CN220912963U - 一种微纳光栅阴极组件检验治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种微纳光栅阴极组件检验治具，具体涉及制造和检验治具领域，包括盛片治具和滚片件，盛片治具开设有多个用于盛放待检测组件的盛片空腔，待检测组件能够从盛片空腔的第一开口插入至盛片空腔中并与盛片空腔连接，同时待检测组件的部分周向边沿能够从盛片空腔的第二开口露出，固定置于盛片空腔内的待检测组件的部分周向边沿能够凸出于第一开口，盛片治具开设有与第二开口连通的固定腔，固定置于盛片空腔内的待检测组件的部分周向边沿能够从第二开口伸入至固定腔中，滚片件伸入至固定腔中与各待检测组件相接触，转动滚片件能够带动各待检测组件在盛片空腔内转动。本实用新型能够提高待检测的微纳光栅阴极组件周面边缘的检验效率。

Description

一种微纳光栅阴极组件检验治具

技术领域

本实用新型涉及制造和检验治具领域，特别是涉及一种微纳光栅阴极组件检验治具。

背景技术

微纳光栅阴极组件作为半导体制造、光电子、材料研究等领域的重要组成部件，由于微纳光栅阴极组件侧面边缘的毛刺及崩边会产生尖端放电的现象，从而导致设备故障影响其正常使用，所以针对微纳光栅阴极组件侧面边缘的质量检验要求日益提高。在现有技术中若想观察到微纳光栅阴极组件侧面边缘有无毛刺或崩边，通常采用检测人员使用指尖轻握待检测的微纳光栅阴极组件，在显微镜下旋转进行侧面观察，使用此方法检验时，待检测的微纳光栅阴极组件的位置不固定，重复性差，在检验中需要频繁对待检测微纳光栅阴极组件的侧面边缘进行对焦，对待检测微纳光栅阴极组件侧面边缘有无毛边及其裂纹的检验效率低下。中国专利CN 218995182 U公开了一种微纳光栅阴极组件检验治具，该治具使用一种带有凹槽的圆柱体治具，使用时将待检测的微纳光栅阴极组件水平放置于治具内进行观察，根据该专利提供的治具与方法，在进行检测时待检测微纳光栅阴极组件的表面正对显微镜，用于观察待检测的微纳光栅阴极组件的表面质量问题，但该治具对待检测的微纳光栅阴极组件边缘的观察相对困难，且不能同时对多个待检测的微纳光栅阴极组件进行检验，所以对待检测微纳光栅阴极组件侧面边缘有无毛边及其裂纹的检验效率低下的问题仍然存在。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种微纳光栅阴极组件检验治具，以解决上述现有技术存在的问题，提高待检测的微纳光栅阴极组件周面边缘的检验效率。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

本实用新型提供一种微纳光栅阴极组件检验治具，包括盛片治具和滚片件，所述盛片治具沿其第一方向开设有多个盛片空腔，各所述盛片空腔用于盛放待检测的微纳光栅阴极组件，所述盛片空腔具有第一开口和第二开口，一个微纳光栅阴极组件能够从所述第一开口插入至一个所述盛片空腔中并置于所述盛片空腔中，同时微纳光栅阴极组件的部分周向边沿能够从所述第二开口露出，置于所述盛片空腔内的微纳光栅阴极组件的部分周向边沿能够凸出于所述第一开口，所述盛片治具远离所述第一开口的一端沿其第一方向开设有固定腔，所述固定腔与所述第二开口连通，置于所述盛片空腔内的微纳光栅阴极组件的部分周向边沿能够从所述第二开口伸入至所述固定腔中，所述滚片件能够从所述固定腔的开口伸入至所述固定腔中并与各待检测的微纳光栅阴极组件相接触，转动所述滚片件，所述滚片件能够带动各待检测微纳光栅阴极组件在所述盛片空腔内转动。

优选的，各所述第一开口和所述第二开口垂直于所述盛片治具的第一方向的两侧边沿均设置有倒角。

优选的，所述固定腔的开口位于所述盛片治具在所述第一方向上的一个侧壁，所述盛片治具具有一用于与检测平台接触的支撑底面，且所述固定腔远离所述盛片空腔的一侧延伸至所述支撑底面并形成下取出口，所述下取出口与外界连通，所述滚片件能够通过所述下取出口进入固定腔。

优选的，所述固定腔在垂直于所述第一方向上的截面为拱门形，所述固定腔的拱形部分与所述盛片空腔连通。

优选的，所述滚片件包括定位部和接触部，所述定位部与所述接触部固定连接，所述定位部与所述接触部为直径不同的同轴线圆柱杆，所述定位部的直径小于所述接触部的直径，所述盛片治具在第一方向上远离所述固定腔的开口的侧壁上开设有定位孔，所述定位孔与所述固定腔连通，所述定位部能够从所述固定腔中穿过所述定位部并在所述定位部内转动，所述接触部不能穿过所述定位孔，所述接触部用于与微纳光栅阴极组件的侧面接触。

优选的，各所述盛片空腔能够使其内部放置的各待检测组件的圆心位于第一直线上，所述第一直线平行于所述第一方向，所述固定腔设置于经过所述第一直线并垂直于所述支撑底面的平面的一侧。

优选的，所述盛片空腔设置为使放置于所述盛片空腔内的微纳光栅阴极组件周向边沿最接近所述支撑底面的点至所述第一开口的垂直距离为微纳光栅阴极组件直径的1/3-1/2。

优选的，所述承载凹槽数量为10～15个。

优选的，所述盛片治具和所述滚片件均为一体成型。

优选的，所述盛片治具和所述滚片件的材质均为聚四氟乙烯材料。

本实用新型相对于现有技术取得了以下技术效果：

本实用新型提供一种微纳光栅阴极组件检测治具，通过将待检测微纳光栅阴极组件沿垂直于其自身轴线的方向从第一开口插入至盛片空腔内对待检测微纳光栅阴极组件的侧面进行观察，检验时将盛片治具放置于检测平台上，相较于手持微纳光栅阴极组件检测来说，放置在盛片治具中的微纳光栅阴极组件的观察位置更稳定，且在检验中时一次对焦就能够对多组待检测的微纳光栅阴极组件进行观察；伸入至固定腔中的滚片件能够与各待检测的微纳光栅阴极组件相接触，且转动滚片件能够带动各待检测微纳光栅阴极组件在盛片空腔内转动，调整好观察焦距后，只需要搓动滚片件即可旋转盛片空腔内的待检测微纳光栅阴极组件从而能够对待检测微纳光栅阴极组件一个侧面的所有位置进行检验，取代了频繁的手动调整和调整焦距，提高了对待检测微纳光栅阴极组件侧面边缘毛边及崩边的检验效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的微纳光栅阴极组件检测治具内安装微纳光栅阴极组件的结构示意图；

图2为本实用新型提供的微纳光栅阴极组件检测治具的结构示意图；

图3为本实用新型提供的微纳光栅阴极组件检测治具的另一视角的结构示意图；

图4为本实用新型提供的微纳光栅阴极组件检测治具的盛片治具的结构示意图；

图5为本实用新型提供的微纳光栅阴极组件检测治具的盛片治具的俯视图；

图6为本实用新型提供的微纳光栅阴极组件检测治具的滚片件的结构示意图。

其中，1-盛片治具；2-盛片空腔；21-第一开口；22-第二开口；3-固定腔；4-滚片件；41-定位部；42-接触部；5-微纳光栅阴极组件。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

本实用新型提供一种微纳光栅阴极组件检验治具，如图1～5所示，包括盛片治具1和滚片件4，盛片治具1沿其第一方向(图1中箭头方向)开设有多个盛片空腔2，各盛片空腔2用于盛放待检测的微纳光栅阴极组件5，盛片空腔2具有第一开口21和第二开口22，一个微纳光栅阴极组件5能够沿垂直于其自身轴线的方向从第一开口21插入至一个盛片空腔2中并放置于盛片空腔2中，同时微纳光栅阴极组件5的部分周向边沿能够从第二开口22露出，固定置于盛片空腔2内的微纳光栅阴极组件5的部分周向边沿能够凸出于第一开口21，此时待检测的微纳光栅阴极组件5凸出于第一开口21的部分周向边沿便于直接被观察，盛片治具1远离第一开口21的一端沿其第一方向(图1中箭头方向)开设有固定腔3，固定腔3与第二开口22连通，置于盛片空腔2内的微纳光栅阴极组件5的部分周向边沿能够从第二开口22伸入至固定腔3中，滚片件4能够从固定腔3的开口伸入至固定腔3中并与各待检测的微纳光栅阴极组件5相接触，转动滚片件4，滚片件4能够带动各待检测微纳光栅阴极组件5在盛片空腔2内转动，通过将待检测微纳光栅阴极组件5沿垂直于其自身轴线的方向从第一开口21插入至盛片空腔2内对待检测微纳光栅阴极组件5的侧面进行观察，检验时将盛片治具1放置于检测平台上，相较于手持微纳光栅阴极组件5检测来说，放置在盛片治具1中的微纳光栅阴极组件5的观察位置更稳定，且在检验中时一次对焦就能够对多组待检测的微纳光栅阴极组件5进行观察，操作更为简便，减轻了检测人员的负担；伸入至固定腔3中的滚片件4能够与各待检测的微纳光栅阴极组件5相接触，且转动滚片件4能够带动各待检测微纳光栅阴极组件5在盛片空腔2内转动，调整好观察焦距后，只需要搓动滚片件4即可旋转盛片空腔2内的待检测微纳光栅阴极组件5从而能够对待检测微纳光栅阴极组件5一个侧面的所有位置进行检验，每次检验完成后只需要将待检测的微纳光栅阴极组件5从盛片空腔2内取出再放置新的待检测的微纳光栅阴极组件5即可，整个过程只需要进行一次显微镜焦距调整，取代了频繁的手动调整和调整焦距，提高了对待检测微纳光栅阴极组件5侧面边缘毛边及崩边的检验效率。

