CN220934023U - 一种应用于半导体传输系统的晶圆盒读取装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种应用于半导体传输系统的晶圆盒读取装置，涉及半导体设备技术领域，至少包括第一天车轨道、第二天车轨道、第一天车、第二天车、天车口，所述第一天车轨道位于所述第二天车轨道上方，所述第一天车在所述第一天车轨道上将第一晶圆盒运输至所述天车口，所述第二天车在所述第二天车轨道上将第二晶圆盒运输至所述天车口；所述天车口具有位于读取工位的第一承载盘，所述第一承载盘底部或旁侧设有第一读取装置和第二读取装置，保障了晶圆盒标识及时且准确的读取，提高了晶圆盒标识信息读取效率。

Description

一种应用于半导体传输系统的晶圆盒读取装置

技术领域

本申请涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种应用于半导体传输系统的晶圆盒读取装置。

背景技术

在半导体制造领域，为了能够使晶圆片经过众多加工工艺后成为所需的芯片，需要用到OHT(Overhead Hoist Transport，天车)对装满晶圆片的晶圆盒在各处理机台或存储装置之间进行搬运；并需要用到Stocker(存储库)对大量等待进行下一工艺处理的晶圆片，进行存储并净化处理；当晶圆盒需要存储到存储库时，需要携带有晶圆盒的天车通过与存储库的天车口进行对接，并且需要在入库前对晶圆盒携带的标签标识(如ID信息等)进行识别并记录，进而满足工序要求地将晶圆盒存入存储库中，当晶圆盒需要取下一个工艺流程进行加工时，天车需要从存储库取走该晶圆盒并搬运至下一加工机台。

当前天车搬运物品使所依赖的空中轨道在不断的发展中，由于频繁处理晶圆片的处理装置，其上方的空中轨道上的小车总是排队，等待和该处理装置对接晶圆盒，为了解决上述问题，需要对轨道进行优化，通过开发一种不同高度的多层轨道来提高晶圆盒运输效率，以满足更高的生产需求。同时，由于目前晶圆盒读取装置一般设于天车口固定位置，用于读取单层单向(晶圆盒一般是正面朝向放置)轨道天车运送的晶圆盒标识信息，尤其对于不同朝向放置的多层天车轨道的复杂场景，需要相应地改进晶圆盒标识读取装置设计。

实用新型内容

有鉴于此，本说明书实施例提供了一种晶圆盒读取装置，应用于半导体传输系统的不同层天车运输轨道运送不同晶圆盒的复杂场景，实现了及时且准确的读取晶圆盒标识，提高了晶圆盒标识信息读取效率。

本说明书实施例提供以下技术方案：

提供一种应用于半导体传输系统的晶圆盒读取装置，所述半导体传输系统包括，存放晶圆盒的存储库、第一天车、第二天车，以及供天车运行的第一天车轨道和第二天车轨道；

所述存储库上设置有天车口；

所述第一天车轨道位于所述第二天车轨道上方，所述第一天车在所述第一天车轨道上将第一晶圆盒运输至所述天车口，所述第二天车在所述第二天车轨道上将第二晶圆盒运输至所述天车口；

其特征在于，所述晶圆盒读取装置，包括：第一读取装置和第二读取装置，所述第一读取装置和所述第二读取装置设置在所述天车口读取工位的第一承载盘底部或旁侧；

当所述第一晶圆盒被所述第一天车运输至所述天车口后置于所述第一承载盘上时，所述第一晶圆盒的第一读取标识与所述第一读取装置的位置对应，当所述第二晶圆盒被所述第二天车运输至所述天车口后置于所述第一承载盘上时，所述第二晶圆盒的第二读取标识与所述第二读取装置的位置对应，其中，所述第一晶圆盒放置于所述天车口时所述第一晶圆盒的第一表面朝向存储库，所述第二晶圆盒放置于所述天车口时所述第二晶圆盒的第一表面背离所述存储库。

