CN220944838U - 一种cmp抛光机台上的磨液配液机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种CMP抛光机台上的磨液配液机构，包括底板和安装在底板上方的电控装置和配液装置；电控装置与配液装置通过电信号连接；配液装置包括配液箱组件和至少两组配液管道组件；配液箱组件包括外桶、内桶、冷却盘管和液位传感器；外桶固定在底板上；内桶固定在外桶内侧；冷却盘管安装在外桶与内桶之间；冷却盘管的冷却进液口与冷却出液口分别从外桶的一侧伸出；内桶的上端设有盖板；液位传感器安装在盖板上；盖板上还安装有磨液输入管道接口、磨液输出管道接口和配比液管道接口；配液管道组件包括蠕动泵、配液管和流量计；本设计可自行设定比例自动配液混合，效率高，精准，而且带有冷却盘管可对循环使用的磨液进行冷却至使用要求。
Description
技术领域
本实用新型涉及抛光机配液装置技术领域，特别涉及一种CMP抛光机台上的磨液配液机构。
背景技术
目前的CMP抛光机台上，产品的研磨需要借助研磨液来促进工件的研磨效果，而研磨液需要人工进行配比，人工配液效率低下，而且配置比例调节不够精确；另外研磨在使用后，还需回收循环使用，而回收后的研磨液温度较高，因此还需对其进行冷却，目前还没有一套装置来实现自动配液与循环使用的功能。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种CMP抛光机台上的研磨配液装置以解决背景技术中提及问题。
为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种CMP抛光机台上的磨液配液机构，包括底板和安装在底板上方的电控装置和配液装置；所述电控装置与配液装置通过电信号连接；所述配液装置包括配液箱组件和至少两组配液管道组件；所述配液箱组件包括外桶、内桶、冷却盘管和液位传感器；所述外桶固定在底板上；所述内桶固定在外桶内侧；所述冷却盘管安装在外桶与内桶之间；所述冷却盘管的冷却进液口与冷却出液口分别从外桶的一侧伸出；所述内桶的上端设有盖板；所述液位传感器安装在盖板上；所述盖板上还安装有磨液输入管道接口、磨液输出管道接口和配比液管道接口；所述配液管道组件包括蠕动泵、配液管和流量计；所述配液管的配液输出口与配比液管道接口连接；所述蠕动泵通过支架安装在底板上且与配液管连接；所述流量计安装在配液管一侧且位于蠕动泵与配液输出口之间。
对本实用新型的进一步描述，所述配液管道组件设置三组；所述配比液管道接口对应设置三个。
对本实用新型的进一步描述，所述电控装置包括电箱、连接管和控制面板；所述电箱的底部通过塑胶垫块安装在底板上；所述控制面板通过连接管安装在电箱上方。
对本实用新型的进一步描述，所述液位传感器为超声波液位传感器。
对本实用新型的进一步描述，所述盖板的中部位置处预留有搅拌机安装位。
对本实用新型的进一步描述，所述底板的底部安装有脚轮。
本实用新型的有益效果为：
本设计中每一组配液管道组件中的配液管均与一种配液备料箱连接，通过蠕动泵控制配液备料箱中的配液输入至内桶中，并通过流量计进行流量检测，在电控装置上根据实际配液需求，按照设定比例控制配液管道组件将配液分别送入内桶中进行混合，即可完成研磨液的配置，该方式控制更精准，配置效率高；磨液输出管道接口与磨液输出管道连接，将磨液输出供机台使用，磨液输入管道接口连接磨液输入管道，将使用后的磨液回收至内桶中循环使用；冷却盘管与外部冷却机连接，输入冷却液从而可以控制磨液的温度；液位传感器则实时检测内桶中的磨液液位变化，过低或过高时发出警报。
附图说明
图1是本实用新型的整体结构图；
图2是本实用新型配液箱组件的半剖图；
图3是本实用新型其中一组液管道组件的结构图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型进行进一步说明：
