CN220933500U - 一种带有检测功能的读码设备 - Google Patents
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Abstract
本申请公开一种带有检测功能的读码设备，属于晶圆片测试识别技术领域，包括工作架，所述工作架的内部设置有工作台,所述工作台的上表面固定安装有校准仪器，所述工作台的上方设置有晶圆片，所述晶圆片的一侧设置有读码器，所述工作台的一侧设置有传感器，所述传感器的数量设置为两个，所述工作台的内部开设有空槽，所述空槽的内部设置有电机，所述电机的输出端固定连接有放置盘；本申请通过设置的校准仪器判断晶圆片是否放置平稳不倾斜，利用读码器对晶圆片进行读码，通过两个传感器来检测的晶圆片的底面高度信号是否不同，以此来判断晶圆片是否经过剪薄，在对晶圆片读码的同时可以对其进行检测，减少错误率，提供产品良率。
Description
技术领域
本申请涉及晶圆片测试识别技术领域，尤其涉及一种带有检测功能的读码设备。
背景技术
晶圆片是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆片。剪薄后的晶圆片一般要进行读码（每个晶圆片上会贴上对应的批次条形码），记录该晶圆片属于哪个料号批次的。
现有的读码设备在使用时存在一定的缺陷，现有的读码设备上缺少检测晶圆片是否百分百经过剪薄的功能，只能对晶圆片进行读码，而无法判断该晶圆片是否剪薄合格，因此，现在对一种带有检测功能的读码设备做出改进。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本申请提供了一种带有检测功能的读码设备，克服了现有技术的不足，旨在解决现有技术只能对晶圆片进行读码而不能检测晶圆片是否剪薄合格的问题。
为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种带有检测功能的读码设备，包括工作架，所述工作架的内部设置有工作台,所述工作台的上表面固定安装有校准仪器，所述工作台的上方设置有晶圆片，所述晶圆片的一侧设置有读码器，所述工作台的一侧设置有传感器，所述传感器的数量设置为两个。
通过采用上述技术方案，通过设置的校准仪器判断晶圆片是否放置平稳不倾斜，利用读码器对晶圆片进行读码，通过两个传感器来检测的晶圆片的底面高度信号是否不同，当高度信号不同时可知该晶圆片经过剪薄，是良品，反之，高度信号差为零，则该晶圆片漏剪，是不良品，需要返工或者另外处理，保证在对晶圆片读码的同时还能检测晶圆片是否剪薄合格。
作为本申请的一种优选技术方案，所述工作台的内部开设有空槽，所述空槽的内部设置有电机，所述电机的输出端固定连接有放置盘，所述晶圆片放置在放置盘的上端。
通过采用上述技术方案，通过电机带动放置盘旋转从而带动位于放置盘上端的晶圆片旋转，调整晶圆片的上表面的读取码位置便于读码器读取，还能让读码器可以对晶圆片上表面的多种读取码进行读取。
作为本申请的一种优选技术方案，所述放置盘的上表面设置有真空吸盘，所述真空吸盘的数量为四个且在放置盘的上表面呈圆形阵列分布。
通过采用上述技术方案，利用真空吸盘的吸附力使晶圆片牢牢的放置在放置盘上，保证晶圆片在旋转时不会放生位置偏移。
作为本申请的一种优选技术方案，所述工作架的顶部固定安装有补光器，所述补光器和放置盘位于同一中轴线。
通过采用上述技术方案，当光线不好时可以通过设置的补光器进行补光，提高读码器识别读取码的速度。
作为本申请的一种优选技术方案，所述读码器的下端呈圆弧形设置且固定安装有第一摄像头，所述第一摄像头的两侧设置有第二摄像头。
通过采用上述技术方案，消除读码器的识别盲区，保证读码器的读码准确率。
作为本申请的一种优选技术方案，所述读码器的数量为两个，两个所述的读码器关于晶圆片呈对称分布。
通过采用上述技术方案，若产品有背面读码的需求，无需翻转晶圆片就可进行读码。
本申请的有益效果：
本实用新型中，通过设置的校准仪器判断晶圆片是否放置平稳不倾斜，利用读码器对晶圆片进行读码，通过两个传感器来检测的晶圆片的底面高度信号是否不同，以此来判断晶圆片是否经过剪薄，在对晶圆片读码的同时可以对其进行检测，减少错误率，提供产品良率，通过设置第一摄像头和第二摄像头可以消除读码器的识别盲区，保证读码器的读码准确率，通过电机带动放置盘旋转从而带动位于放置盘上端的晶圆片旋转，调整晶圆片的上表面的读取码位置便于读码器读取，当光线不好时可以通过设置的补光器进行补光，提高读码器识别读取码的速度。
参照后文的说明和附图，详细公开了本实用新型的特定实施方式，指明了本实用新型的原理可以被采用的方式。应该理解，本实用新型的实施方式在范围上并不因而受到限制。
附图说明
图1为本申请的整体结构示意图；
图2为本申请的侧视结构示意图；
图3为本申请的整体截面示意图；
