CN220977225U - 一种高温高压晶体生长高温炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高温高压晶体生长高温炉，涉及高温炉领域，包括高温炉本体和密封盖板，高温炉本体与密封盖板的外侧设置有第二法兰，高温炉本体的外侧设置有降温机构，高温炉本体的外侧还设置有调整机构，述降温机构包括固定连接在高温炉本体外侧的保温管，保温管的一端固定连接有第一连通管，改善了现有大多数高温炉进行水冷降温时，需要采用大量的水资源，不仅会增加水资源的消耗，并且会因大量水资源的存储占用大量的空间的问题，本装置中高温炉本体的外侧设置有降温机构，降温机构的设置，使得当高温炉本体在使用后需要进行降温时，不仅能够顺利的通过水源进行降温，并且降温时能够减少水资源的消耗。

Description

一种高温高压晶体生长高温炉

技术领域

本实用新型涉及高温炉技术领域，更具体地说，涉及一种高温高压晶体生长高温炉。

背景技术

晶体生长高温炉是一种用于高温下进行材料生长的设备，通常，这些设备使用的是电阻加热或电弧加热等方法，可以在高温下使材料熔化，并通过控制温度梯度来控制材料的结晶过程，常见的晶体生长高温炉包括布里奇曼炉、高频感应炉、定向凝固炉等，其中，布里奇曼炉是一种使用预制材料的设备，通过缓慢地下降材料来控制温度梯度，从而在高温下形成单晶。

公开号为CN202482484U的实用新型，公开了一种晶体生长炉，包括有固定于底座上的炉体，炉体的内部设有晶体生长模具，炉体的外壁上设有多级台阶，其中一级台阶的台阶面上设有开孔并安装有透明视窗，透明视窗位于晶体生长模具的上方，炉体的上端设有开口并安装有保温罩。本实用新型结构合理，观察窗的位置由炉体的正面改为炉体外壁的台阶面上，在不影响观察效果的前提下，观察窗的位置远离炉内核心高温区，并配合保温罩使用，有效减少了炉内热量的散失，保证了炉内温场的均匀性和稳定性。

对于上述方案，本申请人认为，上述方案虽能够实现观察窗的设置不易影响到炉内温度的情况，但现有大多数情况下高温炉在使用后往往需要进行冷却，并通过降温使高温炉内侧的晶体能够顺利生长，因此一般采用风冷或水冷的降温方式，实现对高温炉的降温，但现有大多数高温炉进行水冷降温时，需要采用大量的水资源，不仅会增加水资源的消耗，并且会因大量水资源的存储占用大量的空间。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种高温高压晶体生长高温炉，它可有效的解决现有大多数高温炉进行水冷降温时，需要采用大量的水资源，不仅会增加水资源的消耗，并且会因大量水资源的存储占用大量的空间的问题。

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案：

一种高温高压晶体生长高温炉，包括高温炉本体和密封盖板，所述高温炉本体与所述密封盖板的外侧设置有第二法兰，所述高温炉本体的外侧设置有降温机构，所述高温炉本体的外侧还设置有调整机构。

作为本实用新型的一种优选方案，所述降温机构包括固定连接在所述高温炉本体外侧的保温管，所述保温管的一端固定连接有第一连通管，所述第一连通管的一端固定连接有水箱，所述水箱的一侧固定连接有水泵，且所述水泵设置在所述第一连通管的外侧，所述第一连通管的两端分别与所述保温管和所述水箱相连通，所述保温管的另一端固定连接有第二连通管，所述第二连通管的一端固定连接有连接箱体，所述第二连通管的外侧设置有第一单向阀，所述连接箱体的下侧固定连接有第三连通管，且所述第三连通管的两端分别贯穿所述连接箱体和水箱，所述保温管的外侧固定连接有防护板。

作为本实用新型的一种优选方案，所述调整机构包括设置在所述高温炉本体一侧的气体瓶，所述气体瓶的上侧设置有进气管，所述进气管与所述气体瓶之间设置有第一法兰，所述进气管的外侧设置有气泵，所述进气管的一端贯穿所述高温炉本体，所述高温炉本体的内部固定连接有出气管，所述出气管的一端贯穿所述高温炉本体，所述出气管的外侧设置有第一阀体。

