CN220984504U - 晶圆吸附装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆吸附装置，包括吸附本体，吸附本体包括位于吸附本体上相对两侧的第一面和第二面，第一面上设置有用于吸附晶圆的第一吸附部，第二面上设置有用于将吸附本体吸附在其他物体上的第二吸附部，吸附本体上设置有用于外接抽气设备的第一抽气口和第二抽气口，吸附本体内设置有第一气道和第二气道，第一气道连通第一吸附部和第一抽气口，第二气道连通第二吸附部和第二抽气口。本实用新型的晶圆吸附装置，吸附本体方便拆卸更换，吸附本体的安装只受均匀的吸附力，不受其他外力约束，在高温或者低温时不易产生内应力以及变形。

Description

晶圆吸附装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆吸附装置技术领域，特别涉及一种晶圆吸附装置。

背景技术

在探针台领域，载片吸盘需要针对不同晶圆测试进行更换，且长时间使用其电性能会有所变化，故需要定期更换；目前载片吸盘基本都是采用螺纹固定，为了保证表面的平整，螺丝都是从背面锁，导致拆卸不方便，需要先拆转接件才能拆除载片吸盘的固定螺丝，且螺丝固定易产生内部应力导致载片吸盘变形。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种晶圆吸附装置，解决了现有技术中的载片吸盘拆卸不方便，且容易变形的问题。

根据本实用新型实施例的晶圆吸附装置，包括吸附本体，所述吸附本体包括位于所述吸附本体上相对两侧的第一面和第二面，所述第一面上设置有用于吸附晶圆的第一吸附部，所述第二面上设置有用于将所述吸附本体吸附在其他物体上的第二吸附部，所述吸附本体上设置有用于外接抽气设备的第一抽气口和第二抽气口，所述吸附本体内设置有第一气道和第二气道，所述第一气道连通所述第一吸附部和所述第一抽气口，所述第二气道连通所述第二吸附部和所述第二抽气口。

根据本实用新型实施例的晶圆吸附装置，至少具有如下有益效果：

连接第二抽气口的抽气设备抽气，使得第二吸附部产生负压，吸附本体可以吸附在其他物体上，连接第一抽气口的抽气设备抽气，使得第一吸附部产生负压，使得吸附本体可以吸附晶圆，方便晶圆测试。当需要拆卸更换吸附本体时，使抽气设备停止工作，第二吸附部负压消失，即可将吸附本体从其他物体上拆卸下来，吸附本体方便拆卸更换，吸附本体的安装只受均匀的吸附力，不受其他外力约束，在高温或者低温时不易产生内应力以及变形。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一吸附部包括多个第一吸孔，多个所述第一吸孔连通所述第一气道。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二面上设置有第一吸槽，多个所述第一吸孔通过所述第一吸槽连通所述第一气道。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一吸槽包括第一圆槽段、第二圆槽段、第一弧槽段、第一连通段、第二连通段、多个第一直线段和多个第二直线段，所述第一圆槽段位于所述第二圆槽段内侧，所述第一弧槽段位于所述第二圆槽段外侧，所述第一连通段连通所述第一圆槽段和所述第二圆槽段，所述第二连通段连通所述第二圆槽段和所述第一弧槽段，多个所述第一直线段沿所述第二圆槽段的周向间隔设置，多个所述第一直线段连通所述第二圆槽段，多个所述第二直线段沿所述第一弧槽段的周向间隔设置，多个所述第二直线段连通所述第一弧槽段。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二吸附部包括第二吸槽，所述第二吸槽连通所述第二气道。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二吸槽包括第三圆槽段、第二弧槽段、第三连通段和多个第三直线段，所述第三圆槽段位于所述第二弧槽段外侧，所述第三连通段连通所述第三圆槽段和所述第二弧槽段，多个所述第三直线段沿所述第二弧槽段的周向间隔设置，多个所述第三直线段连通所述第二弧槽段。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一面上设置有第三吸附部，所述第三吸附部围绕所述第一吸附部设置，所述吸附本体内部设置有第三气道，所述吸附本体上设置有用于外接抽气设备的第三抽气口，所述第三气道连通所述第三吸附部和所述第三抽气口，所述第三吸附部用于配合所述第一吸附部同时工作吸附比所述第一吸附部吸附的晶圆的尺寸更大的晶圆。

