CN220879632U - 硅片检测分选机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硅片检测技术领域，且公开了硅片检测分选机，包括分选机本体，所述分选机本体的内部设置有均匀分布的若干吸盘组件，所述分选机本体内部设置有位于吸盘组件上方的气动部件；所述吸盘组件包括有设置于气动部件下方的气阀组件，所述气阀组件的底部固定连接有均匀分布的若干吸盘；所述气阀组件包括有连接于吸盘顶部的连接板，所述连接板的内部设置有联动封堵部件，所述连接板的顶部固定连接有连接头。本实用新型由于联动气阀的设置，确保气泵抽取若干密封腔内部气体时，不会由于部分吸盘未完全于硅片贴合而出现持续不断抽气的情况，因此可以实现调节密封腔内部气压的变化，从而达到吸附转移不同尺寸硅片的效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片检测技术领域，更具体地说，本实用新型涉及硅片检测分选机。
背景技术
硅片分选机用以在硅片制作完成后对硅片进行检测，其中包括对硅片清洗以及厚度、尺寸和隐裂等的检测，其内部设置有多个吸盘转移机构，用以吸附转移硅片等待检测工件，其通过分选机内部动力机构控制吸盘贴附于硅片表面，然后抽取内部空气，使负压将二者紧密连接在一起，能够方便快速的实现吸附转移，极大地提高了检测效率。
现有的吸盘结构固定，其表面有多个吸附孔，而这些吸附孔下端均贴靠于硅片表面，其另一端同时与一个抽气机构相连接，因此使用时需要确保所有吸附孔均能够完全贴靠于硅片表面，因此需要确保吸盘上分布吸附孔的面积小于硅片面积，导致吸盘的使用范围受到限制，因此需要对其进行改进。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足，本实用新型提供了硅片检测分选机。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：硅片检测分选机，包括分选机本体，所述分选机本体的内部设置有均匀分布的若干吸盘组件，所述分选机本体内部设置有位于吸盘组件上方的气动部件；
所述吸盘组件包括有设置于气动部件下方的气阀组件，所述气阀组件的底部固定连接有均匀分布的若干吸盘；
所述气阀组件包括有连接于吸盘顶部的连接板，所述连接板的内部设置有联动封堵部件，所述连接板的顶部固定连接有连接头，所述连接头的顶部固定连接有连接管。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述气动部件内设置有驱动机构和气泵，所述气泵通过连接管、连接头和联动封堵部件与吸盘内部互通。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述分选机本体内部设置有位于吸盘组件下方的上料部件，所述吸盘组件跟随驱动机构沿上料部件顶部升降。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述联动封堵部件由连通腔以及均匀分布的若干联动气阀组成。
作为本实用新型的一种优选技术方案，若干所述联动气阀与吸盘一一对应，所述联动气阀由第一通孔、第二通孔、密封腔、密封活塞和复位弹簧组成，所述连通腔内部通过第一通孔与密封腔内以及密封活塞顶部区域相连通，所述吸盘内部通过第二通孔与密封腔内以及密封活塞底部区域相连通。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述连通腔开设于连接板内及连接头底部，所述第一通孔开设于连通腔底部，所述密封腔开设于第一通孔底部，所述第二通孔开设于密封腔和吸盘之间，所述密封活塞活动套接于密封腔内部，所述复位弹簧设置于密封腔内且连接于密封活塞顶部及密封腔内腔的顶部。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一通孔和第二通孔的内径尺寸小于密封腔的内径尺寸。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
1、本实用新型由于联动气阀的设置，确保气泵抽取若干密封腔内部气体时，不会由于部分吸盘未完全于硅片贴合而出现持续不断抽气的情况，因此可以实现调节密封腔内部气压的变化，从而达到吸附转移不同尺寸硅片的效果。
2、本实用新型由于联动封堵部件的设置，使气泵能够在复位弹簧弹力恢复作用的配合下通过逐渐降低抽气强度，而实现逐渐降低密封腔内气压强度的效果，从而达到使吸盘对硅片吸附强度逐渐降低直至完全分离的效果，方便缓慢放下转移后的硅片，同时避免吸盘与硅片瞬间分离而导致硅片受力强度骤变易损坏的情况。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型吸盘组件的结构示意图；
图3为本实用新型吸盘组件的底部示意图；
图4为本实用新型吸盘组件正面的剖视图。
图中：1、分选机本体；2、吸盘组件；21、气阀组件；211、连接板；212、连通腔；213、第一通孔；214、第二通孔；215、密封腔；216、密封活塞；217、复位弹簧；22、吸盘；23、连接头；24、连接管；3、上料部件；4、气动部件。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1至图4所示，本实用新型提供硅片检测分选机，包括分选机本体1，分选机本体1的内部设置有均匀分布的若干吸盘组件2，分选机本体1内部设置有位于吸盘组件2上方的气动部件4；
吸盘组件2包括有设置于气动部件4下方的气阀组件21，气阀组件21的底部固定连接有均匀分布的若干吸盘22；