图4为本申请的读码器的结构示意图。
图中：1、工作架；2、工作台；3、校准仪器；4、传感器；5、读码器；6、晶圆片；7、补光器；8、电机；9、放置盘；10、真空吸盘；11、第一摄像头；12、第二摄像头。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
参照图1-4，一种带有检测功能的读码设备，包括工作架1，工作架1的内部设置有工作台2,工作台2的上表面固定安装有校准仪器3，工作台2的上方设置有晶圆片6，晶圆片6的一侧设置有读码器5，工作台2的一侧设置有传感器4，传感器4的数量设置为两个，工作架1的顶部固定安装有补光器7，补光器7和放置盘9位于同一中轴线，通过设置的校准仪器3判断晶圆片6是否放置平稳不倾斜，利用读码器5对晶圆片6进行读码，通过两个传感器4来检测的晶圆片6的底面高度信号是否不同，当高度信号不同时可知该晶圆片6经过剪薄，是良品，反之，高度信号差为零，则该晶圆片6漏剪，是不良品，需要返工或者另外处理，保证在对晶圆片6读码的同时还能检测晶圆片6是否剪薄合格，当光线不好时可以通过设置的补光器7进行补光，提高读码器5识别读取码的速度。
在本实施例中，如图1、2和3所示，工作台2的内部开设有空槽，空槽的内部设置有电机8，电机8的输出端固定连接有放置盘9，晶圆片6放置在放置盘9的上端，放置盘9的上表面设置有真空吸盘10，真空吸盘10的数量为四个且在放置盘9的上表面呈圆形阵列分布，在使用时，将晶圆片6放置在放置盘9的上端，利用真空吸盘10的吸附力使晶圆片6牢牢的放置在放置盘9上，通过电机8带动放置盘9旋转从而带动位于放置盘9上端的晶圆片6旋转，调整晶圆片6的上表面的读取码位置便于读码器5读取，还能让读码器5可以对晶圆片6上表面的多种读取码进行读取。
在本实施例中，如图1、2、3和4所示，读码器5的数量为两个，两个的读码器5关于晶圆片6呈对称分布，读码器5的下端呈圆弧形设置且固定安装有第一摄像头11，第一摄像头11的两侧设置有第二摄像头12，在使用时，通过两个读码器5对晶圆片6的两面进行读码识别，利用设置的第一摄像头11和第二摄像头12消除读码器5的识别盲区，保证读码器5的读码准确率。
工作原理：在使用本申请的一种带有检测功能的读码设备时，将晶圆片6放置在放置盘9的上端，通过设置的校准仪器3判断晶圆片6是否放置平稳，利用真空吸盘10的吸附力使晶圆片6牢牢的放置在放置盘9上，通过电机8带动放置盘9旋转从而带动位于放置盘9上端的晶圆片6旋转，调整晶圆片6的上表面的读取码位置便于读码器5读取，还能让读码器5可以对晶圆片6上表面的多种读取码进行读取，通过两个读码器5对晶圆片6的两面进行读码识别，利用设置的第一摄像头11和第二摄像头12消除读码器5的识别盲区，保证读码器5的读码准确率，当光线不好时通过设置的补光器7进行补光，通过两个传感器4来检测的晶圆片6的底面高度信号是否不同，当高度信号不同时可知该晶圆片6经过剪薄，是良品，反之，高度信号差为零，则该晶圆片6漏剪，是不良品，需要返工或者另外处理。
以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种带有检测功能的读码设备，其特征在于，包括工作架（1），所述工作架（1）的内部设置有工作台(2),所述工作台（2）的上表面固定安装有校准仪器（3），所述工作台（2）的上方设置有晶圆片（6），所述晶圆片（6）的一侧设置有读码器（5），所述工作台（2）的一侧设置有传感器（4），所述传感器（4）的数量设置为两个。
2.根据权利要求1所述的一种带有检测功能的读码设备，其特征在于，所述工作台（2）的内部开设有空槽，所述空槽的内部设置有电机（8），所述电机（8）的输出端固定连接有放置盘（9），所述晶圆片（6）放置在放置盘（9）的上端。
3.根据权利要求2所述的一种带有检测功能的读码设备，其特征在于，所述放置盘（9）的上表面设置有真空吸盘（10），所述真空吸盘（10）的数量为四个且在放置盘（9）的上表面呈圆形阵列分布。
4.根据权利要求2所述的一种带有检测功能的读码设备，其特征在于，所述工作架（1）的顶部固定安装有补光器（7），所述补光器（7）和放置盘（9）位于同一中轴线。
5.根据权利要求1所述的一种带有检测功能的读码设备，其特征在于，所述读码器（5）的下端呈圆弧形设置且固定安装有第一摄像头（11），所述第一摄像头（11）的两侧设置有第二摄像头（12）。
6.根据权利要求5所述的一种带有检测功能的读码设备，其特征在于，所述读码器（5）的数量为两个，两个所述的读码器（5）关于晶圆片（6）呈对称分布。
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2023
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