CN221028643U - 一种溅镀工装 - Google Patents
一种溅镀工装 Download PDFInfo
- Publication number
- CN221028643U CN221028643U CN202322967393.0U CN202322967393U CN221028643U CN 221028643 U CN221028643 U CN 221028643U CN 202322967393 U CN202322967393 U CN 202322967393U CN 221028643 U CN221028643 U CN 221028643U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- magnet
- carrier
- cover plate
- sputtering
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 43
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 5
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种溅镀工装,包括:载具,所述载具上开设有容纳槽,所述容纳槽用于容纳物料,所述载具上设有第一磁体;盖板,所述盖板上开设有容纳孔,物料的待溅镀区域通过所述容纳孔露出;所述盖板能够被所述第一磁体吸附,并可拆卸的设于所述载具。本申请提供的技术方案,具有结构简单、安装方便、操作简单、能够反复使用的特点。
Description
技术领域
本申请属于溅镀技术领域,尤其涉及一种溅镀工装。
背景技术
现有技术中,通常在物料的非溅镀区域粘贴双面胶,用于对非溅镀区域进行遮蔽。在溅镀完成之后,需要将双面胶从物料上撕取下来,其撕取过程较为繁琐,并且双面胶为一次性耗材,从而也会增加溅镀的成本。
实用新型内容
本申请实施例的目的是提供一种的溅镀工装,能够解决工装与物料之间安装和拆卸困难的问题。
根据本申请实施例的第一个方面,提供了一种溅镀工装,包括:
载具,所述载具上开设有容纳槽,所述容纳槽用于容纳物料,所述载具上设有第一磁体;
盖板,所述盖板上开设有容纳孔,物料的待溅镀区域通过所述容纳孔露出;
所述盖板能够被所述第一磁体吸附,并可拆卸的设于所述载具。
可选地,所述容纳槽为多个,所述容纳孔为多个,所述容纳槽的数量小于或等于所述容纳孔的数量。
可选地,所述盖板的厚度范围为0.5mm-2mm。
可选地,所述载具上开设有凹槽,所述第一磁体设于所述凹槽的内部。
可选地,所述凹槽为多个,每个所述凹槽内均设有所述第一磁体。
可选地,所述第一磁体采用矩形磁铁。
可选地,所述盖板采用具有磁性的不锈钢材质。
可选地,所述盖板上设有第二磁体,所述第一磁体与所述第二磁体位置相对应,所述盖板与所述载具通过所述第一磁体与所述第二磁体磁吸安装。
可选地,所述载具上设有第一定位部,所述盖板上设有第二定位部,所述第一定位部与所述第二定位部位置相配合。
可选地,所述载具采用导热材质。
本申请实施例的一个技术效果在于,将物料放置在容纳槽内,盖板通过第一磁体吸附在载具上,通过盖板将非溅镀区域遮挡,以实现对待溅镀区域进行溅镀。具有结构简单、安装方便、操作简单、能够反复使用的特点。
通过以下参照附图对本申请的示例性实施例的详细描述,本申请的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本申请的实施例,并且连同其说明一起用于解释本申请的原理。
图1为本申请实施例中的溅镀工装的侧视图;
图2为本申请实施例中的载具的俯视图;
图3为本申请实施例中的盖板的俯视图。
附图标记说明:溅镀工装100;载具1;容纳槽11;凹槽12;第一定位部13;盖板2;容纳孔21;第二定位部22;第一磁体3;物料4;待溅镀区域41;非溅镀区域42。
具体实施方式
现在将参照附图来详细描述本申请的各种示例性实施例。应注意到:除非另外具体说明,否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本申请的范围。
以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的,决不作为对本申请及其应用或使用的任何限制。
对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论,但在适当情况下,所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。