在一些实施例中，所述第一读取标识位于所述第一晶圆盒的第二表面底部，所述第一读取装置位于所述第一承载盘的底部且靠近所述第一晶圆盒的第二表面底部的位置，使得所述第一晶圆盒的所述第一读取标识与所述第一读取装置的第一读取部对应；

或者，

所述第一读取标识位于所述第一晶圆盒的第二表面底部，所述第一读取装置位于所述天车口的支撑面板且靠近所述第一晶圆盒的第二表面底部的位置，使得所述第一晶圆盒的所述第一读取标识与所述第一读取装置的第一读取部对应。

在一些实施例中，所述第二读取标识位于所述第二晶圆盒的第二表面底部，所述第二读取装置位于所述天车口的支撑面板且靠近所述第二晶圆盒的第二表面底部的位置，使得所述第二晶圆盒的所述第二读取标识与所述第二读取装置的第二读取部对应。

在一些实施例中，所述支撑面板上设有第一L型支架，所述第一读取装置位于所述天车口的支撑面板时被固定在所述第一L型支架的上部支腿上，所述第一L型支架的部分下部支腿固定于所述支撑面板的侧面；和/或，

所述支撑面板上设有第二L型支架，所述第二读取装置固定在所述第二L型支架的上部支腿上，所述第二L型支架的部分下部支腿固定于所述支撑面板的侧面。

在一些实施例中，所述第一L型支架的部分下部支腿与所述支撑面板可拆卸地连接，使得所述第一读取装置的安装位置可调，所述第二L型支架的部分下部支腿与所述支撑面板可拆卸地连接，使得所述第二读取装置的安装位置可调。

在一些实施例中，所述第一读取标识或所述第二读取标识采用RFID标签，所述第一读取装置或所述第二读取装置采用RFID读取装置。

在一些实施例中，在固定所述第一L型支架的支撑面板槽内布置所述第一读取装置的RFID信号传输线的走线，在固定所述第二L型支架的支撑面板槽内布置所述第二读取装置的RFID信号传输线的走线。

在一些实施例中，晶圆盒承载于第一承载盘上时，所述第一读取标识与所述第一读取装置的直线距离小于所述第一读取装置的最大读取距离，所述第二读取标识与所述第二读取装置之间的直线距离小于所述第二读取装置的最大读取距离。

在一些实施例中，所述天车口还设有暂存工位，所述暂存工位与所述读取工位对应设置，所述暂存工位上设有第二承载盘；所述第一承载盘与所述第二承载盘之间设有转运晶圆盒的转运装置，所述转运装置上设有承载晶圆盒的搬运移载盘。

在一些实施例中，所述天车口与所述第一天车对接的实际对接行程小于天车口有效行程，所述天车口与所述第二天车对接的实际对接行程小于所述天车口有效行程。

与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述技术方案能够达到的有益效果至少包括：无论多个不同高度天车轨道上的天车，运送何种朝向放置的晶圆盒至天车口的读取工位，均可以第一时间高效读取，无需由于晶圆盒朝向问题致使相应晶圆盒无法识别或识别错误的问题，实现了复杂场景下及时且准确的读取不同朝向的晶圆盒标识，提高了晶圆盒标识信息读取效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本申请实施例提供的晶圆盒读取装置中多层天车轨道结构示意图；