所述第一吸附部单独工作时可以用来吸附6寸晶圆，所述第一吸附部和所述第三吸附部同时工作时可以用来吸附8寸晶圆。

根据本实用新型的一些实施例，所述晶圆吸附装置还包括用于外接抽气设备的第一气嘴、第二气嘴和第三气嘴，所述第一气嘴连接在所述第一抽气口处，所述第二气嘴连接在所述第二抽气口处，所述第三气嘴连接在所述第三抽气口处。

根据本实用新型的一些实施例，所述第三吸附部包括多个第二吸孔，多个所述第二吸孔围绕所述第一吸附部设置，多个所述第二吸孔连通所述第三气道。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二面上设置有第三吸槽，多个所述第二吸孔通过所述第三吸槽连通所述第三气道。

根据本实用新型的一些实施例，所述第三吸槽包括第三弧槽段和多个第四直线段，多个所述第四直线段沿所述第三弧槽段的周向间隔设置，多个所述第四直线段连通所述第三弧槽段。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一面上设置有多个用于定位所述吸附本体的方向的方向定位槽。

根据本实用新型的一些实施例，所述晶圆吸附装置还包括固定件，所述固定件用于将所述晶圆吸附装置安装在其他设备上，所述固定件上设置为用于供所述第二吸附部吸附的吸附面。

根据本实用新型的一些实施例，所述晶圆吸附装置还包括定位件，所述第二面上设置有第一定位槽，所述吸附面上有第二定位槽，所述定位件的两端分别伸入所述第一定位槽和所述第二定位槽。

根据本实用新型的一些实施例，所述吸附本体和所述固定件呈圆盘状，所述第一面与所述第二面位于所述吸附本体的两个端面上，所述第一抽气口、所述第二抽气口和所述第三抽气口位于所述吸附本体的侧壁上。所述吸附本体的侧壁上还设置有多个用于方便装夹所述吸附本体的第三定位槽。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：

图1为本实用新型一种实施例的晶圆吸附装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种实施例的晶圆吸附装置的吸附本体的结构示意图；

图3为本实用新型一种实施例的晶圆吸附装置的吸附本体的剖视图；

图4为本实用新型一种实施例的晶圆吸附装置的吸附本体的仰视图；

图5为本实用新型一种实施例的晶圆吸附装置的固定件的结构示意图；

图6为运动部件、晶圆吸附装置和晶圆的结构示意图。

附图标号：

100、吸附本体；110、第一面；111、方向定位槽；120、第二面；121、第一吸槽；1211、第一圆槽段；1212、第二圆槽段；1213、第一弧槽段；1214、第一连通段；1215、第二连通段；1216、第一直线段；1217、第二直线段；122、第三吸槽；1221、第三弧槽段；1222、第四直线段；123、第一定位槽；130、第一吸附部；131、第一吸孔；140、第二吸附部；141、第二吸槽；1411、第三圆槽段；1412、第二弧槽段；1413、第三连通段；1414、第三直线段；150、第一气道；151、第一抽气口；152、第一气嘴；153、第一连通孔；160、第二气道；161、第二抽气口；162、第二气嘴；163、第二连通孔；170、第三吸附部；171、第二吸孔；180、第三气道；181、第三抽气口；182、第三气嘴；183、第三连通孔；190、第三定位槽；

200、固定件；210、吸附面；211、第二定位槽；

300、运动部件；

400、晶圆。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1、图2和图3，本实用新型实施例的晶圆吸附装置，包括吸附本体100，吸附本体100包括第一面110和第二面120，第一面110和第二面120位于吸附本体100上相对两侧。第一面110上设置有第一吸附部130，第一吸附部130用于吸附晶圆400，第二面120上设置有第二吸附部140，第二吸附部140用于将吸附本体100吸附在其他物体上。吸附本体100上设置有第一抽气口151和第二抽气口161，第一抽气口151和第二抽气口161可以外接抽气设备。吸附本体100内设置有第一气道150和第二气道160，第一气道150连通第一吸附部130和第一抽气口151，第二气道160连通第二吸附部140和第二抽气口161。