在这里示出和讨论的所有例子中,任何具体值应被解释为仅仅是示例性的,而不是作为限制。因此,示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
本申请实施例的提供了一种溅镀工装100,包括载具1和盖板2,所述载具1上开设有容纳槽11,所述容纳槽11用于容纳物料4,所述载具1上设有第一磁体3;所述盖板2上开设有容纳孔21,物料4的待溅镀区域41通过所述容纳孔21露出;所述盖板2能够被所述第一磁体3吸附,并可拆卸的设于所述载具1。
如图1所示,溅镀工装100包括载具1和盖板2。
其中,载具1上开设有容纳槽11,容纳槽11用于容纳物料4;载具1上设有第一磁体3。
在一种实施方式中,载具1为矩形,第一磁体3具有四个,分别设置在载具1的四个角上。
在另一种实施方式中,第一磁体3设置在载具1的中部位置。
所以,第一磁体3可以为多个,也可以设置一个。
进一步说明,盖板2可拆卸的设于载具1上,其中,盖板2能够被第一磁体3吸附,从而使得盖板2能够牢固的安装在载具1上。
进一步说明,盖板2上开设有容纳孔21,物料4的待溅镀区域41通过容纳孔21露出。
在一种实施方式中,物料4的待溅镀区域41与非溅镀区域42没有位于同一个水平面,物料4的高度大于容纳槽11的深度,所以当物料4的非溅镀区域42放置在容纳槽11的内部,物料4的待溅镀区域41凸出于载具1的上表面,盖板2上开设有容纳孔21,从而使得物料4的待溅镀区域41能够穿过容纳孔21露出于盖板2的上表面。在该实施方式中,物料4通常包括基板和电子器件,其中电子器件设于基板上,电子器件需要溅镀封装。所以,基板被容纳在容纳槽11的内部,电子器件穿过容纳孔21,露出于盖板2的上表面,便于对电子器件进行溅镀。
进一步说明,容纳槽11的深度大于或等于基板的厚度,从而能够使得电子器件的塑封区域可以完全露出于容纳槽11,从而保证物料4的待溅镀区域41能够完全塑封。容纳孔21的边缘与电子器件的边缘具有缝隙,溅镀时可通过此缝隙对电子器件的侧壁区域进行溅镀。
在另一种实施方式中,物料4的待溅镀区域41与非溅镀区域42位于同一水平面,所以物料4放置在容纳槽11的内部,盖板2设于载具1上,容纳孔21的位置与物料4的待溅镀区域41相对应,从而能够使得物料4的待溅镀区域41能够通过容纳孔21露出,物料4的非溅镀区域42被盖板2遮住,便于对物料4的待溅镀区域41进行溅镀。
进一步说明,容纳槽11的深度等于物料4的厚度,从而使得盖板2能够将物料4压紧在容纳槽11的内部。物料4的待溅镀区域41的边缘与容纳孔21的边缘一致,能够避免在溅镀时,溅镀在非溅镀区域42上。
当物料4放置在容纳槽11之后,盖板2安装在载具1上,其中,物料4的非溅镀区域42会被盖板2遮住,而待溅镀部分通过容纳孔21露出,从而能够对待溅镀区域41进行溅镀,而非溅镀区域42被遮蔽而不会被溅镀上。待溅镀完成之后,将盖板2从载具1上取下,则可以将物料4取出。
本申请的实施例提供的溅镀工装100,具有结构简单、安装方便、操作简单、能够反复使用的特点。
本实施例中,所述容纳槽11为多个,所述容纳孔21为多个,所述容纳槽11的数量小于或等于所述容纳孔21的数量。
本申请的实施例提供的溅镀工装100,每个容纳槽11内放置一个物料4,多个容纳槽11可以放置多个物料4,从而可以对多个物料4进行溅镀,从而能够提高工作效率。
在一种实施方式,容纳槽11与容纳孔21的数量相同,也就是说,每个物料4上具有一个待溅镀区域41,当物料4放置在容纳槽11的内部,容纳孔21的位置与待溅镀区域41的位置相对应。
在另一种实施方式中,容纳槽11的数量小于容纳孔21的数量,也就是说,每个物料4上具有两个以上的待溅镀区域41,当物料4放置在容纳槽11的内部,两个以上的容纳孔21与一个容纳槽11相对应,且容纳孔21的位置与待溅镀区域41的位置相对应。
可以根据实际需求选择上述的实施方式。
本实施例中,所述盖板2的厚度范围为0.5mm-2mm。能够避免盖板2过厚,会遮挡住待溅镀区域41,而造成溅镀不方便,使得溅镀不均匀。若盖板2过薄,则会使得盖板2刚度不足,容易发生损坏。优选地,盖板2的厚度为1mm,其盖板2的刚度合适,且遮挡的待溅镀区域41极小,不会对溅镀造成不便。
本实施例中,所述载具1上开设有凹槽12,所述第一磁体3设于所述凹槽12的内部。
如图1所示,载具1上开设有凹槽12,第一磁体3设于在凹槽12的内部,并且第一磁体3的厚度等于或小于凹槽12的深度,从而使得第一磁体3能够嵌设与凹槽12的内部,且第一磁体3不会凸出于载具1的上表面。
当盖板2盖于载具1的上表面时,能够使得盖板2的下表面与载具1的上表面贴合。
本实施例中,所述凹槽12为多个,每个所述凹槽12内均设有所述第一磁体3。
其中一种实施方式中,凹槽12具有两个,两个凹槽12分别开设在载具1的两个相对的边缘处,第一磁体3设置在凹槽12的内部,当盖板2与载具1安装时,能够将盖板2的两个边缘吸附。
其中一种实施方式中,凹槽12具有三个,三个凹槽12沿着载具1的长度方向或者宽度方向均匀分布,当盖板2与载具1安装时,能够使得通过三个第一磁体3均匀的将盖板2吸附在载具1上。
其中一种实施方式中,凹槽12具有三个以上,三个以上的凹槽12沿着载具1的长度方向或者宽度方向均匀分布,当盖板2与载具1安装时,能够通过三个以上的第一磁体3均匀的将盖板2吸附在载具1上。
本实施例中,所述第一磁体3采用矩形磁铁。
进一步说明,第一磁体3采用矩形磁铁,由于矩形磁铁的形状为长条形,尺寸较大,使得数量较少,磁铁可整条放置,相对普通圆柱形磁铁,加工更便捷,且埋伏面积大,对盖板2的吸附力更强。
本实施例中,所述盖板采用具有磁性的不锈钢材质。
进一步说明,盖板2采用具有磁性的不锈钢材质,一方面,磁铁能够吸附带有磁性的不锈钢,从而使得盖板2能够通过第一磁体3吸附在载具1上。另一方面,在使用的过程中,能够避免盖板2生锈,从而避免对物料4产生影响。
本实施例中,所述盖板2上设有第二磁体,所述第一磁体3与所述第二磁体位置相对应,所述盖板2与所述载具1通过所述第一磁体3与所述第二磁体磁吸安装。
进一步说明,盖板2上设有第二磁体,第二磁体与第一磁体3的位置相对应,并且第一磁体3与第二磁体相互靠近的一侧的极性相反,能够使得盖板2与载具1通过第一磁体3与第二磁体贴合在一起。
本实施例中,所述载具1上设有第一定位部13,所述盖板2上设有第二定位部22,所述第一定位部13与所述第二定位部22位置相配合。
如图1所示,载具1上设有第一定位部13,盖板2上设有第二定位部22,并且第一定位部13与第二定位部22的位置相配合。盖板2与载具1安装时,通过第一定位部13与第二定位部22,以使得盖板2与载具1能够快速的安装在一起,以提高工作效率。
在一种实施方式中,第一定位部13为安装孔,第二定位部22为销钉,当盖板2与载具1安装时,将销钉插入安装孔中,从而能够快速将盖板2与载具1安装。
在另一种实施方式中,第一定位部13为销钉,第二定位部22为安装孔,当盖板2与载具1安装时,将安装孔套设在销钉上,从而能够快速将盖板2与载具1安装。
进一步说明,第一定位部13为多个,第二定位部22为多个。其中,第一定位部13设于载具1的四个角上,第二定位部22设于盖板2的四个角上,第一定位部13与第二定位部22还能够起到固定的作用,从而能够避免盖板2与载具1之间发生旋转。
本实施例中,所述载具1采用导热材质。在溅镀的过程中,使得放置在载具1上的物料4上的热量可以有效的传递至载具1,并能够通过载具1散掉,从而可以有效的避免物料4因温度过高而产生变形。优选地,载具1采用铝合金材质。
虽然已经通过例子对本申请的一些特定实施例进行了详细说明,但是本领域的技术人员应该理解,以上例子仅是为了进行说明,而不是为了限制本申请的范围。本领域的技术人员应该理解,可在不脱离本申请的范围和精神的情况下,对以上实施例进行修改。本申请的范围由所附权利要求来限定。
Claims (10)
1.一种溅镀工装,其特征在于,包括:
载具,所述载具上开设有容纳槽,所述容纳槽用于容纳物料,所述载具上设有第一磁体;
盖板,所述盖板上开设有容纳孔,物料的待溅镀区域通过所述容纳孔露出;
所述盖板能够被所述第一磁体吸附,并可拆卸的设于所述载具。
2.根据权利要求1所述的溅镀工装,其特征在于,所述容纳槽为多个,所述容纳孔为多个,所述容纳槽的数量小于或等于所述容纳孔的数量。
3.根据权利要求2所述的溅镀工装,其特征在于,所述盖板的厚度范围为0.5mm-2mm。
4.根据权利要求2所述的溅镀工装,其特征在于,所述载具上开设有凹槽,所述第一磁体设于所述凹槽的内部。
5.根据权利要求4所述的溅镀工装,其特征在于,所述凹槽为多个,每个所述凹槽内均设有所述第一磁体。
6.根据权利要求1所述的溅镀工装,其特征在于,所述第一磁体采用矩形磁铁。
7.根据权利要求1所述的溅镀工装,其特征在于,所述盖板采用具有磁性的不锈钢材质。
8.根据权利要求1所述的溅镀工装,其特征在于,所述盖板上设有第二磁体,所述第一磁体与所述第二磁体位置相对应,所述盖板与所述载具通过所述第一磁体与所述第二磁体磁吸安装。