如图1-3所示，一种CMP抛光机台上的磨液配液机构，包括底板1和安装在底板1上方的电控装置2和配液装置3；所述电控装置2与配液装置3通过电信号连接；所述配液装置3包括配液箱组件31和至少两组配液管道组件32；所述配液箱组件31包括外桶311、内桶312、冷却盘管313和液位传感器314；所述外桶311固定在底板1上；所述内桶312固定在外桶311内侧；所述冷却盘管313安装在外桶311与内桶312之间；所述冷却盘管313的冷却进液口3131与冷却出液口3132分别从外桶311的一侧伸出；所述内桶312的上端设有盖板3121；所述液位传感器314安装在盖板3121上；所述盖板3121上还安装有磨液输入管道接口3122、磨液输出管道接口3123和配比液管道接口3124；所述配液管道组件32包括蠕动泵321、配液管322和流量计323；所述配液管322的配液输出口与配比液管道接口3124连接；所述蠕动泵321通过支架安装在底板1上且与配液管322连接；所述流量计323安装在配液管322一侧且位于蠕动泵321与配液输出口之间；本设计中每一组配液管道组件32中的配液管322均与一种配液备料箱连接，通过蠕动泵321控制配液备料箱中的配液输入至内桶312中，并通过流量计323进行流量检测，在电控装置2上根据实际配液需求，按照设定比例控制配液管道组件32将配液分别送入内桶312中进行混合，即可完成研磨液的配置，该方式控制更精准，配置效率高；磨液输出管道接口3123与磨液输出管道连接，将磨液输出供机台使用，磨液输入管道接口3122连接磨液输入管道，将使用后的磨液回收至内桶312中循环使用；冷却盘管313与外部冷却机连接，输入冷却液从而可以控制磨液的温度；液位传感器314则实时检测内桶312中的磨液液位变化，过低或过高时发出警报。
本设计中所述配液管道组件32设置三组；所述配比液管道接口3124对应设置三个。
所述电控装置2包括电箱21、连接管22和控制面板23；所述电箱21的底部通过塑胶垫块安装在底板1上；所述控制面板23通过连接管22安装在电箱21上方，在控制面板23上设置每种配比液的比例以及抽取速率，设置好后，在控制面板23上按下启动按钮，则控制各蠕动泵321工作，开始磨液的配置。
所述液位传感器314为超声波液位传感器，可精准检测内桶312中的液位高度。
所述盖板3121的中部位置处预留有搅拌机安装位3125，可在搅拌机安装位3125中加装搅拌机，对内桶312中的磨液进行搅拌，使得配液过程中各配液混合更均匀。
所述底板1的底部安装有脚轮11，方便移动位置。
以上所述并非对本新型的技术范围作任何限制，凡依据本实用新型技术实质对以上的实施例所作的任何修改、等同变化与修饰，均仍属于本新型的技术方案的范围内。
Claims (6)
1.一种CMP抛光机台上的磨液配液机构，其特征在于：包括底板和安装在底板上方的电控装置和配液装置；所述电控装置与配液装置通过电信号连接；所述配液装置包括配液箱组件和至少两组配液管道组件；所述配液箱组件包括外桶、内桶、冷却盘管和液位传感器；所述外桶固定在底板上；所述内桶固定在外桶内侧；所述冷却盘管安装在外桶与内桶之间；所述冷却盘管的冷却进液口与冷却出液口分别从外桶的一侧伸出；所述内桶的上端设有盖板；所述液位传感器安装在盖板上；所述盖板上还安装有磨液输入管道接口、磨液输出管道接口和配比液管道接口；所述配液管道组件包括蠕动泵、配液管和流量计；所述配液管的配液输出口与配比液管道接口连接；所述蠕动泵通过支架安装在底板上且与配液管连接；所述流量计安装在配液管一侧且位于蠕动泵与配液输出口之间。
2.根据权利要求1所述的一种CMP抛光机台上的磨液配液机构，其特征在于：所述配液管道组件设置三组；所述配比液管道接口对应设置三个。
3.根据权利要求1所述的一种CMP抛光机台上的磨液配液机构，其特征在于：所述电控装置包括电箱、连接管和控制面板；所述电箱的底部通过塑胶垫块安装在底板上；所述控制面板通过连接管安装在电箱上方。
4.根据权利要求1所述的一种CMP抛光机台上的磨液配液机构，其特征在于：所述液位传感器为超声波液位传感器。
5.根据权利要求1所述的一种CMP抛光机台上的磨液配液机构，其特征在于：所述盖板的中部位置处预留有搅拌机安装位。
6.根据权利要求1所述的一种CMP抛光机台上的磨液配液机构，其特征在于：所述底板的底部安装有脚轮。
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