作为本实用新型的一种优选方案，所述水箱的上侧通过合页活动铰接有第一铰轴门板，所述第一连通管的外侧设置有第二单向阀，且所述第二单向阀设置在所述水泵远离所述水箱的一侧。

作为本实用新型的一种优选方案，所述水箱的内部开设有安装槽，所述水箱位于所述安装槽的内部固定连接有半导体制冷片。

作为本实用新型的一种优选方案，所述第二连通管的外侧固定连接有连接块，所述连接块的上侧固定连接有放置块。

作为本实用新型的一种优选方案，所述出气管的一端设置有闭合环块，所述连接箱体的下侧固定连接有加固板，且所述加固板与所述水箱之间固定连接，所述连接箱体的上侧固定连接有排气管，所述排气管与所述连接箱体之间相互连通，所述排气管的上侧设置有第二阀体。

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

1.本装置中高温炉本体的外侧设置有降温机构，降温机构的设置，使得当高温炉本体在使用后需要进行降温时，不仅能够顺利的通过水源进行降温，并且降温时能够减少水资源的消耗。

2.本装置中调整机构的设置，能够有效的对高温炉本体内部的空气进行调整，使高温炉本体内部的含氧量能够根据需要进行降低，从而增加晶体生长时的纯净度和质量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的剖视结构示意图；

图3为本实用新型实施例中连接箱体的剖视结构示意图；

图4为本实用新型实施例中保温管的结构示意图；

图5为本实用新型图3中A处的放大结构示意图；

图6为本实用新型图3中B处的放大结构示意图。

图中标号说明：

1、高温炉本体；2、密封盖板；31、保温管；32、第一连通管；33、水泵；34、水箱；35、第二连通管；36、连接箱体；38、第三连通管；39、第一单向阀；41、第二单向阀；42、第一铰轴门板；5、加固板；61、气体瓶；62、进气管；63、气泵；64、出气管；65、第一阀体；7、第一法兰；81、连接块；82、放置块；9、防护板；10、第二法兰；12、排气管；131、安装槽；132、半导体制冷片；15、闭合环块；16、第二阀体。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

请参阅图1-6，一种高温高压晶体生长高温炉，包括高温炉本体1和密封盖板2，高温炉本体1与密封盖板2的外侧设置有第二法兰10，高温炉本体1可通过第二法兰10对密封盖板2起到安装和固定的作用，而密封盖板2则可对高温炉本体1起到闭合和密封的作用，使得高温炉本体1在使用时能够足够密封，高温炉本体1在使用时可通过内部的高温与高压，实现对晶体的生长，高温炉本体1的外侧设置有降温机构，高温炉本体1的外侧还设置有调整机构，降温机构的设置，使得当高温炉本体1在使用后需要进行降温时，不仅能够顺利的通过水源进行降温，并且降温时能够减少水资源的消耗，同时调整机构的设置，能够有效的对高温炉本体1内部的空气进行调整，使高温炉本体1内部的含氧量能够根据需要进行降低，从而增加晶体生长时的纯净度和质量。

具体的，降温机构包括固定连接在高温炉本体1外侧的保温管31，保温管31的一端固定连接有第一连通管32，第一连通管32的一端固定连接有水箱34，水箱34的一侧固定连接有水泵33，且水泵33设置在第一连通管32的外侧，第一连通管32的两端分别与保温管31和水箱34相连通，保温管31的内部可添加用于保温的水源，当保温管31的内部被添加水源后，水源可对高温炉本体1所散发的热量进行一定的吸附，从而实现降温的作用，同时保温管31可通过第一连通管32与水箱34相连接，第一连通管32与水箱34的设置，可保持保温管31内部水源的流通，从而增加水源对高温炉本体1的降温效果，而水箱34内部则可用于存储备用水源，并通过水泵33的运作，将水源添加至保温管31的内部。