本实施例的实施方式中进一步优选的是，各第一开口21和第二开口22垂直于盛片治具1的第一方向(图1中箭头方向)的两侧边沿均设置有倒角，避免因盛片空腔2的第一开口21和第二开口22的边缘尖锐从而对检验中正在旋转的待检测微纳光栅阴极组件5造成的划伤。

本实施例的实施方式中进一步优选的是，固定腔3的开口贯穿盛片治具1在第一方向上的一个侧壁，盛片治具1具有一用于与检测平台接触的支撑底面，且固定腔3远离盛片空腔2的一侧延伸至支撑底面并形成下取出口，下取出口与外界连通，滚片件4能够通过下取出口进入固定腔3，能够简化了滚片件4与盛片治具1的组装与拆卸过程，使滚片件4的组装与拆解更加简单便捷。

本实施例的实施方式中进一步优选的是，固定腔3在垂直于第一方向上的截面为拱门形，固定腔的拱形部分与盛片空腔连通，拱门形的固定腔3的拱形部分与滚片件4配合，减少了滚片件4与固定腔3的接触面积，降低治具使用时因转动摩擦所导致的磨损，且拱形结构与盛片空腔2连通，保证了滚片件4与待检测微纳光栅阴极组件5的接触，保证了待检测微纳光栅阴极组件5可以和滚片件4摩擦旋转。

本实施例的实施方式中进一步优选的是，如图6所示，滚片件4包括定位部41和接触部42，定位部41与接触部42固定连接，定位部41与接触部42为直径不同的同轴圆柱杆，定位部41的直径小于接触部42的直径，盛片治具1在第一方向上远离固定腔3的开口的侧壁上开设有定位孔，定位孔能够与固定腔3连通，定位部41能够从固定腔3中穿过定位部41并在定位部41内转动，接触部42不能穿过定位孔，接触部42用于与微纳光栅阴极组件5的侧面接触，滚片件4通过定位部41与盛片治具1转动连接，能够保证滚片件4与待检测微纳光栅阴极组件5的接触，且滚片件4使多个待检测微纳光栅阴极组件5被顶起的高度相同，避免调节焦距，提高对待检测组件边缘毛边及崩边的检验效率。

本实施例的实施方式中进一步优选的是，各盛片空腔2能够使其内部放置的各待检测微纳光栅阴极组件5的圆心位于第一直线上，第一直线平行于第一方向，固定腔3设置于经过第一直线并垂直于支撑底面的平面的一侧，即在支撑底面的平行方向上，固定腔3的拱形部分的轴线与第一直线之间具有间距，置于固定腔3中的滚片件4与待检测微纳光栅阴极组件的接触位置均位于待检测微纳光栅阴极组件5经过轴线并垂直于支撑底面的平面的一侧，使得滚片件4能够将多个待检测微纳光栅阴极组件5向同一个方向顶起，避免滚片件4从顶起待检测组件时待检测组件左右不均匀的分布在滚片件4左右两侧，提高对待检测组件边缘毛边及崩边的检验效率。

本实施例的实施方式中进一步优选的是，盛片空腔设置为使放置于盛片空腔2内的微纳光栅阴极组件5周向边沿最接近支撑底面的点至第一开口21的垂直距离为微纳光栅阴极组件5直径的1/3-1/2，待检测微纳光栅阴极组件5为圆柱薄片，放置于盛片空腔2内的待检测微纳光栅阴极组件5周向边沿最接近支撑底面的点至第一开口21所在端面的垂直距离为微纳光栅阴极组件5直径的1/3-1/2，即放置于盛片空腔2内的微纳光栅阴极组件5露出于第一开口21的端面面积大于微纳光栅阴极组件5在盛片空腔2内的端面面积和从第二开口22露出的端面面积之和，能够在达到固定和检测微纳光栅阴极组件5的同时，也便于微纳光栅阴极组件5的安装与取出，在本领域中微纳光栅阴极组件直径的为15～45mm，所以放置于盛片空腔2内的微纳光栅阴极组件5周向边沿最接近支撑底面的点至第一开口的垂直距离为5～15mm。

本实施例的实施方式中进一步优选的是，承载凹槽数量为10～15个，一次可以同时检验10～15待检测微纳光栅阴极组件5能够进一步提升对组件边缘的检验效率。

本实施例的实施方式中进一步优选的是，盛片治具1和滚片件4均为一体成型，便于实际生产。

本实施例的实施方式中进一步优选的是，盛片治具1和滚片件4的材质均为聚四氟乙烯材料，聚四氟乙烯材料具有低摩擦系数、耐磨性、不沾性的优点，在使用本申请提供的治具对待检测组件边缘进行观察时，不会对待检测的微纳光栅阴极组件5造成二次损伤。

本实用新型中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：包括盛片治具和滚片件，所述盛片治具沿其第一方向开设有多个盛片空腔，各所述盛片空腔用于盛放待检测的微纳光栅阴极组件，所述盛片空腔具有第一开口和第二开口，一个微纳光栅阴极组件能够从所述第一开口插入至一个所述盛片空腔中并置于所述盛片空腔中，同时微纳光栅阴极组件的部分周向边沿能够从所述第二开口露出，置于所述盛片空腔内的微纳光栅阴极组件的部分周向边沿能够凸出于所述第一开口，所述盛片治具远离所述第一开口的一端沿其第一方向开设有固定腔，所述固定腔与所述第二开口连通，置于所述盛片空腔内的微纳光栅阴极组件的部分周向边沿能够从所述第二开口伸入至所述固定腔中，所述滚片件能够从所述固定腔的开口伸入至所述固定腔中并与各待检测的微纳光栅阴极组件相接触，转动所述滚片件，所述滚片件能够带动各待检测微纳光栅阴极组件在所述盛片空腔内转动。

2.根据权利要求1所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：各所述第一开口和所述第二开口垂直于所述盛片治具的第一方向的两侧边沿均设置有倒角。

3.根据权利要求1所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：所述固定腔的开口位于所述盛片治具在所述第一方向上的一个侧壁，所述盛片治具具有一用于与检测平台接触的支撑底面，且所述固定腔远离所述盛片空腔的一侧延伸至所述支撑底面并形成下取出口，所述下取出口与外界连通，所述滚片件能够通过所述下取出口进入固定腔。

4.根据权利要求3所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：所述固定腔在垂直于所述第一方向上的截面为拱门形，所述固定腔的拱形部分与所述盛片空腔连通。

5.根据权利要求3所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：所述滚片件包括定位部和接触部，所述定位部与所述接触部固定连接，所述定位部与所述接触部为直径不同的同轴线圆柱杆，所述定位部的直径小于所述接触部的直径，所述盛片治具在第一方向上远离所述固定腔的开口的侧壁上开设有定位孔，所述定位孔与所述固定腔连通，所述定位部能够从所述固定腔中穿过所述定位部并在所述定位部内转动，所述接触部不能穿过所述定位孔，所述接触部用于与微纳光栅阴极组件的侧面接触。

6.根据权利要求4所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：各所述盛片空腔能够使其内部放置的各待检测组件的圆心位于第一直线上，所述第一直线平行于所述第一方向，所述固定腔设置于经过所述第一直线并垂直于所述支撑底面的平面的一侧。

7.根据权利要求3所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：所述盛片空腔设置为使放置于所述盛片空腔内的微纳光栅阴极组件周向边沿最接近所述支撑底面的点至所述第一开口的垂直距离为微纳光栅阴极组件直径的1/3-1/2。

8.根据权利要求1所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：所述承载凹槽数量为10～15个。

9.根据权利要求1所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：所述盛片治具和所述滚片件均为一体成型。

10.根据权利要求1所述的微纳光栅阴极组件检验治具，其特征在于：所述盛片治具和所述滚片件的材质均为聚四氟乙烯材料。