图2是本申请实施例提供的晶圆盒读取装置中天车口结构示意图；

图3是本申请实施例提供的晶圆盒读取装置中天车口结构示意图；

图4是本申请实施例提供的正面朝向放置的晶圆盒结构示意图；

图5是本申请实施例提供的反面朝向放置的晶圆盒结构示意图；

图6是本申请实施例一提供的晶圆盒读取装置中天车口结构示意图；

图6a是本申请实施例提供的第一读取装置位于第一承载盘底部的一种结构示意图；

图6b是本申请实施例提供的第一读取装置位于第一承载盘底部的另一种结构示意图；

图7是本申请实施例一提供的第一晶圆盒读取装置读取状态下结构示意图；

图8是本申请实施例一提供的第二晶圆盒读取装置读取状态下结构示意图；

图9是本申请实施例提供的第一读取装置的示例性设置结构示意图；

图10是本申请实施例提供的第一读取装置的示例性设置结构示意图；

图11a是本申请实施例提供的第一读取装置或第二读取装置的示例性设置结构示意图；

图11b是本申请实施例提供的第一读取装置或第二读取装置的示例性设置结构示意图；

图12是本申请实施例二提供的晶圆盒读取装置中天车口结构示意图；

图13是本申请实施例二提供的第一晶圆盒读取装置读取状态下结构示意图；

图14是本申请实施例二提供的第二晶圆盒读取装置读取状态下结构示意图。

附图标记说明：

1-第一天车轨道，11-天花板，2-第二天车轨道，21-支撑梁，3-第一天车，4-第二天车，5-天车口，51-读取工位，52-暂存工位，53-支撑面板，54-第二L型支架，55-第一L型支架，56-转运装置，6-第一晶圆盒，61-第一读取标识，7-第二晶圆盒，71-第二读取标识，81-第一承载盘，811-第一侧板，812-第二侧板，813-横板，82-第二承载盘，83-搬运移载盘，91-第一读取装置，92-第二读取装置，10-余量部分

具体实施方式

下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。

以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。

还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非一定按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。

基于背景技术，本申请实施例提供了一种应用于半导体传输系统的晶圆盒读取装置，如图1至图3所示，半导体传输系统包括，存放晶圆盒的存储库、第一天车、第二天车，以及供天车运行的第一天车轨道和第二天车轨道；且存储库上设置有天车口。在其他一些实施例中，与天车口5对接的天车轨道数量还可以多于2个，如3个等，本申请实施例对此不作特别限定。

具体地，第一天车轨道1位于第二天车轨道2上方，即第一天车轨道1为高层轨道，第二天车轨道2为低层轨道，第一天车3用于在第一天车轨道1运输第一晶圆盒6至天车口5，第二天车4用于在第二天车轨道2运输第二晶圆盒7至天车口5。天车口5上设有读取工位51，并在读取工位51上设有第一承载盘81，第一晶圆盒6或第二晶圆盒7可以被第一天车3或第二天车4传运至该读取工位51的第一承载盘81上。示例性地，第一天车轨道1可以固定在天花板11或其他高层梁上，第二天车轨道2可以固定在低于第一天车轨道1的支撑梁21或其他固定装置上。

在一些实施例中，第一天车轨道1可以设置在第二天车轨道2的正上方。如此，可适应相应的生产车间中的布局，提高空间利用率。

在一些实施例中，第一天车轨道1可以设置在第二天车轨道2的侧上方。如此，可适应相应的生产车间中的布局，提高空间利用率。

在一些实施例中，第一天车轨道1的延伸方向可以设置为与第二天车轨道2的延伸方向相同，或者，第一天车轨道1的延伸方向可以设置为与第二天车轨道2的延伸方向相垂直，或者，第一天车轨道1的延伸方向可以设置为与第二天车轨道2的延伸方向成其它角度。如此，可适应相应的生产车间中的空间布局以及运输方向的需求，提高空间利用率并且能够实现优化轨道及搬运路径的布置进而提高搬运效率。

或者，在一些实施例中，还可以对第一天车轨道1与第二天车轨道2的相对位置进行变形，使得两者之间存在高度差即可，即在高度方向上，第一天车轨道1高于第二天车轨道2。

在以上实施例的基础上，还可以配置为，运行于第一天车轨道1上的第一天车3以及运行于第一天车轨道2上的第二天车4均可以与存储库的同一天车口5交接，以放置晶圆盒或取走晶圆盒。

另外，根据天车轨道系统的预定程序，第一天车轨道1上第一天车3运送的第一晶圆盒6，与第二天车轨道2上第二天车4运送的第二晶圆盒7两者放置朝向是固定且相向的，示例性地，第一晶圆盒6放置于天车口5的朝向是第一晶圆盒6的第一表面朝向存储库，为方便描述将此情况下运送的晶圆盒朝向定义为正面朝向，即第一天车轨道1上第一天车3运送的第一晶圆盒6为正面朝向(如图4所示的)，第二晶圆盒7放置于天车口5的朝向是第二晶圆盒7的第一表面背离存储库，将此情况下运送的晶圆盒朝向定义为反面朝向，即第二天车轨道2上第二天车4运送的第二晶圆盒7为反面朝向(如图5所示的)。应该理解，上述在此仅作为示例而非限制，本实施例可以根据实际情况设置，例如第一天车轨道1上第一天车3运送的第一晶圆盒6为反面朝向，第二天车轨道2上第二天车4运送的第二晶圆盒7为正面朝向。在一些实施例中，可以理解为反面朝向是相对于正面朝向将晶圆盒以竖直方向为轴心旋转了180°。并且根据行业标准要求，相应读取标识均设置在晶圆盒第二表面位置(如图11所示的)，即第一晶圆盒6的第一读取标识61设置于其第二表面，第二晶圆盒7的第二读取标识71也设置于其第二表面。其中，第一表面为晶圆盒可拆卸的前盖面，可理解为晶圆盒的前侧面，如图4、图5中标识A所示；第二表面为晶圆盒的盒体后侧面，如图4、图5中标识B所示。

需要说明的是，本申请实施例对第一读取标识61、第二读取标识71以及下文第一读取装置91、第二读取装置92的具体装置设置方式、标识类型或读取信息内容不作特别限制，例如第一读取标识61或第二读取标识71可以采用RFID标签，相应的第一读取装置91、第二读取装置92可以采用RFID读取装置，再例如，读取的晶圆盒标识信息内容可以是晶圆盒的ID信息，用于识别晶圆盒身份信息以便于精准搬运晶圆盒入库(如图4或图5所示的存储库)及归档记录。

为了适用运行在不同轨道上的天车搬运的朝向相向的第一晶圆盒6或第二晶圆盒7的标识读取，于第一承载盘81底部或旁侧设有第一读取装置91和第二读取装置92，当第一晶圆盒6被第一天车3运输至天车口5后置于第一承载盘81上时，第一晶圆盒6的第一读取标识61与第一读取装置91的位置对应(如水平对应)，当第二晶圆盒7被第二天车4运输至天车口5后置于第一承载盘81上时，第二晶圆盒7的第二读取标识71与第二读取装置92的位置对应(如水平对应)。

由此，无论多个不同高度天车轨道上行进的天车，运送何种朝向的晶圆盒放置到天车口的读取工位，均可以第一时间高效读取，无需由于晶圆盒朝向问题致使相应的晶圆盒无法识别或识别错误的问题，实现了复杂场景下及时且准确的读取晶圆盒标识，提高了晶圆盒标识信息读取效率。

下面结合具体两个示例性实施例，进一步解决说明本申请实施例提供的适用于天车运输轨道搬运场景的晶圆盒标识读取装置。

在一些实施例中，第一承载盘81包括第一侧板811、第二侧板812、连接于第一侧板811和第二侧板812之间的横板813。可选地，横板813连接于第一侧板811的左端与第二侧板812的左端之间而构成U字型结构。

如图6a所示，当第一晶圆盒6尺寸大于第一承载盘81时，第一晶圆盒6相应的第一读取标识61在X轴的负方向上突出于横板813的左侧边，则可将第一读取装置91可设置在横板813底部且在X轴负方向上部分突出于横板813，使第一读取装置91与第一读取标识61在竖直方向上对应。

如图6b所示，当第一晶圆盒6尺寸小于第一承载盘81时，第一晶圆盒6相应的第一读取标识61位于横板813上方，则可在横板813上开一通槽，并将第一读取装置91可设置在横板813通槽的底部，使第一读取装置91透过通槽与第一读取标识61在竖直方向上对应。

