强，如此使得灯丝辅助安装装置可适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，降低了成本投入。

具体的，使用第三种灯丝辅助安装装置时，根据灯丝夹100上的灯丝定位孔110的设置位置和尺寸，以及灯丝的结构和尺寸，选择与该灯丝结构和尺寸相同的灯丝夹定位柱2，再将灯丝夹定位柱2固定于与该灯丝定位孔于灯丝夹100的设置位置相对应的所述腰型孔111的相应位置；然后将第三灯丝辅助安装装置、灯丝夹100与陶瓷座200固定；最后撤掉第三灯丝辅助安装装置后，将灯丝安装于该灯丝定位孔即可，如此即可使灯丝安装实现“零”受力。

本实用新型一些实施例中，在所述腰型孔111上确定好与所述灯丝定位孔110于所述灯丝夹100的设置位置相对应的位置后，可通过固定件将灯丝夹定位柱2固定设置于所述腰型孔111的该对应位置，从而使灯丝夹定位柱2在所述腰型孔111上更为稳定牢固，使得灯丝的安装精度更高，有利于避免灯丝安装时本身受力。

本实用新型一些实施例中，所述腰型孔设有若干个，且若干个所述腰型孔平行且间隔设置。

本实用新型一些实施例中，参考图4和图5，所述底座1设有若干组所述第二定位部12，若干组所述第二定位部12分别对应于不同型号的离子源设备中陶瓷座200上的定位槽210，每组所述第二定位部12包括若干第二定位孔(图中未标示)，所述第二定位孔(图中未标示)于所述底座1的设置位置与所述定位槽于所述陶瓷座200的设置位置相对应，若干所述陶瓷座定位柱3分别设置于若干所述第二定位孔(图中未标示)。采用第二定位孔(图中未标示)安装陶瓷座定位柱3能使陶瓷座定位柱3更为稳定牢固，使得灯丝的安装精度更高，有利于避免灯丝本身受力，而且设置若干组所述第二定位部12以分别对应于不同型号的离子源设备中陶瓷座200上的定位槽210，通用性强，如此使得灯丝辅助安装装置可适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，降低了成本投入。

具体的，使用第二种灯丝辅助安装装置或第三种灯丝辅助安装装置时，根据陶瓷座200上的定位槽210的设置位置和尺寸，选择与定位槽210的设置位置和尺寸相适配的陶瓷座定位柱3，再将陶瓷座定位柱3固定于与该陶瓷座200上的定位槽210的设置位置相对应的所述第二定位孔；然后将第二种灯丝辅助安装装置或第三灯丝辅助安装装置、灯丝夹100与陶瓷座200固定；最后撤掉第二种灯丝辅助安装装置或第三灯丝辅助安装装置后，将灯丝安装于灯丝定位孔即可，如此即可使灯丝安装实现“零”受力。

本实用新型一些具体实施例中，参考图4和图5，所述第二定位部12包括第一组第二定位部1201、第二组第二定位部1202和第三组第二定位部1203。且所述第一组第二定位部1201、第二组第二定位部1202和第三组第二定位部1203均包括4个所述第二定位孔(图中未标示)。具体的，所述第一组第二定位部1201、第二组第二定位部1202和第三组第二定位部1203中任意一种的4个所述第二定位孔的尺寸、设置位置、以及4个所述第一定位孔之间的间距均与适用型号的离子源设备中陶瓷座200上的定位槽210的尺寸、设置位置、以及4个所述第二定位孔之间的间距一一对应。

本实用新型一些实施例中，所述灯丝夹定位柱2与所述第一定位部11可拆卸连接。便于更换不同尺寸的灯丝夹定位柱2，以适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，通用性强，如此使得灯丝辅助安装装置可适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，降低了成本投入，而且在底座1或灯丝夹定位柱2损坏时，可单独更换底座1或灯丝夹定位柱2，节省了成本投入。

本实用新型另一些实施例中，所述灯丝夹定位柱2与所述底座1为一体成型式结构，即所述灯丝夹定位柱2固定设置于所述底座1。

本实用新型一些实施例中，所述灯丝夹定位柱2设有第一外螺纹，所述第一定位部11设有与所述第一外螺纹适配的第一内螺纹，所述灯丝夹定位柱2和所述第一定位部11通过螺纹连接固定。螺纹连接，使用简单方便，且结构简单，成本投入低。

本实用新型一些具体实施例中，所述灯丝夹定位柱2设有第一外螺纹，所述第一定位孔设有与所述第一外螺纹适配的第一内螺纹，所述灯丝夹定位柱2和所述第一定位孔通过螺纹连接固定。

本实用新型一些实施例中，所述陶瓷座定位柱3与所述第二定位部12可拆卸连接。便于更换不同尺寸的陶瓷座定位柱3，以适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，通用性强，如此使得灯丝辅助安装装置可适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，降低了成本投入，而且在底座1或陶瓷座定位柱3损坏时，可单独更换底座1或陶瓷座定位柱3，节省了成本投入。

本实用新型另一些实施例中，所述陶瓷座定位柱3与所述底座1为一体成型式结构，即所述陶瓷座定位柱3固定设置于所述底座1。

本实用新型一些实施例中，所述陶瓷座定位柱3设有第二外螺纹，所述第二定位部12设有与所述第二外螺纹适配的第二内螺纹，所述陶瓷座定位柱3和所述第二定位部12通过螺纹连接固定。螺纹连接，使用简单方便，且结构简单，成本投入低。

本实用新型一些具体实施例中，所述陶瓷座定位柱3设有第二外螺纹，第二定位孔设有与所述第二外螺纹适配的第二内螺纹，所述陶瓷座定位柱3和所述第二定位孔通过螺纹连接固定。

