CN220893270U - 一种晶圆检测机台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆检测机台，包括测试机外壳、测试单元、旋转平台和EFEM机台单元，旋转平台包括旋转机构、旋转吸盘、调节中心机构、拖链、高精度模组、旋转驱动电机、直线导轨、旋转平台固定座和红外光路系统固定底座，调节中心机构在直线导轨上滑动，滑出测试机外壳，等待晶圆，此时旋转驱动电机启动，带动旋转吸盘和旋转机构进行旋转，旋转吸盘可对晶圆进行吸附，调节中心机构，旋转平台伸出测试口等待，由机械手将晶圆送到旋转平台上，采用真空将晶圆吸住，平台的移动机构将移栽中红外测试中心，由此可进行自动化晶圆检测，有效提高检测效率，更加便于操作使用。

Description

一种晶圆检测机台

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，尤其涉及一种晶圆检测机台。

背景技术

目前在晶圆检测中，需要人工将晶圆上料，然后取片定位测量点，通过厚度测量，最后将数据上传。

但在现有技术中，无法实现自动化的循环检测，晶圆检测效率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆检测机台，解决了现有技术中无法实现自动化的循环检测，晶圆检测效率较低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种晶圆检测机台，包括测试机外壳、测试单元、旋转平台和EFEM机台单元，所述测试单元设置于所述测试机外壳的内部，所述旋转平台设置于所述测试单元上，所述EFEM机台单元设置于所述测试机外壳的一侧；

所述旋转平台包括旋转机构、旋转吸盘、调节中心机构、拖链、高精度模组、旋转驱动电机、直线导轨、旋转平台固定座和红外光路系统固定底座，所述旋转平台固定座设置于所述测试机外壳的内部，所述红外光路系统固定底座设置于所述旋转平台固定座上，所述调节中心机构设置于所述旋转平台固定座上，所述旋转吸盘设置于所述调节中心机构上，所述旋转机构设置于所述旋转吸盘上，所述拖链设置于所述调节中心机构上，所述高精度模组设置于所述旋转平台固定座上，并位于所述拖链的一侧，所述旋转驱动电机设置于所述旋转平台固定座上，所述直线导轨安放在所述旋转平台固定座上，所述调节中心机构与所述直线导轨滑动连接。

其中，所述测试单元包括支架、红外测试机、红外反射光路系统和红外透视光路系统，所述支架设置于所述测试机外壳的内部，所述红外测试机和所述红外反射光路系统依次设置于所述支架的上方，所述旋转平台设置于所述支架的内部，所述红外透视光路系统设置于所述旋转平台的下方。

其中，所述EFEM机台单元包括机台本体、三个晶圆放置位、自动校准器和多轴机器人，所述机台本体设置于所述测试机外壳的一侧，三个所述晶圆放置位依次设置于所述机台本体的一侧，所述自动校准器设置于所述机台本体的上方，所述多轴机器人设置于所述机台本体上。

其中，所述EFEM机台单元还包括操作台，所述操作台设置于所述机台本体的一侧，并位于三个所述晶圆放置位的一侧。

其中，所述EFEM机台单元还包括控制箱，所述控制箱设置于所述机台本体的一端。

本实用新型的一种晶圆检测机台，所述旋转驱动电机启动，带动所述旋转吸盘和所述旋转机构进行旋转，所述旋转吸盘可对晶圆进行吸附，所述调节中心机构在所述直线导轨上滑动，调节距离，所述旋转平台固定座和所述红外光路系统固定座对所述旋转平台进行支撑，所述红外光路系统固定底座与所述旋转平台固定座分开设置，所述红外光路系统固定底座下方增加减震垫，确保红外光路传输的稳定，所述调节中心机构，采用人工调节的模式；由于红外光的出光的中心不是一致的，所以每台的中心都需要调整好红外光的中心与旋转平台上吸盘的中心同心,这样才能更好的测试，所述旋转吸盘上有一个缺口，是为了机械手取放晶圆后避让移出，所述旋转平台伸出测试口等待，由机械手将晶圆送到所述旋转平台上，采用真空将晶圆吸住，平台的移动机构将移栽中红外测试中心，由此可进行自动化晶圆检测，有效提高检测效率，更加便于操作使用。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1是本实用新型的整体的结构示意图。

图2是本实用新型的测试单元的结构示意图。

图3是本实用新型的旋转平台的结构示意图。

1-测试机外壳、2-旋转机构、3-旋转吸盘、4-调节中心机构、5-拖链、6-高精度模组、7-旋转驱动电机、8-直线导轨、9-旋转平台固定座、10-红外光路系统固定底座、11-支架、12-红外测试机、13-红外反射光路系统、14-红外透视光路系统、15-控制箱、16-机台本体、17-晶圆放置位、18-自动校准器、19-多轴机器人、20-操作台。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

请参阅图1至图3，本实用新型提供一种晶圆检测机台，包括测试机外壳1、测试单元、旋转平台和EFEM机台单元，所述测试单元设置于所述测试机外壳1的内部，所述旋转平台设置于所述测试单元上，所述EFEM机台单元设置于所述测试机外壳1的一侧；

所述旋转平台包括旋转机构2、旋转吸盘3、调节中心机构4、拖链5、高精度模组6、旋转驱动电机7、直线导轨8、旋转平台固定座9和红外光路系统固定底座10，所述旋转平台固定座9设置于所述测试机外壳1的内部，所述红外光路系统固定底座10设置于所述旋转平台固定座9上，所述调节中心机构4设置于所述旋转平台固定座9上，所述旋转吸盘3设置于所述调节中心机构4上，所述旋转机构2设置于所述旋转吸盘3上，所述拖链5设置于所述调节中心机构4上，所述高精度模组6设置于所述旋转平台固定座9上，并位于所述拖链5的一侧，所述旋转驱动电机7设置于所述旋转平台固定座9上，所述直线导轨8安放在所述旋转平台固定座9上，所述调节中心机构4与所述直线导轨8滑动连接。

在本实施方式中，所述旋转驱动电机7启动，带动所述旋转吸盘3和所述旋转机构2进行旋转，所述旋转吸盘3可对晶圆进行吸附，所述调节中心机构4在所述直线导轨8上滑动，调节距离，所述旋转平台固定座9和所述红外光路系统固定座对所述旋转平台进行支撑，所述红外光路系统固定底座10与所述旋转平台固定座9分开设置，所述红外光路系统固定底座10下方增加减震垫，确保红外光路传输的稳定，所述调节中心机构4，采用人工调节的模式；由于红外光的出光的中心不是一致的，所以每台的中心都需要调整好红外光的中心与旋转平台上吸盘的中心同心,这样才能更好的测试，所述旋转吸盘3上有一个缺口，是为了机械手取放晶圆后避让移出，所述旋转平台伸出测试口等待，由机械手将晶圆送到所述旋转平台上，采用真空将晶圆吸住，平台的移动机构将移栽中红外测试中心；

测试时，所述红外测试机12发出的红外光经过反射镜反射以15°的入射角射在晶圆表面进行反射或透射(两个功能集中在一起)；反射时红外测试机12作为发光源，经过离轴抛物面镜汇聚后以15*的入射角射在晶圆表面，通过测试晶圆射反射到上面的离轴椭球面镜汇聚到接收器上进行分析测试(测试晶圆的厚度):透射时红外测试机12作为发光源，经过离轴抛物面镜汇聚后以15°的入射角射在晶圆表面，通过测试晶圆透射到下面的离轴椭球面镜汇聚到接收器上进行分析测试。

进一步地，所述测试单元包括支架11、红外测试机12、红外反射光路系统13和红外透视光路系统14，所述支架11设置于所述测试机外壳1的内部，所述红外测试机12和所述红外反射光路系统13依次设置于所述支架11的上方，所述旋转平台设置于所述支架11的内部，所述红外透视光路系统14设置于所述旋转平台的下方。

在本实施方式中，机械手取料校准中，所述旋转平台伸出测试口等待，待晶圆校准完成后，由机械手将晶圆送到所述旋转平台上，采用真空将晶圆吸住，平台的移动机构将移栽中红外测试中心。根据上位机软件上的画画点移动测试对应晶圆点位。

进一步地，所述EFEM机台单元包括机台本体16、三个晶圆放置位17、自动校准器18和多轴机器人19，所述机台本体16设置于所述测试机外壳1的一侧，三个所述晶圆放置位17依次设置于所述机台本体16的一侧，所述自动校准器18设置于所述机台本体16的上方，所述多轴机器人19设置于所述机台本体16上。

在本实施方式中，所述机台本体16对所述EFEM机台单元的整体结构进行支撑，所述晶圆放置位17可安放晶圆，所述自动校准器18可对晶圆进行校准，所述多轴机器人19可取料移栽。

进一步地，所述EFEM机台单元还包括操作台20，所述操作台20设置于所述机台本体16的一侧，并位于三个所述晶圆放置位17的一侧。

在本实施方式中，所述操作台20可便于工作人员操作，对内部零部件进行操控，查看晶圆信息。

进一步地，所述EFEM机台单元还包括控制箱15，所述控制箱15设置于所述机台本体16的一端。

在本实施方式中，所述控制箱15可对内部零部件发出指令信号，起到控制作用，首先EFEM的所述多轴机器人19从料盒中取出晶圆，所述多轴机器人19将晶圆移栽到所述自动校准器18，完成校准后，所述多轴机器人19将校准器上的晶圆取走，移栽到所述旋转平台上进行测试，然后所述旋转平台将晶圆吸住后，根据软件上画画垫移动位置，到位后开始测试，分析结果，判断保存，所述测试机检测分析之后，所述多轴机器人19将晶圆从所述旋转平台取出，并放回料盒，进行下一循环。

以上所揭露的仅为本申请一种或多种较佳实施例而已，不能以此来限定本申请之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本申请权利要求所作的等同变化，仍属于本申请所涵盖的范围。

Claims (5)

1.一种晶圆检测机台，其特征在于，

包括测试机外壳、测试单元、旋转平台和EFEM机台单元，所述测试单元设置于所述测试机外壳的内部，所述旋转平台设置于所述测试单元上，所述EFEM机台单元设置于所述测试机外壳的一侧；

所述旋转平台包括旋转机构、旋转吸盘、调节中心机构、拖链、高精度模组、旋转驱动电机、直线导轨、旋转平台固定座和红外光路系统固定底座，所述旋转平台固定座设置于所述测试机外壳的内部，所述红外光路系统固定底座设置于所述旋转平台固定座上，所述调节中心机构设置于所述旋转平台固定座上，所述旋转吸盘设置于所述调节中心机构上，所述旋转机构设置于所述旋转吸盘上，所述拖链设置于所述调节中心机构上，所述高精度模组设置于所述旋转平台固定座上，并位于所述拖链的一侧，所述旋转驱动电机设置于所述旋转平台固定座上，所述直线导轨安放在所述旋转平台固定座上，所述调节中心机构与所述直线导轨滑动连接。

2.如权利要求1所述的晶圆检测机台，其特征在于，

所述测试单元包括支架、红外测试机、红外反射光路系统和红外透视光路系统，所述支架设置于所述测试机外壳的内部，所述红外测试机和所述红外反射光路系统依次设置于所述支架的上方，所述旋转平台设置于所述支架的内部，所述红外透视光路系统设置于所述旋转平台的下方。

3.如权利要求2所述的晶圆检测机台，其特征在于，

所述EFEM机台单元包括机台本体、三个晶圆放置位、自动校准器和多轴机器人，所述机台本体设置于所述测试机外壳的一侧，三个所述晶圆放置位依次设置于所述机台本体的一侧，所述自动校准器设置于所述机台本体的上方，所述多轴机器人设置于所述机台本体上。

4.如权利要求3所述的晶圆检测机台，其特征在于，

所述EFEM机台单元还包括操作台，所述操作台设置于所述机台本体的一侧，并位于三个所述晶圆放置位的一侧。

5.如权利要求4所述的晶圆检测机台，其特征在于，

所述EFEM机台单元还包括控制箱，所述控制箱设置于所述机台本体的一端。