实施例一

本实施例中，如图6至图11a所示，第一读取标识61设于第一晶圆盒6的第二表面，用于读取第一读取标识61的第一读取装置91，对应设置于第一承载盘81的横板813下方且靠近第一晶圆盒6的第二表面的位置，即如图6所示的，位于U形第一承载盘81的横板813下方，由于转运装置56在第一承载盘81和第二承载盘82的两个盘面空槽部分之间往复运行，从而既能避免与来回转运的搬运移载盘83发生碰撞或干涉，又能满足第一晶圆盒6的第一读取标识61与第一读取装置91的第一读取部对应，具体地如图7所示。第二读取标识71位于第二晶圆盒7的第二表面，用于读取第二读取标识71的第二读取装置92位于天车口5的支撑面板53上部且靠近第二晶圆盒7的第二表面的位置，使得第二晶圆盒7的第二读取标识71与第二读取装置92的第二读取部对应，如图8所示。需要说明的是，这里实现读取功能的第一读取部、第二读取部可以为RFID读写器等无线识别装置，本申请实施例对此不作特别限定。

并且，如图9和图10所示，第一读取标识61与第一读取装置91第一读取部之间的直线距离h小于第一读取装置91的最大读取距离H，如图11a所示，第二读取标识71与第二读取装置92第二读取部之间的直线距离h小于第二读取装置92的最大读取距离H，以便保证在有效读取范围内更高效精准地读取。

另外为了进一步优化第二读取装置92的结构布置，保持读取装置的稳定安装，于支撑面板53上部设有第二L型支架54，第二读取装置92固定在所述第二L型支架54的上部支腿上，第二L型支架54的部分下部支腿固定于支撑面板53。进一步地，第二L型支架54的部分下部支腿与支撑面板53可拆卸地连接，如螺接紧固，使得第二读取装置92的安装位置可调。

这里，第一读取标识61或第二读取标识71采用RFID标签，第一读取装置91或第二读取装置92采用RFID读取装置。另外，为了实现标识信息读取过程的信号传输，可以在固定第二L型支架54的支撑面板53的铝型材槽内布置第二读取装置92的RFID信号传输线的走线。

另外，天车口5还设有用于转运入库或出库的暂存工位52，暂存工位52与读取工位51对应设置，暂存工位52上设有第二承载盘82；第一承载盘81与第二承载盘82之间设有转运晶圆盒的转运装置56，该转运装置56上设有升降驱动机构、旋转驱动机构、直线移动驱动机构，可使晶圆盒按照预设的指令进行升降、旋转、直线移载等，转运装置56上设有承载晶圆盒的搬运移载盘83，搬运移载盘83可将在读取工位51上识别完信息的晶圆盒进行顶升、旋转，进一步移载到暂存工位52。

另外，位于暂存工位52上的晶圆盒还可以由堆垛机取走并搬运至存储库，或暂存工位52还可以承载有堆垛机从存储库中搬运出的待出库的晶圆盒，并进一步的通过转运装置56将晶圆盒转运到读取工位51。这里，基于天车口5的安装调试，读取工位51可根据实际情况的需要调整其固定位置，天车口5与第一天车3对接的实际对接行程G2(搬运移载盘83在读取工位51与暂存工位52之间的实际行程)小于天车口有效行程G1(搬运移载盘83在天车口5可运行的最大行程)，天车口5与第二天车4对接的实际对接行程G2(搬运移载盘83在读取工位51与暂存工位52之间的实际行程)小于天车口有效行程G1(搬运移载盘83在天车口5可运行的最大行程)，即在天车口5需要设置一定的余量部分10。

再参照图1及图4至图8，进行不同层天车运输轨道不同晶圆盒标识读取的工作过程如下：

当天车口5的读取工位51接收到来自高层轨道上的第一天车3传送并下放的第一晶圆盒6时，第一天车轨道1上第一天车3运送的第一晶圆盒6为正面朝向，第一晶圆盒6放置于天车口5的朝向是第一晶圆盒6的第一表面朝向存储库，第一读取装置91能够读取到第一晶圆盒6上设于第二表面所携带的标识信息，并可以上传到控制器，以使当前第一晶圆盒6的ID信息录入数据库，并可由控制器判断当前晶圆盒是否为系统规划的晶圆盒，若与系统规划的存在差别，需要判断为异常，并报警；若当前晶圆盒经控制器判断为正常存入，则通过转运装置56将该晶圆盒移载到暂存工位52的第二承载盘82上，等待堆垛机将其进一步存入存储库。