气阀组件21包括有连接于吸盘22顶部的连接板211，连接板211的内部设置有联动封堵部件，连接板211的顶部固定连接有连接头23，连接头23的顶部固定连接有连接管24；由于联动封堵部件的设置，确保气泵抽取若干密封腔215内部气体时，不会由于部分吸盘22未完全于硅片贴合而出现持续不断抽气的情况，因此可以实现调节密封腔215内部气压的变化，从而达到吸附转移不同尺寸硅片的效果。
其中，气动部件4内设置有驱动机构和气泵，气泵通过连接管24、连接头23和联动封堵部件与吸盘22内部互通；通过连接管24既可以方便驱动机构对气阀组件21整体的运动控制，而且可以确保气泵能够与联动气阀相连通。
其中，分选机本体1内部设置有位于吸盘组件2下方的上料部件3，吸盘组件2跟随驱动机构沿上料部件3顶部升降。
其中，联动封堵部件由连通腔212以及均匀分布的若干联动气阀组成；通过连通腔212能够使若干联动气阀同时与连接头23相连通，从而使气泵能够控制任一部分吸盘22内部的气压。
其中，若干联动气阀与吸盘22一一对应，联动气阀由第一通孔213、第二通孔214、密封腔215、密封活塞216和复位弹簧217组成，连通腔212内部通过第一通孔213与密封腔215内以及密封活塞216顶部区域相连通，吸盘22内部通过第二通孔214与密封腔215内以及密封活塞216底部区域相连通。
其中，连通腔212开设于连接板211内及连接头23底部，第一通孔213开设于连通腔212底部，密封腔215开设于第一通孔213底部，第二通孔214开设于密封腔215和吸盘22之间，密封活塞216活动套接于密封腔215内部，复位弹簧217设置于密封腔215内且连接于密封活塞216顶部及密封腔215内腔的顶部；由于复位弹簧217的设置，使气泵能够在复位弹簧217弹力恢复作用的配合下通过逐渐降低抽气强度，而实现逐渐降低密封腔215内气压强度的效果，从而达到使吸盘22对硅片吸附强度逐渐降低直至完全分离的效果，方便缓慢放下转移后的硅片，同时避免吸盘22与硅片瞬间分离而导致硅片受力强度骤变易损坏的情况。
其中，第一通孔213和第二通孔214的内径尺寸小于密封腔215的内径尺寸；由于密封腔215的设置，方便了密封活塞216和复位弹簧217的运动，同时能够限制二者使密封活塞216具有最大移动范围，从而避免未贴合于硅片表面的吸盘22持续被气泵抽取气体，而无法控制吸附于硅片上吸盘22内部气压的情况。
本实用新型的工作原理及使用流程：
运行设备并将待检测硅片放置于上料部件3上使其被输送至吸盘组件2正下方，然后在气动部件4的控制下通过连接管24、连接头23和气阀组件21使若干吸盘22同时下移并紧贴到硅片表面，此时气动部件4内气泵运行，即可通过第一通孔213、连通腔212、连接头23和连接管24抽取密封腔215内部气体，在负压作用下使密封活塞216沿着密封腔215内壁上滑并压缩复位弹簧217，此时第二通孔214和吸盘22内部气体被抽入到密封腔215内使吸盘22内形成负压，即可吸附硅片；
而未紧密贴合于硅片表面的吸盘22会在负压作用下使其对应的密封活塞216继续上移，直至紧贴于硅片表面的吸盘22牢牢吸附硅片为止，此时气动部件4内气泵通知工作即可保持连通腔212内部气压的恒定，确保吸盘22能够牢牢吸附硅片。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.硅片检测分选机，包括分选机本体(1)，其特征在于：所述分选机本体(1)的内部设置有均匀分布的若干吸盘组件(2)，所述分选机本体(1)内部设置有位于吸盘组件(2)上方的气动部件(4)；
所述吸盘组件(2)包括有设置于气动部件(4)下方的气阀组件(21)，所述气阀组件(21)的底部固定连接有均匀分布的若干吸盘(22)；
所述气阀组件(21)包括有连接于吸盘(22)顶部的连接板(211)，所述连接板(211)的内部设置有联动封堵部件，所述连接板(211)的顶部固定连接有连接头(23)，所述连接头(23)的顶部固定连接有连接管(24)。
2.根据权利要求1所述的硅片检测分选机，其特征在于：所述气动部件(4)内设置有驱动机构和气泵，所述气泵通过连接管(24)、连接头(23)和联动封堵部件与吸盘(22)内部互通。
3.根据权利要求1所述的硅片检测分选机，其特征在于：所述分选机本体(1)内部设置有位于吸盘组件(2)下方的上料部件(3)，所述吸盘组件(2)跟随驱动机构沿上料部件(3)顶部升降。
4.根据权利要求1所述的硅片检测分选机，其特征在于：所述联动封堵部件由连通腔(212)以及均匀分布的若干联动气阀组成。
5.根据权利要求4所述的硅片检测分选机，其特征在于：若干所述联动气阀与吸盘(22)一一对应，所述联动气阀由第一通孔(213)、第二通孔(214)、密封腔(215)、密封活塞(216)和复位弹簧(217)组成，所述连通腔(212)内部通过第一通孔(213)与密封腔(215)内以及密封活塞(216)顶部区域相连通，所述吸盘(22)内部通过第二通孔(214)与密封腔(215)内以及密封活塞(216)底部区域相连通。
6.根据权利要求5所述的硅片检测分选机，其特征在于：所述连通腔(212)开设于连接板(211)内及连接头(23)底部，所述第一通孔(213)开设于连通腔(212)底部，所述密封腔(215)开设于第一通孔(213)底部，所述第二通孔(214)开设于密封腔(215)和吸盘(22)之间，所述密封活塞(216)活动套接于密封腔(215)内部，所述复位弹簧(217)设置于密封腔(215)内且连接于密封活塞(216)顶部及密封腔(215)内腔的顶部。
7.根据权利要求5所述的硅片检测分选机，其特征在于：所述第一通孔(213)和第二通孔(214)的内径尺寸小于密封腔(215)的内径尺寸。
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