具体的，保温管31的另一端固定连接有第二连通管35，第二连通管35的一端固定连接有连接箱体36，第二连通管35的外侧设置有第一单向阀39，第一单向阀39的设置，连接箱体36的设置使得第二连通管35内部的水源能够顺利的流入至水箱34的内部，并且第一单向阀39的设置，使得连接箱体36内部的水源不易逆流至第二连通管35的内部，连接箱体36的下侧固定连接有第三连通管38，且第三连通管38的两端分别贯穿连接箱体36和水箱34，第三连通管38的设置，使得连接箱体36内部的水源将会顺利的重新的流入至水箱34的内部，并再次通过第一连通管32流入至保温管31的内部，实现水源降温的作用，防护板9则可对保温管31起到防护作用，减少保温管31日常使用发生损坏的可能性。

具体的，调整机构包括设置在高温炉本体1一侧的气体瓶61，气体瓶61的上侧设置有进气管62，进气管62与气体瓶61之间设置有第一法兰7，进气管62的外侧设置有气泵63，进气管62与高温炉本体1的内部相连通，而气体瓶61可通过进气管62与高温炉本体1的内部相连通，气体瓶61可通过气泵63的运作向高温炉本体1的内添加惰性气体，惰性气体可根据晶体的种类进行选择，例如：氮气、氩气等，进气管62的一端贯穿高温炉本体1，高温炉本体1的内部固定连接有出气管64，出气管64的一端贯穿高温炉本体1，出气管64的外侧设置有第一阀体65，高温炉本体1的内部在被气体瓶61添加惰性气体时，高温炉本体1内部原本的空气将会通过出气管64排出，从而实现降低高温炉本体1内部氧气的效果，同时第一阀体65能够对出气管64起到一定的闭合作用，使得外部空气不易通过出气管64进入到高温炉本体1的内部。

具体的，水箱34的上侧通过合页活动铰接有第一铰轴门板42，第一铰轴门板42的设置可方便工作人员们对水箱34的内部添加水源，第一连通管32的外侧设置有第二单向阀41，且第二单向阀41设置在水泵33远离水箱34的一侧，第二单向阀41的设置，使得保温管31的内部的水源不易逆流至水箱34的内部。

具体的，水箱34的内部开设有安装槽131，水箱34位于安装槽131的内部固定连接有半导体制冷片132，水箱34可通过安装槽131对半导体制冷片132起到安装和固定的作用，而半导体制冷片132则可对水箱34内部所存储的备用水源起到降温的作用，从而使得水箱34内部的水源在流入至保温管31的内部后，降温效果能够更好。

具体的，第二连通管35的外侧固定连接有连接块81，连接块81的上侧固定连接有放置块82，第二连通管35可通过连接块81对放置块82起到安装和固定的作用，而放置块82的内部则可添加吸热水源，当水箱34内部吸附热量后的水源在流入至第二连通管35的内部后，第二连通管35自身温度会因水源的高温而逐渐升高，这时放置块82内部所添加的水源则可起到换热、吸附的作用，从而使得部分热量能够被后续加以利用。

具体的，出气管64的一端设置有闭合环块15，闭合环块15可对出气管64起到闭合作用，使得出气管64的内部不易堆积灰尘，连接箱体36的下侧固定连接有加固板5，且加固板5与水箱34之间固定连接，加固板5可通过自身与水箱34和连接箱体36之间的连接，对连接箱体36起到支撑和加固的作用，使得连接箱体36在使用时不易发生倒塌、倾斜，连接箱体36的上侧固定连接有排气管12，排气管12与连接箱体36之间相互连通，排气管12的上侧设置有第二阀体16，排气管12的设置使得当用于降温的水源在因高温影响而导致自身温度过高产生水汽时，连接箱体36内部的水汽能够及时的通过排气管12排出，不易堆积在连接箱体36的内部而导致连接箱体36内部的气压升高，从而降低了因连接箱体36内部气压过高而发生危险的可能性，第二阀体16则可对排气管12的使用、开合起到控制作用。

本实用新型的工作原理及使用流程：本装置在使用时工作人员可先启动气泵63，通过气泵63的运作将气体瓶61内部的惰性气体添加至高温炉本体1的内部，降低高温炉本体1内部的含氧量，当惰性气体添加完成后工作人员即可通过密封盖板2将高温炉本体1进行闭合、密封。