当天车口5的读取工位51接收到来自低层轨道上的第二天车4传送并下放的第二晶圆盒7时，第二天车轨道2上第二天车4运送的第二晶圆盒7为反面朝向，第二晶圆盒7放置于天车口5的朝向是第二晶圆盒7的第一表面背离存储库，第二读取装置92能够读取到第二晶圆盒7上设于第二表面所携带的标识信息，并可以上传到控制器，以使当前第二晶圆盒7的ID信息录入数据库，并可由控制器判断当前晶圆盒是否为系统规划的晶圆盒，若与系统规划的存在差别，需要判断为异常，并报警；若当前晶圆盒经控制器判断为正常存入，则通过转运装置56将该晶圆盒移载到暂存工位52的第二承载盘82上，等待堆垛机将其进一步存入存储库。

实施例二

本实施例中，图11a至图14所示，第一读取标识61设于第一晶圆盒6的第二表面，用于读取第一读取标识61的第一读取装置91，位于天车口5的支撑面板53上部且靠近第一晶圆盒6的第二表面的位置，使得第一晶圆盒6的第一读取标识61与第一读取装置91的第一读取部对应，具体地如图13所示。第二读取标识71位于第二晶圆盒7的第二表面，用于读取第二读取标识71的第二读取装置92位于天车口5的支撑面板53上部且靠近第二晶圆盒7的第二表面的位置，使得第二晶圆盒7的第二读取标识71与第二读取装置92的第二读取部对应，如图14所示。

另外，为了进一步优化第一读取装置91、第二读取装置92的结构布置，保持读取装置的稳定安装，于支撑面板53上分别设有第一L型支架55和第二L型支架54，第一读取装置91位于所述天车口的支撑面板时被固定在所述第一L型支架55的上部支腿上，第一L型支架55的部分下部支腿固定于支撑面板53的侧面，如图11b所示，第二读取装置92固定在所述第二L型支架54的上部支腿上，第二L型支架54的部分下部支腿固定于支撑面板53的侧面，如图11b所示。进一步地，第一L型支架55的部分下部支腿与支撑面板53可拆卸地连接，如螺接紧固，使得第一读取装置91的安装位置可调，第二L型支架54的部分下部支腿与支撑面板53可拆卸地连接，如螺接紧固，使得第二读取装置92的安装位置可调。在其他一些实施例中，用于固定第一读取装置91或第二读取装置92的支架也可以是L型之外其他任何可行的结构形状，本申请实施例不作限定。

并且，参照图11a，第一读取标识61与第一读取装置91第一读取部之间的直线距离h小于第一读取装置91的最大读取距离H，第二读取标识71与第二读取装置92第二读取部之间的直线距离h小于第二读取装置92的最大读取距离H，以便保证在有效读取范围内更高效精准地读取。

另外，天车口5还设有暂存工位52，暂存工位52与读取工位51对应设置，暂存工位52上设有第二承载盘82；第一承载盘81与第二承载盘82之间设有转运晶圆盒的转运装置56，该转运装置56上设有升降驱动机构、旋转驱动机构、直线移动驱动机构，可使晶圆盒按照预设的指令进行升降、旋转、直线移载等，转运装置56上设有承载晶圆盒的搬运移载盘83，搬运移载盘83可将在读取工位51上识别完信息的晶圆盒进行顶升、旋转，进一步移载到暂存工位52。

另外，位于暂存工位52上的晶圆盒还可以由堆垛机取走并搬运至存储库，或暂存工位52还可以承载有堆垛机从存储库中搬运出的待出库的晶圆盒，并进一步的通过转运装置56将晶圆盒转运到读取工位51。这里，基于天车口5的安装调试，读取工位51可根据实际情况的需要调整其固定位置，天车口5与第一天车3对接的实际对接行程G2(搬运移载盘83在读取工位51与暂存工位52之间的实际行程)小于天车口有效行程G1(第二承载盘12在天车口5可运行的最大行程)，天车口5与第二天车4对接的实际对接行程G2(搬运移载盘83在读取工位51与暂存工位52之间的实际行程)小于天车口有效行程G1(搬运移载盘83在天车口5可运行的最大行程)，即在天车口5需要设置一定的余量部分10。

再参照图1及图4、图5及图12至图14，进行不同层天车运输轨道不同晶圆盒标识读取的工作过程如下：

当天车口5的读取工位51接收到来自高层轨道上的第一天车3传送并下放的第一晶圆盒6时，第一读取装置91能够读取到第一晶圆盒6所携带的标识信息，并可以上传到控制器，以使当前第一晶圆盒6的ID信息录入数据库，并可由控制器判断当前晶圆盒是否为系统规划的晶圆盒，若与系统规划的存在差别，需要判断为异常，并报警；若当前晶圆盒经控制器判断为正常存入，则通过转运装置56将该晶圆盒移载到暂存工位52的第二承载盘82上，等待堆垛机将其进一步存入存储库。

当天车口5的读取工位51接收到来自低层轨道上的第二天车4传送并下放的第二晶圆盒7时，第二读取装置92能够读取到第二晶圆盒7所携带的标识信息，并可以上传到控制器，以使当前第二晶圆盒7的ID信息录入数据库，并可由控制器判断当前晶圆盒是否为系统规划的晶圆盒，若与系统规划的存在差别，需要判断为异常，并报警；若当前晶圆盒经控制器判断为正常存入，则通过转运装置56将该晶圆盒移载到暂存工位52的第二承载盘82上，等待堆垛机将其进一步存入存储库。

本说明书中，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。同时，本说明书使用了特定词语来描述本说明书的实施例。如“一个实施例”、“一实施例”、和/或“一些实施例”意指与本说明书至少一个实施例相关的某一特征、结构或特点。因此，应强调并注意的是，本说明书中在不同位置两次或多次提及的“一实施例”或“一个实施例”或“一个替代性实施例”并不一定是指同一实施例。此外，本说明书的一个或多个实施例中的某些特征、结构或特点可以进行适当的组合。

此外，除非权利要求中明确说明，本说明书所述处理元素和序列的顺序、数字字母的使用、或其他名称的使用，并非用于限定本说明书流程和方法的顺序。尽管上述披露中通过各种示例讨论了一些目前认为有用的实用新型实施例，但应当理解的是，该类细节仅起到说明的目的，附加的权利要求并不仅限于披露的实施例，相反，权利要求旨在覆盖所有符合本说明书实施例实质和范围的修正和等价组合。例如，虽然以上所描述的系统组件可以通过硬件设备实现，但是也可以只通过软件的解决方案得以实现，如在现有的处理设备或移动设备上安装所描述的系统。

上文已对基本概念做了描述，显然，对于本领域技术人员来说，上述详细披露仅仅作为示例，而并不构成对本说明书的限定。虽然此处并没有明确说明，本领域技术人员可能会对本说明书进行各种修改、改进和修正。该类修改、改进和修正在本说明书中被建议，所以该类修改、改进、修正仍属于本说明书示范实施例的精神和范围。

Claims (10)

1.一种应用于半导体传输系统的晶圆盒读取装置，所述半导体传输系统包括，存放晶圆盒的存储库、第一天车、第二天车，以及供天车运行的第一天车轨道和第二天车轨道；

所述存储库上设置有天车口；

所述第一天车轨道位于所述第二天车轨道上方，所述第一天车在所述第一天车轨道上将第一晶圆盒运输至所述天车口，所述第二天车在所述第二天车轨道上将第二晶圆盒运输至所述天车口；

其特征在于，所述晶圆盒读取装置，包括：第一读取装置和第二读取装置，所述第一读取装置和所述第二读取装置设置在所述天车口读取工位的第一承载盘底部或旁侧；

当所述第一晶圆盒被所述第一天车运输至所述天车口后置于所述第一承载盘上时，所述第一晶圆盒的第一读取标识与所述第一读取装置的位置对应，当所述第二晶圆盒被所述第二天车运输至所述天车口后置于所述第一承载盘上时，所述第二晶圆盒的第二读取标识与所述第二读取装置的位置对应，其中，所述第一晶圆盒放置于所述天车口时所述第一晶圆盒的第一表面朝向存储库，所述第二晶圆盒放置于所述天车口时所述第二晶圆盒的第一表面背离所述存储库。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒读取装置，其特征在于，

所述第一读取标识位于所述第一晶圆盒的第二表面底部，所述第一读取装置位于所述第一承载盘的底部且靠近所述第一晶圆盒的第二表面底部的位置，使得所述第一晶圆盒的所述第一读取标识与所述第一读取装置的第一读取部对应；

或者，

所述第一读取标识位于所述第一晶圆盒的第二表面底部，所述第一读取装置位于所述天车口的支撑面板且靠近所述第一晶圆盒的第二表面底部的位置，使得所述第一晶圆盒的所述第一读取标识与所述第一读取装置的第一读取部对应。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒读取装置，其特征在于，

所述第二读取标识位于所述第二晶圆盒的第二表面底部，所述第二读取装置位于所述天车口的支撑面板且靠近所述第二晶圆盒的第二表面的位置，使得所述第二晶圆盒的所述第二读取标识与所述第二读取装置的第二读取部对应。

4.根据权利要求2或3所述的晶圆盒读取装置，其特征在于，其中，

所述支撑面板上设有第一L型支架，所述第一读取装置位于所述天车口的支撑面板时被固定在所述第一L型支架的上部支腿上，所述第一L型支架的部分下部支腿固定于所述支撑面板的侧面；和/或，

所述支撑面板上设有第二L型支架，所述第二读取装置固定在所述第二L型支架的上部支腿上，所述第二L型支架的部分下部支腿固定于所述支撑面板的侧面。

5.根据权利要求4所述的晶圆盒读取装置，其特征在于，所述第一L型支架的部分下部支腿与所述支撑面板可拆卸地连接，使得所述第一读取装置的安装位置可调，所述第二L型支架的部分下部支腿与所述支撑面板可拆卸地连接，使得所述第二读取装置的安装位置可调。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒读取装置，其特征在于，所述第一读取标识或所述第二读取标识采用RFID标签，所述第一读取装置或所述第二读取装置采用RFID读取装置。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒读取装置，其特征在于，在固定所述第一L型支架的支撑面板槽内布置所述第一读取装置的RFID信号传输线的走线，在固定所述第二L型支架的支撑面板槽内布置所述第二读取装置的RFID信号传输线的走线。

8.根据权利要求1至3、5至7任一项所述的晶圆盒读取装置，其特征在于，晶圆盒承载于第一承载盘上时，所述第一读取标识与所述第一读取装置的直线距离小于所述第一读取装置的最大读取距离，所述第二读取标识与所述第二读取装置之间的直线距离小于所述第二读取装置的最大读取距离。

9.根据权利要求8所述的晶圆盒读取装置，其特征在于，所述天车口还设有暂存工位，所述暂存工位与所述读取工位对应设置，所述暂存工位上设有第二承载盘；所述第一承载盘与所述第二承载盘之间设有转运晶圆盒的转运装置，所述转运装置上设有承载晶圆盒的搬运移载盘。

10.根据权利要求9所述的晶圆盒读取装置，其特征在于，所述天车口与所述第一天车对接的实际对接行程小于天车口有效行程，所述天车口与所述第二天车对接的实际对接行程小于所述天车口有效行程。