9.根据权利要求1所述的溅镀工装,其特征在于,所述载具上设有第一定位部,所述盖板上设有第二定位部,所述第一定位部与所述第二定位部位置相配合。
10.根据权利要求1所述的溅镀工装,其特征在于,所述载具采用导热材质。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202322967393.0U CN221028643U (zh) | 2023-11-02 | 2023-11-02 | 一种溅镀工装 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202322967393.0U CN221028643U (zh) | 2023-11-02 | 2023-11-02 | 一种溅镀工装 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN221028643U true CN221028643U (zh) | 2024-05-28 |
Family
ID=91181635
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202322967393.0U Active CN221028643U (zh) | 2023-11-02 | 2023-11-02 | 一种溅镀工装 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN221028643U (zh) |
-
2023
- 2023-11-02 CN CN202322967393.0U patent/CN221028643U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA2317911A1 (en) | Magnetophoretic display panel | |
US20050284993A1 (en) | Mounting fixture for a peripheral device | |
JPS58164605U (ja) | 工作機械のホルダに装着可能な切削板受 | |
CN221028643U (zh) | 一种溅镀工装 | |
JP2003515370A5 (zh) | ||
US7310235B2 (en) | Computer enclosure | |
US5829622A (en) | Corrugated magnetic cover for electric utilities | |
CA2277402A1 (en) | A holding device for workpieces in the form of even metal sheets | |
TW200510227A (en) | Cassette for substrate | |
CN212791647U (zh) | 一种改进型手机主板通用点胶治具 | |
CN210670724U (zh) | 模块化印制电路板散热结构 | |
US20120023767A1 (en) | Layout positioning device | |
CN210274985U (zh) | 一种超薄型电子设备散热贴片 | |
US20120033358A1 (en) | Mounting apparatus for power supply | |
JPS6140066A (ja) | 太陽電池モジユ−ル支持装置 | |
CN202586634U (zh) | 马达及风扇 | |
JPH0632389Y2 (ja) | Icカードケース | |
JP4002049B2 (ja) | 移動体情報識別装置 | |
JPH02132908U (zh) | ||
CN220663333U (zh) | 磁石转载装置 | |
US20090039038A1 (en) | Office tool | |
CN215572703U (zh) | 一种基于多重防护装置的全自动影像测量仪 | |
CN214410905U (zh) | 框架结构和充磁设备 | |
CN212683718U (zh) | 一种电池保护板多方位定位装置 | |
CN212786100U (zh) | 一种定位治具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |