CN204614760U - 扫描电镜样品台 - Google Patents
扫描电镜样品台 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204614760U CN204614760U CN201520290865.6U CN201520290865U CN204614760U CN 204614760 U CN204614760 U CN 204614760U CN 201520290865 U CN201520290865 U CN 201520290865U CN 204614760 U CN204614760 U CN 204614760U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sample stage
- steering column
- sample
- electronic microscope
- scanning electronic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种扫描电镜样品台，包括样品台，还包括转向柱，转向柱的一端与所述样品台的底部固定连接，另一端旋转连接于一底座上，使样品台相对于底座具有旋转自由度。本实用新型通过在样品台的底部设置转向柱，使样品台相对于底座具有旋转自由度，从而可以带动样品台连续大角度旋转，实现连续的多角度观察。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种扫描电镜样品台，尤其适用于测试薄片型样品。
背景技术
现有技术中，扫描电镜是一种样品制备简单、分辨高、综合分析能力强的测试分析设备，目前广泛应用于各类材料的表面和截面微观分析。其中，样品台是扫描电镜设备的核心部件，其一般为铝制的圆形平台。在样品表面测试时，以薄片型样品为例，通常通过导电胶将样品粘贴于样品台面上做观察。而要对样品做截面测试，需要在样品台的四周贴上导电胶，再将样品贴于平台侧边上。
目前的扫描电镜在测试过程中，样品台可以通过连轴马达实现一定角度的旋转。以日立S4800型号为例，样品台可以最大倾斜30度左右。然而，在测试过程中，样品有掉落损坏机器的风险；尤其是当电子枪与样品台的工作距离较近时，大角度旋转有损坏仪器的风险。而在实际工作中，测试人员又希望能得到更大角度的视野范围，这种矛盾一直困扰着本领域的测试人员以及扫描电镜生产商。
发明内容
本实用新型的发明目的是提供一种扫描电镜样品台。
为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种扫描电镜样品台，包括样品台，还包括转向柱，转向柱的一端与所述样品台的底部固定连接，另一端旋转连接于一底座上，使样品台相对于底座具有旋转自由度。
上文中，所述样品台可以采用现有技术，用来放置样片。
优选的，所述转向柱与样品台的底部中央固定连接。
上述技术方案中，所述转向柱的一端设有螺纹，所述样品台的底部中央设有配合的螺孔。
上述技术方案中，所述底座上固设有旋转定位轴，所述转向柱的另一端套设于旋转定位轴之上；旋转定位轴上设有螺纹，其上设有配合的螺母，使转向柱旋转连接于所述旋转定位轴上。
上述技术方案中，所述旋转定位轴的中部设有凸块，所述转向柱夹在凸块和螺母之间。
上述技术方案中，所述样品台的侧面设有配合的压块，且压块弹性连接于样品台的一侧。即在样品台上构成弹性夹持结构，用来夹持样片，以便扫描电镜对样品做截面测试。当然，弹性夹持结构的尺寸应当大于待测样片的尺寸，以便将样品放入弹性夹持机构之中。
上述弹性夹持结构可以采用拉杆和弹簧的结构。
由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
1、本实用新型设计了一种新的扫描电镜样品台结构，通过在样品台的底部设置转向柱，使样品台相对于底座具有旋转自由度，从而可以带动样品台连续大角度旋转，实现连续的多角度观察；
2、本实用新型具有较好的安全性，对操作人员的经验值要求不高，不必通过电镜马达实现旋转，也没有碰撞镜头的危险；
3、本实用新型在样品台的侧面设置了弹性夹持结构，可以夹持样片，实现了对样品的平面和斜面观察及检测，尤其适用于薄片型样品的截面和前表面检测；
4、本实用新型的结构简单，成本较低，适于推广应用。
附图说明
图1是本实用新型实施例一的结构示意图。
图2是本实用新型实施例一中转向柱的侧视图。
图3是本实用新型实施例一中转向柱的主视图。
图4是本实用新型实施例一中底座和转向柱的组装结构分解图。
其中：1、底座；2、旋转定位轴；3、螺母；4、转向柱；5、拉杆；6、弹簧；7、压块；8、样品台；9、凸块。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步描述。
实施例一：
参见图1~4所示，一种扫描电镜样品台，包括样品台8，还包括转向柱4，转向柱的一端与所述样品台的底部固定连接，另一端旋转连接于一底座1上，使样品台相对于底座具有旋转自由度。
所述转向柱与样品台的底部中央固定连接。所述转向柱的一端设有螺纹，所述样品台的底部中央设有配合的螺孔。
所述底座上固设有旋转定位轴2，所述转向柱的另一端套设于旋转定位轴之上；旋转定位轴上设有螺纹，其上设有配合的螺母3，使转向柱旋转连接于所述旋转定位轴上。
所述旋转定位轴的中部设有凸块9，所述转向柱夹在凸块和螺母之间。
所述样品台的侧面设有配合的压块7，且压块弹性连接于样品台的一侧。具体的，压块通过拉杆5设于样品台的侧面，拉杆上设有弹簧6，构成弹性夹持结构；参见图1所示。
转向柱4围绕旋转定位轴2连续旋转就可以带动整个样品台连续大角度旋转，旋转角度可以通过螺母3来固定。
Claims (6)
1.一种扫描电镜样品台，包括样品台(8)，其特征在于：还包括转向柱(4)，转向柱的一端与所述样品台的底部固定连接，另一端旋转连接于一底座(1)上，使样品台相对于底座具有旋转自由度。