图6为本实用新型实施例的灯丝辅助安装装置中的灯丝夹定位柱的结构示意图。

本实用新型一些实施例中，参考图6，所述灯丝夹定位柱2包括相连接的连接部21和贯穿部22，所述连接部21与所述第一定位部11相适配，所述贯穿部22与所述灯丝夹100上的灯丝定位孔110相适配。使得可以设置不同尺寸的贯穿部22以适配不同型号的离子源设备中灯丝夹100的灯丝定位孔110，而连接部21和第一定位部11的尺寸则不用随离子源设备的不同而改变，采用统一规格尺寸即可，通用性强，如此使得灯丝辅助安装装置可适用于不同型号的离子源设备中的灯丝安装，降低了成本投入。

本实用新型一些实施例中，所述连接部21设有第一外螺纹，所述第一定位部11设有与所述第一外螺纹适配的第一内螺纹，所述连接部21和所述第一定位部11通过螺纹连接固定。螺纹连接，使用简单方便，且结构简单，成本投入低。

本实用新型一些具体实施例中，所述连接部21设有第一外螺纹，所述第一定位孔设有与所述第一外螺纹适配的第一内螺纹，所述连接部21和所述第一定位孔通过螺纹连接固定。

本实用新型另一些具体实施例中，所述连接部21设有第一外螺纹，所述腰型孔111设有与所述第一外螺纹适配的第一内螺纹，所述连接部21和所述腰型孔111通过螺纹连接固定。

虽然在上文中详细说明了本实用新型的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本实用新型的范围和精神之内。而且，在此说明的本实用新型可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。

Claims (10)

1.一种灯丝辅助安装装置，其特征在于，包括：

第一定位柱组件，包括若干灯丝夹定位柱，所述灯丝夹定位柱与灯丝夹上的灯丝定位孔相适配，且所述灯丝夹定位柱的结构与灯丝的结构相同；

第二定位柱组件，包括若干陶瓷座定位柱，所述陶瓷座定位柱与陶瓷座上的定位槽相适配；

底座，设有第一定位部和第二定位部，所述第一定位部于所述底座的设置位置与所述灯丝定位孔于所述灯丝夹的设置位置相对应，所述第二定位部于所述底座的设置位置与所述定位槽于所述陶瓷座的设置位置相对应，所述若干灯丝夹定位柱设置于所述第一定位部，所述若干陶瓷座定位柱设置于所述第二定位部。

2.根据权利要求1所述的灯丝辅助安装装置，其特征在于，所述灯丝夹定位柱包括相连接的连接部和贯穿部，所述连接部与所述第一定位部相适配，所述贯穿部与所述灯丝夹上的灯丝定位孔相适配。

3.根据权利要求1所述的灯丝辅助安装装置，其特征在于，所述底座设有若干组所述第一定位部，若干组所述第一定位部分别对应于不同型号的离子源设备中灯丝夹上的灯丝定位孔，每组所述第一定位部包括若干第一定位孔，所述第一定位孔于所述底座的设置位置与所述灯丝定位孔于所述灯丝夹的设置位置相对应，若干所述灯丝夹定位柱分别设置于若干所述第一定位孔。

4.根据权利要求1所述的灯丝辅助安装装置，其特征在于，所述第一定位部包括腰型孔，所述若干灯丝夹定位柱根据所述灯丝定位孔于所述灯丝夹的设置位置分别设置于所述腰型孔的对应位置。

5.根据权利要求1或2所述的灯丝辅助安装装置，其特征在于，所述灯丝夹定位柱与所述第一定位部可拆卸连接。

6.根据权利要求2所述的灯丝辅助安装装置，其特征在于，所述连接部设有第一外螺纹，所述第一定位部设有与所述第一外螺纹适配的第一内螺纹，所述连接部和所述第一定位部通过螺纹连接固定。

7.根据权利要求1所述的灯丝辅助安装装置，其特征在于，所述底座设有若干组所述第二定位部，若干组所述第二定位部分别对应于不同型号的离子源设备中陶瓷座上的定位槽，每组所述第二定位部包括若干第二定位孔，所述第二定位孔于所述底座的设置位置与所述定位槽于所述陶瓷座的设置位置相对应，若干所述陶瓷座定位柱分别设置于若干所述第二定位孔。

8.根据权利要求1所述的灯丝辅助安装装置，其特征在于，所述陶瓷座定位柱与所述第二定位部可拆卸连接。

9.根据权利要求1所述的灯丝辅助安装装置，其特征在于，所述灯丝夹定位柱设有第一外螺纹，所述第一定位部设有与所述第一外螺纹适配的第一内螺纹，所述灯丝夹定位柱和所述第一定位部通过螺纹连接固定；所述陶瓷座定位柱设有第二外螺纹，所述第二定位部设有与所述第二外螺纹适配的第二内螺纹，所述陶瓷座定位柱和所述第二定位部通过螺纹连接固定。

10.根据权利要求1所述的灯丝辅助安装装置，其特征在于，所述灯丝辅助安装装置设有若干个，若干个所述灯丝辅助安装装置分别对应于不同型号的离子源设备，且所述第一定位部包括若干第一定位孔，所述第一定位孔于所述底座的设置位置与所述灯丝定位孔于所述灯丝夹的设置位置相对应，若干所述灯丝夹定位柱分别设置于若干所述第一定位孔；所述第二定位部包括若干第二定位孔，所述第二定位孔于所述底座的设置位置与所述定位槽于所述陶瓷座的设置位置相对应，若干所述陶瓷座定位柱分别设置于若干所述第二定位孔。