在此之后工作人员可使用高温炉本体1实现对晶体的生长，之后当高温炉本体1在需要降温时，工作人员可启动水泵33，通过水泵33的运作将水箱34内部的水源泵入至保温管31的内部，并通过保温管31实现对高温炉本体1热量的吸附，以及对高温炉本体1的降温，而当吸附后的水源在通过第二连通管35流入至连接箱体36的内部后，会通过第三连通管38重新流入至水箱34的内部，并通过半导体制冷片132进行进一步的降温，而降温后的水源将再次通过水泵33流入至保温管31的内部，再次实现对高温炉本体1的降温，至此即可解决现有大多数高温炉进行水冷降温时，需要采用大量的水资源，不仅会增加水资源的消耗，并且会因大量水资源的存储占用大量的空间的问题。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (7)

1.一种高温高压晶体生长高温炉，包括高温炉本体(1)和密封盖板(2)，其特征在于：所述高温炉本体(1)与所述密封盖板(2)的外侧设置有第二法兰(10)，所述高温炉本体(1)的外侧设置有降温机构，所述高温炉本体(1)的外侧还设置有调整机构。

2.根据权利要求1所述的一种高温高压晶体生长高温炉，其特征在于：所述降温机构包括固定连接在所述高温炉本体(1)外侧的保温管(31)，所述保温管(31)的一端固定连接有第一连通管(32)，所述第一连通管(32)的一端固定连接有水箱(34)，所述水箱(34)的一侧固定连接有水泵(33)，且所述水泵(33)设置在所述第一连通管(32)的外侧，所述第一连通管(32)的两端分别与所述保温管(31)和所述水箱(34)相连通，所述保温管(31)的另一端固定连接有第二连通管(35)，所述第二连通管(35)的一端固定连接有连接箱体(36)，所述第二连通管(35)的外侧设置有第一单向阀(39)，所述连接箱体(36)的下侧固定连接有第三连通管(38)，且所述第三连通管(38)的两端分别贯穿所述连接箱体(36)和水箱(34)，所述保温管(31)的外侧固定连接有防护板(9)。

3.根据权利要求2所述的一种高温高压晶体生长高温炉，其特征在于：所述调整机构包括设置在所述高温炉本体(1)一侧的气体瓶(61)，所述气体瓶(61)的上侧设置有进气管(62)，所述进气管(62)与所述气体瓶(61)之间设置有第一法兰(7)，所述进气管(62)的外侧设置有气泵(63)，所述进气管(62)的一端贯穿所述高温炉本体(1)，所述高温炉本体(1)的内部固定连接有出气管(64)，所述出气管(64)的一端贯穿所述高温炉本体(1)，所述出气管(64)的外侧设置有第一阀体(65)。

4.根据权利要求2所述的一种高温高压晶体生长高温炉，其特征在于：所述水箱(34)的上侧通过合页活动铰接有第一铰轴门板(42)，所述第一连通管(32)的外侧设置有第二单向阀(41)，且所述第二单向阀(41)设置在所述水泵(33)远离所述水箱(34)的一侧。

5.根据权利要求2所述的一种高温高压晶体生长高温炉，其特征在于：所述水箱(34)的内部开设有安装槽(131)，所述水箱(34)位于所述安装槽(131)的内部固定连接有半导体制冷片(132)。

6.根据权利要求2所述的一种高温高压晶体生长高温炉，其特征在于：所述第二连通管(35)的外侧固定连接有连接块(81)，所述连接块(81)的上侧固定连接有放置块(82)。

7.根据权利要求3所述的一种高温高压晶体生长高温炉，其特征在于：所述出气管(64)的一端设置有闭合环块(15)，所述连接箱体(36)的下侧固定连接有加固板(5)，且所述加固板(5)与所述水箱(34)之间固定连接，所述连接箱体(36)的上侧固定连接有排气管(12)，所述排气管(12)与所述连接箱体(36)之间相互连通，所述排气管(12)的上侧设置有第二阀体(16)。