2.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于：所述转向柱与样品台的底部中央固定连接。
3.根据权利要求2所述的扫描电镜样品台，其特征在于：所述转向柱的一端设有螺纹，所述样品台的底部中央设有配合的螺孔。
4.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于：所述底座上固设有旋转定位轴(2)，所述转向柱的另一端套设于旋转定位轴之上；旋转定位轴上设有螺纹，其上设有配合的螺母(3)，使转向柱旋转连接于所述旋转定位轴上。
5.根据权利要求4所述的扫描电镜样品台，其特征在于：所述旋转定位轴的中部设有凸块(9)，所述转向柱夹在凸块和螺母之间。
6.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于：所述样品台的侧面设有配合的压块(7)，且压块弹性连接于样品台的一侧。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520290865.6U CN204614760U (zh) | 2015-05-07 | 2015-05-07 | 扫描电镜样品台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520290865.6U CN204614760U (zh) | 2015-05-07 | 2015-05-07 | 扫描电镜样品台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204614760U true CN204614760U (zh) | 2015-09-02 |
Family
ID=53967293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201520290865.6U Expired - Fee Related CN204614760U (zh) | 2015-05-07 | 2015-05-07 | 扫描电镜样品台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204614760U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109580911A (zh) * | 2018-12-03 | 2019-04-05 | 长春黄金研究院有限公司 | 一种不规则样品载物台 |
-
2015
- 2015-05-07 CN CN201520290865.6U patent/CN204614760U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109580911A (zh) * | 2018-12-03 | 2019-04-05 | 长春黄金研究院有限公司 | 一种不规则样品载物台 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108466085A (zh) | 一种便于调节角度的机床夹具 | |
| CN109186994A (zh) | 一种充电接口插拔测试装置 | |
| CN204614760U (zh) | 扫描电镜样品台 | |
| CN103600318A (zh) | 一种用于静子叶片强度考核的夹具及安装方法 | |
| CN102445228B (zh) | 一种用于汽车仪表的手动夹紧自锁装置及其夹紧方法 | |
| CN208223993U (zh) | 一种电动塑料洛氏硬度计 | |
| CN204464231U (zh) | 一种扫描电镜样品台 | |
| CN202304667U (zh) | 一种汽车横梁安全气囊左支架的检测工具 | |
| CN205734873U (zh) | 一种瓷绝缘子超声波检测专用夹具 | |
| CN206862928U (zh) | 一种可调节角度扫描电镜样品台 | |
| CN108406681A (zh) | 一种电动执行器压装操作台 | |
| CN209085910U (zh) | 一种充电接口插拔测试装置 | |
| CN103700562A (zh) | 高度调节式扫描电镜样品座 | |
| CN111537826A (zh) | 配电盘检测装置 | |
| CN204088258U (zh) | 一种扫描电镜样品台 | |
| CN210894619U (zh) | 一种开关电气性能测试装置 | |
| CN203690251U (zh) | 高度调节式扫描电镜样品座 | |
| CN209248897U (zh) | 超声检测试块教学演示调节装置 | |
| CN110907831A (zh) | 一种保证检测一致性的永磁电机综合试验台 | |
| CN208580158U (zh) | 一种电气自动化设备的检测装置 | |
| CN204389288U (zh) | 一种复合材料机械性能测试的夹紧装置 | |
| CN102998106A (zh) | 360度转轴耐久测试仪 | |
| CN208568628U (zh) | 一种用于多规格钢球表面检测装置 | |
| CN204525090U (zh) | 一种磨样平台 | |
| CN207586019U (zh) | 一种用于复合材料板材压缩性能试验的夹具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150902 Termination date: 20170507 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |