CN206862928U - 一种可调节角度扫描电镜样品台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种可调节角度扫描电镜样品台，包括U型座板，U型座板的两侧板之间设置有上侧面为平面的载物台，载物台中间穿设有一转轴，转轴两端与U型座板两侧板上的座孔旋转配合；所述转轴一端设置有一凸齿，与凸齿对应端的座孔内侧壁设置有多个齿槽。该可调节角度扫描电镜样品台实现了多个不同形状样品批量扫描，避免频繁的装样和抽放真空，提高了扫描测试的效率；实现了样品扫描角度可控性，使用方便易操作，通用性强，提高了扫描质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种可调节角度扫描电镜样品台。
背景技术
由于近年来，材料发展及应用越来越快速及广泛，特别是国家又加大了对新材料产业扶持力度，以至于材料研究愈加频繁。但是，现有的载物台多是用于平面观测，载物台为普通圆形平台，此种载物台无法固定住底部不平整的柱状样品。此外，目前的EBSD样品台一般为圆柱状，每次只能装载一个样品，在有多个样品测试时，要频繁的放真空—装样—抽真空等操作，既费时又费力，给电镜测试带来极大的不便。研究人员迫切需要一种能一次性承载多个样品的EBSD样品台，并通过简单的方法使样品台角度可调节，提高样品台实用性。本实验新型就是为了解决这样一个令众多实验者为之头痛的放样问题。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种结构新颖，使用方便的可调节角度扫描电镜样品台。
本实用新型采用以下方案实现：一种可调节角度扫描电镜样品台，包括U型座板，U型座板的两侧板之间设置有上侧面为平面的载物台，载物台中间穿设有一转轴，转轴两端与U型座板两侧板上的座孔旋转配合；所述转轴一端设置有一凸齿，与凸齿对应端的座孔内侧壁设置有多个齿槽，齿槽择一与凸齿配合。
进一步的，所述转轴与载物台旋转配合，载物台上穿设有用以锁紧转轴的第一螺钉。
进一步的，所述转轴可在座孔内沿轴向滑动，U型座板的侧板上穿设有用以锁紧转轴以限制其轴向移动的第二螺钉。
与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：该可调节角度扫描电镜样品台实现了多个不同形状样品批量扫描，避免频繁的装样和抽放真空，提高了扫描测试的效率；实现了样品扫描角度可控性，使用方便易操作，通用性强，提高了扫描质量。
为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下将通过具体实施例和相关附图，对本实用新型作进一步详细说明。
附图说明
图1是本实用新型实施例中U型座板构造示意图；
图2是本实用新型实施例载物台上侧面水平状态示意图；
图3是本实用新型实施例载物台上侧面20°倾斜示意图；
图4是本实用新型实施例载物台上侧面70°倾斜示意图；
图中标号说明：1-U型座板、2-载物台、3-转轴、4-凸齿、5-齿槽、6-第一螺钉、7-第二螺钉、8-座孔。
具体实施方式
一种可调节角度扫描电镜样品台，包括U型座板1，U型座板1的两侧板之间设置有上侧面为平面的载物台2，载物台中间穿设有一转轴3，转轴两端与U型座板1两侧板上的座孔旋转配合；所述转轴一端周部设置有一凸齿4，与凸齿对应端的座孔内侧壁设置有多个齿槽5，齿槽择一与凸齿配合，通过转动转轴使凸齿与不同的齿槽配合，可以改变载物台的角度，适用于底部不平整的样品；并且通过容易改变的样品扫描角度可同时承载多个样品，并解决现有样品台不可多角度使用，不可批量扫描的问题，具有造价低廉、制作方便、操作简单、适用性广、易于改变样品扫描角度且可承载多个样品的优点。
在本实施例中，U型座板和载物台的材质为5铝合金材质，极大地减轻了样品台本身的质量，使用起来更加轻松，且铝合金耐磨，延长了样品台的使用寿命。
在本实施例中，带齿槽的座孔内共设置有三个齿槽，凸齿与第一个齿槽配合时，载物台的上侧面为水平状态；凸齿与第二个齿槽配合时，载物台的上侧面倾斜20°；凸齿与第三个齿槽配合时，载物台的上侧面倾斜70°；通用性高，能适用于多种形状的样品，可放置规则长方体、不规则块状体和薄片状样品，通过导电胶直接将样品固定在载物台上，提高了扫描电镜样品台的实用性。
在本实施例中，所述转轴3与载物台2旋转配合，载物台2上穿设有用以锁紧转轴的第一螺钉6。
在本实施例中，所述转轴可在座孔内沿轴向滑动，U型座板的侧板上穿设有用以锁紧转轴以限制其轴向移动的第二螺钉7，第二螺钉与齿槽位于不同的U型座板的侧板上，需要改变载物台角度时，需要先松开第二螺钉，拉动转轴轴向移动使凸齿退出其所在的齿槽，然后转动转轴，使凸齿转动至对应的齿槽处并推动转轴沿轴向移动使凸齿卡入齿槽中，再锁紧第二螺钉。
上列较佳实施例，对本实用新型的目的、技术方案和优点进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种可调节角度扫描电镜样品台，其特征在于：包括U型座板，U型座板的两侧板之间设置有上侧面为平面的载物台，载物台中间穿设有一转轴，转轴两端与U型座板两侧板上的座孔旋转配合；所述转轴一端设置有一凸齿，与凸齿对应端的座孔内侧壁设置有多个齿槽，齿槽择一与凸齿配合。
2.根据权利要求1所述的可调节角度扫描电镜样品台，其特征在于：所述转轴与载物台旋转配合，载物台上穿设有用以锁紧转轴的第一螺钉。
3.根据权利要求1所述的可调节角度扫描电镜样品台，其特征在于：所述转轴可在座孔内沿轴向滑动，U型座板的侧板上穿设有用以锁紧转轴以限制其轴向移动的第二螺钉。
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