连接第二抽气口161的抽气设备抽气，使得第二吸附部140产生负压，吸附本体100可以吸附在其他物体上，连接第一抽气口151的抽气设备抽气，使得第一吸附部130产生负压，使得吸附本体100可以吸附晶圆400，方便晶圆400测试。当需要拆卸更换吸附本体100时，使抽气设备停止工作，第二吸附部140负压消失，即可将吸附本体100从其他物体上拆卸下来，吸附本体100方便拆卸更换，吸附本体100的安装只受均匀的吸附力，不受其他外力约束，在高温或者低温时不易产生内应力以及变形。

在一些实施例中，参阅图1、图2和图3，第一吸附部130包括多个第一吸孔131，多个第一吸孔131连通第一气道150。连接第一抽气口151的抽气设备抽气，使得第一吸附部130产生负压，使得吸附本体100可以吸附晶圆400。设置第一吸附部130包括多个第一吸孔131，抽气设备工作时，每个第一吸孔131处都能产生负压，使得晶圆400可以稳定吸附在吸附本体100上，不易脱落。

在一些实施例中，参阅图1、图2和图3，第二面120上设置有第一吸槽121，多个第一吸孔131通过第一吸槽121连通第一气道150。多个第一吸孔131连通至第一吸槽121的底壁。在第二面120上设置第一吸槽121，第一吸槽121和多个第一吸孔131加工方便，可以将吸附本体100直接放置于铣床上加工出来第一吸槽121，再使用钻孔机在第一吸槽121底壁上钻出多个第一吸孔131。工作时，连接第二抽气口161的抽气设备抽气，使得第二吸附部140产生负压，吸附本体100吸附在其他物体上。连接第一抽气口151的抽气设备抽气，其他物体与第一吸槽121的合围空间形成通道，连通多个第一吸孔131和第一气道150，使得多个第一吸孔131处产生负压，使得吸附本体100可以吸附晶圆400。

在一些实施例中，参阅图1、图2、图3和图4，第一吸槽121包括第一圆槽段1211、第二圆槽段1212、第一弧槽段1213、第一连通段1214、第二连通段1215、多个第一直线段1216和多个第二直线段1217。第一圆槽段1211位于第二圆槽段1212内侧，第一弧槽段1213位于第二圆槽段1212外侧。第一连通段1214连通第一圆槽段1211和第二圆槽段1212，第二连通段1215连通第二圆槽段1212和第一弧槽段1213。多个第一直线段1216沿第二圆槽段1212的周向间隔设置，多个第一直线段1216连通第二圆槽段1212，多个第二直线段1217沿第一弧槽段1213的周向间隔设置，多个第二直线段1217连通第一弧槽段1213。

第一吸槽121包括由内而外依次设置且相连通的第一圆槽段1211、第二圆槽段1212和第一弧槽段1213，多个第一直线段1216连通第二圆槽段1212，多个第二直线段1217连通第一弧槽段1213，使得连通至第一吸槽121底壁的多个第一吸孔131在吸附本体100上排布均匀。连接第一抽气口151的抽气设备抽气，多个第一吸孔131处产生负压，使得晶圆400可以稳定吸附在吸附本体100上，不易脱落。

在一些实施例中，参阅图1、图2和图3，第二吸附部140包括第二吸槽141，第二吸槽141连通第二气道160。第二吸槽141位于第二面120上，加工方便。连接第二抽气口161的抽气设备抽气，使得第二吸槽141处产生负压，吸附本体100可以吸附在其他物体上。

在一些实施例中，参阅图1、图2、图3和图4，第二吸槽141包括第三圆槽段1411、第二弧槽段1412、第三连通段1413和多个第三直线段1414。第三圆槽段1411位于第二弧槽段1412外侧，第三连通段1413连通第三圆槽段1411和第二弧槽段1412。多个第三直线段1414沿第二弧槽段1412的周向间隔设置，多个第三直线段1414连通第二弧槽段1412。

第二弧槽段1412位于第二圆槽段1212外侧，第二弧槽段1412位于第一弧槽段1213内侧。第二吸槽141包括由内而外依次设置且相连通的第二弧槽段1412和第三圆槽段1411，多个第三直线段1414连通第二弧槽段1412，使得第二吸槽141在第二面120上分布均匀，连接第二抽气口161的抽气设备抽气，使得第二吸槽141处产生负压，吸附本体100可以更稳固的吸附在其他物体上。

在一些实施例中，参阅图1、图2和图3，第一面110上设置有第三吸附部170，第三吸附部170围绕第一吸附部130设置。吸附本体100内部设置有第三气道180，吸附本体100上设置有用于外接抽气设备的第三抽气口181，第三气道180连通第三吸附部170和第三抽气口181。第三吸附部170用于配合第一吸附部130同时工作吸附比第一吸附部130吸附的晶圆400的尺寸更大的晶圆400。使得吸附本体100可以吸附不同尺寸的晶圆400，当抽气设备连接第一抽气口151抽气时，可以吸附尺寸较小的晶圆400，当抽气设备同时连接第一抽气口151和第三抽气口181抽气时，可以吸附尺寸较大的晶圆400。

具体的，第一吸附部130单独工作时可以用来吸附6寸晶圆400，第一吸附部130和第三吸附部170同时工作时可以用来吸附8寸晶圆400。

在一些实施例中，参阅图1、图2和图3，晶圆吸附装置还包括第一气嘴152、第二气嘴162和第三气嘴182，第一气嘴152连接在第一抽气口151处，第二气嘴162连接在第二抽气口161处，第三气嘴182连接在第三抽气口181处。第一气嘴152、第二气嘴162和第三气嘴182用于外接抽气设备，连接第二气嘴162的抽气设备先工作，将吸附本体100吸附在其他物体上。当抽气设备连接第一气嘴152抽气时，可以吸附尺寸较小的晶圆400，当抽气设备同时连接第一气嘴152和第三气嘴182抽气时，可以吸附尺寸较大的晶圆400。

第一气道150与第一吸槽121通过第一连通孔153连通，第二气道160与第二吸槽141通过第二连通孔163连通，第三气道180与第三吸槽122通过第三连通孔183连通。

在一些实施例中，参阅图1、图2和图3，第三吸附部170包括多个第二吸孔171，多个第二吸孔171围绕第一吸附部130设置，多个第二吸孔171连通第三气道180。连接第三抽气口181的抽气设备抽气，使得第三吸附部170产生负压，使得吸附本体100可以吸附晶圆400。设置第三吸附部170包括多个第二吸孔171，抽气设备工作时，每个第二吸孔171处都能产生负压，使得晶圆400可以稳定吸附在吸附本体100上，不易脱落。

在一些实施例中，参阅图1、图2和图3，第二面120上设置有第三吸槽122，多个第二吸孔171通过第三吸槽122连通第三气道180。在第二面120上设置第三吸槽122，第三吸槽122和多个第二吸孔171加工方便。工作时，连接第二抽气口161的抽气设备抽气，使得第二吸附部140产生负压，吸附本体100吸附在其他物体上。连接第三抽气口181的抽气设备抽气，其他物体与第三吸槽122的合围空间形成通道，连通多个第二吸孔171和第三气道180，使得多个第二吸孔171处产生负压，使得吸附本体100可以吸附晶圆400。

在一些实施例中，参阅图1、图2、图3和图4，第三吸槽122包括第三弧槽段1221和多个第四直线段1222，多个第四直线段1222沿第三弧槽段1221的周向间隔设置，多个第四直线段1222连通第三弧槽段1221。使得与第三吸槽122连通的第二吸孔171排布均匀，使得第二吸孔171吸附晶圆400时更加稳固。

在一些实施例中，第一面110上设置有多个方向定位槽111，方向定位槽111用于定位吸附本体100的方向，使得吸附本体100可以按预设位置吸附安装在其他物体上，方便指引后续工作。

在一些实施例中，参阅图1、图2、图5和图6，晶圆吸附装置还包括固定件200，固定件200用于将晶圆吸附装置安装在其他设备上，固定件200上设置为吸附面210，吸附面210用于供第二吸附部140吸附。吸附面210为光滑平面，连接第二抽气口161的抽气设备抽气，使得第二吸槽141处产生负压，吸附本体100可以吸附在吸附面210上。

固定件200可以固定安装在运动部件300上，吸附本体100吸附在固定件200上，运动部件300能够通过固定件200带动吸附本体100移动，进而带动位于吸附本体100上的晶圆400移动完成测试。

在一些实施例中，参阅图1、图2、图5和图6，晶圆吸附装置还包括定位件，第二面120上设置有第一定位槽123，吸附面210上有第二定位槽211，定位件的两端分别伸入第一定位槽123和第二定位槽211。定位件可以是定位键，第一定位槽123与第一吸槽121、第二吸槽141和第三吸槽122错开设置。通过设置定位键与第一定位槽123和第二定位槽211定位连接，保障吸附本体100与固定件200的定位连接。

在一些实施例中，参阅图1、图2和图3，吸附本体100和固定件200呈圆盘状，第一面110与第二面120位于吸附本体100的两个端面上，第一抽气口151、第二抽气口161和第三抽气口181位于吸附本体100的侧壁上。吸附本体100的侧壁上还设置有多个第三定位槽190，多个第三定位槽190用于方便装夹吸附本体100。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种晶圆吸附装置，其特征在于，包括吸附本体，所述吸附本体包括位于所述吸附本体上相对两侧的第一面和第二面，所述第一面上设置有用于吸附晶圆的第一吸附部，所述第二面上设置有用于将所述吸附本体吸附在其他物体上的第二吸附部，所述吸附本体上设置有用于外接抽气设备的第一抽气口和第二抽气口，所述吸附本体内设置有第一气道和第二气道，所述第一气道连通所述第一吸附部和所述第一抽气口，所述第二气道连通所述第二吸附部和所述第二抽气口。

2.根据权利要求1所述的晶圆吸附装置，其特征在于，所述第一吸附部包括多个第一吸孔，多个所述第一吸孔连通所述第一气道。

3.根据权利要求2所述的晶圆吸附装置，其特征在于，所述第二面上设置有第一吸槽，多个所述第一吸孔通过所述第一吸槽连通所述第一气道。

4.根据权利要求3所述的晶圆吸附装置，其特征在于，所述第一吸槽包括第一圆槽段、第二圆槽段、第一弧槽段、第一连通段、第二连通段、多个第一直线段和多个第二直线段，所述第一圆槽段位于所述第二圆槽段内侧，所述第一弧槽段位于所述第二圆槽段外侧，所述第一连通段连通所述第一圆槽段和所述第二圆槽段，所述第二连通段连通所述第二圆槽段和所述第一弧槽段，多个所述第一直线段沿所述第二圆槽段的周向间隔设置，多个所述第一直线段连通所述第二圆槽段，多个所述第二直线段沿所述第一弧槽段的周向间隔设置，多个所述第二直线段连通所述第一弧槽段。

5.根据权利要求1所述的晶圆吸附装置，其特征在于，所述第二吸附部包括第二吸槽，所述第二吸槽连通所述第二气道。

6.根据权利要求5所述的晶圆吸附装置，其特征在于，所述第二吸槽包括第三圆槽段、第二弧槽段、第三连通段和多个第三直线段，所述第三圆槽段位于所述第二弧槽段外侧，所述第三连通段连通所述第三圆槽段和所述第二弧槽段，多个所述第三直线段沿所述第二弧槽段的周向间隔设置，多个所述第三直线段连通所述第二弧槽段。

7.根据权利要求1所述的晶圆吸附装置，其特征在于，所述第一面上设置有第三吸附部，所述第三吸附部围绕所述第一吸附部设置，所述吸附本体内部设置有第三气道，所述吸附本体上设置有用于外接抽气设备的第三抽气口，所述第三气道连通所述第三吸附部和所述第三抽气口，所述第三吸附部用于配合所述第一吸附部同时工作吸附比所述第一吸附部吸附的晶圆的尺寸更大的晶圆。

8.根据权利要求1所述的晶圆吸附装置，其特征在于，所述第一面上设置有多个用于定位所述吸附本体的方向的方向定位槽。

9.根据权利要求1所述的晶圆吸附装置，其特征在于，还包括固定件，所述固定件用于将所述晶圆吸附装置安装在其他设备上，所述固定件上设置为用于供所述第二吸附部吸附的吸附面。

10.根据权利要求9所述的晶圆吸附装置，其特征在于，还包括定位件，所述第二面上设置有第一定位槽，所述吸附面上有第二定位槽，所述定位件的两端分别伸入所述第一定位槽和所述第二定位槽。